專利名稱：用于對象識別和鑒定的方法與系統的制作方法
用于對象識別和鑒定的方法與系統 相關申請的交叉引用
本申請要求2006年4月19日提交的申請號為60/793， 334，名稱為"共 振譜識別"的美國臨時專利申請的優先權，該在先申請以引用的方式結合 于此。
關于聯邦政府資助的研究或開發的聲明
美國政府擁有本發明的某些權利。
背景技術：
本發明總體上涉及對象(objects)的鑒定(authentication)與識別 (identification),本文中識別用來表示對象實例的可接受信任度的辨識。 對象可以是任何類型的對象，并且它們本身可以與物品、貨物、人、動物、 材料等相關。
在安全系統中，有許多候選的識別技術，包括生物識別技術例如指紋、 視網膜掃描、虹膜掃描以及面部識別算法。生物識別信息用于驗證唯一的 身份。
用于識別對象的傳統技術的一個例子是無線射頻識別(Radio Frequency Identification (RFID))技術。利用傳統無線射頻識別技術 (RFID)，包含發射機的詢問器產生電磁場，包含接收天線的電子標簽可 以通過該電磁場。電磁場向標簽上的電路供應能量，然后標簽上的電路傳 送識別碼或者編碼。其它功能，比如數據保存，或者計算，也可以在標簽 上執行。
這樣的技術可以用于識別對象，因為，典型地，當標簽被供給能量時 所通信的識別碼被選為至少在特定的范圍內實質上是唯一的，因此傳送的 識別碼可以用來識別貨物或者人，其中所有包含標簽的對象都與所述識別碼相關聯。
在需要的置信度范圍內，這樣的技術也可以用來鑒定(即，驗證)與 標簽相關聯的人、動物或者物件的身份，如果標簽被視為這樣的人、動物 或者東西的身份的證據的話。
一般而言，無線射頻識別技術對鑒定有用的范圍僅限于，對于欲成為 偽造者或者模仿者的人來說通過制造復制的標簽或者以其它方式難于復 制特定標簽的特性的范圍以內。在許多情況下，無線射頻識別標簽的設計 是眾所周知的，并且該技術使其可以被復制。 一些無線射頻識別標簽存在 加密或者其它加密功能，但是這樣的標簽價格昂貴，并且對標簽的處理能 力有限。因此，維護傳統無線射頻識別系統的安全以抵御確定的攻擊者可 能并不可行或者不夠經濟有效。

發明內容
在一個例子中，用于對象以及/或者材料的識別以及/或者鑒定的方法 的實施例包括，將微機械諧振器結構相對于對象連接放置，該微機械諧振 器結構具有實質上唯一的預先確定的特征信號，激發微機械諧振器結構運
動，檢測被激發運動的特征信號并且比較檢測到的特征信號與實質上唯一 的預先確定的特征信號。對象/材料可以作為比較的結果被識別/鑒定。
另一方面，識別介質(如，卡片、標簽、標記、文件等)包括個人的 識別信息。識別信息可以電子存儲、磁性存儲等(如，存儲在存儲器、光 盤或者磁帶中)以及/或者印在介質上或者用其它方法令其在介質上可見。 作為非限制的例子，識別信息可以包括照片信息、傳記信息、生物信息、 描述性信息、人口統計學信息、會員信息、財務信息等。識別介質還包括 基板，該基板包括微機械諧振器結構，該微機械諧振器結構包括一個或多 個微機械諧振器，每個微機械諧振器響應激發信號發出特征信號。
在一個例子中，可以通過激發微機械諧振器結構以及驗證特征信號與 需要的特征信號相似來驗證識別介質的可靠性。識別介質還可以包括傳達 激發信號到微機械諧振器結構的通信介質以及其它特征。微機械諧振器結 構可以無線通信以及/或者通過帶有讀取器的有線通信媒介通信。
另一方面，識別系統包括一些相對于對象連接放置的基板。每一個基
8板包括微機械諧振器結構，該微機械諧振器結構包括一個或多個微機械諧 振器。識別還包括數據存儲，數據存儲保存一些存儲的特征信號。每一個 基板具有相關聯的各自的存儲的特征信號。每一個存儲的特征信號可被辨 識地區別于其它存儲的特征信號。每一個存儲的特征信號適合于與一個微 機械諧振器結構對激發信號的響應進行比較。
在一個實施例中，這些教導的系統也可以包括用來比較一個微機械諧 振器對激發信號的響應的分析子系統。該系統還可以包括一些對象，其中 多個基板中的每一個與相應的一個基板連接放置。
另一方面，制造識別介質的方法包括在基板上構建微機械諧振器結 構，該微機械諧振器結構包括一個或多個微機械諧振器。該方法包括相對 于對象連接放置基板。該方法包括用激發信號激發微機械諧振器結構，以 及接收微機械諧振器結構的響應特征信號，特征信號包含每一個微機械諧 振器對激發信號的響應。該方法包括存儲接收到的響應特征信號作為裝置 的期望響應以供以后比較。
在一些實施例中，微機械諧振器構建成使加工變化可檢測地影響特征 信號。在一些實施例中，存儲的特征信號包括源自特征信號的值。在一些 實施例中，存儲的特征信號包括特征信號的頻譜。在一些實施例中，該方 法還包括向顧客傳送對象(用連接放置的基板)以及存儲的特征信號。
另一方面，計算機可讀介質包括一些存儲特征信號，每一個存儲特征 信號與各自的微機械諧振器結構相關聯。每一個存儲特征信號可被辨識地 區別于其它多個存儲特征信號。每一個存儲特征信號適合于與微機械諧振 器結構對激發信號的響應作比較。每一個存儲特征信號用來與微機械諧振 器結構對激發信號的響應進行比較。
另一個方面，用于識別的方法包括向對象傳送激發信號。該對象包括 微機械諧振器結構，微機械諧振器結構本身包括一個或多個微機械諧振器 裝置。該方法包括響應傳送的激發信號接收特征信號。接收到的特征信號 可以包括聯合的微機械諧振器結構中每一個微機械諧振器對激發信號的 響應。該方法包括，如果接收到的特征信號與存儲的與對象相關的特征信 號足夠相似，則傳送信號確認對象識別。
本發明方法的其它實施例以及這些教導的系統的實施例在下文中公開。為了更好的理解本發明，連同其它以及進一步的需要，請參考附圖及 詳細說明，并且其范圍在權利要求中指明。


圖1是本發明的系統的實施例的示意性方框圖2是本發明的系統的組件的實施例的圖形示意圖3是本發明的系統的組件的另一個實施例的圖形示意圖4a、 4b是本發明的系統的組件的其它實施例的圖形示意圖4c是殼式諧振器跨越3 MHz頻率寬度的典型振幅特性曲線；
圖5a、 5b是本發明的系統的組件的其它實施例的圖形示意圖6是本發明的系統的組件的另一實施例的圖形示意圖7是本發明的系統的另一個組件的另一實施例的圖形示意圖8是本發明的系統的組件的另一個實施例的圖形示意圖9是本發明的系統的另一個組件的實施例的圖形示意圖IO是本發明的系統另一個組件的另一個實施例的圖形示意圖lla、 lib是本發明的系統的另一個組件的其它實施例的圖形示意
圖12是本發明的系統的另一個組件的實施例的圖形示意圖；以及 圖13表示本發明的方法的實施例的流程圖。
具體實施例方式
在一個例子中，足夠(sufficiently)(也稱為實質上(substantially)) 唯一 (unique)的特征信號可以由微機械諧振器結構在該結構被激發時產 生。足夠唯一指信號足夠唯一，它們中的大部分通過一類對象中的每一個 對象關聯特有信號而唯一地識別該類對象中的每一個對象。實質上(足夠) 唯一的特征信號使得現有唯一信號對同一類中的另一個對象再生或者再 分配極不可能或者實際上不可能。由于微機械諧振器結構的設計和構造與
10該結構的物理制造固有限制相結合，該結構可以有一個唯一的特征信號。 一個或多個諧振器機構的樣本特征響應信號一旦生成，其就可以被獲取并 存儲。存儲樣本可以用來在此后以一定的置信度識別該諧振器結構。例如， 如果微機械諧振器結構安裝或者包括在對象內，該對象就可以被識別。因 此公開的技術可以用來識別并且/或者鑒定對象，進而是與對象相關的人。
可以受益于這樣的足夠唯一的特征信號的應用包括，但不局限于，目
前使用無線射頻識別標簽的應用，例如非接觸式識別卡(proximity identification cards)、信用卡、產品識別、文件識別、安全系統、電腦鑒定 系統、物理鑒定系統以及其它應用。
圖1表示根據本發明的一個方面的系統的實施例的示意性方框圖。參 考圖l，微機械諧振器結構20受到激發子系統30的激發。激發子系統30 能夠激發微機械諧振器結構20運動。微機械諧振器結構20相對于對象(圖 中沒有顯示出來)連接放置。對象可以是由任何材料構成的任何適合的物 件，其可以包括，但是不局限于，例如，固體、液體、凝膠、流體、織物 或者纖維，以及/或者某種組合。微機械諧振器結構20可以以任何適合的 方式連接放置，包括，但不局限于，放置在對象上、放置在基板上并且該 基板固定在對象上、與對象混合在一起、與對象交織在一起，以及/或者某 種組合。例如，微機械諧振器結構20可以在基板上實施，例如，基板嵌 入或者安裝在諸如卡片這樣的對象上。作為另一個例子，對象可以是液體， 實施微機械諧振器結構20的基板可以懸浮在液體中。
微機械諧振器結構20具有特征信號，該特征信號是足夠唯一的(獨 一無二的)使其可以一一定的置信度區別于其它信號。特征信號可以由通 過一種或者多種不同技術完成的測量來確定。檢測子系統40能夠在微機 械諧振器結構20被激發運動時檢測這樣的特征信號45。
例如，特征信號45可以包括，但不局限于，振動譜或者誘導運動譜 或者作為誘導運動頻率的函數的相位或者對于檢測子系統的響應相位，以 及/或者某些組合。例如，可以檢測相對振幅、品質因數以及/或者單模式 或者多模式共振譜的相位。分析子系統50將檢測到的特征信號與先前確定的特征信號相比較。 如果檢測到的特征信號與先前確定的特征信號足夠相似，那么對于微機械 諧振器20連接放置的對象可以被識別并且/或者被鑒定。
圖2、 3、 4a、 4b以及5a-5b表示激發子系統，例如激發子系統30的 不同實施例。圖6和圖7表示檢測子系統的實施例。
圖9、 10以及lla、 llb表示微機械諧振器結構，例如微機械諧振器 結構20的實施例。
圖9表示殼式(shell type)微機械諧振器結構。在一個例子中，殼式 微機械結構通過在間隙上制造薄膜來構建。構建這種薄層薄膜的一種方 法，但不是唯一的方法，是首先在適合的基板上例如硅上，生成、沉積、 或用其它方法得到硅基板上面的犧牲原料膜，例如二氧化硅。然后得到基 板上面的犧牲膜，最終產生薄層薄膜的原料膜將生成、沉積、或用其它方 法放置在犧牲層上。將要包含裝置的該薄膜一般被稱為原料的裝置層。一 般裝置層薄膜包括，但不局限于，硅、氮化硅以及多晶硅。裝置層用這樣 的方式布圖，即在犧牲層移除后產生薄層薄膜裝置。裝置層布圖的一種方 法是用光刻膠(photoresist)遮蔽裝置層，進行光刻(photolithography), 移除沒有遮蔽的光刻膠，最終用活性離子刻蝕裝置層以外的部分。裝置層 布圖的另一種方法將是應用電子束抗蝕劑并且用電子束對電子束抗蝕劑 布圖。然后用活性離子刻蝕去除部分裝置層。這兩種方法并不排除其它可 以用來對裝置層布圖的方法，并且其它方法包括，但不局限于，離子研磨 裝置層或者用生物樣品如自組裝s層蛋白質作為掩模。沒有遮蔽的犧牲層 典型地用各向同性刻蝕的方法移除。典型地，但不僅限于，用氫氟酸來完 成。當適量的犧牲原料從裝置層下面移除時，停止刻蝕，生成薄層薄膜。 可以參考詳細描述該過程的科技論文Zalalutdinov等人發表在《Applied Physics Letters》，第83巻，3815-3817頁，2003年；以及，Zalatutdinov 等人發表在《Applied Physics Letters》，第78巻，3142-3144頁，2001年。 請注意，后一參考論文描述的結構與圖9所示的結構不同，但其提到的制 造過程是相似的并且參考文獻中典型描述的裝置具有唯一的特征信號。后 一參考文獻提到的裝置通常被稱為蘑菇型(mushroom-type)諧振器，或者中心嵌位板(center-clamped plate)諧振器，或者簡單成為懸浮板 (suspendedplate)諧振器。
圖10所示為弦型(string type)微機械諧振器結構。在一個例子中， 弦型微機械諧振器用光刻工具制造(例如參考Verbridge等人發表在
《Joumal of Applied Physics》，第99巻，124304頁，2006年的文章室溫 下高品質因數與納米弦在高拉伸應力下共振(High-quality factor resonance at room temperature with nanostrings under high tensile stress )， 其以參考弓I 用的方式結合于此)。弦型微機械諧振器結構如圖10所示。在一個例子中， 弦型微機械諧振器用非光刻技術制造。這種方法例如在Verbridge等人發 表在《Journal of Applied Physics》，第99巻，124304頁，2006年的文章中 有所描述。在文章所描述的方法中，用靜電紡絲將聚甲基丙烯酸甲酯
(poty(methylmethacrytate)以下簡稱PMMA)沉積在原料裝置層上面。應 用靜電紡絲可以達到微米級和納米級結構。隨后PMMA用作掩模層用于 對裝置層進行布圖。 一旦裝置層例如用活性離子刻蝕完成布圖，裝置層下 面的犧牲層就被移除，例如，用各向同性刻蝕移除犧牲層。
通常也會使用制造弦型微機械諧振器的其它方法。例如，針對圖9描 述的方法可以用來制造弦型諧振器。光刻或者電子束光刻可以用來對裝置 層上的抗蝕劑布圖。這樣的過程描述在，例如，Carr & Craighead發表在 《Journal of Vacuum Science and Technology B》，第15巻第6期，2760-2763 頁(1997年)的文章。如上所述，經布圖的裝置層通過在隨后的制造步驟 中移除擱置裝置層的原料犧牲層而被懸浮。移除犧牲層后，裝置自由懸浮 并且可以共振。
已經描述了殼式或者穹頂諧振器結構(dome resonator structures)、弦 型或者雙端固支諧振器結構(ouble-clamped beam resonating structures)、 蘑菇型或者懸浮板諧振器結構(suspended plate resonating structures)以及 懸臂結構(cantileverstructures)作為諧振器可以用于微機械諧振器結構。 應當理解的是這些結構并非排他的微機械類型(微機械類型可以包括納米 機械)結構，而是，這些微機械類型結構也可以附加應用或者將其組合應用。例如，橋型諧振器(bridge resonators)、狹縫諧振器(slitresonators)、 環形諧振器(ring resonators)、盤式諧振器(disc resonators)、酒杯形諧振 器(wine-glass resonators)、板形諧振器(plate resonalors)以及音叉諧振 器(tuning fork resonators)都是非限制的結構例子，它們都可以應用。
還可以制造耦合諧振器陣列(coupled arrays of resonators)。耦合諧振 器陣列結構如圖11a所示(摘自Zalalutdinov等人發表在《Applied Physics Letters》，第88巻，143504頁，2006年的文章，其以參考引用的方式結合 于此)。圖ll所示的結構是二維耦合陣列，然而一維耦合陣列同樣擁有貫 穿本發明所描述的唯一的共振特性。圖lla所示的結構，表示這樣的二維 耦合陣列，但不是唯一的例子，其用絕緣層晶圓(SOI wafer)和針對圖9 描述的相似技術制造。電子束抗蝕劑和光刻可以用來對裝置層進行布圖， 隨后的各向同性刻蝕移除犧牲層，釋放諧振器裝置。二維耦合陣列是一種 每一個諧振器機械地與其它諧振器耦合的陣列。盡管可以用其它方式耦 合，包括通過基板將一個諧振器的運動耦合到其它諧振器，但這樣的耦合， 典型地，通過裝置層互連而實現(例如圖lla所示，是裝置層中的細梁)。 耦合諧振器陣列的一個重要特征，以及不排除二維耦合陣列的特征是由 于諧振器耦合，激發陣列的響應是整個陣列條件的強烈依賴作用。例如， 激發陣列某一特定部分中的陣列可能產生與通過激發陣列不同部分獲得 的響應有顯著差異的響應。響應包括頻率響應、每一個響應頻率的振幅以 及相位響應，但不僅限于只有這些。此外，對于耦合諧振器陣列來說，當 激發不同的部分或者通過不同的方式激發時呈現出不同的響應是沒有必 要的。
懸臂梁型微機械諧振器的二維陣列如圖llb所示。在如圖llb所示的 陣列中，對應于陣列的激發運動的特征信號實質上是陣列結構中每一個微 機械諧振器的特征信號的組合。
在一個例子中，每一個微機械諧振器的特征信號，比如，但不局限于， 頻譜以及/或者相位對頻率特性，由于諧振行為的高Q值(也稱為品質因 數(quality factor))以及由微加工變化帶來的小瑕疵而構建為實質上的唯 一。由(典型的任何加工過程但由小尺寸的特征加重的)微加工變化引起的小瑕疵可檢測地改變特征信號。加工變化是微加工和納米加工技術不可 避免的結果。變化由加工工藝中隨機的、原子級的變化產生，加工工藝例 如是，但不局限于，活性離子刻蝕、薄膜的生成以及各向同性刻蝕，還有 由光刻工具的分辨率限制產生的變化，光刻工具例如是，但不局限于，影 印光刻工具、離子減薄儀以及電子束光刻工具。即使目前發展水平的工具 也顯示出原子級的加工變化，并且所有目前發展水平的工具會始終顯示出 這樣的變化，除非那些工具含有包含諧振器結構的每個原子的單獨位置。 值得注意的是在許多申請中，例如，但不局限于，加速計的微-電子機械 系統，不希望有這樣的加工變化并且花費很多的時間以及資源致力于試圖 減少這樣的變化。盡管在其它申請中往往不希望有這樣的加工變化，但在 本發明中微加工變化是有益處的，因為這些變化使其難于刻意復制微機械 諧振器結構，并且難于通過這樣的微機械諧振器結構產生作為結果的特征 信號。
例如，對于品質因數(Q值)在10000到50000之間的諧振器，可以 識別從中心頻率小于l千赫茲的位移。典型的，如果由于制造10兆赫諧 振器產生的瑕疵可以導致多達+/-3%以上的頻率誤差，該諧振器就有大約 600個不同的可以檢測到的值，這些值將在制造過程中由加工引起的變化 隨機建立。
作為一個非限制的例子，有六種模式的微機械諧振器結構可以顯示出 大于1014種可解析的模式頻率的可能組合。在這樣的例子中，假定每一 個模式具有接近10兆赫的共振頻率以及將近10000的品質因數。這些值 通常在制造微機械結構以及納米機械結構諧振器中是典型的。假如共振頻 率的典型變化大約為+/-1.5%，那么對于這樣一個共振模式就有300種不 同的、可解析的頻率。假如例子使用六種共振模式，假定其變化相同并且 標稱的共振頻率接近10兆赫，則識別信號的可能組合數作為六種共振頻 率的疊加300*299*298*297*296*295，即 1014。
這里，模式是諧振器的特有的共振模式。例如，弦型諧振器具有與基 礎頻率的諧波倍數相符合的模式。其它類型的諧振器具有除了具有與基礎 模式頻率無關系的頻率的模式以外還具有是基礎模式頻率倍數的頻率的模式。這些模式其中的一些具有在頻率空間中相對地、接近地間隔的頻率， 因此，例如，在探測器3兆赫頻率窗口中，可以檢測到由多重激發模式產
生的頻率。圖4c就是這樣的一個檢測窗口的所有例子，在頻率空間中該 檢測窗口足夠寬以觀察殼式諧振器八種不同的共振模式的頻率。圖4c摘 自Zalalutdinov等人發表在《Applied Physics Letters》，第83巻18期， 3815-3817頁，2003年的文章。
對于這樣的微機械諧振器的所有陣列，波譜中頻率的可能組合數可以 大于1060。可供選擇的特征信號數目如此之大導致特征信號充分地唯一。
圖2所示為激發子系統30的實施例。(在一個實施例中，激發運動包 含在先前確定的特征信號的足夠唯一的頻率范圍內的頻率。)在如圖2所 示的激發子系統30的實施例中，加熱組件70包括微機械諧振器結構60 中的熱加熱和熱應力。加熱組件可以是本機的，由同一的基板提供，或者 在同一裝置或者對象中，作為微機械諧振器結構60，并且/或者可以從外 界提供加熱組件，比如激發器的一部分。任何合適的加熱組件70都可以 應用。作為非限制的例子，用激光作為加熱元件。作為另一個例子，所有 的紅外發光二極管都可以使用。用來熱刺激諧振器的典型能量是微瓦數量 級的。依靠精確的激發機構，激發機構與諧振器之間的耦合的效率以及諧 振器本身的熱特性，這樣的能量將典型地引起諧振器局部溫度發生1度絕 對溫標量級的變化。在諧振器局部區域內的這樣的溫度變化導致局部應 力，局部應力導致諧振器納米量級的局部變形(或更小)，諧振器納米量 級的局部變形是共振運動的根源。前面提到的值是以下文章中所描述的典 型的裝置Aubin等人，發表在《Journal of Microelectromechanical Systems》， 第13巻6期，第1018-1026頁，2004年的文章；Reichenbach等人，發表 在《IEEE Electron Device Letters》，第27巻10期，805-807頁,2006年的 文章。但是應當理解的是，需要的值可能會根據所用的激發器的種類、所 選擇的結構以及特定的形狀而不同。
參考圖3，在不同的實施例中，機器自帶的加熱組件可以是布圖的電 阻區，例如微機械諧振器結構80上貼近微機械諧振器結構80的區域85。 這樣經過布圖的電阻區可以在通電時產生熱量。因此，可以裝配電路接收
16輻射能(例如，從通電信號中接收)并且對這樣的電阻區通電以產生熱量。 這樣的電路也可以通過電池、輸電線或者其它電源供電。
在另一個實施例中，如圖4a所示，微機械諧振器結構80可以裝配成 使得運動由洛倫茲力(作用于所有電場中運動的帶電粒子的正交力)引起。 例如微機械諧振器結構80可以放置在由磁場源90產生的磁場中，并且具 有所有與磁場中通過激發信號產生的電流有關的電導體85，從而導體受到 傳遞到微機械諧振器結構80上的力，微機械諧振器結構80進而發生振動。 用來激發如上所述的這種結構的諧振器的典型磁場大約為l-7特斯拉。比 如，可參考Cleland和Roukes發表在《Applied Physics Letters》第69巻 18期，第2653-2655頁，1996年的文章。
電磁場可以通過，例如，基板上或者基板附近的永磁鐵或者電磁鐵提 供，或者，在讀數的過程中，通過在相同時間應用外場作為激發信號以供 給交流電流iac來提供。導體中的電流通過關聯的天線而產生，例如，連 接激發信號與電導體85的線圈，當微機械諧振器結構振動時同樣的電路 可以用來檢測電阻變化。
在一個實施例中，如圖5b所示，微機械諧振器結構80的運動由靜電 力產生。例如，帶電的微機械諧振器結構可以在靜電吸引力以及/或者靜電 排斥力下與一個或者^個電極一起移動。在一個例子中，微機械諧振器結 構80上具有與另一個電極電容性耦合的電極。兩個電極可以與提供交流 電流的電路相連。當交流電流的頻率與微機械諧振器結構80的特征信號 頻率相應時，微機械諧振器結構80可以被強烈激發。用來激發諧振器中 的運動的交流頻率可以是諧振器的基本共振頻率，或者可以是諧振器共振 頻率的任何倍數或者分數。
在一個實施例中，如圖6所示，微機械諧振器結構140的運動由壓電 力產生。例如，微機械諧振器結構140上可以具有壓電材料150，在壓電 材料相反側的電極與提供交流電流的電路相連。當電流作用于壓電材料 時，壓電材料將變形，例如，膨脹和收縮，并且將導致共振構件向上或者 向下偏斜。微機械諧振器結構140可以包括一層或者多層壓電材料150，并且在 一個實施例中，微機械諧振器結構140包括一對壓電層，用于使共振構件 在相反方向偏斜，例如通過使它們的極化方向指向相反方向或者通過向相 反極性的每一層施加電流。壓電層的使用是通過耦合運動將微機械諧振器 結構從其它結構中激發運動的示范性實施例。
在一個實施例中，如圖4b和5a所示，微機械諧振器結構110可以包 括一層或多層導電材料120并且一層或多層導電材料120可以電接地。微 機械諧振器結構110暴露在由場源130所產生的電磁場中。(電磁場源可 以直接與導電層120相連，如圖5a所示或者可以是如圖4b所示的發射源) 一層或多層導電材料120可以包括壓阻層。在一些一層或多層導電材料 120包括壓阻層的例子中，運動的激發可以包括激發微機械諧振器結構的 電磁力以及微機械諧振器結構中的誘導應力。由于準靜態磁場或者電場是 電磁場，因此由磁場或者準靜電場弓I起的激發是電磁激發微機械諧振器結 構的例子。
電磁激發微機械諧振器結構的另一種方法包括激發一層或多層導電 材料120上的表面等離子體。在一些這樣的實施例中，表面等離子體在一 層或多層沉積或者放置在微機械諧振器結構上的導材料上被激發， 一層或 多層導電材料與外部電路相連或者接地。
在一些實施例中，微機械諧振器結構110由碰撞聲波激發。如果圖4b 中的場源130被聲波源代替，聲波可以激發微機械諧振器結構110運動。 如果聲波用來作為激發，就不需要一層或者多層其它材料120。
由于許多激發系統本質上是線性的并且相互作用，所以應用于激發的 技術也可以應用于檢測。例如，在圖7所示的實施例中，裝置160是光源 (光源在這里可以提供頻率不在可見頻率范圍內的電磁輻射)，例如，激 光，用來通過由微機械諧振器結構20反射以及/或者散射來自光源160的 輻射來光學檢測特征信號。探測器170接收反射/散射輻射。圖7所示的實 施例是代替檢測子系統的示范性實施例。圖3到圖6所示的實施例，例如， 也可以用于電磁檢測特征信號。在圖8所示的實施例中，感知阻抗變化的組件180 (例如，但不局限 于， 一塊電容器板，在這里微機械諧振器結構20是另一個電容器板或者 是感知阻抗變化的近程傳感器，例如，微機械諧振器結構20具有沉積磁 材料區)用來檢測微機械諧振器結構20的運動。
在圖8所示的實施例中，感知阻抗變化的元件180 (例如，但不局限 于， 一塊電容器板，在這里微機械諧振器結構20是另一個電容器板或者 是感知阻抗變化的近程傳感器，微機械諧振器結構20具有沉積磁材料區) 用來檢測微機械諧振器結構20的運動。
在圖8所示實施例的變型中，組件180作為諧振器與基板(分別是類 電容器結構的頂板和底板)之間的電磁相互作用的結果生成電流。誘導電 流可以通過電連接直流到另一個電路并且作為諧振器運動的直接結果被 檢測。作為選擇地或者作為上述提到的測量法的補充，誘導電流也可以轉 化為電壓，例如通過互阻放大器、電阻器或者其它由電流轉換電壓的裝置。
為了獲得特征信號，分析圖1中檢測子系統40中所獲得的檢測信號。 組件(圖8中的175)，例如，但不局限于，頻譜分析器、干涉系統，以及 /或者分光光度計，用來獲得特征信號。在一個實施例中，特征信號是頻譜 (在一個例子中，是作為頻率的函數的振幅)。在另一個實施例中特征信 號是作為頻率的函數的相位。特征信號可以是這些或者其它適當信號的組 合。
從檢測子系統40獲得的特征信號可以由分析子系統50與先前確定的 特征信號相比較。在一些實施例中，圖12所示就是其中的一個例子，分 析子系統50包括一個或多個處理器210以及一個或多個內有計算機可讀 編碼的計算機可用介質230，計算機可讀編碼可以使一個或者多個處理器 210從檢測子系統中接收檢測到的特征信號，將接收到的檢測到的特征信 號與先前確定的特征信號相比較，并且如果上述接收到的檢測到的特征信 號與上述的先前確定的特征信號足夠相似，則識別并且/或者鑒定。分析子 系統，例如在如圖12所示的實施例中，也可以包括另一個具有預先確定 存有實質上唯一的特征信號的計算機可讀介質240。其可以包括信號的測量以及/或者來源于信號測量的數據，例如用信號處理以及/或者密碼技術。
參考圖12， 一個或多個處理器210， 一個或多個計算機可用介質230以及 其它計算機可用介質240通過連接組件225 (例如，但不局限于計算機總 線)可操作地連接。
參考圖13，在系統的不同實施例的操作過程中，微機械諧振器結構 20相對于對象連接放置(圖13所示的步驟310)。再者，對象可以是或者 可以包括任何類型的物體或者材料，包括但不限于固體、液體、凝膠、等 離子體等等。微機械諧振器結構的運動被激發(圖13所示的步驟320)， 檢測被激發運動的特征信號(圖13所示步驟330)并且與先前確定的特征 信號相比較(圖13所示的步驟340)。對象可以作為比較所得到的結果被 識別并且/或者鑒定(圖13所示步驟350)。
在一些實施例中，特征信號(也指作為特定激發響應的特征)可以在 微機械諧振器結構相對于對象連接放置之前確定。例如，微機械諧振器可 以放置在基板上。特定激發響應通過激發微機械諧振器以及之后檢測特定 激發響應信號的特征來確定(圖13所示步驟320、 330)。檢測到的特征作 為存儲的比較信號特征存儲。之后基板裝在對象上。微機械諧振器被激發 并且由激發而得到的響應信號的特征被檢測到并且將其與存儲的比較信 號特征相比較。
在許多實施例中，微機械諧振器結構或者納米機械諧振器結構用運動 的振幅激發從而使它們自固定位置的總位移較小。這被稱為線性驅動、線 性運動或者諧振器的線性響應。然而，應當承認，非線性驅動也是可能的 并且對于從諧振器裝置進一步獲得唯一的信號是潛在有用的。在許多例子 中，通過任何方法激發的諧振器結構，可以是非線性驅動。諧振器典型地 制成用較大交流驅動信號驅動而非線性地振蕩。這些教導的內容，具體說 是指驅動或激發諧振器的部分，可以包括驅動或激發諧振器使得最終的運 動是非線性的。非線性運動的檢測以類似于線性運動檢測的方式完成。諧 振器的非線性激發及隨后的非線性共振的檢測可以用于將實際的微機械 諧振器從其他虛假頻率源區別開來，其中虛假頻率源可能用于試圖欺騙、 欺詐或以其他方式迷惑檢測裝置，例如試圖模仿或以其它方式欺騙性地鑒
20別對象或人。構建一個能模擬線性激發下的微機械諧振器的特征信號的裝 置都那樣困難，模仿對非線性激發的響應顯然更加困難。
可以從微機械諧振器或者納米機械諧振器獲得的用于識別或者鑒定 唯一信號的一個實施例是作為頻率的函數的振幅響應。該響應典型地，但 不僅限于，通過響應共振運動進行電壓轉換進行檢測。這些檢測技術在這 里已做了如上描述。諧振器運動另一種可測量的響應是諧振器響應相對于 驅動的相位。諧振器響應的相位檢測也有利于唯一地識別或者鑒定諧振器 或者裝有諧振器的對象。此外，當特定唯一的響應與諧振器以及裝有諧振 器的對象聯合時，也可能包括諧振器對振幅的相位響應以及耦合或者單獨 存在的諧振器或者諧振器陣列的頻率響應。
諧振器或者諧振器陣列的響應的參量放大也是驅動和檢測諧振器或 者諧振器陣列的技術。微機械諧振器或者納米機械諧振器的參量放大詳細
描述在，例如，Carr等人發表在《Applied Physics Letters》，第77巻10期， 1545-1547頁，2000年的文章；以及Zalalutdinov等人發表在《Applied Physics Letters》，第78巻20期，3142-3144頁，2001年的文章。機械諧 振器系統中的參量放大可以包括，但不局限于，以雙倍基頻和從基本驅動 頻率偏移的相位提升諧振器的彈簧常數、以在僅用基本驅動頻率激發諧振 器的時候與響應進行比較時諧振器響應振幅實現增大或縮小的過程。諧振 器頻率響應的寬度，通常以其在最大振幅一半處的全寬或者諧振器的品質 因數來描述，當諧振器經受參量放大時諧振器頻率響應的寬度也會改變。 例如，當諧振器被以基頻和兩倍基頻驅動并且雙倍頻分量被相位偏移90 度的時候，響應的振幅就典型地增加并且相位寬度變窄。參量放大適用于 耦合的或者未耦合的、單獨的諧振器以及諧振器陣列。為了增大向特定唯 一諧振器信號指定唯一性時有效的自由度，參量放大可以用來激發和檢測 諧振器運動。參量放大也可以用來通過諧振器或者諧振器陣列的方式從可 能的欺騙性頻率源中區別識別或者鑒定，欺騙性頻率源是用于欺詐、愚弄 或者以其它方式迷惑檢測系統，使其將欺騙性頻率源當作合法的識別或者 鑒定源的頻率源。
在這里所描述的元件和組件可以進一步分為附加的元件或者聯合起
21來形成執行相同功能的較少元件。
權利要求范圍內的每一種計算機程序可以用任何編程語言實施，比如 匯編語言、機器語言、高級程序編程語言或者面向對象編程語言。編程語 言可以是匯編或者解釋性編程語言。
每一種計算機程序可以在計算機程序產品中實施，該計算機程序產品 切實包含在計算機可讀存儲裝置用于被計算機處理器執行。本發明的方法 步驟可以由執行切實包含在計算機可讀介質上的程序的計算機處理器來 實施，以通過操作輸入和產生輸出執行本發明的功能。
計算機可讀介質的常見形式包括，例如，軟盤、軟磁盤、硬盤、磁帶 或者其它任何磁介質、只讀光盤、任何其它的光學介質、穿孔卡片、紙帶、
任何其它具有孔型的物理介質、隨機存取存儲器(RAM)、可編程序只讀 存儲器(PROM)、可擦可編程只讀存儲器(EPROM)、快可擦除程序化只 讀存儲器(FLASH-EPROM)、任何其它存儲芯片或者卡帶，或者任何其 它計算機可讀的介質。載波是上面所描述的計算機可讀介質形式的等同 物。
應用
應當理解的是，這里所描述的技術可以有利于這樣的應用，該應用中 需要產生具有不同頻率組合的一個諧振器結構或者許多個諧振器結構，并 且該應用中每一個特定的特征信號難于復制(例如，偽造)。示范性實施 例在下文中描述。應當注意的是本發明不僅僅局限于這些示范性實施例。
例如，在頻譜是特征信號的實施方式中，微機械諧振器可以以高頻率發出 具有非常高的Q值的信號。對于現有的技術，其是目前技術上具有挑戰性 的、昂貴的或者不可能產生這樣具有數字電子的信號，并且，正如所討論 的那樣，制造變化使得按要求構建特定的諧振器或諧振器陣列是不可能 的。
無線射頻識別標簽
在一些實施例中，諧振器結構配置成可以無線連接并且用于目前所使 用的傳統無線射頻識別標簽的應用中。例如，諧振器結構可以代替一些傳統無線射頻識別標簽中的數字電子以及發射機。激發器可以是如上所述的 一種，其可以超過一定距離操作。微機械諧振器結構可以與天線以及/或者 其它電路相連以從激發器信號接收能量來啟動微機械諧振器結構的響應。 特征信號有足夠的強度，或者可以放大到足夠的強度，其可以被無線接收 器接收。
這樣的微機械諧振器結構無線射頻識別裝置提供特征信號作為識別 符。適合的檢測器可以由特征信號以高可信度確定存在何種微機械諧振器 無線射頻識別裝置以及因而確定存在何種相關的對象(例如，貨物、識別 卡等)。在一些情況下，微機械諧振器結構可以被集成到可以放置或者嵌 入到對象中的簽條或者不干膠貼條中。
例如那些在這里所描述的諧振器結構也可以用于與傳統的無線射頻 識別技術相結合。例如，在一些實施例中，在包括傳統的無線射頻識別技 術元件以及微機械諧振器結構的基板上或者同一裝置上構建無線射頻識 別標簽。無線射頻識別標簽可以由相同或者不同于微機械諧振器結構的信 號激發。這樣配置的無線射頻識別標簽讀取器可以讀取識別碼以及其它可 以通過傳統無線射頻識別標簽元件傳送的信息，并且也可以讀取微機械諧 振器結構特征信號以進一步以額外可信度驗證識別。當使用專門激發并且 檢測諧振器信號的讀取器讀取唯一諧振器信號時，也可以用無線射頻識別 標簽讀取器讀取傳統無線射頻識別標簽。即使可以使用兩個讀取器，識別 系統也可能需要使無線射頻識別信號和諧振器信號相匹配，以對所査詢的 標簽或者標簽所附對象產生有效的響應。
識別卡、文件及裝置
微機械諧振器結構可以嵌入到或者裝在識別卡、文件以及/或者裝置 上，然后識別卡、文件以及/或者裝置可以被用于，例如，進出系統中，驗 證卡片/或者使用卡片的個人的身份。不同種類的識別卡、文件以及裝置， 包括但不限于護照、駕駛證以及其它政府證明文件、會員識別卡等。每一 個這些類型的卡片以及文件都可以具有嵌入或者裝在其上的微機械諧振 器結構。在一些實施例中，無線激發器和接收器，例如，可以構建在讀取器中， 并且當卡片靠近讀取器時，從微機械諧振器結構中無線讀取特征信號。讀 取器可以完成特征信號與先前確定特征信號之間的比較。例如，如圖13 所示的分析子系統可以在讀取器中實現。讀取器可以傳送特征信號到另一
個裝置，比如計算機，以分析特征信號。例如，如圖13所示的分析子系
統可以在除了與讀取器相連的讀取器中實現。
在一些實施例中，激發器以及接收器中的一個或者兩者可以通過使用 導線或者其它非無線信號傳播方法暫時連接到微機械諧振器結構。連接器 可以在卡片、文件或者裝置上提供，以便激發器以及/或者接收器與微機械 諧振器結構之間進行通信。
可以包括微機械諧振器結構的識別裝置不局限于卡片、文件，并且可 以包括任何種類的標記、機器或者裝置。例如，微機械諧振器結構可以包 括在裝置中，該裝置大致是鑰匙形，例如，房子鑰匙以及/或者圓柱螺旋形 鑰匙。將鑰匙插入電子鎖中可以方便微機械諧振器結構與激發器、電源以 及/或者接收器之間無線或者有線連接。應該了解的是，鑰匙形并非限制， 并且任何允許微機械諧振器結構與所有激發器、檢測器以及/或者電源連接 或通信的適當形狀都可以使用。
例如，裝置可以用來作為進入實際位置的鑰匙，例如櫥柜、壁櫥、房 間和建筑物入口等，例如通過啟動實際的鎖(例如門鎖、電子鎖、掛鎖、 車鎖)，使用和/或操作設備(如車輛、摩托車、踏板車)，也可以訪問任 何種類的基于計算機的、通信或者其它限制項目或者資源。
信用卡、支付卡以及金融服務卡
微機械諧振器結構可以嵌入或者裝在信用卡、支付卡以及/或者金融服 務卡上。例如，在一個實施例中，個人將卡提供給店員，店員將卡放置在 卡片讀取器中。卡片讀取器包括所有的激發器、檢測器以及/或者微機械諧 振器結構的電源。微機械諧振器結構可以與激發器、檢測器以及/或者電源 無線并且/或者相連地相互作用。卡片讀取器可以接收特征信號，并且用特 征信號通過令接收到的信號與卡片上的信息相匹配來驗證卡片的可靠性，以及/或者通過提供信號(或者提供源自信號的信息)到分析子系統，分析 子系統比較接收到的特征信號與先前確定的信號。分析子系統可以處于商 店經營場所以及/或者通過電話網、數據網等與商店經營場所通信。
產品和項目鑒定
微機械諧振器結構可以嵌入或者裝在產品上。例如，微機械諧振器結 構可以提供到貼到托盤、盒子、容器、產品包裝瓶等的標簽上。讀取器可 以是便攜式的或者固定的，并且可以包含激發器、檢測器以及/或者微機械 諧振器結構的電源。讀取器可以無線或者與微機械諧振器結構相連地操 作。具有讀取器的個人可以用讀取器識別，或者驗證產品的身份。
例如，制藥公司可以提供包括帶有微機械諧振器結構的基板的容器。 在將醫藥品開給病人之前，藥劑師可以核對包裝的可靠性。
作為另一個例子，為了確定安裝在機器上的盤子是否是正確的部件，或者 是否是來自設備制造商的部件，具有一次性使用以及/或者可互換組件的機 器可以包括與微機械諧振器結構相互作用的讀取器。
類似地，收藏品(如，籃球卡、藝術作品、玩具等)以及/或者貴重物 品(如，珠寶、寶石)可以放在帶有或者附有可以用來識別項目以及/或者 鑒定項目的微機械諧振器結構的容器中。
懸浮應用、編織應用以及印刷應用
在任何或者所有上面提到的應用中，可能有必要或者需要將含有無線 射頻識別標簽以及能夠接收信號并且發出信號的微機械諧振器結構的基 板懸浮在液體、墨水或者其它液體類溶液中。最終應用可以是液體類物質 本身的識別，例如，識別血液樣本。或者，最終應用可以是使用所有墨水 類材料標記表面，以及不僅使用墨水標記、而且使用懸浮并且用墨水印上 的諧振器的唯一諧振信號作為識別墨水以及/或者印上墨水的材料或者對 象的工具。例如，可以用加入到印在文件或者貨幣上的墨水中的諧振器識 別文件或者貨幣。
包含唯一諧振器結構的基板也可以附到纖維、架子或者通常相互交織 以形成混合材料的其它材料上。諧振器結構如此嵌入到纖維類材料中就可以用于識別或者鑒定該混合材料。例如， 一件衣服可以部分或者全部由具 有嵌入到衣服中或者附在衣服上的、能夠接收和發出唯一信號的微機械諧 振器結構的纖維構成，因此，能夠識別該件衣服。需要注意的是，衣服僅 僅是可以使用內含諧振器的纖維的混合材料的一個例子，并且不應該限制 使用內含諧振器的纖維、以實現混合材料對象的識別的其它應用。
盡管本發明描述了不同的實施例，但需要認識到本發明也能夠在權利 要求的思想和范圍內有廣泛多樣的、進一步的以及其它的實施例。
權利要求
1. 一種用于對象識別/鑒定的方法，該方法包含以下步驟將微機械諧振器結構相對于對象連接放置，該微機械諧振器結構具有實質上唯一的先前確定的特征信號；激發該微機械諧振器結構運動；檢測該微機械諧振器結構激發運動產生的特征信號；以及
2. 根據權利要求1所述的方法，其特征在于，該方法進一步包含傳達 比較結果的指示的步驟。
3. 根據權利要求1所述的方法，其特征在于，激發運動步驟包含在微 機械諧振器結構中誘導熱應力的步驟。
4. 根據權利要求1所述的方法，其特征在于，激發運動步驟包含電磁 激發微機械諧振器結構的步驟。
5. 根據權利要求1所述的方法，其特征在于，激發運動步驟包含在微 機械諧振器結構中誘導應力的步驟。
6. 根據權利要求1所述的方法，其特征在于，激發運動步驟包含從另 一個結構耦合運動的步驟。
7. 根據權利要求1所述的方法，其特征在于，激發運動步驟包含聲學 上激發微機械諧振器結構的步驟。
8. 根據權利要求1所述的方法，其特征在于，檢測特征信號步驟包含 光學檢測特征信號的步驟。
9. 根據權利要求1所述的方法，其特征在于，檢測特征信號步驟包含 電磁檢測特征信號的步驟。
10. 根據權利要求1所述的方法，其特征在于，檢測特征信號步驟包 含檢測由激發運動產生的振動譜的步驟。
11. 一種用于對象識別/鑒定的系統，該系統包含相對于對象連接放置的微機械諧振器結構；上述的微機械諧振器結構 具有實質上唯一的特征信號；上述的實質上唯一的特征信號被預先確定；能夠激發上述微機械諧振器結構運動的激發子系統；上述運動在包含 上述實質上唯一特征信號的頻率范圍的頻率范圍內被激發；檢測子系統，其能夠檢測被激發運動并獲取檢測到的被激發運動的特 征信號；分析子系統，其能夠接收上述檢測到的特征信號并比較上述檢測到的 特征信號與上述實質上唯一的特征信號；以此可以識別/鑒定對象。
12. 根據權利要求11所述的系統，其特征在于，激發子系統包含能夠 在微機械諧振器結構中誘導局部熱加熱并且誘導熱應力的局部熱加熱子 系統。
13. 根據權利要求11所述的系統，其特征在于，激發子系統包含能夠 提供入射到微機械諧振器結構上的電磁場的電磁激發子系統。
14. 根據權利要求ll所述的系統，其特征在于，激發子系統包含能夠 誘導微機械諧振器結構表面的表面等離子體的子系統。
15. 根據權利要求11所述的系統，其特征在于，激發子系統包含入射 到微機械諧振器結構上的電磁場；以及能夠響應入射的電磁場在微機械諧 振器結構的一部分上誘導應力的組件。
16. 根據權利要求11所述的系統，其特征在于，激發子系統包含能夠 提供給部分微機械諧振器結構所有電流的組件；以及能夠響應電流在微機 械諧振器結構上誘導應力的另一個組件。
17. 根據權利要求11所述的系統，其特征在于，激發子系統包含 設置在至少在磁場源和微機械諧振器結構之間的空間內的磁場； 放置在至少部分微機械諧振器結構上并且能夠傳輸電流的導體；以及 能夠將電流提供給上述導體的元件。
18. 根據權利要求11所述的系統，其特征在于，激發子系統包含能夠 提供至少在電極和微機械諧振器結構之間的區域內的電場的電場源；以 及，至少部分微機械諧振器結構形成包括電極的電容結構。
19. 根據權利要求11所述的系統，其特征在于，激發子系統包含能夠 在微機械諧振器結構中誘導應力的應力產生激發子系統。
20. 根據權利要求ll所述的系統，其特征在于，檢測子系統包含電磁 輻射檢測子系統。
21. 根據權利要求ll所述的系統，其特征在于，檢測子系統包含位移 檢測子系統。
22. 根據權利要求11所述的系統，其特征在于，檢測子系統包含全阻 抗檢測子系統。
23. 根據權利要求11所述的系統，其特征在于，檢測子系統包含電流 檢測子系統。
24. 根據權利要求ll所述的系統，其特征在于，檢測子系統包含電壓 檢測子系統。
25. 根據權利要求11所述的系統，其特征在于，檢測子系統包含頻譜 分析儀子系統。
26. 根據權利要求11所述的系統，其特征在于，檢測子系統包含分光 光度計子系統。
27. 根據權利要求ll所述的系統，其特征在于，檢測子系統包含全干 涉子系統。
28. 根據權利要求ll所述的系統，其特征在于，分析子系統包含 至少一個處理器；至少一個內有計算機可讀編碼的計算機可讀介質，上述計算機可讀編 碼能夠弓i起上述至少一個處理器從上述檢測子系統中接收上述檢測到的特征信號，比較上述接收 到的、檢測到的特征信號與上述預先確定的實質上唯一的特征信號；如果上述接收到的、檢測到的特征信號實質上等于上述的預先確 定的實質上唯一的特征信號，則識別/鑒定對象。
29. 根據權利要求11所述的系統，其特征在于，微機械諧振器結構包 含殼式諧振器。
30. 根據權利要求11所述的系統，其特征在于，微機械諧振器結構包 含弦型諧振器。
31. 根據權利要求ll所述的系統，其特征在于，微機械諧振器結構包 含懸臂梁。
32. 根據權利要求11所述的系統，其特征在于，微機械諧振器結構包 含微機械諧振器陣列。
33. 根據權利要求32所述的系統，其特征在于，與上述陣列的被激發 運動相對應的特征信號是與上述陣列中實質上所有微機械諧振器的耦合 運動相對應的特征信號。
34. 根據權利要求32所述的系統，其特征在于，與上述陣列的被激發 運動相對應的特征信號實質上是多個特征信號的總和，每一個來自上述多 個特征信號的特征信號對應于一個來自上述陣列的微機械諧振器。
35. —種計算機程序產品，包含內有計算機可讀編碼的計算機可用介質，上述計算機可讀編碼能夠引 起至少一個處理器從檢測子系統接收檢測到的特征信號，上述檢測到的特征信號對 應于微機械諧振器結構的被激發的運動；比較上述接收到的、檢測到的特征信號與預先確定的實質上唯一 的特征信號；如果上述接收到的、檢測到的特征信號與上述的預先確定的實質 上唯一的特征信號實質上相等，則識別/鑒定對象。
36. —種用于識別/鑒定的方法，該方法包含以下步驟-在基板上放置微機械諧振器，該微機械諧振器具有特定的激發響應信號；激發微機械諧振器以誘導該特定的激發響應信號；檢測該特定的激發響應信號的特征；存儲檢測到的特征作為存儲的比較信號特征。
37. 根據權利要求36所述的方法，其特征在于，該方法進一步包含:激發微機械諧振器以誘導激發信號響應；并且檢測該激發響應信號的 特征；比較檢測到的特征與存儲的比較信號特征。
38. 根據權利要求34所述的方法，其特征在于，該方法進一步包含將 基板附在對象上，并且響應比較識別/鑒定對象。
39. —種用于識別對象的方法，該方法包含以下步驟激發微機械諧振器結構的運動，該微機械諧振器結構具有預先確定的 特征信號，該微機械諧振器結構相對于對象連接放置；檢測微機械諧振器結構被激發運動產生的特征信號；比較檢測到的特征信號與先前確定的特征信號；以及響應比較識別對象。
40. 根據權利要求36所述的方法，其特征在于，該方法進一步包含傳 達包含對象識別的信號。
41. 一種用于識別對象的方法，該方法包含以下步驟將微機械諧振器結構相對于對象連接放置，該微機械諧振器結構具有 預先確定的特征信號；激發微機械諧振器結構的運動；檢測微機械諧振器結構被激發運動產生的特征信號； 比較檢測到的特征信號與先前確定的特征信號；以及 傳達比較結果的指示。
全文摘要
用于對象識別和/或鑒定的方法與系統。
文檔編號B81B7/02GK101472835SQ200780022812
公開日2009年7月1日 申請日期2007年4月19日 優先權日2006年4月19日
發明者哈羅德·G·克雷格黑德, 基斯·奧賓, 基瓦克·帕皮亞, 布賴恩·H·休斯敦, 杰弗里·W·鮑德溫, 羅伯特·B·賴辛巴赫, 馬克西姆·薩拉魯特迪諾夫 申請人:康奈爾研究基金會;海軍研究實驗室