強流電子注微小截面光纖yag探頭探測裝置制造方法
【專利摘要】本發明公開了一種強流電子注微小截面光纖YAG探頭探測裝置，包括高真空腔體、光纖YAG探針、柔性光纜、圖像輸出檢測裝置和探頭水平運動定位裝置；腔體橫向安置，前端用于連接被測電子注漂移管，后端用于安置探頭水平運動定位裝置；探頭水平運動定位裝置從高真空腔體的后端插入高真空腔體內，固定連接探針，使探針的前端能夠正對被測電子注漂移管并沿著高真空腔體的軸向定位和運動；探針通過柔性光纜連接至位于高真空腔體外部的圖像輸出檢測裝置；圖像輸出檢測裝置用于采集光纖YAG探針的前端端面上的在被測電子注漂移管中行進的電子注電流強度分布，并轉化為光學圖像。本發明能測量電子傳輸通道直徑為10mm以下至1mm左右的電子注。
【專利說明】強流電子注微小截面光纖YAG探頭探測裝置

【技術領域】
[0001] 本發明涉及微波器件或強流電子注分析器探測電子槍及電子注傳輸過程電子光 學性能的【技術領域】，尤其涉及超高頻微波真空器件電子注漂移管的直徑在幾毫米以下的細 小通道電子注的探測技術。

【背景技術】
[0002] 圖1是微波電真空器件強流電子注分析器所用的傳統的小型電子注截面測量系 統的結構示意圖。該系統利用強流電子注直接轟擊熒光屏或YAG屏進行檢測。圖2是該測 量系統的熒光屏探測頭機械的示意圖。
[0003] 如圖1和圖2所示，該測量系統垂直放置，強流電子注堅直向上發射直接轟擊熒光 屏上，熒光屏機構包括熒光屏和與熒光屏固定連接的拉桿。操作者操作該拉桿，從而熒光屏 進行上下移動。
[0004] 當今，隨著微波頻率要求越來越高，電子注的直徑和器件中電子注漂移管的通道 也越來越細，，對這類電子注截面進行探測的裝置及其各種改進型都難以對數毫米直徑的 漂移管進行探測。
[0005] 其次，由于器件中電子注漂移管與電子注直徑很接近，都是毫米量級，在探頭處熒 光屏上散發的亮光在漂移管壁上的反射也影響了熒光屏電子注截面光圖像的光強度測量。 更麻煩的是熒光屏探頭的光圖像從真空腔體傳遞出來，所需的光通道在真空中是直線，因 此所需真空腔體及檢測設備的同步移動機構就長而復雜，同時測量過程中過長焦距的光學 儀器帶來的圖像畸變就大大影響了測量熒光屏上的電子注空間分辨率。


【發明內容】

[0006] (一）要解決的技術問題
[0007] 本發明旨在提供一種用于探測小孔徑漂移管中強流電子注電子光學性能并提高 測量電子注的空間分辨率的探測裝置。
[0008] (二）技術方案
[0009] 為解決上述技術問題，本發明提出一種強流電子注微小截面光纖YAG探頭探測裝 置，用于探測被測電子注漂移管發射的電子注的電子光學性能，包括高真空腔體、光纖YAG 探針、柔性光纜、圖像輸出檢測裝置和探頭水平運動定位裝置；其中，所述高真空腔體橫向 安置，包括相對的前后兩端，前端用于連接所述被測電子注漂移管，后端用于安置探頭水平 運動定位裝置；所述探頭水平運動定位裝置從所述高真空腔體的后端插入所述高真空腔體 內，固定連接所述光纖YAG探針，使所述光纖YAG探針的前端能夠正對所述被測電子注漂移 管并沿著所述高真空腔體的軸向定位和運動；所述光纖YAG探針通過所述柔性光纜連接至 位于所述高真空腔體外部的圖像輸出檢測裝置；所述圖像輸出檢測裝置用于采集光纖YAG 探針的前端端面上的由所述被測電子注漂移管中行進的電子注電流強度分布，并轉化為光 學圖像。
[0010] 根據本發明的【具體實施方式】，所述高真空腔體包括前接口、觀察窗、拉桿密封裝置 和腔體主體，其中，所述腔體主體橫向水平放置，包括相對的前后兩端；所述前接口位于所 述腔體主體的前端，用于連接所述被測器件漂移管；所述觀察窗位于所述腔體主體的后部 側面中間，作為輸出電子注光學圖像的窗口；所述拉桿密封裝置位于所述腔體主體的后端 的正上方，用于真空密封所述探頭水平運動定位裝置。
[0011] 根據本發明的【具體實施方式】，所述光纖YAG探針和柔性光纜包括光纖束，所述光 纖束由每根誤差不超5%的Φ0. 01mm或更細的均勻截面的光纖絲排列緊箍成Φ5πιπι或更細 的束，每根光纖絲從光纖YAG探針到柔性光纜、再到信號輸出端，都是沒有接頭且按同樣排 列序號在整個光纖束的各個截面中排列。
[0012] 根據本發明的【具體實施方式】，所述光纖YAG探針包括光纖YAG探頭、探針尾座和探 針桿體，其中，所述光纖YAG探頭位于所述探針桿體的前端；所述探針尾座將所述探針桿體 在水平方向上緊固在所述探頭水平運動定位裝置的前端部并使YAG探針無任何轉動。
[0013] 根據本發明的【具體實施方式】，所述探針尾座包括探針尾端光纖束固定環和固定連 接桿，所述探針尾端光纖束固定環固接在探針桿體的后端，固定連接桿固定連接在探針尾 端光纖固定環的外圍。
[0014] 根據本發明的【具體實施方式】，所述探針桿體包括光纖束、涂覆在光纖束外側的真 空絕緣密封材料涂層以及在涂層外側的彈性皮層，所述彈性皮層由彈性真空材料纏繞。
[0015] 根據本發明的【具體實施方式】，所述光纖YAG探頭包括鍍在光纖束的前端面的YAG 薄層，在薄層的外表面設置有一個鑰薄層。
[0016] 根據本發明的【具體實施方式】，在光纖YAG探頭的前端的外圍設置有探針前端光纖 束固定環和探頭保護環，所述探頭保護環部分疊置于探針前端光纖束固定環的外端部。
[0017] 根據本發明的【具體實施方式】，所述圖像輸出檢測裝置包括在所述觀察窗的位置密 封的透明光學元件、位于腔體主體外側且正對著觀察窗的CCD相機，以及固定在腔體主體 下支撐CCD相機的檢測儀器支持平臺。
[0018] 根據本發明的【具體實施方式】，所述柔性光纜包括由所述光纖YAG探針延伸出來的 光纖束、光纖束外側涂覆的真空材料外涂層以及光纖束末端緊固的光纖束末端卡環，所述 光纖束末端卡環用真空膠粘接固定在腔體主體的內側的觀察窗的透明光學元件內側面的 中央位置。
[0019] 根據本發明的【具體實施方式】，所述探頭水平運動定位裝置位于所述腔體主體的后 端的中央上部，包括探頭水平運動線性軸承、帶有長波紋管的運動拉桿密封裝置、伺服電機 系統、探頭運動定位拉桿及光學平臺，其中，所述探頭運動拉桿通過所述運動拉桿密封裝置 和所述拉桿密封裝置的配合伸入腔體主體的內部；所述伺服電機系統在所述光學平臺上帶 動所述探頭運動定位拉桿水平運動。
[0020] (三）有益效果
[0021] 其一，本發明能測量電子傳輸通道直徑為1〇_以下至1_左右的的超高頻微波電 真空器件的電子槍以及傳輸過程中電子注的電子光學性能的設備，對研究設計新型超高頻 微波電真空器件的發展能起到很重要作用。
[0022] 其二，本發明可以作為一個部件提供大型多功能橫向的強流電子注分析器作為關 鍵的細束電子注探測器使用，大大提高了強流電子注分析器的應用領域。
[0023] 其三，本發明具有很高的空間分辨率，能達到0. 03mm。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0024] 圖1是傳統的小型強流電子注截面測量系統的結構示意圖；
[0025] 圖2是圖1所示的強流電子注截面測量系統的熒光屏機構的示意圖；
[0026] 圖3是本發明用于強流電子注微小截面光纖YAG探頭的探測裝置的一個實施例的 不意圖，該圖為主視圖；
[0027] 圖4是圖3的俯視圖；
[0028] 圖5是本發明的光纖YAG探針、柔性光纜的結構示意圖；
[0029] 圖6是本發明的光纖YAG探頭的結構示意圖。
[0030] 附圖標記說明：
[0031] 400.高真空腔體，401.前接口，402.觀察窗，403.拉桿密封裝置，404.腔體主體， 405.排氣管道，406.高真空排氣系統，407.座架。
[0032] 100.光纖YAG探針，110.光纖YAG探頭，111. YAG薄層，112.鑰薄層，113.探針前 端光纖束固定環，114.探頭保護環，120.探針尾座，121.探針尾端光纖束固定環，122.固定 連接桿，130.探頭桿體，101.光纖束，102.涂層，131.彈性皮層。
[0033] 200.柔性光纜，201.光纖束，202.涂層，203.光纖束末端卡環，300.圖像輸出檢測 裝置，301.透明光學元件，302. (XD相機，303檢測儀器支持平臺。
[0034] 500.探頭水平運動定位裝置，501.探頭水平運動線性軸承，502.運動拉桿密封裝 置，503.伺服電機系統，504.探頭運動定位拉桿，505.光學平臺。

【具體實施方式】
[0035] 為了解決上述技術問題，本發明提供了強流電子注微小截面光纖探頭的探測裝 置，該裝置包括高真空腔體400,光纖YAG探針100,柔性光纜200,圖像輸出檢測裝置300， 探頭水平運動和定位裝置500。
[0036] 所述高真空腔體400橫向安置，包括相對的前后兩端，前端用于連接所述被測電 子注漂移管，后端用于安置探頭水平運動和定位裝置500 ;所述探頭水平運動定位裝置500 從所述高真空腔體400的后端插入所述高真空腔體400內，固定連接所述光纖YAG探針 100,使所述光纖YAG探針100的前端能夠正對所述被測電子注漂移管并沿著所述高真空腔 體400的軸向定位和運動；所述光纖YAG探針100通過所述柔性光纜200連接至位于所述 高真空腔體400外部的圖像輸出檢測裝置300 ;所述圖像輸出檢測裝置300用于采集光纖 YAG探針100的前端端面上的由所述被測電子注漂移管中行進的電子注電流強度分布轉化 的光學圖像。
[0037] 圖3是本發明的強流電子注微小截面光纖YAG探頭探測裝置的一個實施例的示 意圖，該圖為主視圖，圖4是圖3的俯視圖。如圖3、4所示，該探測裝置包括一個高真空腔 體400、光纖YAG探針100、柔性光纜200、圖像輸出檢測裝置300、探頭水平運動和定位裝置 500。
[0038] 其中，所述高真空腔體400包括前接口 401、觀察窗402、拉桿密封裝置403、腔體主 體404,還可進一步包括座架405、排氣管道406和高真空排氣系統407。腔體主體404橫向 水平放置，包括相對的前后兩端，其前端具有接口 401，用于連接被測器件的電子注漂移管， 便于使光纖YAG探針100從腔體主體404中伸進該漂移管檢測不同截面的電子注截面電流 密度分布。腔體主體404的后部側面中間有一個觀察窗402,作為輸出及檢測電子注光學圖 像的窗口。在腔體主體404的后端的正上方設置有一個拉桿密封裝置403,例如是真空密 封法蘭盤。高真空腔體400還包括高真空排氣系統407,高真空排氣系統407通過排氣管 道406從腔體主體404的前端的側面接入高真空腔體400,該排氣系統407由機械泵、分子 泵、離子泵、高真空閥門和高真空管道等組成，能在整體裝置的工作狀態時使所述腔體主體 404的真空度達到優于IX l(T6Pa，此外高真空腔體400還配有用于固定腔體主體404的座 架405,座架405能保證本發明在排氣和工作時腔體400沒有振動和位移。
[0039] 所述光纖YAG探針100、柔性光纜200、圖像輸出檢測裝置300是本發明的核心部 分。所述光纖YAG探針100和柔性光纜200主要包括高質量光學性能的光纖束101、201，在

【具體實施方式】中，光纖束由每根誤差不超5%的Φ0. 01mm或更細的均勻截面的光纖絲按一 定截面排列緊箍成Φ5_或更細的束，束截面根據被測器件電子漂移管的孔徑決定。每根 光纖絲從光纖YAG探針100到柔性光纜200、再到信號輸出端，都是沒有接頭且按同樣排列 序號在整個光纖束的各個截面中排列。光纖絲之間嚴格沒有光信號相互干擾，且光纖束外 層涂有真空絕緣材料薄層保護。
[0040] 圖5是光纖YAG探針100的示意圖。如圖所示，光纖YAG探針100包括光纖YAG探 頭110、探針尾座120和探針桿體130。光纖YAG探針100被安置于腔體主體404的中央， YAG探頭110將電子注截面電流強度分布圖像轉變為光的強度分布圖像。所述光纖YAG探 頭110位于所述探針桿體130的前端；探針尾座120包括探針尾端光纖束固定環121、固定 連接桿122,探針尾端光纖束固定環121固接在探針桿體130的后端，固定連接桿122固定 連接在探針尾端光纖固定環121的外圍。探針尾座120將探針桿體130在水平方向上緊固 在探頭水平運動定位裝置500的前端部并使YAG探針100無任何轉動。隨著探頭水平運動 定位裝置500的精確定位、移動，YAG探針100可伸入被測器件的電子注漂移管中往返精確 定位、運動。
[0041] 所述探針桿體130包括光纖束101、涂覆在光纖束101外側的真空絕緣密封材料涂 層102以及在涂層102外側的彈性皮層131。彈性皮層131可由具有彈性的彈簧鋼帶薄帶 或其它彈性真空材料纏繞，用于支持探針桿體130的準直狀態并能輕微彈性彎曲，便于光 纖YAG探針100在與探頭100直徑接近的被測器件電子注漂移管內伸縮。彈性皮層的一個 重要功能是導走光纖YAG探頭110上轟擊的電子注電流，防止YAG薄層上電子堆集，拒斥電 子對突光屏的轟擊。
[0042] 圖6是光纖YAG探頭110的結構示意圖。如圖6所示，光纖YAG探頭110包括鍍 在光纖束101平整光滑的前端面的YAG薄層111，在薄層111的外表面設置有一個鑰薄層 112,在探頭110的前端的外圍設置有探針前端光纖束固定環113和探頭保護環114,探頭保 護環114部分疊置于探針前端光纖束固定環113的外端部。探頭110的作用是用于探測被 測器件電子注的截面電流分布，并將其轉化為光學圖像。
[0043] 如圖4所示，圖像輸出檢測裝置300,包括在觀察窗402的位置密封的透明光學元 件301、位于腔體主體404外側且正對著觀察窗402的C⑶相機302,以及固定在腔體主體 404下支撐(XD相機302的檢測儀器支持平臺303。C⑶相機302用于檢測并記錄下光纖束 201末端的光學圖像。透明光學元件301例如是平面光學玻璃。
[0044] 如圖3、圖4所示，柔性光纜200包括光纖YAG探針100延伸出來，由同束光纜的光 纖絲束101延伸的光纖束201、光纖束外側涂覆的真空材料外涂層202以及光纖束末端緊固 的光纖束末端卡環203。如前所述其中201就是光纖束101的同一個延長束，外涂層202就 是102同樣外涂層，但是這條延長的光纜較柔軟，可盤疊在腔體主體404底部，可將光纖YAG 探頭轉換的光學圖像無失真地傳遞到光纖束末端平整的端面上。光纖束末端卡環203用真 空膠粘接固定在腔體主體404側面觀察窗402的透明光學元件301內側面的中央位置。整 條光纜從探針100開始，其每根光纖絲在光纖束中截面排列形狀、位置順序都嚴格一致，每 根絲都粗細均勻且無接頭。使探頭110轉換的光學圖像精確地傳遞到光纖束末端端面上。
[0045] 所述圖像輸出檢測裝置300是由透明光學元件301、光學圖像檢測儀器(XD3 02、 支持(XD 302的檢測儀器平臺303組成的。透明光學元件301直接真空密封在觀察窗402 的法蘭盤上，CCD 302透過該玻璃301直接采集光纖束末端端面上的電子注電流強度分布 所轉化的光學圖像。
[0046] 如圖3、圖4所示，探頭水平運動定位裝置500位于腔體主體404的后端的中央上 部，包括探頭水平運動線性軸承501、帶有長波紋管的運動拉桿密封裝置502、伺服電機系 統503、探頭運動定位拉桿504及光學平臺505。探頭運動拉桿504通過運動拉桿密封裝置 502和拉桿密封裝置403的配合伸入腔體主體404的內部。伺服電機系統503在光學平臺 505上帶動探頭運動定位拉桿504水平運動，從而帶動光纖YAG探針100在所測器件的電子 漂移管中精確運動定位。其中光學平臺505、線性軸承501保證了運動拉桿504在運動中的 橫向水平平行度。伺服電機系統503保證了運動拉桿在運動中的精確位移及定位，精度在 0. 05mm以內。在運動拉桿504的端部通過固定連接桿122,可牢靠固定探針尾座的探針尾 端光纖固定環121并保證帶動探針100沒有轉動，同步與拉桿504精確運動定位。
[0047] 本發明工作原理
[0048] 本發明利用YAG晶體受激時發出550nm波長黃綠色光的特性，以及現代光纖通訊 可做出直徑〇. 01mm以下高質量光學性能光纖絲并做成極緊密排列的大容量傳輸光信息的 光纖光纜的技術成果和工作原理。
[0049] 1、利用YAG晶體受激發出550nm波長黃綠光的特性：在本發明具體實施例中用到 兩種形式。
[0050] 其一是在電子注調制電壓在40kV以下時，我們采用電子注直接轟擊YAG晶體發光 的形式。YAG晶體薄層厚度0. 1?0. 5mm，在YAG薄層前鍍鑰薄層大約0. 1?1 μ m左右使 入射電子注能量減低至10keV以下，再轟擊YAG晶體激發出黃綠光。在這種狀態下電子注 電流密度分布與受激YAG晶體發光的強度分布是成正比的，借用光強度分布圖像來檢測電 子注電流密度分布圖像。本實施例中鑰薄層還可以阻擋電子槍加熱陰極發出的紅光透過陽 極孔形成的干擾。在本實施例中也要根據不同電子注調制電壓選擇不同厚度鑰薄層，防止 電子注透不過鑰層或光圖像太暗不便于測量。
[0051] 其二是如果電子注調制電壓高于40kV時，就要采用X光軔致輻射方式。選擇較厚 的鑰層，使電子注轟擊鑰片產生X光再由X光激發YAG晶體發出550nm波長的黃綠光圖像， 同樣的，可借用光強度分布圖像來檢測電子注電流密度分布圖像。要指出的是X光軔致輻 射產生的YAG光圖像空間分辨率要低于電子注直接轟擊YAG晶體發光產生的空間分辨率， 且與鑰層厚度有關。這一方式中，電子無法穿過鑰層，鑰層厚度一般為數微米到數百微米。 值得注意的是，鑰層太厚會導致X光被鑰層吸收無法在YAG晶體上形成黃綠光圖像。要強 調指出的是，為了防止過高能量的電子注損壞YAG晶體及鑰層，在本實施例中我們使用的 電子注調制電壓是單脈沖窄脈寬方式，脈寬從數百納秒到數微秒。
[0052] 2、利用現代通訊中的光纖技術。目前光纖絲可做到直徑小于0. 01mm，光纖絲之間 信息互不干擾，更方便的是光線可以在光纖中曲線傳輸。在本實施例中可使光纖YAG探頭 直徑在數毫米以下，并獲得高的空間分辨率，還可以將高真空腔體做的短小。
[0053] 與現有技術相比，本發明的有益效果是：
[0054] 其一，可制作使用接近高頻微波電真空器件強流電子注細束的漂移管口徑的尺寸 并深入電子注通道中的光纖YAG探頭，實現對直徑小于10_以致1_左右的器件電子注漂 移管中電子槍以及電子注聚焦傳輸過程中的電子光學性能進行探測，這是現有設備無法實 現的。
[0055] 其二，可以得到電子注截面空間分辨率達到0. 03mm以內的高分辨率水平，滿足精 確分析研究的目的。
[0056] 其三，實現光路曲線傳播，可減少腔體主體的尺寸，節省檢測輔助的成本及空間， 同時也減少了以往在檢測記錄圖像傳輸過程中過長光路、光學儀器的折射聚焦過程以及產 生的象差和畸變。
[0057] 其四，本發明可作為一個部件將光纖探針100、柔性光纜200、圖像輸出檢測裝置 300接入橫向強流電子注分析儀中使用。
[0058] 以上所述的具體實施例，對本發明的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳 細說明，應理解的是，以上所述僅為本發明的具體實施例而已，并不用于限制本發明，例如 光纖YAG探頭的YAG晶體可用其它高分辨率熒光物質替代；又如為減少電子轟擊能量所加 的金屬鑰薄層可用其它金屬不銹鋼、無氧銅等替代；再如電子注通道不是圓形而制作的變 形截面光纖YAG探頭等。凡在本發明的精神和原則之內，所做的任何修改、等同替換、改進 等，均應包含在本發明的保護范圍之內。
【權利要求】
1. 一種強流電子注微小截面光纖YAG探頭探測裝置，用于探測被測電子注漂移管中行 進的電子注的電子光學性能，其特征在于，包括高真空腔體（400)、光纖YAG探針（100)、柔 性光纜（200)、圖像輸出檢測裝置（300)和探頭水平運動定位裝置（500);其中， 所述高真空腔體（400)橫向安置，包括相對的前后兩端，前端用于連接所述被測電子 注漂移管，后端用于安置所述探頭水平運動定位裝置（500): 所述探頭水平運動定位裝置（500)從所述高真空腔體（400)的后端插入所述高真空腔 體（400)內，固定連接所述光纖YAG探針（100)，使所述光纖YAG探針（100)的前端能夠正 對所述被測電子注漂移管并沿著所述高真空腔體（400)的軸向定位和運動； 所述光纖YAG探針（100)通過所述柔性光纜（200)連接至位于所述高真空腔體（400) 外部的圖像輸出檢測裝置（300); 所述圖像輸出檢測裝置（300)用于采集光纖YAG探針（100)的前端端面上的由所述被 測電子注漂移管中行進的電子注電流強度分布，并轉化為光學圖像。
2. 如權利要求1所述的強流電子注微小截面光纖YAG探頭探測裝置，其特征在于，所 述高真空腔體（400)包括前接口（401)、觀察窗（402)、拉桿密封裝置（403)和腔體主體 (404)，其中， 所述腔體主體（404)橫向水平放置，包括相對的前后兩端； 所述前接口（401)位于所述腔體主體（404)的前端，用于連接所述被測器件漂移管； 所述觀察窗（402)位于所述腔體主體（404)的后部側面中間，作為輸出電子注光學圖 像的窗口； 所述拉桿密封裝置（403)位于所述腔體主體（404)的后端的正上方，用于真空密封所 述探頭水平運動定位裝置（500)。
3. 如權利要求1所述的強流電子注微小截面光纖YAG探頭探測裝置，其特征在于，所 述光纖YAG探針（100)和柔性光纜（200)包括光纖束，所述光纖束由每根誤差不超5%的 Φ 0· 01mm或更細的均勻截面的光纖絲排列緊箍成Φ 5mm或更細的束，每根光纖絲從光纖 YAG探針（100)到柔性光纜（200)、再到信號輸出端，都是沒有接頭且按同樣排列序號在整 個光纖束的各個截面中排列。
4. 如權利要求1所述的強流電子注微小截面光纖YAG探頭探測裝置，其特征在于，所述 光纖YAG探針（100)包括光纖YAG探頭（110)、探針尾座（120)和探針桿體（130)，其中， 所述光纖YAG探頭（110)位于所述探針桿體（130)的前端； 所述探針尾座（120)將所述探針桿體（130)在水平方向上緊固在所述探頭水平運動定 位裝置（500)的前端部。
5. 如權利要求4所述的強流電子注微小截面光纖YAG探頭探測裝置，其特征在于，所述 探針尾座（120)包括探針尾端光纖束固定環（121)和固定連接桿（122)，所述探針尾端光纖 束固定環（121)固接在探針桿體（130)的后端，所述固定連接桿（122)固定連接在探針尾 端光纖固定環（121)的外圍。
6. 如權利要求4或5所述的強流電子注微小截面光纖YAG探頭探測裝置，其特征在于， 所述探針桿體（130)包括光纖束（101)、涂覆在光纖束（101)外側的真空絕緣密封材料涂 層（102)以及在涂層（102)外側的彈性皮層（131)，所述彈性皮層（131)由彈性真空材料纏 繞。
7. 如權利要求4所述的強流電子注微小截面光纖YAG探頭探測裝置，其特征在于，所 述光纖YAG探頭（110)包括鍍在光纖束（101)的前端面的YAG薄層（111)，在所述YAG薄層 (111)的外表面設置有一個鑰薄層（112)。
8. 如權利要求7所述的強流電子注微小截面光纖YAG探頭探測裝置，其特征在于，在光 纖YAG探頭（110)的前端的外圍設置有探針前端光纖束固定環（113)和探頭保護環（114)， 所述探頭保護環（114)部分疊置于探針前端光纖束固定環（113)的外端部。
9. 如權利要求2所述的強流電子注微小截面光纖YAG探頭探測裝置，其特征在于，所述 圖像輸出檢測裝置（300)包括在所述觀察窗（402)的位置密封的透明光學元件（301)、位于 腔體主體（404)外側且正對著觀察窗（402)的CCD相機（302)，以及固定在腔體主體（404) 下支撐CCD相機（302)的檢測儀器支持平臺（303)。
10. 如權利要求9所述的強流電子注微小截面光纖YAG探頭探測裝置，其特征在于，所 述柔性光纜（200)包括由所述光纖YAG探針（100)延伸出來的光纖束（201)、光纖束外側涂 覆的真空材料外涂層（202)以及光纖束末端緊固的光纖束末端卡環（203)，所述光纖束末 端卡環（203)固定在腔體主體（404)的內側的觀察窗（402)的透明光學元件（301)的中央 位置。
11. 如權利要求2-5中任一項所述的強流電子注微小截面光纖YAG探頭探測裝置，其特 征在于， 所述探頭水平運動定位裝置（500)位于所述腔體主體（404)的后端的中央上部，包 括探頭水平運動線性軸承（501)、帶有長波紋管的運動拉桿密封裝置（502)、伺服電機系統 (503)、探頭運動定位拉桿（504)及光學平臺（505)，其中， 所述探頭運動拉桿（504)通過所述運動拉桿密封裝置（502)和所述拉桿密封裝置 (403)的配合伸入腔體主體（404)的內部； 所述伺服電機系統（503)在所述光學平臺（505)上帶動所述探頭運動定位拉桿（504) 水平運動。
【文檔編號】G01M11/02GK104142225SQ201410383766
【公開日】2014年11月12日 申請日期:2014年8月6日 優先權日:2014年8月6日
【發明者】阮存軍, 李慶生, 李崇山 申請人:中國科學院電子學研究所