本(ben)發明(ming)涉(she)及(ji)氣(qi)體供(gong)(gong)應，特別涉(she)及(ji)一種氣(qi)體供(gong)(gong)應系(xi)統及(ji)氣(qi)體供(gong)(gong)應方法。

背景技術：

1、氣(qi)體(ti)(ti)(ti)供應(ying)是指將氣(qi)體(ti)(ti)(ti)從儲罐、氣(qi)瓶或管(guan)道(dao)中(zhong)(zhong)輸(shu)送到(dao)需(xu)要使用氣(qi)體(ti)(ti)(ti)的設備中(zhong)(zhong)。氣(qi)體(ti)(ti)(ti)供應(ying)通常會(hui)涉(she)及到(dao)氣(qi)體(ti)(ti)(ti)儲存設備、輸(shu)送管(guan)道(dao)、壓(ya)縮機、過濾器、調壓(ya)器、流量計、閥(fa)門等組件，以(yi)確(que)保(bao)氣(qi)體(ti)(ti)(ti)能夠安全(quan)、有效(xiao)地(di)輸(shu)送到(dao)目標位置。氣(qi)體(ti)(ti)(ti)供應(ying)系統廣泛應(ying)用于工(gong)業生產、實驗(yan)室研究、醫療保(bao)健、食品(pin)加工(gong)等領域(yu)。

2、對于氣(qi)(qi)體(ti)供應(ying)(ying)(ying)來說，保(bao)證供應(ying)(ying)(ying)的(de)(de)氣(qi)(qi)體(ti)的(de)(de)壓(ya)力值是(shi)很重要(yao)的(de)(de)。但(dan)是(shi)在現有的(de)(de)氣(qi)(qi)體(ti)供應(ying)(ying)(ying)系統中(zhong)，特別是(shi)采(cai)用(yong)液體(ti)/固(gu)體(ti)生成并(bing)供應(ying)(ying)(ying)氣(qi)(qi)體(ti)的(de)(de)設備中(zhong)，通(tong)常很難保(bao)證輸出氣(qi)(qi)體(ti)的(de)(de)壓(ya)力值在所需范圍內。

3、因此，亟(ji)需一種新的(de)氣體供(gong)應系統(tong)及(ji)氣體供(gong)應方法(fa)，能(neng)夠克服上(shang)述問題。

技術實現思路

1、鑒(jian)于(yu)上述問(wen)題，本發明的目(mu)的在于(yu)提供(gong)一種氣(qi)(qi)(qi)體供(gong)應系統及氣(qi)(qi)(qi)體供(gong)應方法，特別(bie)是一種控制槽罐車氨(an)氣(qi)(qi)(qi)輸出壓(ya)力(li)的方法，從(cong)而保證供(gong)應氣(qi)(qi)(qi)體的輸出壓(ya)力(li)值穩定在所(suo)需(xu)范圍(wei)內。

2、根據本發明的一方面，提供一種(zhong)氣體供應系統，包括：

3、罐體，所述罐體中儲存有待供(gong)應(ying)氣體；

4、供氣(qi)口，所述供氣(qi)口與所述罐(guan)體相連通(tong)，以(yi)向外界供應所述待(dai)供應氣(qi)體；

5、第(di)(di)一(yi)(yi)管(guan)道，所述(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)管(guan)道的第(di)(di)一(yi)(yi)端與所述(shu)罐體(ti)相連通(tong)，所述(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)管(guan)道的第(di)(di)二(er)端與所述(shu)供氣口(kou)相連通(tong)；

6、減壓器(qi)，所(suo)述減壓器(qi)設置在(zai)所(suo)述第(di)一(yi)管道(dao)上，并位于所(suo)述第(di)一(yi)管道(dao)的第(di)一(yi)端(duan)和所(suo)述供氣口之間；

7、第(di)(di)二管(guan)道，所述(shu)第(di)(di)二管(guan)道的(de)第(di)(di)一端與(yu)所述(shu)罐體相連通，所述(shu)第(di)(di)二管(guan)道的(de)第(di)(di)二端與(yu)所述(shu)供氣口相連通；

8、加熱單元，所述加熱單元位于所述罐(guan)體上，以對所述罐(guan)體的(de)內部進行(xing)加熱；以及

9、檢(jian)測(ce)(ce)單(dan)元，所述(shu)檢(jian)測(ce)(ce)單(dan)元檢(jian)測(ce)(ce)所述(shu)第一管(guan)道(dao)(dao)的(de)第一端與所述(shu)減壓器之間的(de)第一管(guan)道(dao)(dao)中(zhong)的(de)待供應氣體(ti)的(de)壓力值，

10、其(qi)中，在(zai)所(suo)(suo)述壓力值處于第一壓力區間時，所(suo)(suo)述待供應氣(qi)(qi)體經由所(suo)(suo)述減(jian)壓器減(jian)壓后從所(suo)(suo)述供氣(qi)(qi)口(kou)輸出(chu)；

11、在所述(shu)壓(ya)力值處于第二壓(ya)力區(qu)間時(shi)，所述(shu)待(dai)供應氣體(ti)經(jing)由所述(shu)第二管道(dao)從所述(shu)供氣口輸出；

12、在所(suo)(suo)述(shu)壓力值處于(yu)第(di)三壓力區間時，所(suo)(suo)述(shu)待供應氣體經由所(suo)(suo)述(shu)第(di)二管道從所(suo)(suo)述(shu)供氣口輸出(chu)，并開啟所(suo)(suo)述(shu)加熱單(dan)元以(yi)對所(suo)(suo)述(shu)罐體的(de)內(nei)部進行加熱；

13、所(suo)述第一壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)區(qu)間(jian)中(zhong)的壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)值(zhi)大(da)于所(suo)述第二(er)壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)區(qu)間(jian)中(zhong)的壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)值(zhi)；所(suo)述第二(er)壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)區(qu)間(jian)中(zhong)的壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)值(zhi)大(da)于所(suo)述第三(san)壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)區(qu)間(jian)中(zhong)的壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)值(zhi)。

14、可(ke)選地，所述第二管道的第一(yi)端與所述第一(yi)管道相(xiang)連(lian)通，且連(lian)通的位置位于所述第一(yi)管道的第一(yi)端與所述減(jian)壓器之間的第一(yi)管道上；

15、所(suo)述(shu)(shu)第二管(guan)道(dao)(dao)的第二端與所(suo)述(shu)(shu)第一管(guan)道(dao)(dao)相連通(tong)，且連通(tong)的位置(zhi)位于所(suo)述(shu)(shu)減壓器和所(suo)述(shu)(shu)供氣口之間(jian)的第一管(guan)道(dao)(dao)上；

16、所述第(di)二管道上設置有第(di)二閥門。

17、可選地，所述(shu)檢測單(dan)元經由執行(xing)機構與所述(shu)第二(er)閥門相連接；

18、在所(suo)(suo)述壓力(li)值處于第一壓力(li)區間時，所(suo)(suo)述執(zhi)行機(ji)構(gou)關(guan)閉所(suo)(suo)述第二閥門；

19、在(zai)所述(shu)壓(ya)力值處于第(di)二壓(ya)力區間時，所述(shu)執行機構開啟所述(shu)第(di)二閥(fa)門；

20、在所(suo)述(shu)(shu)壓力值(zhi)處于第三壓力區間時，所(suo)述(shu)(shu)執行機構開啟所(suo)述(shu)(shu)第二(er)閥門。

21、可選地，所(suo)述(shu)氣(qi)體供應系統(tong)還(huan)包括(kuo)：

22、熱源；

23、進液管道(dao)，所(suo)述進液管道(dao)分(fen)別與所(suo)述熱源和所(suo)述加熱單元相(xiang)連通，所(suo)述進液管道(dao)上還(huan)設(she)置(zhi)有進液閥(fa)；

24、回液管道，所述(shu)回液管道分別(bie)與所述(shu)熱源和所述(shu)加熱單元相連(lian)通，所述(shu)回液管道上還設置有(you)回液閥；

25、循環泵，所述循環泵設置在所述進液管道和(he)/或(huo)所述回液管道上，

26、其中，所述檢測單元經(jing)由執行機(ji)構(gou)分別與所述進液閥、所述回(hui)液閥和所述循環(huan)泵相(xiang)連接；

27、在所(suo)(suo)(suo)述(shu)壓(ya)力(li)值(zhi)處于第三(san)壓(ya)力(li)區間時(shi)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)執行機構開(kai)啟(qi)所(suo)(suo)(suo)述(shu)進液(ye)閥、所(suo)(suo)(suo)述(shu)回液(ye)閥和所(suo)(suo)(suo)述(shu)循(xun)環(huan)泵；在所(suo)(suo)(suo)述(shu)循(xun)環(huan)泵的驅動下，所(suo)(suo)(suo)述(shu)熱(re)源將加(jia)(jia)熱(re)后的液(ye)體經由所(suo)(suo)(suo)述(shu)進液(ye)管道輸送至所(suo)(suo)(suo)述(shu)加(jia)(jia)熱(re)單(dan)元，降溫后的液(ye)體經由所(suo)(suo)(suo)述(shu)回液(ye)管道輸送回所(suo)(suo)(suo)述(shu)熱(re)源以進行再次加(jia)(jia)熱(re)。

28、可選地，所述罐體中放置有固態物料(liao)和(he)/或液態物料(liao)；

29、所述固態物料升華后(hou)得到所述待供應氣(qi)(qi)體(ti)(ti)；所述液態物料蒸發(fa)后(hou)得到所述待供應氣(qi)(qi)體(ti)(ti)。

30、可選地(di)，所(suo)述(shu)罐(guan)(guan)(guan)體包(bao)括槽罐(guan)(guan)(guan)車的罐(guan)(guan)(guan)，所(suo)述(shu)槽罐(guan)(guan)(guan)車的罐(guan)(guan)(guan)中放置(zhi)有液(ye)氨(an)。

31、根(gen)據本(ben)發明的另一(yi)方面，提供一(yi)種氣(qi)體供應方法，包括(kuo)：

32、獲取第一管道的(de)(de)(de)第一端與減壓器之(zhi)間的(de)(de)(de)第一管道中的(de)(de)(de)待供應(ying)氣體的(de)(de)(de)壓力值；

33、在所(suo)述壓(ya)力值(zhi)處(chu)于第一壓(ya)力區間時，所(suo)述待供(gong)應氣(qi)(qi)體經由所(suo)述減(jian)壓(ya)器(qi)減(jian)壓(ya)后從(cong)供(gong)氣(qi)(qi)口輸出；

34、在所述壓力(li)值(zhi)處于(yu)第(di)二壓力(li)區間時(shi)，所述待供應氣體經由第(di)二管道從所述供氣口(kou)輸(shu)出；

35、在所(suo)述(shu)壓力(li)值處于(yu)第(di)三(san)壓力(li)區(qu)間時，所(suo)述(shu)待(dai)供應氣(qi)體經由(you)第(di)二(er)管道(dao)從所(suo)述(shu)供氣(qi)口輸出，并開(kai)啟加熱單元(yuan)以(yi)對罐體的(de)內部(bu)進行加熱，

36、其中(zhong)，所述罐體(ti)中(zhong)儲(chu)存有待供應氣(qi)體(ti)；

37、所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)一(yi)管道(dao)的(de)第(di)一(yi)端與所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)罐體相連(lian)通，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)一(yi)管道(dao)的(de)第(di)二端與所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)供(gong)氣(qi)口相連(lian)通；

38、所述(shu)(shu)減(jian)壓器設置在所述(shu)(shu)第一管道(dao)上，并位于所述(shu)(shu)第一管道(dao)的第一端和所述(shu)(shu)供氣口之(zhi)間；

39、所(suo)述(shu)(shu)第二管(guan)道的(de)第一端與所(suo)述(shu)(shu)罐體相(xiang)連通，所(suo)述(shu)(shu)第二管(guan)道的(de)第二端與所(suo)述(shu)(shu)供(gong)氣口相(xiang)連通；

40、所述第(di)一壓(ya)力(li)(li)區間(jian)中(zhong)的壓(ya)力(li)(li)值大(da)于所述第(di)二壓(ya)力(li)(li)區間(jian)中(zhong)的壓(ya)力(li)(li)值；所述第(di)二壓(ya)力(li)(li)區間(jian)中(zhong)的壓(ya)力(li)(li)值大(da)于所述第(di)三壓(ya)力(li)(li)區間(jian)中(zhong)的壓(ya)力(li)(li)值。

41、可(ke)選地，所述(shu)第一壓力(li)區間為壓力(li)值大(da)于或等于9bar；

42、所述(shu)第二壓(ya)力區(qu)間為(wei)壓(ya)力值為(wei)小于(yu)(yu)9bar且大(da)于(yu)(yu)或等于(yu)(yu)7bar；

43、所述(shu)第三壓(ya)力區間為壓(ya)力值小于(yu)7bar。

44、可(ke)選地，在所(suo)(suo)述壓(ya)力值處(chu)于第三壓(ya)力區間時，開啟(qi)所(suo)(suo)述加熱單元以對(dui)所(suo)(suo)述罐體(ti)的內部進行加熱，直至所(suo)(suo)述壓(ya)力值處(chu)于所(suo)(suo)述第二壓(ya)力區間后，停止對(dui)所(suo)(suo)述罐體(ti)的內部的加熱。

45、可選地，所述開啟加(jia)熱(re)單元以對(dui)罐體的內部進行加(jia)熱(re)包括(kuo)：

46、向所(suo)述加熱(re)單元提供加熱(re)液(ye)體，以向所(suo)述罐(guan)體的(de)內(nei)部加熱(re)，

47、其中(zhong)，所述加熱液體的溫度介于50至70攝氏(shi)度之間。

48、本發明提供(gong)的(de)氣(qi)體(ti)(ti)供(gong)應(ying)系統及氣(qi)體(ti)(ti)供(gong)應(ying)方法，設(she)置有(you)不(bu)(bu)(bu)同(tong)的(de)輸出(chu)管道，在壓(ya)力值(zhi)處于不(bu)(bu)(bu)同(tong)壓(ya)力區間時，采用不(bu)(bu)(bu)同(tong)的(de)氣(qi)體(ti)(ti)供(gong)應(ying)方案，能夠(gou)保證供(gong)應(ying)氣(qi)體(ti)(ti)的(de)輸出(chu)壓(ya)力值(zhi)穩定在所需范圍內。

49、進一步地，通過(guo)第(di)(di)一管道和第(di)(di)二(er)管道的連(lian)接以及第(di)(di)二(er)閥門的控制，實現不(bu)同氣體供應方案的切換，結構簡單且控制方便。

50、進一步地，根據檢測單元的(de)壓力(li)檢測結果，自(zi)動實(shi)現氣(qi)體供應方案的(de)切換，自(zi)動化程度高(gao)，控(kong)制效(xiao)果好。

51、進一步(bu)地，根據壓力檢測(ce)結果，開啟/關(guan)閉(bi)加熱，能夠(gou)適應用氣量的波(bo)動，并能夠(gou)維(wei)持罐體內壓力的穩定，防(fang)止罐體內壓力過高。

52、進一步地，通過(guo)加(jia)熱液體進行(xing)加(jia)熱，且加(jia)熱液體的溫度介于50至70攝氏度之(zhi)間，在保證加(jia)熱效果的同時，還不會使罐體內壓力過(guo)大。

技術特征：

1.一種氣體供應系統，包括：

2.根據權利(li)要求1所述的氣體供應系統，其中(zhong)，所述第(di)二(er)管道上設置有第(di)二(er)閥門。

3.根據(ju)權利要求2所述的氣體(ti)供應(ying)系統，其(qi)中，所述檢(jian)測單元經由執行機構(gou)與所述第二閥(fa)門相連(lian)接；

4.根據權利(li)要求1所述(shu)的氣體(ti)供應系統(tong)，其中(zhong)，所述(shu)氣體(ti)供應系統(tong)還(huan)包括(kuo)：

5.根據(ju)權利(li)要求1所述的氣體(ti)供應(ying)系統，其中，所述罐體(ti)中放置(zhi)有(you)固態物料和/或液(ye)態物料；

6.根據權利(li)要求1所述(shu)(shu)的氣體供應系統，其中，所述(shu)(shu)罐(guan)(guan)(guan)體包括槽罐(guan)(guan)(guan)車的罐(guan)(guan)(guan)，所述(shu)(shu)槽罐(guan)(guan)(guan)車的罐(guan)(guan)(guan)中放置有液氨。

7.一種氣體供(gong)應方法，包括：

8.根據權利(li)要求7所述的氣體供(gong)應方(fang)法，其中，所述第一壓(ya)力區間為壓(ya)力值(zhi)大于或(huo)等(deng)于9bar；

9.根據權利要求7所(suo)述(shu)的(de)(de)氣體供應方法(fa)，其中，在所(suo)述(shu)壓(ya)力(li)值處(chu)(chu)于第(di)三壓(ya)力(li)區(qu)(qu)間時，開(kai)啟(qi)所(suo)述(shu)加熱單元以對所(suo)述(shu)罐(guan)體的(de)(de)內部(bu)進行(xing)加熱，直至所(suo)述(shu)壓(ya)力(li)值處(chu)(chu)于所(suo)述(shu)第(di)二(er)壓(ya)力(li)區(qu)(qu)間后，停止對所(suo)述(shu)罐(guan)體的(de)(de)內部(bu)的(de)(de)加熱。

10.根(gen)據權(quan)利要求7所(suo)述(shu)(shu)的氣體(ti)供應(ying)方法，其中(zhong)，所(suo)述(shu)(shu)開啟加(jia)熱(re)單元以(yi)對罐(guan)體(ti)的內部進行加(jia)熱(re)包括：

技術總結
本發明公開了一種氣體供應系統及氣體供應方法。根據本公開的氣體供應系統包括罐體，罐體中儲存有待供應氣體；供氣口與罐體相連通，以向外界供應待供應氣體；第一管道的第一端與所體相連通，第一管道的第二端與供氣口相連通；減壓器設置在第一管道上，并位于第一管道的第一端和供氣口之間；第二管道的第一端與罐體相連通，第二管道的第二端與供氣口相連通；加熱單元位于罐體上，以對罐體的內部進行加熱；檢測單元檢測第一管道的第一端與減壓器之間的第一管道中的待供應氣體的壓力值；在壓力值處于不同壓力區間時，采用不同的氣體供應方案。根據本公開的氣體供應系統及氣體供應方法，能夠保證供應氣體的輸出壓力值穩定在所需范圍內。

技術研發人員：管昌雨,朱虹,陳浩
受保護的技術使用者：蘇州中科重儀半導體材料有限公司
技術研發日：
技術公布日：2024/9/29