壽命計算式壓電分配器的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種壽命計算式壓電分配器，尤其涉及一種具有將壓電元件用作致動器(actuator)而分配溶液的壓電泵(piezoelectric pump)的分配器。
【背景技術】
[0002]按照固定的量供給水、油、樹脂(resin)等液體狀態的溶液的分配器使用于半導體制程、醫療領域等各種領域。
[0003]特別是，半導體制程是于底部填充(underfill)制程中較多地使用分配器，且分配器亦較多地使用于以樹脂填充半導體元件的封裝體(package)內部的用途。于制造發光二極管(Light Emitting D1de，LED)元件的制程中，分配器使用于在LED元件中，將焚光物質與樹脂混合而成的熒光液涂布至LED晶片(chip)的制程。
[0004]此種分配器是將接收溶液而向準確的位置分配定量的泵(pump)用作核心裝置。
[0005]于泵的構造中，存在螺旋泵(screw pump)、線性泵(linear pump)等各種類型。最近，為了高速地執行分配工作，開發使用于半導體制程等中，將壓電元件用作致動器的壓電栗O
[0006]于韓國公開專利公報第號(2005.08.10)中，揭示有如下的壓電泵的構造:附著壓電元件的多個壓電致動器形成彼此不同的位移差，依次連動而泵送(pumping)流體。
[0007]使用于壓電泵的壓電致動器主要由陶瓷(ceramic)素材制作。若長期使用此種陶瓷材質的壓電致動器，則產生疲勞破壞現象。若于利用壓電泵而向半導體元件分配溶液的作業中，產生此種壓電致動器的疲勞破壞現象，則存在如下問題點:無法分配溶液或溶液的分配用量不準確而發生制程不良。
[0008]因此，需要預先預測此種壓電致動器的疲勞破壞而有效地進行管理的技術。

【發明內容】

[0009][發明所欲解決的問題]
[0010]本發明是根據如上所述的必要性而提出，目的在于提供一種于壓電致動器產生破損前，可預測該情形的壽命計算式壓電分配器。
[0011][解決問題的技術手段]
[0012]為了解決如上所述的目的，本發明的壽命計算式壓電分配器的特征在于包含:泵體；杠桿(lever)，其以可相對于設置于上述泵體的鉸鏈(hinge)軸而旋轉的方式設置；壓電致動器，其以其末端可與上述杠桿接觸的方式設置于上述泵體，以便若施加電壓，則長度變長，并且對上述杠桿加壓而使上述杠桿以上述鉸鏈軸為中心旋轉；閥桿(valve rod)，其連接于上述杠桿，以便隨著上述杠桿的旋轉而進行升降運動；閥體，其具有儲存部、流入口、及噴嘴(nozzle)，該儲存部是供上述閥桿的末端插入，且儲存溶液，該流入口是向上述儲存部流入上述溶液，該噴嘴是隨著上述閥桿相對于上述儲存部的進退而排出上述儲存部的溶液；壽命儲存部，其儲存固有地賦予于上述泵體的識別編號、及對上述壓電致動器施加電壓而上述壓電致動器作動的次數，且設置于上述泵體；及控制部，其電性連接于上述壓電致動器及壽命儲存部，施加電壓以使上述壓電致動器作動，計算使上述壓電致動器作動的次數而儲存至上述壽命儲存部。
[0013][發明效果]
[0014]本發明的壽命計算式壓電分配器具有如下效果:于壓電致動器產生破損前，預先預測該情形，從而更換壓電致動器而防止制程的損失及不良品的產生，藉此提高生產性。
【附圖說明】
[0015]圖1是本發明的一實施例的壽命計算式壓電分配器的前視圖。
[0016]圖2是圖1所示的壽命計算式壓電分配器的壓電泵的立體圖。
[0017]圖3是圖2所示的壽命計算式壓電分配器的側視圖。
[0018]圖4是圖2所示的壽命計算式壓電分配器的IV-1V線剖面圖。
[0019]圖5是關于圖1所示的壽命計算式壓電分配器的主要構成的方塊圖。
[0020]圖6至圖8是用以說明圖1所示的壽命計算式壓電分配器的作動的概略圖。
[0021]圖9是用以說明本發明的其他實施例的壽命計算式壓電分配器的作動的概略圖。
【具體實施方式】
[0022]以下，參照隨附圖式，詳細地對本發明的壽命計算式壓電分配器進行說明。
[0023]圖1是本發明的一實施例的壽命計算式壓電分配器的前視圖，圖2是圖1所示的壽命計算式壓電分配器的壓電泵的立體圖，圖3是圖2所示的壽命計算式壓電分配器的側視圖。
[0024]參照圖1至圖3，本實施例的壽命計算式壓電分配器具有壓電泵(100)及控制部(200)。壓電泵(100)具有泵體(10)、杠桿(30)、壓電致動器(51、52)、閥桿(40)、閥體(20)、及壽命儲存部(221)。
[0025]如圖1所示，泵體(10)與閥體(20)是利用螺桿(bolt)而以可裝卸的方式結合。
[0026]于泵體(10)，設置鉸鏈軸(11)，以可相對于鉸鏈軸而旋轉的方式設置橫向延伸的杠桿(30) ο
[0027]于閥體(20)，嵌合設置以于垂直方向上延伸的方式形成的閥桿(40)。杠桿(30)與閥桿(40)彼此連接，若杠桿(30)相對于鉸鏈軸(11)而旋轉，則閥桿(40)上下升降。
[0028]壓電致動器(51、52)設置于泵體(10)。壓電致動器(51、52)包括兩個(第I壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52))，使杠桿(30)相對于鉸鏈軸(11)而旋轉。第I壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)是利用壓電元件而構成。即，使用如下構造的壓電元件而構成第I壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52):若施加電壓，則根據該施加電壓的電位而長度變長或變短。于本實施例中，將如下情形列舉為例而進行說明:使用積層多個壓電元件而構成的多層疊(Multi Stack)壓電致動器(51、52)，構成第I壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)。
[0029]如圖4所示，第I壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)于垂直方向上彼此并列地配置而設置于泵體(10)。第I壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)是以如下方式配置:隔以鉸鏈軸(11)而分別使下端部與杠桿(30)的上表面接觸。若對第I壓電致動器
(51)施加電壓而長度變長，則杠桿(30)以圖5為基準而向逆時針方向旋轉，若對第2壓電致動器(52)施加電壓而長度變長，則杠桿(30)以圖4為基準而向順時針方向旋轉。
[0030]于第I壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)的上端，分別配置第I調節單元
(61)及第2調節單元(62)而設置于泵體(10)。于本實施例中，無頭螺桿形態的第I調節單元(61)及第2調節單元(62)分別以與第I壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)的末端接觸的形態，螺合設置于泵體(10)。第I調節單元￠1)調節第I壓電致動器(51)相對于杠桿(30)及泵體(10)的位置，第2調節單元￠2)調節第2壓電致動器(52)相對于杠桿(30)及泵體(10)的位置。若擰緊第I調節單元(61)而相對于泵體(10)前進，則第I壓電致動器(51)下降而接近或密接至杠桿(30)。第2調節單元(62)亦藉由與第I調節單元￠1)相同的方法而作動。
[0031]于杠桿(30)的下部，配置第I復位單元￠3)及第2復位單元￠4)而設置于泵體
(10)。第I復位單元(63)向使第I壓電致動器(51)收縮的方向，對第I壓電致動器(51)施力。相同地，第2復位單元￠4)向使第2壓電致動器(52)收縮的方向，對第2壓電致動器(52)施力。第I復位單元(63)及第2復位單元(64)可為彈簧(spring)，亦可為流體管(duct)，該彈簧是于第I壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)的下部，分別向使第I壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)收縮的方向提供彈力。于本實施例中，將為如下的板簧形態的第I復位單元￠3)及第2復位單元￠4)的情形列舉為例而進行說明:于分別與第I壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)對應的位置的下部，向第I壓電致動器
(51)及第2壓電致動器(52)傳達彈力。與本實施例不同地，亦可使用如下的第I復位單元
(63)及第2復位單元￠4):于利用空壓或液壓的情形時，藉由流體管向杠桿(30)傳達空壓或液壓，從而向使杠桿(30)恢復至原位的方向傳達力。
[0032]閥體(20)具有儲存部(22)、流入口(2)、及噴嘴(23)。儲存部(22)形成為向上側開放的容器形態，閥桿(40)插入至該儲存部(22)而使儲存部(22)的上側密閉。流入口
(21)與儲存部(22)連接。藉由流入口(21)而自外部供給的溶液向儲存部(22)傳達。
[0033]連接于杠桿(30)的閥桿(40