一種硅片熱風干燥的自動控制裝置的制造方法
【專利說明】
[0001]【技術領域】
[0002]本實用新型涉及半導體硅片生產技術領域，尤其是涉及一種硅片熱風干燥的自動控制裝置。
[0003]【【背景技術】】
[0004]公知的，硅片清洗后傳統的干燥工藝就是用甩干桶甩干，而有些硅片干燥工藝需要熱氣烘干，由于硅片是放在硅片盒里，再放在清洗架子進行清洗，清洗完成后的片盒、硅片、架子都有水，這就需要先將這些水在另一個裝置瀝干后在放進烘箱內進行烘干，但是目前的烘干操作都是人為的進行操作，這樣不但浪費了人力，而且極大的增加了勞動強度，嚴重影響了企業的發展。
[0005]【【實用新型內容】】
[0006]為了克服【背景技術】中的不足，本實用新型公開了一種硅片熱風干燥的自動控制裝置，本實用新型通過在恒溫箱內設置提升裝置，在烘干室內設置烘干裝置，提升裝置和烘干裝置通過控制箱進行控制，以此來達到硅片快速烘干的目的。
[0007]為了實現所述實用新型目的，本實用新型采用如下技術方案:
[0008]—種硅片熱風干燥的自動控制裝置，包括恒溫槽、烘干室、提升裝置、烘干裝置和控制箱，提升裝置和烘干裝置通過控制箱進行控制，提升裝置有絲桿、絲杠螺母、上限位傳感器、下限位傳感器、拉桿、架子和加熱管，在恒溫槽內設有架子，恒溫槽一側設有固定板，恒溫槽底部設有加熱管，固定板上設有絲杠、上限位傳感器和下限位傳感器，絲杠上設有絲杠螺母，絲杠螺母上設有拉桿，拉桿上設有架子，所述烘干裝置有風機、加熱器、軌道、管道、第一到位傳感器和第二到位傳感器，烘干室上設有加熱器、風機和軌道，軌道上設有第一到位傳感器和第二到位傳感器，風機上設有管道，管道一端與風機相連接，管道另一端與加熱器相連接，所述控制箱由提升模塊和烘干模塊構成，提升模塊控制提升裝置，烘干模塊對烘干裝置進行控制。
[0009]所述上限位傳感器和下限位傳感器分別設置在固定板的上部和下部，上限位傳感器和下限位傳感器設置在絲杠的同一側的固定板上。
[0010]所述絲杠螺母設置在上限位傳感器和下限位傳感器的中間。
[0011]所述烘干室上設有門，軌道通過門插入到烘干室內。
[0012]所述提升模塊有啟動按鈕SB 1、KAl線圈、SQI傳感器、升降電機和KA3線圈構成，開啟啟動按鈕SBl，KA1線圈得電常開觸點吸合，SBl燈亮，KAl常閉觸點斷開，KAl線圈實現自鎖，同時KAl接通了變頻器多功能輸入端子I和多功能輸入端子2，變頻器得到這兩個信號后就會輸出電壓和頻率，電機正轉運行，架子開始拉升，當架子升到上限位時，SQl傳感器就會觸發接通KA3線圈，KA3常閉觸點斷開，常開觸點閉合，KAl線圈失電，KAl觸點復原，斷開變頻器運行信號，升降電機停止運行，且KA3觸點接通提示蜂鳴器，恒溫槽內的溫度靠溫控器觸點接通或斷開控制KMl，KM1下端接加熱管。
[0013]所述烘干模塊有啟動按鈕SB3、KA5線圈、第二到位傳感器SQ3、KA6線圈、KM線圈、繼電器KT1、第一到位傳感器SQ4、KA7線圈，按下啟動按鈕SB3，KA5線圈得電，KA5常開觸點閉合，常閉觸點斷開，KA5線圈實現自鎖，啟動按鈕SB3的HL燈點亮，YV線圈得電，氣缸就會推動門運動，從而關閉烘干室上的門，當門關到位后，第二到位傳感器SQ3就會觸發接通KA6線圈，KA6常開觸點閉合，常閉觸點斷開，KM線圈得電，主觸點吸合，風機工作、加熱器工作，KA6接通繼電器KTl記時一定時間后，KTl常開觸點閉合，常閉觸點斷開。KM失電離心風機停止運行。接通KT2記時一定時間后，KT2常開觸點閉合，常閉觸點斷開，KA5線圈失電，觸點復原，YV失電，氣缸往回拉把門拉開，拉到位后第一到位傳感器SQ4觸發接通KA7線圈，KA7常閉觸點斷開，KM2失電加熱停止，自動烘干完成且提示工作人請取出硅片，再按下啟動按鈕SB3的同時KA2線圈得電，KA2常開觸點閉合，常閉觸點斷開，KA2接通變頻器多功能輸入端子3和多功能輸入端子4，升降電機反向運轉，當降到位時，SQ2傳感器觸發，KA4線圈得電，KA4常閉觸點斷開，常開觸點閉合，KA2線圈失電，KA2觸點復原，變頻器停止。
[0014]由于采用了上述技術方案，本實用新型具有如下有益效果:
[0015]本實用新型所述的一種硅片熱風干燥的自動控制裝置，包括恒溫槽、烘干室、提升裝置、烘干裝置和控制箱，通過在恒溫箱內設置提升裝置，在烘干室內設置烘干裝置，提升裝置和烘干裝置通過控制箱進行控制，以此來達到硅片快速烘干的目的；本實用新型實用性強，使用起來比較方便，不但能夠快速的對硅片進行清洗，而且極大的節省了人力，在節省人工的同時也提高了工作效率，極大的有利于企業的發展。
[0016]【【附圖說明】】
[0017]圖1為本實用新型的提升裝置立體結構示意圖；
[0018]圖2為本實用新型的烘干室立體結構示意圖；
[0019]圖3為本實用新型的提升模塊主電路圖；
[0020]圖4為本實用新型的烘干模塊電路圖；
[0021]圖中:1、絲杠;2、上限位傳感器;3、絲杠螺母;4、下限位傳感器;5、拉桿;6、架子;7、恒溫槽;8、加熱管;9、加熱器;1、軌道;11、第一到位傳感器;12、第二到位傳感器;13、管道；14、烘干室；15、風機;16、固定板。
[0022]【【具體實施方式】】
[0023]通過下面的實施例可以詳細的解釋本實用新型，公開本實用新型的目的旨在保護本實用新型范圍內的一切技術改進。
[0024]結合附圖1?4所述的一種硅片熱風干燥的自動控制裝置，包括恒溫槽7、烘干室14、提升裝置、烘干裝置和控制箱，提升裝置和烘干裝置通過控制箱進行控制，提升裝置有絲桿
1、絲杠螺母3、上限位傳感器2、下限位傳感器4、拉桿5、架子6和加熱管8，在恒溫槽7內設有架子6，恒溫槽7—側設有固定板16，恒溫槽7底部設有加熱管8，固定板16上設有絲杠1、上限位傳感器2和下限位傳感器4，絲杠I上設有絲杠螺母3，絲杠螺母3上設有拉桿5，拉桿5上設有架子6，所述烘干裝置有風機15、加熱器9、軌道10、管道13、第一到位傳感器11和第二到位傳感器12，烘干室14上設有加熱器9、風機15和軌道10，軌道10上設有第一到位傳感器11和第二到位傳感器12，風機15上設有管道13，管道13—端與風機15相連接，管道13另一端與加熱器9相連接，所述控制箱有提升模塊和烘干模塊構成，提升模塊控制提升裝置，烘干模塊對烘干裝置進行控制;所述上限位傳感器2和下限位傳感器4分別設置在固定板16的上部和下部，上限位傳感器2和下限位傳感器4設置在絲杠I的同一側的固定板16上;所述絲杠螺母3設置在上限位傳感器2和下限位傳感器4的中間；所述烘干室14上設有門，軌道10通過門插入到烘干室14內；所述提升模塊有啟動按鈕SB 1、KAl線圈、SQl傳感器、升降電機和KA3線圈構成，開啟啟動按鈕SBl，KA1線圈得電常開觸點吸合，SBl燈亮，KAl常閉觸點斷開，KAl線圈實現自鎖，同時KAl接通了變頻器多功能輸入端子I和多功能輸入端子2，變頻器得到這兩個信號后就會輸出電壓和頻率，電機正轉運行，架子6開始拉升，當架子6升到上限位時，SQl傳感器就會觸發接通KA3線圈，KA3常閉觸點斷開，常開觸點閉合，KAl線圈失電，KAl觸點復原，斷開變頻器運行信號，升降電機停止運行，且KA3觸點接通提示蜂鳴器，恒溫槽7內的溫度靠溫控器觸點接通或斷開控制KMl，KM1下端接加熱管；所述烘干模塊有啟動按鈕SB3、KA5線圈、第二到位傳感器SQ3、KA6線圈、KM線圈、繼電器KT1、第一到位傳