一種環保型粉塵過濾洗滌裝置的過濾腔體的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及環保工程技術領域，具體涉及一種環保型粉塵過濾洗滌裝置的過濾腔體。
【背景技術】
[0002]半導體制程機在制程過程中往往會產生許多的廢氣以及有毒的氣體，因而必須經過廢氣處理機做進一步的處理才能釋放于大氣中。進行擴散制程時，會產生硅甲烷，其為不穩定性以及可燃性的氣體，因而必須經過燃燒反應生成毒性較低或無毒的氣體及粉塵。現有技術的處理效果不佳，且容易排放出有害氣體，不利于環境保護。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型要解決的技術問題是提供一種環保型粉塵過濾洗滌裝置的過濾腔體，以解決所述技術問題。
[0004]為解決所述技術問題，本實用新型的實施例提供一種環保型粉塵過濾洗滌裝置的過濾腔體的過濾腔體，所述過濾腔體包括一頂部、一相對所述頂部的底部、一設置于所述頂部并與反應腔體的反應輸出口連通的粉塵輸入口、一設置于所述頂部的噴水系統，以及一設置于所述底部的粉塵輸出口，所述過濾腔體中內容置有至少一過濾材以及一設置于所述頂部與所述底部之間的承載隔板，所述過濾材用以進行粉塵的過濾，所述承載隔板用以承載并間隔至少一過濾材。
[0005]本實用新型的所述技術方案的有益效果如下:
[0006]利用將所述過濾腔體的頂部連接于所述反應腔體，降低所述過濾腔體與所述反應腔體的對應設置位置，可降低整體裝置的高度，方便安裝于廠區內。
【附圖說明】
[0007]圖1為本實用新型的洗滌裝置的結構示意圖。
[0008]圖2為本實用新型的洗滌裝置的氣體流動示意圖。
[0009]圖3為本實用新型的洗滌裝置的粉塵堆積示意圖。
[0010]圖4為本實用新型的洗滌裝置的氣體流動及水流清洗示意圖。
【具體實施方式】
[0011]為使本實用新型要解決的技術問題、技術方案和優點更加清楚，下面將結合附圖及具體實施例進行詳細描述。
[0012]如圖1至圖4所示，本實用新型提供一種環保型粉塵過濾洗滌裝置，包括一反應腔體10、一與所述反應腔體10連接的過濾腔體20、一粉塵檢查部30，以及連接于所述粉塵檢查部30的一廢氣處理件40與一廢水沉淀部50。所述反應腔體10進行廢氣的過濾并反應生成一粉塵60，并具有一供所述粉塵60輸出的反應輸出口 11，本實施例中，所述反應腔體10為一燃燒反應腔體，將半導體制程中反應生成的有毒物體如硅甲烷進行燃燒反應，借此降低毒性或形成無毒的氣體61及所述粉塵60。
[0013]所述過濾腔體20包括一頂部21、一相對所述頂部21的底部22、一設置于所述頂部21并與所述反應輸出口 11連通的粉塵輸入口 23、一設置于所述頂部21的噴水系統24，以及一設置于所述底部22的粉塵輸出口 25，由于所述過濾腔體20相鄰設置于所述反應腔體10旁，因此不會有高度增加的問題，所述過濾腔體20中內容置有至少一過濾材26以及一設置于所述頂部21與所述底部22之間的承載隔板27，所述過濾材26用以進行所述粉塵60的過濾，所述承載隔板27用以承載并間隔至少一過濾材26。
[0014]所述粉塵檢查部30具有一連通所述粉塵輸出口 25的轉接通道31以及一連接于所述轉接通道31的透明檢查部32，使用者可通過所述透明檢查部32檢視位于所述轉接通道31內的粉塵60堆積狀況。所述轉接通道31具有一位于所述轉接通道31的底側的廢水排放口 311以及一相對遠離所述廢水排放口 311的廢氣排放口 312。
[0015]所述廢氣處理件40與所述廢氣排放口 312連接，所述廢水沉淀部50與所述廢水排放口 311連接，所述廢氣處理件40具有一與所述廢氣排放口 312連接的垂直通管41，在本實施例中，所述垂直通管41的高度至少高于所述過濾腔體20的頂部21。
[0016]所述廢水沉淀部50具有一儲水槽51、一儲存于所述儲水槽51內的廢水52以及一連通所述廢水排放口 311的廢水連通管53，所述廢水連通管53遠離所述廢水排放口 311的一端深入于所述廢水52中，所述廢水沉淀部50還具有一與所述儲水槽51連接的廢水輸出通管54，所述廢水輸出通管54具有一 U形段54。
[0017]本實用新型的粉塵60過濾過程為:對經過所述反應腔體10的粉塵60及氣體61經過所述過濾腔體20進行過濾，所述過濾腔體20利用至少一過濾材26進行所述粉塵60的過濾，所述過濾材26被所述承載隔板間隔于所述頂部21與所述底部22之間，最后經過所述轉接通道31以及所述垂直通管41后被吸入所述廢氣處理件40內。在經過所述垂直通管41時，大部分的粉塵60由于地心引力的作用而不會隨著所述廢氣處理件40的吸引而通過，一般情況下，所述粉塵60均會掉落于所述轉接通道31內，或者附著于所述垂直通管41的內壁面上，等到一定程度的累積之后再掉落于所述轉接通道31內。
[0018]由所述透明檢查部32進行所述粉塵60堆積狀況的檢查，當所述粉塵60堆積的數量達到一定程度后，開啟所述噴水系統24，由所述噴水系統24產生清洗水62進行所述粉塵60的清洗，并通過所述廢水排放口 311進行輸出所述清洗水62至所述廢水沉淀部50。通過所述廢水連通管53深入于所述廢水沉淀部50的廢水52內，可避免廢氣直接通過所述廢水沉淀部50進行廢氣散發，造成有毒氣體的散發。
[0019]綜上所述，本實用新型具有下列特點:
[0020]1、利用將所述過濾腔體的頂部連接于所述反應腔體，降低所述過濾腔體與所述反應腔體的對應設置位置，可降低整體裝置的高度，方便安裝于廠區內。
[0021]2、將所述過濾腔體的底部連接于所述粉塵檢查部，并通過所述粉塵檢查部的透明檢查部可供使用者進行粉塵累積狀況的查看，具有較佳的使用方便性。
[0022]3、所述噴水系統設置的位置遠離所述廢氣處理件，因而所述噴水系統所產生的水氣不會順著氣流吸引而被吸入所述廢氣處理件內，造成所述廢氣處理件的損壞。
[0023]4、利用所述廢水連通管深入于所述廢水內，可避免廢氣直接通過所述廢水沉淀部進行氣體散發。
[0024]5、利用所述廢水輸出管的U形段而具有水封的效果，同樣可避免氣體的散發問題。
[0025]6、利用所述垂直通管的設置，使所述粉塵會直接滑落或掉落于所述轉接通道內，避免通道過于彎曲造成粉塵堆積的問題。
[0026]7、利用所述垂直通管的設置，使氣流方向相反于重力方向，通過重力沉降原理，提升粉塵去除效率。
[0027]以上所述是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型所述原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種環保型粉塵過濾洗滌裝置的過濾腔體，其特征在于，所述過濾腔體包括一頂部、一相對所述頂部的底部、一設置于所述頂部并與反應腔體的反應輸出口連通的粉塵輸入口、一設置于所述頂部的噴水系統，以及一設置于所述底部的粉塵輸出口，所述過濾腔體中內容置有至少一過濾材以及一設置于所述頂部與所述底部之間的承載隔板，所述過濾材用以進行粉塵的過濾，所述承載隔板用以承載并間隔至少一過濾材。
【專利摘要】本實用新型公開了一種環保型粉塵過濾洗滌裝置的過濾腔體，所述過濾腔體包括一頂部、一相對所述頂部的底部、一設置于所述頂部并與反應腔體的反應輸出口連通的粉塵輸入口、一設置于所述頂部的噴水系統，以及一設置于所述底部的粉塵輸出口，所述過濾腔體中內容置有至少一過濾材以及一設置于所述頂部與所述底部之間的承載隔板，所述過濾材用以進行粉塵的過濾，所述承載隔板用以承載并間隔至少一過濾材。本實用新型方便安裝，廢氣處理效果好。
【IPC分類】F23G7-06, B01D50-00
【公開號】CN204522656
【申請號】CN201520221612
【發明人】胡增浩
【申請人】胡增浩
【公開日】2015年8月5日
【申請日】2015年4月14日