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真空電磁壓差角閥的制作方法

文檔序號:5574862閱讀:398來源:國知局
專利名稱:真空電磁壓差角閥的制作方法
技術領域
本實用新型涉及閥門,特別是涉及真空泵及真空系統附件的改進設計,是用于真空泵及真空系統中當突然停電時,能自動關閉,對泵及系統起安全保護作用的閥門。
在真空系統與真空泵之間,為了在突然停電時,起安全保護作用,常須安裝閥門。已有該類閥門,在構造上存在以下缺陷一是真空電磁壓差閥閥體的進氣口與出氣口相位差180°, 往往需要在真空泵泵口安裝彎管,因此,使真空機組體積高大,結構笨重;二是已有電磁壓差閥,其閥蓋的導向,是由焊接在連接管上的閥蓋座導向,當閥蓋座焊接后加工困難,只能靠焊接時保證閥蓋座的安裝精度,但通過焊接后要產生熱變形,故閥蓋座的安裝精度難以保證,從而使閥蓋上的密封圈不能很好地與閥體上的密封面貼合,給閥門的密封性能帶來影響。
本實用新型的目的是設計一種有利于真空系統整體設計,結構簡單,體積小,閥蓋座與閥體的聯接靈活,加工方便,利于提高閥門的安裝精度和密封性能的真空閥門。
本實用新型真空電磁壓差角閥的技術方案是由閥體、閥蓋座和閥蓋等所組成,其所謂的閥體是進氣口與出氣口的相位差90°閥體上有定位孔與閥蓋座上的大圓柱面相配合,閥蓋座上的小圓樁面與閥蓋相配合,閥蓋座的側面或底部連接電磁先導磁閥。
本實用新型的真空電磁壓差角閥,其閥體與閥蓋座的裝配是緊固件相固定。
本實用新型的真空電磁壓差角閥,其閥蓋上開有燕尾密封槽,燕尾密封槽內的密封圈與閥體進氣口密封配合。
本實用新型公開了一種真空泵與真空系統之間的電磁壓差角閥,閥體上進氣口與出氣口相位差90°,可取消原真空泵泵口的彎管,以及手動或電磁充氣閥,使真空機組設計高度下降,結構緊奏。閥蓋座與閥體的配合合理,閥蓋座的大圓柱面與閥體的定位孔相配合,并由螺釘固定,加工靈活、方便,精度保證,密封性能好等特點。


圖1是本實用新型的真空電磁壓差閥結構示意圖;圖2是本實用新型的真空電磁壓差閥結構俯視圖;圖3是本實用新型的真空電磁壓差閥閥體主視圖;圖4是本實用新型的真空電磁壓差閥閥體俯視圖;圖5是本實用新型真空電磁壓差閥閥蓋座主視圖;圖6是本實用新型真空電磁壓差閥閥蓋座側視圖;圖7是本實用新型真空電磁壓差閥閥蓋主視圖;圖8是本實用新型真空電磁壓差閥閥蓋側視圖。
下面結合
圖1一圖8對本實用新型的實施例作詳細說明。
1、閥體;2、閥蓋座;3、閥蓋;4、閥體與閥蓋座配合面;5、電磁先導磁閥;6、連接管;7、螺釘;8、出氣口;9、燕尾槽密封圈;10、密封圈;11、活套法蘭套環;12、進氣口;13、密封圈;14、閥體定位孔;15、氣腔;16、閥蓋座小圓柱面;17、閥蓋座大圓柱面;18、充氣氣槽;19、燕尾槽;20、空腔。
本實用新型涉及一種真空電磁壓差閥門,主要作用于真空泵及真空系統中當突然停電時,能自動關閉閥門,對泵及系統起安全保護作用。其閥體1的進氣口12與出氣口8相位差90°(如
圖1、圖3所示)。閥體1聯接閥蓋座2,其聯接處是以閥體的定位孔14與閥蓋座大圓柱面17相配合,并由緊固件(如螺釘7)相固定,在閥蓋座上安裝閥蓋3,閥蓋座的側面或底部安裝連接管6,連接管的另一端與電磁先導磁閥5相連,先導閥上的充氣孔與連接管內孔與閥蓋座氣腔15相通。先導磁閥通電時關閉,停電時打開,當壓差閥(本實用新型)接在真空泵口和真空系統上,通電工作時,閥體1上進氣口12和出氣口8處于真空狀態,電磁先導磁閥5充氣口關閉,閥蓋座氣腔15內與閥體內的氣壓相同,閥蓋3由于自重處于打開狀態。當突然停電時,電磁先導磁閥打開,氣體經電磁先導磁閥5、連接管6進入閥蓋座氣腔15,使氣腔內的氣壓升到大氣壓(0.1MPa),閥體內仍處于真空狀態,在壓差的作用下,閥蓋3向上運動,關閉閥體1上的進氣口12,切斷了真空泵與真空系統的聯系,與此同時,閥蓋座上充氣槽18與閥體內腔開通,氣腔內的氣體經充氣槽進入閥體內腔與真空泵內腔,破壞泵腔內的真空度,直至真空系統與閥體內腔壓力平衡,閥蓋在自重的作用下回到原先打開的位置。
權利要求1.真空電磁壓差角閥,由閥體、閥蓋座和閥蓋等所組成,其特征在于閥體(1)的進氣口(12)與出氣口(8)的相位差90°,閥體上有定位孔(14)與閥蓋座(2)上的大圓柱面(17)相配合,閥蓋座(2)上的小圓柱面(16)與閥蓋(3)相配合,閥蓋座(2)的側面或底部連接電磁先導磁閥(5)。
2.如權利要求1所述的真空電磁壓差角閥,其特征在于閥體(1)與閥蓋座(2)的裝配是緊固件相固定。
3.如權利要求1所述的真空電磁壓差角閥,其特征在于閥蓋(3)上開有燕尾密封槽(19),燕尾密封槽內的密封圈(9)與閥體進氣口密封配合。
專利摘要真空電磁壓差角閥,由閥體、閥蓋座和閥蓋等所組成,其閥體的進氣口與出氣口的相位差90°,閥體上有定位孔與閥蓋座上的大圓柱面相配合,閥蓋座的側面或底部連接電磁先導磁閥。本實用新型由于閥體進、出氣口相位差90°,可取消原真空泵泵口的彎管,以及手動或電磁充氣閥,使真空機組設計高度下降,結構緊湊,并且閥蓋座與閥體的配合合理,加工、裝配靈活、方便,精度保證,密封性能好等特點。
文檔編號F16K1/00GK2254977SQ9620256
公開日1997年5月28日 申請日期1996年2月17日 優先權日1996年2月17日
發明者鄭定保, 許濤, 周昌金 申請人:浙江真空設備集團有限公司
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