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微觀裝置的制(zhi)造(zao)及其處理技術  
  • 納米森林結構的制備方法及納米森林結構的調控方法與流程
    本發明涉及納米，具體而言，涉及一種納米森林結構的制備方法及納米森林結構的調控方法。納米森林結構因具有大表體比、多孔隙等特殊表面效應而被廣泛應用在生物檢測以及光電探測等器件上，其直接影響到器件的工作性能、制備成本以及應用范圍。一種制備工藝簡單、特性及形貌可控的納米森林結構可以有效提高...
  • 多參數高通量SERS活性微針的制備方法及活性微針與流程
    本發明屬于生物傳感，涉及一種SERS活性微針的制備方法及活性微針，尤其涉及一種多參數高通量SERS活性微針的制備方法及活性微針。2002年任等報道了基于針灸針構建鈣離子傳感針的電化學檢測方法。2015年起，ZhangGJ等先后報道了基于針灸針構建多巴胺、5-羥色胺和NO等傳感針的...
  • 一種在微型柱子表面上構造單內凹結構的方法與流程
    本發明屬于材料合成，具體涉及一種在微型柱子表面上構造單內凹結構的方法。在表界面浸潤領域，所謂的單內凹結構又叫T形結構或者蘑菇頭結構，即結構頂部與底部之間存在拐角，當液滴放在該結構表面時，液面呈現懸掛在內凹結構間而非陷入凹坑的狀態。因此，具有微型內凹結構的粗糙表面，常常具有很好的排斥...
  • 一種壓力傳感器的陶瓷絕緣層及其制備方法與流程
    本申請涉及電子，尤其涉及一種壓力傳感器的陶瓷絕緣層及其制備方法。目前為了使壓力傳感器具有絕緣性，在壓力傳感器的彈性體和應變片之間涂一層或多層膠把彈性體和應變計粘接在一起，利用膠的絕緣性使得應變計和彈性體不導通。但膠層涂的太薄，壓力傳感器的絕緣強度指標就會降低，膠層涂的太厚，壓力傳感...
  • 具有覆蓋結構的MEMS器件結構的制作方法
    相關申請的交叉引用本申請要求于2013年3月11日提交的名稱為“MEMSDeviceStructurewithaCappingStructure”的美國臨時專利申請第61/775,931號的利益，其全部內容結合于此作為參考。本發明涉及半導體，更具體地，涉及具有覆蓋結構的...
  • 一種MEMS器件及制備方法、電子裝置與流程
    本發明涉及半導體，具體而言涉及一種MEMS器件及制備方法、電子裝置。隨著半導體技術的不斷發展，在傳感器(motionsensor)類產品的市場上，智能手機、集成CMOS和微機電系統(MEMS)器件日益成為最主流、最先進的技術，并且隨著技術的更新，這類傳動傳感器產品的發展方向是規模...
  • 壓電型微機電致動器裝置和集成微機電致動器裝置的設備的制作方法
    本申請要求2017年11月27日提交的意大利專利申請第5836號的優先權，其內容在法律允許的最大范圍內通過引證引入本文。本文描述的技術涉及基于壓電技術的致動器裝置以及包括致動器裝置的設備，特別是揚聲器。具體地，在下文中將參考通過MEMS(微機電系統)技術實現的致動器。...
  • 半導體結構及其制造方法與流程
    本公開涉及半導體器件制造領域，更具體地，涉及一種半導體結構及其制造方法。隨著微機電系統(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)技術的發展，利用MEMS技術制造的加速度傳感器、陀螺儀、角速度傳感器等精度較高的器件已經廣泛地應用到了汽車領域和消費電子的領域中...
  • 一種MEMS晶圓級封裝結構及方法與流程
    本發明涉及半導體封裝，特別是涉及一種MEMS晶圓級封裝結構及方法。微機電系統(MicroElectro-MechanicalSystems，MEMS)涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫學等多種學科與技術，具有廣闊的應用前景。已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、...
  • 傳感器陣列系統及制造方法與流程
    本申請涉及傳感器領域，具體而言，涉及一種傳感器陣列系統及制造方法。傳感器陣列是一組傳感器，可以通過某種幾何圖案部署，用于收集和處理電磁或聲學信號。相對單一傳感器，傳感器陣列的優點在于，陣列為觀測增加了新的維度，有助于獲取更多參數并提高性能。針對檢測對象的表面形狀位置不同，為了提高接觸面交互...
  • 基于電磁激勵單晶硅諧振梁的熱電變換器結構及制造方法與流程
    本發明涉及一種熱電變換器結構及制造方法，特別是基于電磁激勵單晶硅諧振梁的熱電變換器結構及制造方法，屬于微電子機械系統(Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS)領域。交流電壓(或電流)基準是國家交流電壓(或電流)量值傳遞中的基準計量器具，擔負著我國交流電壓...
  • 具有對由于諸如正交分量之類的擾動力所致的誤差補償的微機電設備的制作方法
    本公開涉及具有由于由諸如正交分量之類的擾動力所致的的誤差補償的微機電設備。如已知的，MEMS(微機電系統)由于它們的小尺寸、與消費者應用兼容的成本、以及它們與日俱增的可靠性而以日益廣泛的方式被用在不同的應用中。特別是，利用這一技術，制造了諸如微集成的陀螺儀和機電振蕩器之類的慣性傳感...
  • 薄膜結構的形成方法、聲電換能器件及其形成方法與流程
    本發明涉及半導體制造技術，具體涉及一種薄膜結構的形成方法、聲電換能器件及其形成方法。聲電換能器用于進行聲信號和電信號之間的轉換。麥克風是將聲波(即，聲信號)轉換成電信號的聲電換能器。揚聲器則是將電信號轉換為聲信號的聲電換能器。基于微機電系統(Micro-Electro-Mechanical...
  • 激光鍵合方法和具有激光鍵合連接部的微機械設備與流程
    本發明涉及一種具有帶著MEMS鍵合框的MEMS構件和帶著罩鍵合框的罩構件的微機械設備，其中，MEMS構件和罩構件形成至少一個共同的空腔，其中，MEMS鍵合框和罩鍵合框在鍵合面上彼此貼靠。在MEMS元件中，例如在轉速傳感器、加速度傳感器、組合元件中，用于按照規定的功能的MEMS元件針對環境影...
  • 電子裝置、電子裝置的制造方法與流程
    本發明涉及電子裝置、電子裝置的制造方法、物理量傳感器、電子設備及移動體。一般，已知有作為具備機械式可動的結構體的電機械系統結構體的物理量傳感器。作為物理量傳感器，例如已知有如下的電容式傳感器，其基于根據物理量(加速度、角速度等)的作用而進行位移的可動電極與同該可動電極對置的固定電極之間的靜...
  • 用于形成自動傳輸的感光聚合物波導的自下而上設備設計的制作方法
    本申請涉及美國專利第7,382,959號(“'959專利”)和美國專利第7,938,989號(“'989專利”)，其全部內容均以引用的方式并入本文中。根據本發明的實施例的一個或多個方面涉及用于制造微桁架結構的系統和方法，且更具體地說，涉及用于自下而上形成此類結構的系統和方法。微桁架...
  • 含枝狀體的混合納米粒子、生產此類混合納米粒子的方法以及它們的用途與流程
    本申請要求于2015年6月12日提交的美國臨時申請號62/174,670和于2016年3月22號提交的美國臨時申請號62/311,504的優先權，兩者通過引用以其全文并入本文。本披露涉及包含金屬核心和至少一個附接到該金屬核心表面的親脂性枝狀體的混合納米粒子(nanoparticle)，以及...
  • MEMS傳感器的制作方法
    本實用新型涉及聲電轉換，更為具體地，涉及一種降低封裝應力的MEMS傳感器。現有的MEMS傳感器(如：壓力傳感器、MEMS麥克風)，MEMS芯片通過膠與PCB板固定，由于MEMS芯片對封裝應力較為敏感，MEMS芯片容易受到外界應力變化的影響，因此MEMS傳感器對封裝要求較高。因此，為...
  • 地磁傳感器件的制作方法
    本公開涉及半導體，更具體地，涉及一種地磁傳感器件。微機械系統(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)與集成電路(integratedcircuit,IC)目前是半導體產業最重要的兩個發展領域。在全球科技迅速發展的推動下，MEMS與IC的集成成為...
  • 高聚物納米柱陣列、微反應室陣列的制備方法及應用與流程
    本發明涉及一種高聚物納米柱陣列和微反應室陣列的制備方法，尤其涉及一種可應用于納米級檢測中的高聚物納米柱陣列和微反應室陣列的制備方法。精確的理解化學、材料學、生物醫學等過程需要與其基本單位適應尺寸的測試工具。隨著單分子顯微鏡、單分子光學超分辨成像技術的發展，超微反應分析已經被越來越廣泛的應用...
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