本實用新型機(ji)構涉及一種旋轉分氣機(ji)構，特別涉及一種多路輸入、多路輸出的旋轉分氣機(ji)構。

背景技術：

以往分(fen)選、封裝設備(bei)的(de)(de)分(fen)氣(qi)機構(gou)主要(yao)是采用(yong)(yong)一路(lu)(lu)輸(shu)入(ru)，N路(lu)(lu)輸(shu)出的(de)(de)分(fen)氣(qi)形(xing)式(shi)，或(huo)為了破壞某些氣(qi)路(lu)(lu)的(de)(de)真空而采用(yong)(yong)的(de)(de)幾(ji)路(lu)(lu)輸(shu)入(ru)，N路(lu)(lu)輸(shu)出的(de)(de)形(xing)式(shi)。第一種(zhong)形(xing)方法的(de)(de)缺點是不(bu)能滿足單路(lu)(lu)或(huo)多(duo)(duo)路(lu)(lu)氣(qi)站的(de)(de)正負壓切換需要(yao)；第二種(zhong)方法則多(duo)(duo)采用(yong)(yong)腰(yao)形(xing)氣(qi)槽實(shi)現(xian)多(duo)(duo)路(lu)(lu)輸(shu)入(ru)，結構(gou)上的(de)(de)缺陷是分(fen)出的(de)(de)氣(qi)路(lu)(lu)流(liu)量不(bu)均(jun)勻，且轉盤旋轉過程(cheng)中容易漏真空，使用(yong)(yong)上有很(hen)大的(de)(de)局限性(xing)與單一性(xing)，不(bu)能滿足更改工藝時切換一路(lu)(lu)或(huo)多(duo)(duo)路(lu)(lu)工作站正負氣(qi)壓的(de)(de)需求。

技術實現要素：

針對現有旋(xuan)(xuan)(xuan)轉(zhuan)分(fen)(fen)氣(qi)機構(gou)存(cun)在(zai)局(ju)限性與單一性的(de)問題，本實用(yong)新型提出了一種(zhong)旋(xuan)(xuan)(xuan)轉(zhuan)分(fen)(fen)氣(qi)機構(gou)，其(qi)目的(de)在(zai)于通過在(zai)集流(liu)定盤組件內(nei)設(she)置有與分(fen)(fen)流(liu)旋(xuan)(xuan)(xuan)轉(zhuan)組件內(nei)的(de)分(fen)(fen)氣(qi)路(lu)一一對應(ying)的(de)進氣(qi)路(lu)，進而實現集流(liu)定盤組件上多氣(qi)路(lu)輸入，分(fen)(fen)類旋(xuan)(xuan)(xuan)轉(zhuan)組件多氣(qi)路(lu)旋(xuan)(xuan)(xuan)轉(zhuan)輸出，且輸出的(de)正壓(ya)或負壓(ya)，氣(qi)路(lu)流(liu)量均勻。

為了實現上(shang)述目的(de)，本實用新型提供了一(yi)種旋轉分(fen)氣機構，其特征(zheng)在于：包括用于匯集各路(lu)正壓(ya)(ya)或(huo)負壓(ya)(ya)的(de)集流定盤(pan)組(zu)件(jian)以(yi)及用于旋轉分(fen)出各路(lu)正壓(ya)(ya)或(huo)負壓(ya)(ya)的(de)分(fen)流轉盤(pan)組(zu)件(jian)；

所述集流定(ding)盤組件內設(she)有多條進氣(qi)(qi)(qi)路(lu)，每(mei)條進氣(qi)(qi)(qi)路(lu)外接設(she)備的工位氣(qi)(qi)(qi)路(lu)，以(yi)輸入氣(qi)(qi)(qi)體(ti)；

所述分(fen)流(liu)(liu)轉(zhuan)盤組(zu)(zu)(zu)件位(wei)于集流(liu)(liu)定(ding)盤組(zu)(zu)(zu)件的(de)(de)底端(duan)面(mian)上，分(fen)流(liu)(liu)轉(zhuan)盤組(zu)(zu)(zu)件外接(jie)動力組(zu)(zu)(zu)件以驅動其(qi)相(xiang)對集流(liu)(liu)定(ding)盤組(zu)(zu)(zu)件旋(xuan)轉(zhuan)；分(fen)流(liu)(liu)轉(zhuan)盤組(zu)(zu)(zu)件內設(she)有多(duo)條分(fen)別與進氣(qi)路的(de)(de)分(fen)布位(wei)置相(xiang)對應的(de)(de)分(fen)氣(qi)路；集流(liu)(liu)定(ding)盤組(zu)(zu)(zu)件固定(ding)不動，而分(fen)流(liu)(liu)轉(zhuan)盤組(zu)(zu)(zu)件旋(xuan)轉(zhuan)，每(mei)轉(zhuan)至其(qi)中(zhong)一條分(fen)氣(qi)路與相(xiang)對應的(de)(de)進氣(qi)路相(xiang)通(tong)的(de)(de)位(wei)置，氣(qi)體由(you)勻量的(de)(de)由(you)一條進氣(qi)路進入一條分(fen)氣(qi)路，由(you)分(fen)氣(qi)路輸出。

更具體地，所述集流定盤(pan)組(zu)件(jian)與分流轉盤(pan)組(zu)件(jian)相(xiang)接處設(she)有防止分流轉盤(pan)組(zu)件(jian)旋轉時漏氣的密封部件(jian)。

更具體地，所述集(ji)流定盤組件包括集(ji)流定盤以及多個(ge)均勻分布在集(ji)流定盤的外圓周上的進(jin)氣(qi)管接(jie)頭；

每條所(suo)述的進氣(qi)路由其中(zhong)一個進氣(qi)管接頭(tou)與(yu)集流(liu)定盤(pan)內設置的其中(zhong)一個集流(liu)氣(qi)孔(kong)形成(cheng)。

更(geng)具(ju)體(ti)地，所述集(ji)(ji)流定盤內設有(you)多個集(ji)(ji)流氣(qi)孔，這(zhe)些集(ji)(ji)流氣(qi)孔均(jun)勻的(de)分布在與進氣(qi)管接頭相(xiang)對應的(de)位置(zhi)；

所述(shu)集(ji)流氣孔(kong)由集(ji)流定(ding)(ding)盤的底(di)端面(mian)往頂(ding)端面(mian)的方向開設，且不貫穿集(ji)流定(ding)(ding)盤的頂(ding)端面(mian)。

更具體地，所(suo)述分流(liu)(liu)轉(zhuan)(zhuan)盤組件包括分流(liu)(liu)轉(zhuan)(zhuan)盤、固定(ding)在分流(liu)(liu)轉(zhuan)(zhuan)盤上的密封碟盤以及多個均勻分布在分流(liu)(liu)轉(zhuan)(zhuan)盤的外圓周上的出氣管接頭；

每(mei)條所述的(de)(de)分(fen)氣(qi)路由(you)其(qi)(qi)中(zhong)一個出氣(qi)管接頭、分(fen)流轉盤內設(she)置的(de)(de)其(qi)(qi)中(zhong)一個分(fen)流出氣(qi)孔(kong)與密封碟盤內設(she)置的(de)(de)其(qi)(qi)中(zhong)一個分(fen)氣(qi)通孔(kong)形成。

更具體(ti)地(di)，所(suo)述分(fen)流(liu)轉盤內設(she)有(you)多個(ge)分(fen)流(liu)出(chu)氣(qi)孔(kong)，這些分(fen)流(liu)出(chu)氣(qi)孔(kong)均勻分(fen)布在(zai)與出(chu)氣(qi)管接(jie)頭相(xiang)對應的位置；

所述分流(liu)出氣孔(kong)由分流(liu)轉(zhuan)盤的(de)上端(duan)面(mian)往下(xia)端(duan)面(mian)的(de)方向開設，且不貫(guan)穿分流(liu)轉(zhuan)盤的(de)底(di)端(duan)的(de)底(di)端(duan)面(mian)。

更具體(ti)地，所述密(mi)封部件(jian)為固定在分流轉盤上的密(mi)封碟盤；

所述密(mi)封碟盤(pan)內設有多個(ge)均勻分(fen)(fen)布在(zai)與(yu)分(fen)(fen)流(liu)出氣孔(kong)(kong)和集流(liu)進(jin)氣口(kou)(kou)相(xiang)對應位置的(de)分(fen)(fen)氣通孔(kong)(kong)，分(fen)(fen)流(liu)出氣孔(kong)(kong)連通集流(liu)進(jin)氣口(kou)(kou)和分(fen)(fen)流(liu)出氣孔(kong)(kong)，以連通進(jin)氣路(lu)(lu)和分(fen)(fen)氣路(lu)(lu)。

更具(ju)體地，：還包括(kuo)將集流定盤組件固定與外(wai)接(jie)設備(bei)上(shang)的連接(jie)座；

所述集流定(ding)盤安裝在連(lian)接(jie)座(zuo)的底端面，通(tong)(tong)過設置彈(dan)(dan)簧(huang)銷(xiao)固(gu)定(ding)；彈(dan)(dan)簧(huang)銷(xiao)的外圓周(zhou)上套(tao)裝有彈(dan)(dan)簧(huang)，通(tong)(tong)過該彈(dan)(dan)簧(huang)的壓縮力以壓緊集流定(ding)盤組件(jian)與分流轉盤組件(jian)的接(jie)觸面。

更具體地，所述連接座的外(wai)圓(yuan)周上設有(you)一個鎖緊(jin)塊，該鎖緊(jin)塊鑲嵌在(zai)連接座的外(wai)圓(yuan)周上，通過螺釘固(gu)定；

連(lian)(lian)接座(zuo)(zuo)與(yu)鎖緊(jin)塊的(de)底部各(ge)設有一個以(yi)上(shang)的(de)半(ban)臺(tai)(tai)階(jie)(jie)銷孔(kong)(kong)，連(lian)(lian)接座(zuo)(zuo)上(shang)的(de)半(ban)臺(tai)(tai)階(jie)(jie)銷孔(kong)(kong)與(yu)鎖緊(jin)塊上(shang)的(de)半(ban)臺(tai)(tai)階(jie)(jie)銷孔(kong)(kong)同軸相對(dui)設置，使得兩個半(ban)臺(tai)(tai)階(jie)(jie)銷孔(kong)(kong)組合成一個完整的(de)臺(tai)(tai)階(jie)(jie)銷孔(kong)(kong)；

集流(liu)定盤的(de)上(shang)端面(mian)上(shang)設有(you)一個與臺(tai)(tai)階(jie)銷(xiao)(xiao)孔(kong)相對應位置(zhi)的(de)盲孔(kong)，彈簧銷(xiao)(xiao)的(de)一端插入臺(tai)(tai)階(jie)銷(xiao)(xiao)孔(kong)中，由連接座和(he)鎖緊塊夾緊；彈簧銷(xiao)(xiao)的(de)另一端與集流(liu)定盤上(shang)的(de)盲孔(kong)間隙配(pei)合。

采(cai)用(yong)本實用(yong)新型產生的有益效果：1、本旋轉(zhuan)分氣機構實用(yong)性更(geng)強，使用(yong)范(fan)圍(wei)更(geng)廣，持(chi)續工作更(geng)穩定(ding)，更(geng)利(li)于設(she)備的維護(hu)以及升級改進。

2、設置多個進(jin)氣(qi)路與多個分(fen)(fen)氣(qi)路一一相對應，且在分(fen)(fen)氣(qi)路旋轉(zhuan)時，每(mei)個分(fen)(fen)氣(qi)路也(ye)能與進(jin)氣(qi)路交換(huan)相通，實現多輸入和多輸出(chu)機構(gou)的分(fen)(fen)出(chu)的氣(qi)路流量均勻。

3、在集(ji)流(liu)定盤(pan)(pan)(pan)組(zu)件(jian)(jian)(jian)和分流(liu)轉盤(pan)(pan)(pan)組(zu)件(jian)(jian)(jian)的相接處(chu)設置密(mi)(mi)封部件(jian)(jian)(jian)，分流(liu)轉盤(pan)(pan)(pan)組(zu)件(jian)(jian)(jian)旋轉過程中，密(mi)(mi)封部件(jian)(jian)(jian)緊貼在集(ji)流(liu)定盤(pan)(pan)(pan)組(zu)件(jian)(jian)(jian)上，防(fang)止真空泄漏。

附圖說明

圖(tu)1為旋轉分氣機構的(de)結構示意(yi)圖(tu)。

圖2為(wei)集(ji)流定盤(pan)組件(jian)的結構示(shi)意圖。

圖3為(wei)集流(liu)定盤(pan)組件(jian)的豎直截面圖。

圖4為分流轉盤組件的結(jie)構示意圖。

圖5為分流轉盤組(zu)件的豎直截面(mian)圖。

圖(tu)6為旋轉分氣機構的(de)安裝示意圖(tu)。

圖7為旋轉分(fen)氣機構(gou)的密(mi)封碟盤處于(yu)靜(jing)止工作(zuo)狀態(tai)下的結構(gou)示意圖。

圖(tu)8為圖(tu)7中的A-A剖視圖(tu)。

圖9為(wei)旋轉(zhuan)分(fen)氣機構(gou)(gou)的密封碟盤處于旋轉(zhuan)工作(zuo)狀態(tai)下的結構(gou)(gou)示意圖。

圖(tu)10為圖(tu)9中(zhong)的B-B剖視圖(tu)。

具體實施方式

為(wei)了使本(ben)實(shi)用新(xin)型實(shi)施例的目的、技術方(fang)案和優點更加清(qing)楚，下面(mian)結合附圖及具體實(shi)施方(fang)式對本(ben)實(shi)用新(xin)型做(zuo)進一(yi)步描(miao)述。

如(ru)圖(tu)1至圖(tu)10所示，本實(shi)用新(xin)型公開了一種新(xin)型的(de)(de)具有(you)(you)多路(lu)(lu)輸(shu)(shu)入、多路(lu)(lu)輸(shu)(shu)出的(de)(de)旋(xuan)轉分(fen)(fen)(fen)(fen)氣(qi)(qi)(qi)機構，該旋(xuan)轉分(fen)(fen)(fen)(fen)氣(qi)(qi)(qi)機構主要包括兩個部分(fen)(fen)(fen)(fen)，分(fen)(fen)(fen)(fen)別是(shi)相(xiang)(xiang)對靜止不動(dong)(dong)的(de)(de)且(qie)與外接(jie)設(she)(she)備的(de)(de)工(gong)位氣(qi)(qi)(qi)路(lu)(lu)相(xiang)(xiang)連(lian)接(jie)的(de)(de)集(ji)(ji)(ji)流(liu)(liu)(liu)定(ding)盤組(zu)(zu)(zu)(zu)件(jian)(jian)(jian)(jian)1、可相(xiang)(xiang)對集(ji)(ji)(ji)流(liu)(liu)(liu)定(ding)盤組(zu)(zu)(zu)(zu)件(jian)(jian)(jian)(jian)1旋(xuan)轉且(qie)由(you)(you)(you)外接(jie)動(dong)(dong)力組(zu)(zu)(zu)(zu)件(jian)(jian)(jian)(jian)驅(qu)動(dong)(dong)旋(xuan)轉的(de)(de)分(fen)(fen)(fen)(fen)流(liu)(liu)(liu)轉盤組(zu)(zu)(zu)(zu)件(jian)(jian)(jian)(jian)2，分(fen)(fen)(fen)(fen)流(liu)(liu)(liu)轉盤組(zu)(zu)(zu)(zu)件(jian)(jian)(jian)(jian)2位于集(ji)(ji)(ji)流(liu)(liu)(liu)定(ding)盤組(zu)(zu)(zu)(zu)件(jian)(jian)(jian)(jian)1的(de)(de)底(di)端(duan)面上(shang)。集(ji)(ji)(ji)流(liu)(liu)(liu)定(ding)盤組(zu)(zu)(zu)(zu)件(jian)(jian)(jian)(jian)1內(nei)設(she)(she)有(you)(you)多條進(jin)(jin)氣(qi)(qi)(qi)路(lu)(lu)，每(mei)條進(jin)(jin)氣(qi)(qi)(qi)路(lu)(lu)外接(jie)設(she)(she)備的(de)(de)工(gong)位氣(qi)(qi)(qi)路(lu)(lu)，以輸(shu)(shu)入氣(qi)(qi)(qi)體，而分(fen)(fen)(fen)(fen)流(liu)(liu)(liu)轉盤組(zu)(zu)(zu)(zu)件(jian)(jian)(jian)(jian)2內(nei)設(she)(she)有(you)(you)多條分(fen)(fen)(fen)(fen)別與進(jin)(jin)氣(qi)(qi)(qi)路(lu)(lu)的(de)(de)分(fen)(fen)(fen)(fen)布(bu)位置相(xiang)(xiang)對應的(de)(de)分(fen)(fen)(fen)(fen)氣(qi)(qi)(qi)路(lu)(lu)。工(gong)作(zuo)時(shi)，集(ji)(ji)(ji)流(liu)(liu)(liu)定(ding)盤組(zu)(zu)(zu)(zu)件(jian)(jian)(jian)(jian)1固定(ding)不動(dong)(dong)，而分(fen)(fen)(fen)(fen)流(liu)(liu)(liu)轉盤組(zu)(zu)(zu)(zu)件(jian)(jian)(jian)(jian)2旋(xuan)轉，每(mei)轉至其中一條分(fen)(fen)(fen)(fen)氣(qi)(qi)(qi)路(lu)(lu)與相(xiang)(xiang)對應的(de)(de)進(jin)(jin)氣(qi)(qi)(qi)路(lu)(lu)相(xiang)(xiang)通的(de)(de)位置，氣(qi)(qi)(qi)體由(you)(you)(you)勻量的(de)(de)由(you)(you)(you)一條進(jin)(jin)氣(qi)(qi)(qi)路(lu)(lu)進(jin)(jin)入一條分(fen)(fen)(fen)(fen)氣(qi)(qi)(qi)路(lu)(lu)，由(you)(you)(you)分(fen)(fen)(fen)(fen)氣(qi)(qi)(qi)路(lu)(lu)輸(shu)(shu)出。

集(ji)流(liu)定(ding)盤(pan)組件(jian)1包括連(lian)接(jie)座(zuo)11、集(ji)流(liu)定(ding)盤(pan)12以(yi)及多個均勻分(fen)布在(zai)集(ji)流(liu)定(ding)盤(pan)12的(de)(de)外圓(yuan)周(zhou)上的(de)(de)進氣(qi)管(guan)(guan)接(jie)頭(tou)(tou)13。本實施例中的(de)(de)旋轉分(fen)氣(qi)機構(gou)應用與(yu)半導體分(fen)選封(feng)裝(zhuang)設備上，連(lian)接(jie)座(zuo)11即用于與(yu)半導體分(fen)選封(feng)裝(zhuang)設備的(de)(de)相關部件(jian)連(lian)接(jie)。進氣(qi)管(guan)(guan)接(jie)頭(tou)(tou)13連(lian)接(jie)的(de)(de)每路(lu)輸入(ru)都是固(gu)定(ding)服務于對應的(de)(de)一個工位。

連(lian)接(jie)(jie)(jie)座(zuo)11呈(cheng)柱(zhu)狀，連(lian)接(jie)(jie)(jie)座(zuo)11的(de)(de)(de)(de)軸(zhou)線位(wei)置設(she)(she)有(you)安(an)裝孔(kong)(kong)，該安(an)裝孔(kong)(kong)貫穿(chuan)整(zheng)(zheng)個(ge)連(lian)接(jie)(jie)(jie)座(zuo)11。連(lian)接(jie)(jie)(jie)座(zuo)11的(de)(de)(de)(de)外(wai)(wai)(wai)圓周上(shang)設(she)(she)有(you)一(yi)個(ge)鎖緊塊14，該鎖緊塊14鑲(xiang)嵌在連(lian)接(jie)(jie)(jie)座(zuo)11的(de)(de)(de)(de)外(wai)(wai)(wai)圓周上(shang)，通(tong)過螺釘固定(ding)。安(an)裝后，鎖緊塊14的(de)(de)(de)(de)外(wai)(wai)(wai)圓周與連(lian)接(jie)(jie)(jie)座(zuo)11的(de)(de)(de)(de)外(wai)(wai)(wai)圓周剛好平齊。連(lian)接(jie)(jie)(jie)座(zuo)11與鎖緊塊14的(de)(de)(de)(de)底部各設(she)(she)有(you)一(yi)個(ge)以上(shang)的(de)(de)(de)(de)半(ban)臺(tai)(tai)階銷(xiao)孔(kong)(kong)，連(lian)接(jie)(jie)(jie)座(zuo)11上(shang)的(de)(de)(de)(de)半(ban)臺(tai)(tai)階銷(xiao)孔(kong)(kong)與鎖緊塊14上(shang)的(de)(de)(de)(de)半(ban)臺(tai)(tai)階銷(xiao)孔(kong)(kong)同軸(zhou)相對設(she)(she)置，使(shi)得兩(liang)個(ge)半(ban)臺(tai)(tai)階銷(xiao)孔(kong)(kong)組合成一(yi)個(ge)完整(zheng)(zheng)的(de)(de)(de)(de)臺(tai)(tai)階銷(xiao)孔(kong)(kong)。

集(ji)流(liu)(liu)定(ding)(ding)盤(pan)(pan)12安裝在(zai)(zai)連接座(zuo)11的(de)(de)(de)(de)(de)底(di)部，集(ji)流(liu)(liu)定(ding)(ding)盤(pan)(pan)12的(de)(de)(de)(de)(de)上端(duan)面上設(she)有(you)一(yi)個與(yu)臺(tai)階(jie)(jie)銷(xiao)(xiao)孔(kong)(kong)(kong)相對應位置的(de)(de)(de)(de)(de)盲(mang)孔(kong)(kong)(kong)，通過(guo)設(she)置彈(dan)(dan)(dan)簧(huang)(huang)銷(xiao)(xiao)15將(jiang)集(ji)流(liu)(liu)定(ding)(ding)盤(pan)(pan)12固定(ding)(ding)在(zai)(zai)連接座(zuo)11的(de)(de)(de)(de)(de)底(di)部。其中，彈(dan)(dan)(dan)簧(huang)(huang)銷(xiao)(xiao)15的(de)(de)(de)(de)(de)外圓周上套(tao)有(you)彈(dan)(dan)(dan)簧(huang)(huang)16，通過(guo)該彈(dan)(dan)(dan)簧(huang)(huang)16的(de)(de)(de)(de)(de)壓(ya)(ya)縮力以壓(ya)(ya)緊(jin)集(ji)流(liu)(liu)定(ding)(ding)盤(pan)(pan)組(zu)件1與(yu)分流(liu)(liu)轉(zhuan)盤(pan)(pan)組(zu)件2的(de)(de)(de)(de)(de)接觸面，使得集(ji)流(liu)(liu)定(ding)(ding)盤(pan)(pan)12與(yu)分流(liu)(liu)轉(zhuan)盤(pan)(pan)組(zu)件2緊(jin)密接觸。彈(dan)(dan)(dan)簧(huang)(huang)銷(xiao)(xiao)15插入彈(dan)(dan)(dan)簧(huang)(huang)16的(de)(de)(de)(de)(de)內(nei)徑(jing)中，對彈(dan)(dan)(dan)簧(huang)(huang)16起(qi)到導向(xiang)的(de)(de)(de)(de)(de)作(zuo)用。更具(ju)體地，彈(dan)(dan)(dan)簧(huang)(huang)銷(xiao)(xiao)15的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)端(duan)插入臺(tai)階(jie)(jie)銷(xiao)(xiao)孔(kong)(kong)(kong)中，由連接座(zuo)11和鎖(suo)緊(jin)塊(kuai)14夾緊(jin)，而(er)臺(tai)階(jie)(jie)銷(xiao)(xiao)孔(kong)(kong)(kong)的(de)(de)(de)(de)(de)臺(tai)階(jie)(jie)面用于限定(ding)(ding)彈(dan)(dan)(dan)簧(huang)(huang)16的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)端(duan)；彈(dan)(dan)(dan)簧(huang)(huang)銷(xiao)(xiao)15的(de)(de)(de)(de)(de)另一(yi)端(duan)與(yu)集(ji)流(liu)(liu)定(ding)(ding)盤(pan)(pan)12上的(de)(de)(de)(de)(de)盲(mang)孔(kong)(kong)(kong)間隙配合，盲(mang)孔(kong)(kong)(kong)定(ding)(ding)位彈(dan)(dan)(dan)簧(huang)(huang)16的(de)(de)(de)(de)(de)另一(yi)端(duan)。

集(ji)(ji)流定(ding)盤(pan)(pan)12的(de)底(di)部設有多個(ge)沿著(zhu)集(ji)(ji)流定(ding)盤(pan)(pan)12軸線方向由底(di)往上開設，且不貫穿集(ji)(ji)流定(ding)盤(pan)(pan)12頂端的(de)集(ji)(ji)流氣(qi)(qi)孔(kong)(kong)121，這些集(ji)(ji)流氣(qi)(qi)孔(kong)(kong)121繞著(zhu)集(ji)(ji)流定(ding)盤(pan)(pan)12的(de)軸線均(jun)勻分(fen)布在(zai)(zai)與(yu)軸線具有一定(ding)距離(li)的(de)位置(zhi)，且均(jun)勻分(fen)布在(zai)(zai)與(yu)進氣(qi)(qi)管(guan)(guan)接(jie)(jie)(jie)頭(tou)13相(xiang)(xiang)對應(ying)的(de)位置(zhi)上。進氣(qi)(qi)管(guan)(guan)接(jie)(jie)(jie)頭(tou)13與(yu)集(ji)(ji)流氣(qi)(qi)孔(kong)(kong)121數量相(xiang)(xiang)等，且進氣(qi)(qi)管(guan)(guan)接(jie)(jie)(jie)頭(tou)13與(yu)相(xiang)(xiang)對應(ying)的(de)集(ji)(ji)流氣(qi)(qi)孔(kong)(kong)121相(xiang)(xiang)連通。更具體地(di)，進氣(qi)(qi)管(guan)(guan)接(jie)(jie)(jie)頭(tou)13外接(jie)(jie)(jie)設備的(de)工位氣(qi)(qi)路，通過進氣(qi)(qi)管(guan)(guan)接(jie)(jie)(jie)頭(tou)13氣(qi)(qi)體輸入(ru)集(ji)(ji)流定(ding)盤(pan)(pan)12內(nei)的(de)集(ji)(ji)流氣(qi)(qi)孔(kong)(kong)121中，實現在(zai)(zai)集(ji)(ji)流定(ding)盤(pan)(pan)12中聚(ju)集(ji)(ji)各路正壓或負壓。

分(fen)(fen)流(liu)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)盤(pan)(pan)(pan)(pan)組(zu)件(jian)(jian)2包括分(fen)(fen)流(liu)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)盤(pan)(pan)(pan)(pan)21、固定(ding)在(zai)(zai)分(fen)(fen)流(liu)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)盤(pan)(pan)(pan)(pan)21上(shang)(shang)的(de)(de)(de)密(mi)封(feng)碟(die)盤(pan)(pan)(pan)(pan)22以及多(duo)個均勻(yun)分(fen)(fen)布在(zai)(zai)分(fen)(fen)流(liu)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)盤(pan)(pan)(pan)(pan)21的(de)(de)(de)外圓周上(shang)(shang)的(de)(de)(de)出氣管接頭23。密(mi)封(feng)碟(die)盤(pan)(pan)(pan)(pan)22位于(yu)集(ji)(ji)流(liu)定(ding)盤(pan)(pan)(pan)(pan)12和分(fen)(fen)流(liu)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)盤(pan)(pan)(pan)(pan)21之間，本實(shi)施(shi)例設置密(mi)封(feng)碟(die)盤(pan)(pan)(pan)(pan)22作(zuo)為集(ji)(ji)流(liu)定(ding)盤(pan)(pan)(pan)(pan)組(zu)件(jian)(jian)1和分(fen)(fen)流(liu)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)盤(pan)(pan)(pan)(pan)組(zu)件(jian)(jian)2連接處的(de)(de)(de)密(mi)封(feng)部件(jian)(jian)，并(bing)在(zai)(zai)集(ji)(ji)流(liu)定(ding)盤(pan)(pan)(pan)(pan)組(zu)件(jian)(jian)1上(shang)(shang)的(de)(de)(de)彈簧(huang)壓力(li)的(de)(de)(de)作(zuo)用(yong)下，將(jiang)集(ji)(ji)流(liu)定(ding)盤(pan)(pan)(pan)(pan)組(zu)件(jian)(jian)1和分(fen)(fen)流(liu)定(ding)盤(pan)(pan)(pan)(pan)組(zu)件(jian)(jian)2密(mi)封(feng)緊貼，以完成密(mi)封(feng)碟(die)盤(pan)(pan)(pan)(pan)22在(zai)(zai)相對(dui)于(yu)集(ji)(ji)流(liu)定(ding)盤(pan)(pan)(pan)(pan)組(zu)件(jian)(jian)1旋轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)過程中，保持(chi)在(zai)(zai)在(zai)(zai)氣流(liu)交換過程中始終處于(yu)密(mi)封(feng)不(bu)漏氣的(de)(de)(de)狀態，以實(shi)現動態密(mi)封(feng)輸送氣流(liu)功能(neng)。

分(fen)(fen)(fen)流(liu)(liu)(liu)轉(zhuan)盤(pan)21亦呈圓柱(zhu)形，分(fen)(fen)(fen)流(liu)(liu)(liu)轉(zhuan)盤(pan)21的(de)(de)上(shang)端面(mian)上(shang)設有多個(ge)沿著分(fen)(fen)(fen)流(liu)(liu)(liu)轉(zhuan)盤(pan)21的(de)(de)軸(zhou)線(xian)(xian)方向由上(shang)往下開設，且(qie)不貫(guan)穿分(fen)(fen)(fen)流(liu)(liu)(liu)轉(zhuan)盤(pan)21底端的(de)(de)分(fen)(fen)(fen)流(liu)(liu)(liu)出氣(qi)(qi)(qi)孔211，這個(ge)分(fen)(fen)(fen)流(liu)(liu)(liu)出氣(qi)(qi)(qi)孔211繞(rao)著分(fen)(fen)(fen)流(liu)(liu)(liu)轉(zhuan)盤(pan)21的(de)(de)軸(zhou)線(xian)(xian)均勻分(fen)(fen)(fen)布(bu)在與(yu)出氣(qi)(qi)(qi)管接(jie)(jie)(jie)頭23相對應的(de)(de)位置。出氣(qi)(qi)(qi)管接(jie)(jie)(jie)頭23與(yu)分(fen)(fen)(fen)流(liu)(liu)(liu)出氣(qi)(qi)(qi)孔211的(de)(de)數量(liang)相等，出氣(qi)(qi)(qi)管接(jie)(jie)(jie)頭23與(yu)相對應的(de)(de)分(fen)(fen)(fen)流(liu)(liu)(liu)出氣(qi)(qi)(qi)孔211相連(lian)通(tong)。

密(mi)(mi)封(feng)碟盤(pan)(pan)(pan)22呈(cheng)圓柱形(xing)，密(mi)(mi)封(feng)碟盤(pan)(pan)(pan)22安(an)裝在分(fen)(fen)(fen)流轉盤(pan)(pan)(pan)21的(de)上(shang)端(duan)(duan)面，通(tong)(tong)(tong)過螺(luo)釘固(gu)定(ding)(ding)。密(mi)(mi)封(feng)碟盤(pan)(pan)(pan)22內設有多個分(fen)(fen)(fen)氣通(tong)(tong)(tong)孔(kong)(kong)221，這些分(fen)(fen)(fen)氣通(tong)(tong)(tong)孔(kong)(kong)221由密(mi)(mi)封(feng)碟盤(pan)(pan)(pan)22的(de)上(shang)端(duan)(duan)面貫穿(chuan)至下端(duan)(duan)面，且繞著密(mi)(mi)封(feng)碟盤(pan)(pan)(pan)22的(de)軸線(xian)均(jun)勻分(fen)(fen)(fen)布在與集(ji)流氣孔(kong)(kong)121和(he)(he)分(fen)(fen)(fen)流出氣孔(kong)(kong)211均(jun)相對(dui)應的(de)位(wei)置，分(fen)(fen)(fen)流出氣孔(kong)(kong)211連通(tong)(tong)(tong)集(ji)流進(jin)氣口和(he)(he)分(fen)(fen)(fen)流出氣孔(kong)(kong)211，以(yi)連通(tong)(tong)(tong)進(jin)氣路(lu)和(he)(he)分(fen)(fen)(fen)氣路(lu)。此外，密(mi)(mi)封(feng)碟盤(pan)(pan)(pan)22上(shang)設有兩個定(ding)(ding)位(wei)銷孔(kong)(kong)，該定(ding)(ding)位(wei)銷孔(kong)(kong)上(shang)安(an)裝定(ding)(ding)位(wei)銷，以(yi)保證密(mi)(mi)封(feng)碟盤(pan)(pan)(pan)22與分(fen)(fen)(fen)流轉盤(pan)(pan)(pan)21同軸心。

分(fen)流旋轉盤(pan)組件中的(de)(de)每條分(fen)氣路由其中一個出(chu)氣管接(jie)頭(tou)23、分(fen)流轉盤(pan)21內(nei)設(she)置的(de)(de)其中一個分(fen)流出(chu)氣孔(kong)211與密封碟盤(pan)22內(nei)設(she)置的(de)(de)其中一個分(fen)氣通孔(kong)221形(xing)成(cheng)。

本實施例中(zhong)的(de)(de)旋(xuan)轉(zhuan)分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)氣(qi)(qi)機構，集(ji)流(liu)(liu)定盤(pan)(pan)12上(shang)均勻分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)布的(de)(de)集(ji)流(liu)(liu)氣(qi)(qi)孔(kong)121與圓周(zhou)面上(shang)均勻分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)布的(de)(de)進氣(qi)(qi)管接(jie)(jie)頭(tou)(tou)13一(yi)(yi)一(yi)(yi)相通；密封(feng)碟(die)盤(pan)(pan)22上(shang)的(de)(de)分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)氣(qi)(qi)通孔(kong)221與分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)流(liu)(liu)轉(zhuan)盤(pan)(pan)21上(shang)的(de)(de)分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)流(liu)(liu)出氣(qi)(qi)孔(kong)211相連通，分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)流(liu)(liu)出氣(qi)(qi)孔(kong)211與分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)流(liu)(liu)轉(zhuan)盤(pan)(pan)21圓周(zhou)上(shang)均勻分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)布的(de)(de)出氣(qi)(qi)管接(jie)(jie)頭(tou)(tou)23一(yi)(yi)一(yi)(yi)相通，集(ji)流(liu)(liu)定盤(pan)(pan)12上(shang)的(de)(de)集(ji)流(liu)(liu)氣(qi)(qi)孔(kong)121與密封(feng)碟(die)盤(pan)(pan)22上(shang)的(de)(de)分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)氣(qi)(qi)通孔(kong)221位置(zhi)與分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)布一(yi)(yi)一(yi)(yi)對應。于集(ji)流(liu)(liu)氣(qi)(qi)孔(kong)121中(zhong)聚集(ji)，輸(shu)送到密封(feng)碟(die)盤(pan)(pan)22時由分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)氣(qi)(qi)通孔(kong)221將氣(qi)(qi)流(liu)(liu)均勻分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)別輸(shu)送入分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)流(liu)(liu)出氣(qi)(qi)孔(kong)211中(zhong)，進而由出氣(qi)(qi)管接(jie)(jie)頭(tou)(tou)23排出，實現均勻分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)氣(qi)(qi)。

工(gong)(gong)(gong)作(zuo)時(shi)，集流(liu)定盤(pan)(pan)(pan)(pan)12每個(ge)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)孔(kong)(kong)(kong)對(dui)應設(she)備(bei)的(de)工(gong)(gong)(gong)位(wei)(wei)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)路(lu)(lu)是(shi)保持不(bu)變的(de)，但分(fen)(fen)(fen)流(liu)旋(xuan)轉盤(pan)(pan)(pan)(pan)組件上氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)孔(kong)(kong)(kong)的(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)路(lu)(lu)則是(shi)隨轉盤(pan)(pan)(pan)(pan)的(de)轉動而(er)不(bu)斷(duan)更替(ti)。密封碟盤(pan)(pan)(pan)(pan)22克服摩擦力轉動一個(ge)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)孔(kong)(kong)(kong)位(wei)(wei)置，同時(shi)分(fen)(fen)(fen)流(liu)轉盤(pan)(pan)(pan)(pan)21上的(de)分(fen)(fen)(fen)流(liu)出氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)孔(kong)(kong)(kong)211則改變一次氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)路(lu)(lu)，原氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)路(lu)(lu)剛由后一個(ge)分(fen)(fen)(fen)流(liu)出氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)孔(kong)(kong)(kong)211接(jie)替(ti)，繼續(xu)原工(gong)(gong)(gong)位(wei)(wei)的(de)工(gong)(gong)(gong)作(zuo)。更具體地(di)，當密封碟盤(pan)(pan)(pan)(pan)22旋(xuan)轉到(dao)分(fen)(fen)(fen)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)通孔(kong)(kong)(kong)221與集流(liu)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)孔(kong)(kong)(kong)121正對(dui)相(xiang)通的(de)，完成正負氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)壓(ya)的(de)輸送。當密封碟盤(pan)(pan)(pan)(pan)22旋(xuan)轉到(dao)分(fen)(fen)(fen)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)通孔(kong)(kong)(kong)221與集流(liu)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)孔(kong)(kong)(kong)121位(wei)(wei)于相(xiang)錯位(wei)(wei)的(de)位(wei)(wei)置時(shi)，分(fen)(fen)(fen)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)路(lu)(lu)始終(zhong)保持真(zhen)空狀(zhuang)態(tai)，即(ji)在(zai)下一個(ge)工(gong)(gong)(gong)位(wei)(wei)前(qian)，裝設(she)在(zai)出氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)管接(jie)頭23上的(de)各路(lu)(lu)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)管在(zai)旋(xuan)轉狀(zhuang)態(tai)下也(ye)一直處于真(zhen)空狀(zhuang)態(tai)，達到(dao)實現保持真(zhen)空吸(xi)附的(de)目的(de)。

綜(zong)上(shang)所述，此新型旋轉分分機(ji)構(gou)實用性更(geng)強，使用范圍(wei)更(geng)廣，持續(xu)工(gong)作更(geng)穩(wen)定，更(geng)利于設備的維護以及升(sheng)級(ji)改(gai)進。

最(zui)后(hou)應當(dang)說明的是，以上(shang)實施例僅用以說明本(ben)實用新(xin)型(xing)的技(ji)術(shu)方(fang)案(an)，而(er)非對本(ben)實用新(xin)型(xing)保(bao)(bao)護范圍的限制，盡管參照較佳實施例對本(ben)實用新(xin)型(xing)作了詳細地說明，本(ben)領域的普通技(ji)術(shu)人員應當(dang)理解，對本(ben)實用新(xin)型(xing)的技(ji)術(shu)方(fang)案(an)進行修改(gai)或者(zhe)等同替換，均(jun)屬(shu)本(ben)實用新(xin)型(xing)的保(bao)(bao)護范圍。