專利名稱：一種基板玻璃厚度在線測量儀的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及測量儀，尤其是一種基板玻璃厚度在線測量儀。
背景技術：
目前，TFT-IXD液晶顯示器用基板玻璃是新一代各種液晶平板顯示器件(面板)的關鍵基礎材料，此關鍵基礎材料過去一直由國外幾家大型玻璃廠商壟斷技術和市場，并對中國施行技術封鎖。近一兩年，國內相關廠家通過自主研發創新，打破國外的技術封鎖，在基板玻璃的生產工藝、設備配套等方面開始形成自主的產業鏈條，使TFT-IXD液晶顯示器用基板玻璃有了自主的民族產業。由于基板玻璃是國內的新興產業，所有配套的設備多數是按照此行業的國內自主工藝技術的特殊性而有針對性研制開發的。TFT-LCD基板玻璃生產線厚度在線測量儀就是這樣一類新研制開發的設備。是根據國內自主工藝技術特點，適應國內自主生產工藝，在設備的結構組成、工作方式均有自己的原創性。據資料查證，TFT-IXD基板玻璃生產線厚度在線測量，在國外只有美國康寧和日本的西山不銹株式會社有相關設備的資料記錄，但這兩家公司設備的工作方式和檢測原理均與本設備產品有所不同。

實用新型內容本實用新型的目的是為了克服一般激光測量探頭的使用受到其檢測原理的限制， 在使用方式、安裝方式、被測目標的位置都受到局限，提供一種基板玻璃厚度在線測量儀， 確保激光三角測量方式在基板玻璃在線測量的實現、并能達到μ m級的檢測精度，從而滿足對產品的表面質量、光學特性、厚度公差、平整度、應力指標的要求；同時對MCV連續輸送線上的每一片基板玻璃進行在線厚度測量，并將測量數據通過計算機網絡實時發送至前工程成型控制工段，以幫助成型工段的成型質量控制，及時調整各相關控制參數穩定基板玻璃的厚度及玻璃板面的厚薄差。本實用新型為了實現上述目的，采用如下的技術方案一種基板玻璃厚度在線測量儀，是由測厚儀框架，測厚儀主控制柜，顯示器，工控機主機，鍵盤鼠標，狀態指示燈，操作按鈕，MCV運載小車，被測基板玻璃，基板穩定夾持裝置，激光測量裝置，激光探頭安裝及調節裝置，激光探頭運動裝置，測厚儀可調節防震地腳，BOD工段MCV輸送線構成；測厚儀框架一側設置測厚儀主控制柜，測厚儀主控制柜上部設置顯示器，顯示器上方設置狀態指示燈，顯示器兩側設置操作按鈕，顯示器下方設置工控機主機，工控機主機下方設置鍵盤鼠標；測厚儀框架后上方設置BOD工段MCV輸送線，BOD工段MCV輸送線頂部的一側設置MCV 運載小車，MCV運載小車下端豎向設置被測基板玻璃，被測基板玻璃下端的一側設置基板穩定夾持裝置在測厚儀框架的后部，基板穩定夾持裝置內側設置激光測量裝置，激光測量裝置內側設置激光探頭安裝及調節裝置，激光探頭安裝及調節裝置下端設置激光探頭運動裝置；測厚儀框架底部設置測厚儀可調節防震地腳。[0007]本實用新型的工作原理是一種基板玻璃厚度在線測量儀安裝在TFT-LCD基板玻璃生產線的BOD工段，具體位于MCV輸送線的基板玻璃重量檢測工位與VGC縱切機之間。厚度檢測工位與MCV輸送線平行，測厚儀基價機家架、主控制機柜與被測玻璃基板平行放置。當玻璃基板重量檢測完成輸送至厚度檢測工位，測厚儀與MCV輸送控制系統連鎖控制，使玻璃基板準確停車定位在厚度測量工位并發出定位完成信號至測厚儀控制柜，測厚儀在接到測量準備就緒信號后啟動玻璃穩定夾持機構對玻璃基板的非品質區進行夾持穩定。根據玻璃基板的成型質量好壞(翹曲平整度)可選擇點接觸夾持機構和面接觸夾持機構，即最大限度的減少與玻璃基板的接觸面積，又可滿足激光探頭要求的檢測范圍指標， 提高檢測的可靠性和檢測精度。當玻璃基板在測厚工位被夾持機構穩定定位后，測厚儀控制系統控制激光探頭的驅動機構帶動激光探頭沿被測玻璃基板的品質區一水平方向掃描運動，同時計算機控制激光探頭打開檢測激光并以設定的間距采集厚度測量信號送至計算機分析處理，激光探頭沿設定距離掃描檢測結束后，夾持機構打開被測玻璃基板同時向MCV控制系統發出信號將玻璃基板送出厚度檢測工位結束厚度檢測。采集的厚度測量信號送至計算機后，計算機程序以設定的采集間距采集測量信號號，并對采集數據分析排序，確定正常數據和非正常數據形成一組被測玻璃厚度數值，并將此組數據按檢測時間、檢測位置、實際測量數據的等分項存入本地數據庫。每次測量的一組實時數據還以不同的形式顯示在計算機界面上，可以數據表格、數據柱狀圖、數據變化趨勢曲線圖、二維顏色數據變化趨勢圖等方式表示。并對異常檢測數據以不同的顏色報警顯示。 同時通過工廠MIS系統將每組被測玻璃厚度數值實時送至前工程的成型控制工藝段，以供工藝數據的調整。在本地數據庫中的所有檢測數據都可以以歷史數據的形式進行查詢調閱，并可以實時數據相同的形式在計算機界面上進行歷史數據的顯示，以供生產部門查詢生產歷史數據。本實用新型的有益效果是“TFT_LCD基板玻璃厚度在線測量儀”由測厚儀機架和控制柜兩部分組成，測厚儀機架和控制柜均沿BOD工段MCV輸送線放置安裝，測厚儀與MCV 小車聯鎖控制，實現每一片基板玻璃的定位測量功能。針對TFT-LCD基板玻璃的生產特點和品質要求首次采用激光測量傳感器進行基板玻璃在線厚度測量并達到μm級檢測精度。針對TFT-LCD基板玻璃的生產特點，開發設計了基板玻璃夾持穩定機構，以保證激光測量傳感器在測量時的檢測穩定性和檢測精度。針對TFT-LCD基板玻璃的生產特點，開發設計了測量傳感器的安裝調整機構、掃描運動傳動機構，使激光測量傳感器能夠在線穩定可靠運行并達到可靠的檢測精度。根據TFT-LCD基板玻璃的生產工藝需求，開發設計了全套控制程序軟件，快速準確的為生產工藝提供可靠的檢測數據。本實用新型應用于FPD顯示器中TFT-IXD液晶顯示器用基板玻璃生產線在線厚度測量。是目前占據技術、市場主導地位的FPD平板電視、平板電腦顯示器、各種液晶顯示器件的關鍵基礎材料領域。
以下結合附圖對本實用新型作進一步說明[0017]

圖1是本實用新型的正視結構示意圖；圖2是本實用新型的側視結構示意圖；圖1、2中測厚儀框架1，測厚儀主控制柜2，顯示器3，工控機主機4，鍵盤鼠標5， 狀態指示燈6，操作按鈕7，MCV運載小車8，被測基板玻璃9，基板穩定夾持裝置10，激光測量裝置11，激光探頭安裝及調節裝置12，激光探頭運動裝置13，測厚儀可調節防震地腳14， BOD工段MCV輸送線15。
具體實施方式
以下結合附圖與具體實施方式
對本實用新型作進一步說明如圖所示，測厚儀框架1 一側設置測厚儀主控制柜2，測厚儀主控制柜2上部設置顯示器3，顯示器3上方設置狀態指示燈6，顯示器3兩側設置操作按鈕7，顯示器3下方設置工控機主機4，工控機主機4下方設置鍵盤鼠標5 ；測厚儀框架1后上方設置BOD工段MCV 輸送線15，B0D工段MCV輸送線15頂部的一側設置MCV運載小車8，MCV運載小車8下端豎向設置被測基板玻璃9，被測基板玻璃9下端的一側設置基板穩定夾持裝置10在測厚儀框架1的后部，基板穩定夾持裝置10內側設置激光測量裝置11，激光測量裝置11內側設置激光探頭安裝及調節裝置12，激光探頭安裝及調節裝置12下端設置激光探頭運動裝置13 ；測厚儀框架1底部設置測厚儀可調節防震地腳14。
權利要求1.一種基板玻璃厚度在線測量儀，是由測厚儀框架(1)，測厚儀主控制柜O)，顯示器(3)，工控機主機(4)，鍵盤鼠標(5)，狀態指示燈(6)，操作按鈕(7)，MCV運載小車(8)， 被測基板玻璃(9)，基板穩定夾持裝置(10)，激光測量裝置(11)，激光探頭安裝及調節裝置 (12)，激光探頭運動裝置(13)，測厚儀可調節防震地腳(14) ,BODIgMCV輸送線(15)構成，其特征在于測厚儀框架(1) 一側設置測厚儀主控制柜O)，測厚儀主控制柜( 上部設置顯示器(3)，顯示器C3)上方設置狀態指示燈(6)，顯示器C3)兩側設置操作按鈕(7)， 顯示器C3)下方設置工控機主機G)，工控機主機(4)下方設置鍵盤鼠標(5)。
2.根據權利要求1所述的一種基板玻璃厚度在線測量儀，其特征在于測厚儀框架(1) 后上方設置BOD工段MCV輸送線(12)，BOD工段MCV輸送線(1 頂部的一側設置MCV運載小車(8)，MCV運載小車(8)下端豎向設置被測基板玻璃(9)，被測基板玻璃(9)下端的一側設置基板穩定夾持裝置(10)在測厚儀框架(1)的后部，基板穩定夾持裝置(10)內側設置激光測量裝置(11)，激光測量裝置(11)內側設置激光探頭安裝及調節裝置(12)，激光探頭安裝及調節裝置(1 下端設置激光探頭運動裝置(12) ；測厚儀框架(1)底部設置測厚儀可調節防震地腳(14)。
專利摘要一種基板玻璃厚度在線測量儀，確保激光測量方式在基板玻璃在線測量的實現、并能達到μm級的檢測精度，從而滿足對產品的表面質量、光學特性、厚度公差、平整度、應力指標的要求；同時對MCV連續輸送線上的每一片基板玻璃進行在線厚度測量，并將測量數據通過計算機網絡實時發送至前工程成型控制工段，及時調整各相關控制參數穩定基板玻璃的厚度及玻璃板面的厚薄差。它是由測厚儀框架，測厚儀主控制柜，顯示器，工控機主機，鍵盤鼠標，狀態指示燈，操作按鈕，MCV運載小車，被測基板玻璃，基板穩定夾持裝置，激光測量裝置，激光探頭安裝及調節裝置，激光探頭運動裝置，測厚儀可調節防震地腳，BOD工段MCV輸送線構成。
文檔編號G01B11/06GK201955067SQ20102067343
公開日2011年8月31日 申請日期2010年12月22日 優先權日2010年12月22日
發明者李健鵬, 談軍, 趙小力 申請人:洛陽同邦自動化設備有限公司