一種真空壓力控制裝置的制造方法
【專利摘要】一種真空壓力控制裝置，屬于抽真空技術領域。該真空壓力控制裝置包括反應腔體，真空管路Ⅰ，氣動角閥，真空波紋管，電動蝶閥，真空管路Ⅱ和真空泵，所述真空管路Ⅰ由水平方向管路和豎直方向管路連接組成，反應腔體與水平方向的真空管路Ⅰ固定密封連接，并且反應腔體與真空管路相通，所述真空管路Ⅰ的水平和豎直方向的拐角處設置有氣動角閥，所述真空波紋管分別與豎直方向的真空管路Ⅰ和真空管路Ⅱ連接，所述真空管路Ⅱ設置有電動蝶閥，真空管路Ⅱ與真空泵連接。本實用新型采用氣動角閥和電動蝶閥控制反應腔體的壓力，氣動角閥失電時，自動隔斷反應腔體和真空管路，電動蝶閥可以逐步打開和控制開度有助于保持反應腔體在工作時壓力穩定不變。
【專利說明】
一種真空壓力控制裝置
技術領域
[0001]本實用新型屬于抽真空技術領域，特別涉及一種真空壓力控制裝置。
【背景技術】
[0002]等離子表面處理作為提升材料表面性能有效方法被廣泛應用于航空航天、汽車制造、機械重工和五金工具制造等領域。在等離子表面處理過程中，需要在真空條件下，所以要將反應腔體內抽真空，并保持恒定壓力。在通常情況下，只采用電動閘板閥控制開度來調節反應腔體的真空壓力，但是一旦發生停電或者其他異常情況需緊急切斷電源時，電動閘板閥因失去電驅動力而保持在原有位置無法關閉，不能隔斷反應腔體和真空管路，造成反應腔體內壓力無法繼續保持，進而造成反應腔體內工件受損。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型的目的是克服上述不足，提供一種可以在停電等異常情況下迅速隔斷反應腔體與真空管道，保持反應腔體壓力，避免反應腔體內工件受損的真空壓力控制裝置。
[0004]本實用新型為實現上述目的所采用的技術方案是:一種真空壓力控制裝置，其特征在于:包括反應腔體，真空管路I，氣動角閥，真空波紋管，電動蝶閥，真空管路Π和真空栗，所述真空管路I由水平方向管路和豎直方向管路連接組成，反應腔體與水平方向的真空管路I固定密封連接，并且反應腔體與真空管路相通，所述真空管路I的水平和豎直方向的拐角處設置有氣動角閥，所述真空波紋管分別與豎直方向的真空管路I和真空管路Π連接，所述真空管路Π設置有電動蝶閥，真空管路Π與真空栗連接。
[0005]所述真空管路I和真空管路Π內徑范圍是50-150mm，材料是304不銹鋼。
[0006]所述氣動角閥包括氣缸，芯軸和閥蓋，所述芯軸下端與閥蓋固定連接，芯軸上端處于氣缸內，氣動角閥的閥蓋在豎直方向運動，氣動角閥內徑范圍為50-150mm。
[0007]所述真空波紋管的內徑范圍是50-150mm，材料是304不銹鋼，真空波紋管密封方式為波紋管軸封。
[0008]所述電動蝶閥采用電動高真空蝶閥，所述電動高真空蝶閥包括中線式蝶板，中軸和閥體，所述閥體設置有中軸，中線式蝶板與中軸旋轉連接，中線式蝶板的長度與閥體內徑等長，中線式蝶板打開角度范圍為0-90度，電動蝶閥的內徑范圍為50-150mm。
[0009]所述真空栗功率是8-15KW，抽速500-1500m3/h。
[0010]本實用新型采用氣動角閥和電動蝶閥控制反應腔體的壓力，當氣動角閥失電時，氣路斷開，氣動角閥自動關閉，隔斷反應腔體和真空管路，維持了反應腔體的壓力，電動蝶閥可以逐步打開和控制開度有助于保持反應腔體在工作時壓力穩定不變。
[0011 ]本實用新型具有的有益效果:
[0012](I)采用此真空壓力控制裝置，在出現停電等緊急情況時能迅速隔斷腔體和真空管路，避免對反應腔體內的工件造成損害。
[0013](2)此真空壓力控制裝置在反應腔體工作中，可以使反應腔體內壓力得到穩定控制。
[0014](3)電動蝶閥可以控制開度，在真空栗剛開始抽真空時，電動蝶閥預先打開一定角度，蝶閥兩側不會產生較大壓差，避免電動蝶閥無法順利打開或者發生抖動，這樣可以使壓力控制更為順利平穩。
【附圖說明】
[0015]圖1為一種真空壓力控制裝置結構示意圖。
[0016]圖2為一種真空壓力控制裝置氣動角閥關閉(左)和開啟(右)的結構示意圖
[0017]圖3為一種真空壓力控制裝置電動蝶閥關閉(左)和開啟(右)的結構示意圖
[0018]圖中:1、真空栗，2、真空管路Π，3、電動蝶閥，4、真空波紋管，5、氣動角閥，6、真空管路I，7、反應腔體，8、氣缸，9、芯軸，10、閥蓋，11、中線式蝶板，12、中軸，13、閥體。
【具體實施方式】
[0019]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步說明。
[0020]實施例1
[0021]如圖1-圖3所示，一種真空壓力控制裝置，包括反應腔體7，真空管路16，氣動角閥5，真空波紋管4，電動蝶閥3，真空管路Π 2和真空栗I，所述真空管路16由水平方向管路和豎直方向管路連接組成，反應腔體7與水平方向的真空管路16固定密封連接，并且反應腔體7與真空管路16相通，所述真空管路16的水平和豎直方向的拐角處設置有氣動角閥5，所述氣動角閥5包括氣缸8，芯軸9和閥蓋10，所述芯軸9下端與閥蓋1固定連接，芯軸9上端處于氣缸8內，氣動角閥5的閥蓋10在豎直方向運動，氣動角閥5內徑范圍為50mm。所述真空波紋管4分別與豎直方向的真空管路16和真空管路Π 2連接，所述真空波紋管4的內徑范圍是50mm，材料是304不銹鋼，真空波紋管4密封方式為波紋管軸封。所述真空管路Π 2設置有電動蝶閥3，所述電動蝶閥3采用電動高真空蝶閥，所述電動高真空蝶閥包括中線式蝶板11，中軸12和閥體13，所述閥體13設置有中軸12，中線式蝶板12與中軸12旋轉連接，中線式蝶板11的長度與閥體13內徑等長，中線式蝶板11打開角度范圍為0-90度，電動蝶閥3的內徑范圍為50mm。真空管路Π 2與真空栗I連接，所述真空栗I功率是8KW，抽速500m3/h。所述真空管路16和真空管路Π 2內徑范圍是50_，材料是304不銹鋼。
[0022]檢查設備水、電、氣路狀態，一切正常后開始操作，首先電動蝶閥3打開一個預定的角度，啟動真空栗I，當管路的真空度下降到預定壓力時，打開氣動角閥5，接通反應腔體7，接通反應腔體7后，反應腔體7內壓力開始下降，然后電動蝶閥3分多步逐漸打開。反應腔體7內壓力到達設定壓力時，電動蝶閥3自動控制開度，保持反應腔體7內壓力穩定不變。當出現停電或重大異常情況需緊急停止切斷電源時，氣動角閥5自動關閉，氣路斷開，氣動角閥5自動關閉，隔斷反應腔體7和真空管路16，待異常情況排除，電力恢復后，從新按照上述步驟操作，對反應腔體7進行抽真空。
[0023]實施例2
[0024]如圖1-圖3所示，一種真空壓力控制裝置，包括反應腔體7，真空管路16，氣動角閥5，真空波紋管4，電動蝶閥3，真空管路Π 2和真空栗I，所述真空管路16由水平方向管路和豎直方向管路連接組成，反應腔體7與水平方向的真空管路16固定密封連接，并且反應腔體7與真空管路16相通，所述真空管路16的水平和豎直方向的拐角處設置有氣動角閥5，所述氣動角閥5包括氣缸8，芯軸9和閥蓋10，所述芯軸9下端與閥蓋1固定連接，芯軸9上端處于氣缸8內，氣動角閥5的閥蓋10在豎直方向運動，氣動角閥5內徑范圍為I OOmm。所述真空波紋管4分別與豎直方向的真空管路16和真空管路Π 2連接，所述真空波紋管4的內徑范圍是100mm，材料是304不銹鋼，真空波紋管4密封方式為波紋管軸封。所述真空管路Π 2設置有電動蝶閥3，所述電動蝶閥3采用電動高真空蝶閥，所述電動高真空蝶閥包括中線式蝶板11，中軸12和閥體13，所述閥體13設置有中軸12，中線式蝶板11與中軸12旋轉連接，中線式蝶板11的長度與閥體13內徑等長，中線式蝶板11打開角度范圍為0-90度，電動蝶閥3的內徑范圍為100mm。真空管路Π2與真空栗I連接，所述真空栗I功率是11KW，抽速1000m3/h。所述真空管路16和真空管路Π 2內徑范圍是100mm，材料是304不銹鋼。
[0025]實施例3
[0026]如圖1-圖3所示，一種真空壓力控制裝置，包括反應腔體7，真空管路16，氣動角閥5，真空波紋管4，電動蝶閥3，真空管路Π 2和真空栗I，所述真空管路16由水平方向管路和豎直方向管路連接組成，反應腔體7與水平方向的真空管路16固定密封連接，并且反應腔體7與真空管路16相通，所述真空管路16的水平和豎直方向的拐角處設置有氣動角閥5，所述氣動角閥5包括氣缸8，芯軸9和閥蓋10，所述芯軸9下端與閥蓋1固定連接，芯軸9上端處于氣缸8內，氣動角閥5的閥蓋10在豎直方向運動，氣動角閥5內徑范圍為150mm。所述真空波紋管4分別與豎直方向的真空管路16和真空管路Π 2連接，所述真空波紋管4的內徑范圍是150mm，材料是304不銹鋼，真空波紋管4密封方式為波紋管軸封。所述真空管路Π 2設置有電動蝶閥3，所述電動蝶閥3采用電動高真空蝶閥，所述電動高真空蝶閥包括中線式蝶板11，中軸12和閥體13，所述閥體13設置有中軸12，中線式蝶板11與中軸12旋轉連接，中線式蝶板11的長度與閥體13內徑等長，中線式蝶板11打開角度范圍為0-90度，電動蝶閥3的內徑范圍為150mm。真空管路Π2與真空栗I連接，所述真空栗I功率是15KW，抽速1500m3/h。所述真空管路16和真空管路Π2內徑范圍是150_，材料是304不銹鋼。
【主權項】
1.一種真空壓力控制裝置，其特征在于:包括反應腔體(7)，真空管路1(6)，氣動角閥(5)，真空波紋管(4)，電動蝶閥(3)，真空管路Π (2)和真空栗(I)，所述真空管路1(6)由水平方向管路和豎直方向管路連接組成，反應腔體(7)與水平方向的真空管路1(6)固定密封連接，并且反應腔體(7)與真空管路1(6)相通，所述真空管路1(6)的水平和豎直方向的拐角處設置有氣動角閥(5)，所述真空波紋管(4)分別與豎直方向的真空管路I (6)和真空管路Π(2)連接，所述真空管路Π (2)設置有電動蝶閥(3)，真空管路Π (2)與真空栗(I)連接。2.根據權利要求1所述一種真空壓力控制裝置，其特征在于:所述真空管路1(6)和真空管路Π (2)內徑范圍是50-150mm，材料是304不銹鋼。3.根據權利要求1所述一種真空壓力控制裝置，其特征在于:所述氣動角閥(5)包括氣缸(8)，芯軸(9)和閥蓋(10)，所述芯軸(9)下端與閥蓋(10)固定連接，芯軸(9)上端處于氣缸(8)內，氣動角閥(5)的閥蓋(10)在豎直方向運動，氣動角閥(5)內徑范圍為50-150mm。4.根據權利要求1所述一種真空壓力控制裝置，其特征在于:所述真空波紋管(4)的內徑范圍是50-150mm，材料是304不銹鋼，真空波紋管(4)密封方式為波紋管軸封。5.根據權利要求1所述一種真空壓力控制裝置，其特征在于:所述電動蝶閥(3)采用電動高真空蝶閥，所述電動高真空蝶閥包括中線式蝶板(11 )，中軸(12)和閥體(13 )，所述閥體(13)設置有中軸(12)，中線式蝶板(11)與中軸(12)旋轉連接，中線式蝶板(11)的長度與閥體(I3)內徑等長，中線式蝶板(II)打開角度范圍為0-90度，電動蝶閥(3)的內徑范圍為50-150mmο6.根據權利要求1所述一種真空壓力控制裝置，其特征在于:所述真空栗(I)功率是8-15KW，抽速500-1500m3/h。
【文檔編號】F17D3/01GK205618994SQ201620437449
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2016年5月13日
【發明人】宗堅
【申請人】無錫榮堅五金工具有限公司