脫氣裝置以及涂布裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種去除液體中的溶解氣體的脫氣裝置、具備該脫氣裝置的涂布
目.0
【背景技術】
[0002]以往，在液晶顯不裝置用玻璃基板、半導體晶片(wafer)、等尚子體顯不板(PlasmaDisplay Panel，PDP)用玻璃基板、光掩模(photo mask)用玻璃基板、彩色濾光器(colorfilter)用基板、記錄盤(disk)用基板、太陽能電池用基板、電子紙(paper)用基板等精密電子裝置用基板的制造工序中，使用在基板表面涂布光致抗蝕劑(photo resist)等液體的涂布裝置。關于以往的涂布裝置，例如在專利文獻I中有所記載。專利文獻I的涂布裝置對于由沿水平方向移動自如的載臺(stage)吸附保持的基板，從具有狹縫(slit)狀噴出口的縫模(slit die)噴出涂布液。
[0003]現有技術文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻I:日本專利特開號公報【實用新型內容】
[0006][實用新型所要解決的問題]
[0007]此種涂布裝置中，若在液體中存在溶解氣體，則在縫模中容易發生所謂的“起泡”。若發生“起泡”，將無法從噴出口均勻地涂布液體，涂布膜的均勻性有時會下降。因此，以往會進行從涂布前的液體中去除溶解氣體的脫氣處理。以往的涂布裝置中，通過將貯存有涂布前的液體的容器內設為負壓，從而預先使液體中的溶解氣體氣泡化。在液體的粘度低的情況下，能夠容易地使液體中產生的氣泡上浮至液面，以排出到容器外。
[0008]然而，在使用高粘度液體的情況下，氣泡上浮至液面需要非常長的時間。尤其存在氣泡越細小越難上浮的傾向。因此，以往的方法存在無法效率良好地對高粘度液體進行脫氣的問題。近年來，在柔性元件(flexible device)或電池的制造工序中，對作為處理對象的面涂布高粘度液體的裝置的需求正在提高。伴隨于此，正尋求一種能夠效率良好地從高粘度液體中去除溶解氣體的技術。
[0009]本實用新型是有鑒于此種狀況而完成，其目的在于提供一種能夠效率良好地去除粘度高的液體中的溶解氣體的脫氣裝置以及具備該脫氣裝置的涂布裝置。
[0010][解決問題的技術手段]
[0011]為了解決所述問題，本申請的第I實用新型是一種脫氣裝置，去除液體中的溶解氣體，所述脫氣裝置包括:主配管，連接作為供給源的第I槽罐與作為供給目標的第2槽罐，且具有大致水平地延伸的水平部;脫氣配管，從所述水平部朝向上方延伸；多個閥，設置在所述主配管及所述脫氣配管中；減壓部，使所述主配管內產生朝向所述第2槽罐側的抽吸力，并且使所述脫氣配管內產生朝向上方的抽吸力；以及控制部，控制所述多個閥及所述減壓部。
[0012]本申請的第2實用新型根據第I實用新型的脫氣裝置，其中，所述多個閥包括:第I閥，設置在所述主配管的路徑上的與所述脫氣配管的連接部更上游側;第2閥，設置在所述主配管的路徑上的與所述脫氣配管的連接部更下游側；以及第3閥，設置在所述脫氣配管的路徑上。
[0013]本申請的第3實用新型根據第2實用新型的脫氣裝置，其中，所述脫氣配管包括:第I縱管，從所述水平部朝向上方延伸;橫管，從所述第I縱管的上端以比所述第I縱管更接近水平的角度朝向側方延伸；以及第2縱管，從所述橫管的另一端朝向上方延伸，在所述第2縱管中設置有所述第3閥。
[0014]本申請的第4實用新型根據第3實用新型的脫氣裝置，其中，所述橫管的第2縱管側的端部是與所述橫管的第I縱管側的端部同等的高度或比之更高，所述橫管相對于水平面的角度為0°以上且45°以下。
[0015]本申請的第5實用新型根據第3實用新型或第4實用新型的脫氣裝置，其中，所述第2縱管具有所述橫管以上的容積。
[0016]本申請的第6實用新型根據第2實用新型至第5實用新型中任一實用新型的脫氣裝置，其中，所述脫氣配管至少包括:第I脫氣配管，從所述水平部朝向上方延伸；以及第2脫氣配管，從所述水平部的所述第I脫氣配管更下游側的位置朝向上方延伸，所述第I閥設置在所述主配管的路徑上的與所述第I脫氣配管的連接部更上游側，所述第2閥設置在所述主配管的路徑上的與所述第2脫氣配管的連接部更下游側，所述第3閥設置在所述第I脫氣配管及所述第2脫氣配管各自的路徑上。
[0017]本申請的第7實用新型根據第6實用新型的脫氣裝置，其中，所述第I脫氣配管的上端部與所述第2脫氣配管的上端部通過朝向斜上方延伸的傾斜配管而連接于I根排出配管。
[0018]本申請的第8實用新型根據第2實用新型至第7實用新型中任一實用新型的脫氣裝置，其還包括:第4閥，設置在所述脫氣配管與所述減壓部之間。
[0019]本申請的第9實用新型根據第I實用新型至第8實用新型中任一實用新型的脫氣裝置，其還包括:加熱器(heater)，對所述主配管內的液體進行加熱。
[0020]本申請的第10實用新型根據第I實用新型至第9實用新型中任一實用新型的脫氣裝置，其中，所述主配管包括在所述第I槽罐與所述第2槽罐之間并聯連接的多個所述水平部，所述脫氣配管從多個所述水平部分別朝向上方延伸。
[0021]本申請的第11實用新型是一種涂布裝置，對作為處理對象的面涂布液體，所述涂布裝置包括:根據第I實用新型至第10實用新型中任一實用新型的脫氣裝置；噴嘴(nozzle)，具有噴出流體的噴出口 ；以及供給機構，從所述第2槽罐對所述噴嘴供給液體。
[0022]本申請的第12實用新型根據第11實用新型的涂布裝置，其還包括:攪拌脫氣機構，在所述第2槽罐內攪拌液體并對其進行脫氣。
[0023]本申請的第13實用新型根據第11實用新型或第12實用新型的涂布裝置，其還包括:異物去除過濾器，設置在所述主配管的路徑上。
[0024](實用新型效果)
[0025]根據本申請的第I實用新型?第13實用新型，通過減壓而在液體中產生的氣泡借助主配管內的液體的流動而聚集到主配管的上緣部。因此，該氣泡從主配管的水平部進入脫氣配管。并且接續排出滯留在脫氣配管內的氣泡。由此，即使在液體的粘度高的情況下，也能夠去除液體中的溶解氣體。
[0026]尤其，根據本申請的第2實用新型，滯留在脫氣配管的第3閥更下側的氣泡與脫氣配管內的氣泡更上側的液體進行置換，從而被排出至上側。由此，能夠效率良好地從脫氣配管中排出氣泡。
[0027]尤其，根據本申請的第3實用新型，從主配管的水平部進入第I縱管內的氣泡聚集在橫管內，而成長為大的氣泡。并且，該大的氣泡經由第2縱管而排出到外部。由此，能夠降低隨氣體一起排出的液體的量。即，能夠效率良好地從液體中僅去除溶解氣體。
[0028]尤其，根據本申請的第4實用新型，能夠使氣泡在橫管內更有效地成長。
[0029]尤其，根據本申請的第5實用新型，能夠以貯存在第2配管中的液體來更確實地置換橫管內的氣泡。
[0030]尤其，根據本申請的第6實用新型，能夠使未進入第I脫氣配管的氣體進入下游側的第2脫氣配管而排出至外部。由此，能夠進一步提高氣泡的排出效率。
[0031]尤其，根據本申請的第7實用新型，能夠效率更好地使氣泡從第I脫氣配管及第2脫氣配管排出至排出配管。
[0032]尤其，根據本申請的第8實用新型，能夠進一步提高溶解氣體的去除效率。
[0033]尤其，根據本申請的第9實用新型，能夠降低液體的粘度。而且，能夠使氣泡膨脹而提高氣泡的排出效率。
[0034]尤其，根據本申請的第10實用新型，能夠增加向第2槽罐供給的液體的每單位時間供給量。
[0035]尤其，根據本申請的第12實用新型，能夠通過攪拌脫氣機構，將在脫氣配管中未完全去除的氣泡予以去除。
[0036]尤其，根據本申請的第13實用新型，無須在第2槽罐與噴嘴之間的供給機構中設置異物去除過濾器。因此，能夠在供給機構中降低因過濾器造成的壓力損失。
【附圖說明】
[0037]圖1是涂布裝置的立體圖。
[0038]圖2是狹縫噴嘴的立體圖。
[0039]圖3是表示狹縫噴嘴的內部流路的圖。
[0040]圖4是表示連接于狹縫噴嘴的供給配管系統的結構的圖。
[0041]圖5是表示控制部與供給配管系統的各部的連接結構的框圖。
[0042]圖6是表示被涂布材料的脫氣及供給動作的流程的流程圖。
[0043]圖7是概念性地表示脫氣配管內的氣泡的動向的圖。
[0044]圖8是表示變形例的供給配管系統的結構的圖。
[0045]圖9是表示變形例的供給配管系統的結構的圖。
[0046]圖10是表示變形例的供給配管系統的結構的圖。
[0047]附圖標記說明:
[0048]1:涂布裝置
[004