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帶粘結設備和帶粘結方法

文(wen)檔(dang)序號:4355017閱讀(du):362來源:國知局
專利名稱:帶粘結設備和帶粘結方法
技術領域
本發明涉及用于將由各向異性導電膜形成的ACF帶粘合到基板上的目標粘合區域的帶粘結設備和帶粘結方法。
背景技術
在諸如液晶面板的模塊制造エ藝中,采用將由稱為ACF (各向異性導電膜)的各向異性導電膜形成的帶(在下文稱為"ACF帶(ACF tape) 〃)粘合到基板的上表面上設置成行的多個電極的帶粘結設備。ACF帶提供成帶子構件的形式,具有整體設在帶子ー側上被稱為隔離物的保護帶子。帶粘結設備具有基板保持単元,用于保持基板;傳輸基座,沿著水平方向可傳輸;擠壓工具,提供為相對于傳輸基座可豎直運動;帶輸運裝置,設置在傳輸基座上,并且在擠壓工具正下方的區域內沿著平行于傳輸基座的運動方向的方向向前和向后輸運帶構·件;帶切割裝置,用于從帶輸運裝置輸運的帶構件切割ACF帯,以因此形成隔離物上的ACF帶的切片;以及傳輸輥,獨立于傳輸基座設置為在水平方向上可運動,并且朝著ACF帶的切片粘合到基板上的目標粘合區域而運動,因此引導傳輸基座在ACF帶的切片剝離隔離物的方向上(例如,見專利文件I)。當ACF帶的切片由這樣的帶粘結設備粘合到基板吋,重復與諸如下面所述的順序運行相關的エ藝。該運行包括(I)定位傳輸基座的エ藝,方式為擠壓工具的一端到基板上包括電極的目標粘合區域的一端正上方的位置;(2)輸運帶構件的エ藝,方式為ACF帶的前端位于擠壓工具下方的區域中,并且ACF帶的切割部分到達目標粘合區域的一端正上方的位置,(3)由帶切割裝置切割ACF帶的エ藝,帶切割裝置行進到位于擠壓工具正下方的ACF帶的切割部分,因此形成隔離物上的ACF帶的切片;(4)降低擠壓工具且將ACF帶的切片壓向基板上的目標粘合區域的エ藝,因此將ACF帶的切片粘合到目標粘合區域;(5)朝著粘合到基板上的目標粘合區域的ACF帶的切片運動傳輸輥的エ藝,以因此從ACF帶的切片剝離隔離物,并且將傳輸輥返回到它們的原始位置;以及(6)用于運動傳輸基座的エ藝,方式為擠壓工具到達基板上要粘合ACF帶的切片的目標粘合區域之上的位置。<現有技術文件><專利文件>專利文件I JP-A-2001-29436
發明內容
<本發明要解決的問題>然而,如上所述,現有技術的帶粘結設備通過擠壓工具將ACF帶壓靠于基板上的目標粘合區域,以因此粘合帶到該區域,并且隨后在傳輸該傳輸基座前從粘合到基板的ACF帶的切片剝離隔離物,方式為擠壓工具到達基板上要粘合ACF帶的切片的目標粘合區域之上的位置。為此,現有技術的帶粘結設備必須相對于傳輸基座相互促動傳輸輥(相當于エ藝(5)),這使得機構復雜。而且,現有技術的帶粘結設備具有另外的問題,即其増加了執行粘合ACF帶每個切片運行所消耗的時間。迄今,在切割ACF帶時會導致切割ACF帶的帶切割裝置行進到擠壓工具正下方的位置。然而,當ACF帶的切片由擠壓工具被粘合到基板上的目標粘合區域時,帶切割裝置要抽回,從而不干擾擠壓工具。為此,現有技術的帶切割裝置還涉及使帶切割裝置向前或后退的時間消耗。本發明的目標是提供能夠縮短粘合ACF帶的每個切片消耗時間的帶粘結設備和帶粘結方法。

〈解決問題的手段〉在本發明的ー個方面中,帶粘結設備包括基板保持単元,其保持基板;傳輸基座,其在水平方向上是可運動的;擠壓工具,其設置為相對于傳輸基座可上下運動;帶輸運裝置,設置在傳輸基座上并且在擠壓工具正下方的區域中沿著平行于傳輸基座的傳輸方向的方向在向前或向后的方向上傳輸帶構件,該帶構件通過將隔離物設置在由各向異性導電膜制造的ACF帶的ー側上而形成;帶切割裝置,設置在相對于帶構件的向前傳輸方向上由帶輸運裝置輸運的帶構件在擠壓工具正下方的區域的下游,并且帶切割裝置從由帶輸運裝置輸運的帶構件切割ACF帯,因此形成在隔離物上的ACF帶的切片;工具升降裝置,作為帶構件由帶輸運裝置在相反方向輸運的結果,當由基板保持単元保持隔離物上形成的ACF帶的切片定位在基板上的目標粘合區域正上方的位置吋,降低擠壓工具,因此將ACF帶的切片壓向基板上的目標粘合區域,并且將ACF帶的切片粘合到該目標粘合區域;以及傳輸基座促動裝置,在擠壓工具正下方的區域中在與帶構件的向前傳輸方向相反的方向上相對于基板保持単元傳輸該傳輸基座,方式為在ACF帶的切片由擠壓工具壓向且粘合到基板上的目標粘合區域后,擠壓工具達到基板上接下來要粘合ACF帶的切片的目標粘合區域之上的升起位置。帶輸運裝置與由傳輸基座促動裝置所執行的傳輸基座的促動同步向前輸運帶構件,因此從粘合到基板上的目標粘合區域的ACF帶的切片剝離隔離物,并且保持向前輸運帶構件,因此將接下來要粘合的ACF帶的切割部分設置在該帶切割裝置的切割位置。在本發明的另ー個方面中,帶粘結方法用于帶粘結設備,該帶粘結設備包括基板保持単元,其保持基板;傳輸基座,其在水平方向上是可運動的;擠壓工具,設置為相對于傳輸基座能上升或下降;帶輸運裝置,設置在傳輸基座上,并且在擠壓工具正下方的區域中沿著平行于傳輸基座傳輸方向的方向在向前或向后的方向上傳輸帶構件,該帶構件通過將隔離物設在由各向異性導電膜制作的ACF帶的ー側上而形成;以及帶切割裝置,其相對于帶構件的向前傳輸方向設置在由帶輸運裝置輸運的帶構件的擠壓工具正下方的區域的下游,并且從由帶輸運裝置輸運的帶構件切割ACF帯,因此形成隔離物上的ACF帶的切片。該方法包括利用帶切割裝置從由帶輸運裝置輸運的帶構件切割ACF帶的エ藝,因此形成該隔離物上的ACF帶的切片;由帶輸運裝置在相反的方向上輸運ACF帶構件的エ藝,因此將隔離物上形成的ACF帶的切片設置在由基板保持単元所保持的基板上的目標粘合區域正上方的位置;當隔離物上形成的ACF帶的切片保持在基板上的目標粘合區域正上方位置時降低該擠壓工具的エ藝,因此將該ACF帶的該切片壓向基板上的目標粘合區域,并且將ACF帶的切片粘合到基板上的目標粘合區域;在擠壓工具正下方的區域中在與帶構件向前傳輸方向的相反方向上相對于基板保持單兀隨后傳輸該傳輸基座的エ藝,方式為在ACF帶的切片由擠壓工具被壓向且粘合到基板上的目標粘合區域后,擠壓工具到達要粘合ACF帶的切片的基板上的目標粘合區域之上的位置,并且使帶輸運裝置與傳輸基座的傳輸動作同步輸運帶構件,以因此從粘合到基板上的目標粘合區域的ACF帶的切片剝離隔離物;以及從ACF帶的切片剝離隔離物且使帶輸運裝置在向前輸運方向上繼續輸運帶構件的エ藝,因此將接下來要粘合的ACF帶的切割部分設置在帶切割裝置的切割位置。〈本發明的優點〉在本發明中,擠壓工具將ACF帶的切片壓向且粘合到基板上的目標粘合區域。隨后,帶構件與傳輸基座的促動同步向前輸運,方式為擠壓工具到達基板上要粘合ACF帶的切片的目標粘合區域之上的升起位置,因此從ACF帶的切片剝離隔離物。接下來,同時執行與エ藝(エ藝(5))相關的エ藝,即從粘合到基板上的目標粘合區域的ACF帶的切片剝離隔離物以及與エ藝(エ藝(6))相關的エ藝,即設置擠壓工具在基板上要粘合ACF帶的切片的目標粘合區域之上的升起位置。因此,可避免如現有技術中所需要的那樣額外地提供用于剝離隔離物的傳輸輥且往復促動傳輸輥的必要性。此外,可縮短粘合ACF帶的ー個切片的 操作所消耗的時間。帶切割裝置相對于帶構件的向前傳輸方向設置在由帶輸運裝置輸運的帶構件的擠壓工具正下方區域的下游。因此,防止了與擠壓工具產生干渉,這可能在將ACF帶的切片壓向基板時引起。因此,可消除對允許帶切割裝置前進和后退的構造的需求。因此,帶粘結設備的機構變得簡單。此外,省略了每次切割ACF帶時使帶切割裝置向前和后退所消耗的時間。因此,甚至在該方面的觀點看,也可縮短粘合ACF帶的切片的操作所消耗的時間。因為在沒有變化和中斷的情況下通過執行帶構件用于剝離隔離物的向前輸運實現了 ACF帶的切割位置的定位,所以與帶構件的ACF帶的切割位置定位在擠壓工具的正下方的切割位置且使帶切割裝置進而切割ACF帶的情況相比,例如在現有技術中執行的那樣,不會増加工作時間。


圖I是本發明實施例的帶粘結設備的前視圖。圖2是本發明實施例的帶粘結設備的側視圖。圖3是示出本發明實施例的帶粘結設備的控制系統的單元示意圖。圖4是流程圖,示出了本發明實施例的帶粘結設備粘合ACF帶切片到基板上目標粘合區域的操作程序。圖5(a)、(b)和(C)是描述由本發明實施例的帶粘結設備執行的帶粘合操作的操作圖。圖6(a)、(b)和(C)是描述由本發明實施例的帶粘結設備執行的帶粘合操作的操作圖。圖7(a)、(b)和(C)是描述由本發明實施例的帶粘結設備執行的帶粘合操作的操作圖。
具體實施例方式下面,參考附圖描述本發明的實施例。圖I和2所示的帶粘結設備I與上游位置上設置的電極清洗設備和下游位置上設置的初歩接合器和主壓カ接合器等結合構成液晶面板生產線。在從上游位置設置的電極清洗設備接收作為液晶面板基板的基板2后,帶粘結設備I將由稱為ACF (各向異性導電膜)的各向異性導電膜形成的帶(ACF帶4)的切片4S粘合到沿著基板2的上表面的邊緣提供的多個電極3的每ー個。隨后,帶粘結設備I輸送基板2到下游位置設置的初步壓カ接合器。在本實施例中,ACF帶4提供為帶構件Tp,其一側上粘結用作保護帶的隔離物Sp (見圖I中的放大圖)。在圖I和2中,帶粘結設備I包括基座10 ;臺狀基板保持單兀12,其保持基板2在水平位置上,方式為電極3向上定向并且由基座10上設置的基板保持單元傳輸機構11傳輸;龍門架13,設置在基座10上并且具有在水平方向上延伸的橫架13a ;板狀傳輸基座14,設置在基板保持単元12之上的上升位置,連接到龍門架13的橫架13a,從而沿著橫架13a (即在水平方向上)可運動;以及支持臺15,設置在基座10上以延伸在傳輸基座14的傳輸方向上。
為了說明的方便起見,橫架13a沿其延伸(即傳輸基座14傳輸)的水平方向取作帶粘結設備I的左右方向,并且稱為X軸方向。垂直于X軸方向的另ー個水平方向取作帶粘結設備I的前后方向,并且稱為Y軸方向。豎直方向取作Z軸方向。此外,關于左右方向(即沿著X軸方向定向的方向),左方向分配給圖I的圖片的左側,并且右方向分配給圖I的圖片的右側。關于前后方向(即沿著Y軸方向定向的方向),向前的方向分配給圖2的圖片的左側,并且向后方向分配給圖2的圖片的右側。在圖I和2中,基板保持單元傳輸機構11由在左右方向(X軸方向)上相對于基座10可運動的X軸臺11a、在前后方向(Y軸方向)相對于X軸臺Ila可運動的Y軸臺Ilb以及連接到Y軸臺Ilb且在Z軸周圍可旋轉的Θ臺Ilc組成。基板保持單元12連接到Θ臺Ilc的上表面。基板保持單元12可通過X軸臺Ila在左右方向(X軸方向)的傳輸、Y軸臺Ilb在前后方向(Y軸方向)上的傳輸以及Θ臺Ilc圍繞上下方向(Z軸)的旋轉而在水平面內傳輸。在圖I和2中,工具升降缸21、相對于傳輸基座14由工具升降缸21可豎直運動的擠壓工具22、帶輸運単元23、帶剪切単元24、剝離輥25和成像照相機26設置在傳輸基座14的前表面上。在圖I和2中,工具升降缸21設置在傳輸基座14的前部中心,而活塞桿21a向下定向。擠壓工具22連接到活塞桿21a的下端。工具升降缸21的活塞桿21a導致向下凸伸,因此擠壓工具22在圖I所示的上升位置和上升位置正下方的下降位置之間上升和下降。加熱擠壓工具22的加熱器22a (圖I)設置在擠壓工具22中。在圖I和2中,帶輸運単元23由提供帶構件Tp的給料卷軸31、帶回收単元32以及多個引導輥組成,帶回收単元32通過真空吮吸回收從給料卷軸31提供的帶構件Tp,多個引導輥從給料卷軸31到帶回收単元32 (第一引導輥33a、第二引導輥33b、第三引導輥33c和成對的第四引導輥33d)引導帶構件Tp。給料卷軸31由傳輸基座14的后面上設置的給料卷軸驅動電動機31a驅動。同樣,帶回收單元32由傳輸基座14的后面上設置的帶回收單元促動機構32a驅動。在圖I中,第一引導輥33a在傳輸基座14的左上部中形成的輥傳輸槽14a內可運動從而延伸在豎直方向上,并且由未示出的施カ構件保持向上施力。第二引導輥33b設置在傳輸基座14的左下部分中且在第一引導輥33a之下。第三引導輥33c設置在第二引導輥33b的右側且在傳輸基座14的右下部分中。成對的第四引導輥33d設置在第三引導輥33c之上且沿著左右方向在傳輸基座14的右側中心區域并排設置。當擠壓工具22位于上升位置時,第二引導輥33b和第三引導輥33c位于擠壓工具22的下表面之下的位置(見圖I)。當擠壓工具22位于下降位置時,第二引導輥33b和第三引導輥33c設置在擠壓工具22的下表面之上的位置。在圖I中,來自給料卷軸31的帶構件Tp依次由第一引導輥33a、第二引導輥33b、第三引導輥33c和成對的第四引導輥33d(帶構件Tp的兩個表面從兩側夾在成對的第四引 導輥33d之間)引導且輸送到帶回收単元32.作為第一引導輥33a在輥傳輸槽14a內向上施力的結果,給帶構件Tp施加適當的張力。在第一引導輥33a和第二引導輥33b之間保持帶構件Tp在這樣的狀態,即帶在傳輸基座14的左側區域內在豎直方向上繃緊。相反,在第二引導輥33b和第三引導輥33c保持帶構件Tp在這樣的狀態,即帶在傳輸基座14的下部區域內在左右方向(X軸方向)上繃緊(當擠壓工具22位于升高位置吋)。而且,帶構件Tp保持在傳輸基座14的右側區域內,在第三引導輥33c和成對的第四引導輥33d之間以及在成對的第四引導輥33d和帶回收単元32之間,在豎直方向上繃緊。帶輸運單元23從給料卷軸31供給帶構件Tp,同時通過帶回收單元32的吸引力吸引帶構件Tp,從而帶構件Tp可傳輸在向前的方向上(帶沿其在擠壓工具22正下面的區域Rg中從左到右行進的方向,并且由在圖I所示的箭頭A表示)。給料卷軸31取回帶構件Tp,而帶回收單元32通過吸カ吸引帶構件Tp,因此帶構件Tp可傳輸在相反的方向上(在擠壓工具22的正下方設置的區域Rg中從右到左的方向)。在該實施例中,帶輸運単元23設置在傳輸基座14上。帶輸運単元23用作帶輸運裝置,其在擠壓工具22正下方設置的區域Rg中在平行于傳輸基座14的傳輸方向(X軸方向)的方向上前后輸運帶構件Tp。帶剪切単元24位于第三弓I導輥33c和成對的第四引導輥33d之間的帶構件Tp上的位置,這是帶輸運單元23輸運的帶構件Tp在擠壓工具22的正下方的區域Rg的下游。帶剪切単元24包括下述部分切割機24a,其在第三引導輥33c和成對的第四引導輥33d之間的豎直方向上延伸的帶構件Tp的右側區域中設置為在左右方向(即垂直于帶構件Tp的表面的方向)上可運動;切割機驅動缸24b,其以這樣的方式驅動切割機24a,即切割機24a傳輸在右側上的容放位置和左側上的凸起位置之間(由圖I所示的箭頭B表示);以及背板24c,在第三引導輥33c和成對的第四引導輥33d之間于豎直方向上延伸的帶構件Tp的左側區域中,其設置為在水平方向上與切割機24a相對(即相對于切割機24a的位置,帶構件Tp夾在它們之間)。在帶剪切単元24中,位于凸起位置的切割機24a和背板24c之間確保等于隔離物Sp厚度的間隙。因此,當切割機24s由切割機驅動缸24b從容放位置傳輸到凸起位置而帶構件Tp保持延伸在第三引導輥33c和成對的第四引導輥33d之間的豎直方向上時,切割機24a以直角壓向在帶構件Tp的右側表面上的ACF帶4。因此,只有ACF帶4從帶構件Tp上切下。背板24c此時用作在帶構件Tp的左側表面上支撐隔離物Sp的加強板,因此在帶構件Tp上產生克服切割機24a的壓カ負荷的反作用力。在圖I中,第三引導輥33c和成對的第四引導輥33d之間的豎直方向上延伸的帶構件Tp的右側表面上的ACF帶4由帶剪切単元24切割,而帶的頭部相對于切割位置M拉起長度Ls,切割位置M是切割機24a左右行進的位置(高度)。長度Ls對應于基板2上目標粘合區域Sa的長度(圖I中目標粘合區域Sa的每ー個之中存在多個電極3),其中試圖在X軸方向上將ACF帶4粘結到電極3。ACF帶4由切割単元24切割,因此具有長度Ls的ACF帶4的切片4S形成在隔離物Sp上。具體而言,在本實施例中,帶剪切單元24設置在帶構件Tp在擠壓工具22正下方的區域Rg的下游,帶構件Tp通過帶輸運單元23相對于帶構件Tp的向前傳輸方向輸運。帶剪切単元24用作帶切割裝置,其切割來自由帶輸運単元23輸運的帶構件Tp的ACF帶4,因此形成在隔離物Sp上的ACF帶4的切片4S。在圖I中,剝離棍25包括一對棍構件,其豎直地相對于帶構件Tp的向前傳輸方向夾著下游部分(帶輸運單元23輸運的帶構件Tp在擠壓工具22正下方的區域Rg的右側的一部分),而不是相對于帶輸運單元23輸運的帶構件Tp的擠壓工具22正下方設置的區域Rg0剝離輥25設置在傳輸基座14上。當傳輸基座14在水平方向上運動時,剝離輥25也隨著傳輸基座14在水平方向上傳輸。成像照相機26安裝在傳輸基座14的右下側,其照相機的攝像視野向下定向。成像照相機26沿著傳輸基座14的水平傳輸行迸,并且捕獲基板保持単元12所保持的基板2的左右兩側上設置的定位標記(未示出)的圖像。帶粘結設備I中安裝的控制器40 (圖3)的運行性能控制單元40a控制由未示出的促動器等組成的傳輸基座促動機構41 (圖3)的運行,因此傳輸基座14相對于龍門架13的橫架13a行進在X軸方向(左右方向)上。控制器40的運行性能控制單元40a控制由未示出的促動器等組成的基板保持單元促動機構42的運行,(圖3),從而由基板保持單元12保持的基板2行進。控制器40的運行性能控制單元40a控制給料卷軸驅動電動機31a的運行和帶回收單元促動機構32a的運行,從而帶輸運單元23輸運帶構件Tp (圖3)。帶構件Tp的ACF帶4的頭部位置由關于轉數檢測傳感器43檢測的ー個第四引導輥33d的轉數(圖3)和一個第四引導輥33d的半徑相關的數據等信息計算。而且,控制器40的運行性能控制單元40a控制切割機驅動缸24b的運行,從而帶剪切単元24的切割機24a左右行進;SP,切割機24a切割ACF帶4 (圖3)。控制器40的運行性能控制單元40a控制工具升降缸21的運行,從而垂直促動擠壓工具22 (圖3)。控制器40的運行性能控制單元40a控制加熱器激發機構44的運行(圖3),從而擠壓工具22中設置的加熱器22a加熱擠壓工具22。控制器40的運行性能控制單元40a控制成像照相機26的攝像運行(圖3)。成像照相機26捕獲的圖像數據存儲在控制器40的圖像存儲單元40b中。從運行性能控制單元40a接收指令的圖像識別單元40c (圖3)根據圖像存儲單元40b中存儲的圖像數據執行圖像識別。通過參見圖4的流程圖和圖5 (a)至7 (c)描述的運行圖,說明帶粘結設備I執行將ACF帶4的切片4S粘合到基板2上的目標粘合區域Sa操作(帶粘合運行)的步驟。為了使帶粘結設備I將ACF帶4的切片4S粘合到基板2上的目標粘合區域Sa,控制器40的運行性能控制單元40a首先由未示出的基板載入機構輸運設置在上游位置處的、電極清洗裝置所接收的基板2,因此使基板保持単元12保持基板2(與圖4所示的步驟STl相關的基板載入和保持エ藝)。控制器40的運行性能控制單元40a使基板保持単元12保持基板2,并且激發基板保持單元傳輸機構11以因此傳輸基板保持単元12,從而裝備有電極3的基板2的邊緣的下表面與支持臺15的上表面接觸(見圖2所示的虛線表示的基板2)。基板2以這樣的方式定位,即多個電極3設置在平行于傳輸基座14的傳輸方向的方向(即,X軸方向)上,并且還到達擠壓工具22正下方的位置(與圖4所示的步驟ST2相關的基板定位エ藝)。在定位基板2時,控制器40的運行性能控制單元40a通過在左右方向(X軸方向)運動傳輸基座14由成像照相機26捕獲基板2的兩端上設置的定位標記的圖像。控制器40的運行性能控制單元40a導致圖像識別單元40c識別所獲得的圖像數據,因此檢查是否圖像和基板2的支持臺15上的粘合位置之間存在位置偏差。 在定位基板2后,控制器40的運行性能控制單元40a控制傳輸基座促動機構41的運行,因此在左右方向上促動傳輸基座14 (由圖5 (a)所示的箭頭Cl表示)。控制器40的運行性能控制單元40a以這樣的方式定位傳輸基座14,即擠壓工具22的左端到達基板2上目標粘合區域Sa的正上方的位置,從現在開始擠壓工具22將粘合ACF帶4的切片4S到基板(圖5 (a):與圖4所示的步驟ST3相關的傳輸基座定位エ藝)。在定位傳輸基座14后,控制器40的運行性能控制單元40a控制帶輸運單元23的運行,因此在向前方向上輸運帶構件Tp (由圖5 (a)所示的箭頭Dl表示)。控制器40的運行性能控制單元40a以這樣的方式定位ACF帶4,即ACF帶4的頭部到達高于切割位置M的位置,其中帶剪切単元24切割ACF帶4,其長度Ls等于在X軸方向實現的目標粘合區域Sa的長度(圖5 (a):與圖4所示的步驟ST4相關的ACF帶定位エ藝)。在定位ACF帶4后,控制器40的運行性能控制單元40a控制切割機驅動缸24b的促動,因此在左右方向上傳輸切割機24a (由圖5 (b)所示的箭頭E表示)并且切割ACF帶4。控制器40的運行性能控制單元40a在隔離物Sp上形成ACF帶4具有長度Ls的切片4S(圖5 (b):與圖4所示的步驟ST5相關的ACF帶切割エ藝)。在通過切割ACF帶4在隔離物Sp上形成ACF帶4的切片4S后,控制器40的運行性能控制單元40a控制帶輸運單元23的運行,因此在相反的方向上輸運帶構件Tp (由圖5(c)所示的箭頭D2表示)。控制器40的運行性能控制單元40a設定隔離物Sp上所形成的ACF帶4的切片4S到定位在擠壓工具22之下的位置且在基板保持単元12所保持的基板2上的目標粘合區域Sa的正上方(圖5 (c):與圖4所示的步驟ST6相關的ACF帶切片定位ェ藝)。在定位ACF帶4的切片4S后,控制器40的運行性能控制單元40a控制工具升降缸21的運行,因此降低擠壓工具22到下降位置(由圖6 (a)所示的箭頭Fl表示)。控制器40的運行性能控制單元40a通過由加熱器22a事先加熱的擠壓工具22隨著隔離物Sp將ACF帶4的切片4S壓到基板2的邊緣,因此將ACF帶4的切片4S粘合到基板2上的目標粘合區域Sa (圖6 (a):與圖4所示的步驟ST7相關的ACF帶切片粘合エ藝)。如上所述,在本實施例中,帶輸運單元23在相反的方向上相對于工具升降缸21輸運帶構件Tp。工具升降缸21因此用作降低擠壓工具22的工具升降裝置,而隔離物Sp上形成的ACF帶4的切片4S保持位于由基板保持単元12所保持的基板2上的目標粘合區域Sa正上方的位置,以因此將ACF帶4的切片4S粘合到基板2上的目標粘合區域Sa。在利用擠壓工具22將ACF帶4的切片4S粘合到基板2上的目標粘合區域Sa后,控制器40的運行性能控制單元40a控制工具升降缸21的運行,因此將擠壓工具22提升到升起位置(由圖6 (b)所示的箭頭F2表示)。因為ACF帶4的切片4S保持粘合到基板2上的目標粘合區域Sa而擠壓工具22保持在升起位置,所以處于第二引導輥33b和第三引導輥33c之間的帶構件Tp保持向下拉,如圖6 (b)所示。在升起擠壓工具22到升起位置后,控制器40的運行性能控制單元40a確定是否將要粘合ACF帶4的切片4S的目標粘合區域Sa仍然保持在基板2上,其中在基板2上正在執行ACF帶4的切片4S的粘合(與圖4所示的步驟ST8相關的確定エ藝)。結果,當要粘合ACF帶4的切片4S的目標粘合區域Sa仍保持在基板2上時,控制器40的運行性能控制単元40a控制傳輸基座促動機構41的運行。控制器40的運行性能控制單元40a向左邊傳輸傳輸基座14 (如圖6 (C)、圖7 (a)和圖7 (b)所示的箭頭C2所示),因此以這樣的方式 定位傳輸基座14,即擠壓工具22的左端到基板2上的目標粘合區域Sa的左端的正上方,在此處擠壓工具現在(即將)將ACF帶4的切片4S的位置(圖7 (b))粘合到基板2。同時,控制帶輸運単元23的運行,因此在向前的方向上輸運帶構件Tp (如圖6 (C)、圖7 (a)和圖7 (b)所示的箭頭D3所表示)。粘合于固定到基板2上的ACF帶4的切片4S的上表面的隔離物Sp由帶輸運単元23輸運,而由剝離輥25向上拉。因此,隔離物Sp從粘合到基板2上的目標粘合區域Sa的ACF帶4的切片4S分開(圖6 (b)、6 (c)和7 (a)順序不出與圖4所示的步驟ST9相關的傳輸基座定位エ藝兼作隔離物剝離エ藝)。 在該實施例中,傳輸基座促動機構41用作傳輸基座促動裝置。傳輸基座促動裝置相對于基板保持單元12在擠壓工具22正下方的區域Rg中向前輸運帶構件Tp的相反方向上移動傳輸基座14,方式為擠壓工具22到達基板2上的目標粘合區域Sa之上的位置,在此處接下來在ACF帶4的切片4S由擠壓工具22壓向且粘合到基板2上的目標粘合區域Sa后將ACF帶4的切片4S粘合到基板2。在執行兼作隔離物Sp剝離的傳輸基座14的定位以后,控制器40的運行性能控制單元40a使帶輸運單元23在向前的方向上保持輸運帶構件Tp,甚至在完成隔離物Sp的剝離后(如圖7 (c)所示的箭頭D4所表示與圖4所示的步驟STlO相關的帶構件輸運繼續エ藝)。返回到步驟ST4,ACF帶4以這樣的方式定位,即ACF帶4的頭部到達切割位置M上方的上升位置,在此處帶剪切単元24切割ACF帶4,其長度Ls等于目標粘合區域Sa在X軸方向上的長度(圖7c)。同吋,當要粘合ACF帶4的切片4S的目標粘合區域Sa在步驟ST8中不在基板2上時,控制器40的運行性能控制單元40a導致帶輸運單元23在向前的方向上輸運帶構件Tp,同時向左促動傳輸基座14。控制器40的運行性能控制單元40a因此從粘合到基板2上的目標粘合區域Sa的ACF帶4的切片4S剝離隔離物Sp (與圖4所示的步驟STll相關的隔離物剝離エ藝)。在步驟STlO中,控制器40的運行性能控制單元40a以足夠允許剝離隔離物Sp的行進數量傳輸該傳輸基座14。在步驟STll中剝離隔離物Sp后,控制器40的運行性能控制單元40a利用未示出的基板載出機構(與圖4所示的步驟ST12相關的基板載出步驟)輸運由基板保持単元12所保持的基板2 (BP,已經完成ACF帶4的切片4S的粘合的基板2)到下游位置處所設置的初步壓カ接合器。如上所述,由本實施例的帶粘結設備I實現的帶粘結方法包括エ藝(I)至(5)。エ藝(I)(與步驟ST5相關的ACF帶切割エ藝)是用于通過帶剪切単元24從由帶輸運單元23所輸運的帶構件Tp切割ACF帶4,以因此在隔離物Sp上形成ACF帶4的切片4S,帶剪切單元24設置在相對于帶構件Tp的向前輸運方向由帶輸運單元23所輸運的帶構件Tp的在擠壓工具22正下方的區域Rg的下游。エ藝(2)(與步驟ST6相關的ACF帶切片定位エ藝)是用于由帶輸運單元23在反向方向上輸運帶構件Tp,因此將隔離物Sp上所形成的ACF帶4的切片4S設置在由基板保持単元12所保持的基板2上的目標粘合區域Sa正上方的位置。エ藝(3)(與步驟ST7相關的ACF帶切片粘合エ藝)是用于降低擠壓工具22同時隔離物Sp上所形成的ACF帶4的切片4S被保持定位在基板2上的目標粘合區域Sa的正上方,因此將ACF帶4的切片4S壓向基板2上的目標粘合區域Sa且將ACF帶4的切片4S粘合到目標粘合區域Sa。エ藝(4)(與步驟ST9相關的兼作隔離物剝離エ藝的傳輸基座定位エ藝)是用于在與帶構件Tp的向前輸運方向相反的方向上順序傳輸傳輸基座14,其實現在相對 于基板保持単元12的擠壓工具22正下方的區域Rg中,方式為擠壓工具22到達基板2上的目標粘合區域Sa之上的位置,在ACF帶4的切片4S由擠壓工具22粘合到基板2上的目標粘合區域Sa后,ACF帶4的切片4S粘合到基板2,并且使帶輸運単元23與傳輸基座14的傳輸動作同步輸運帶構件Tp (因此與剝離輥25朝著粘合到基板2的ACF帶4的切片4S的傳輸同歩),以因此從粘合到基板2上的目標粘合區域Sa的ACF帶4的切片4S剝離隔離物Sp。エ藝(5)(與步驟ST4相關的ACF帶定位エ藝)是用于從ACF帶4的切片4S剝離隔離物Sp,并且使帶輸運単元23繼續在向前輸運的方向上輸運帶構件Tp,因此設置ACF帶4的切割部分接下來粘合在帶剪切単元24的切割位置Μ。如上所述,在本實施例的帶粘結設備I中,帶剪切單元24設置在由帶輸運單元相對于帶構件的向前傳輸方向所輸運的帶構件Tp的區域Rg的下游,在擠壓工具22的正下方。在ACF帶4的切片4S由擠壓工具22被壓向且粘合到基板2上的目標粘合區域Sa后,傳輸基座促動機構41促動傳輸基座14。與傳輸基座14的促動同歩,帶構件Tp被輸運在向前的方向上。在本實施例的帶粘結設備I (帶粘結方法)中,擠壓工具22將ACF帶4的切片4S壓向且粘合到基板2上的目標粘合區域Sa。隨后,帶構件Tp與傳輸基座14的促動同步被向前輸運,方式為擠壓工具22到達要粘合ACF帶4的切片4S的在基板2上的目標粘合區域Sa之上的上升位置,因此從ACF帶4的切片4S剝離隔離物Sp。同時執行與將隔離物Sp從粘合到基板2上的目標粘合區域Sa的ACF帶4的切片4S剝離的エ藝相關的エ藝以及與隨后設置擠壓工具22在要粘合的ACF帶4的切片4S的基板2上的目標粘合區域Sa之上的升起位置上的エ藝相關的エ藝。因此,可避免諸如現有技術所需的額外提供用于剝離隔離物Sp的傳輸輥以及往復促動傳輸輥的的必要性。此外,可縮短粘合ACF帶4的ー個切片的操作所消耗的時間。帶剪切單元24設置在由帶輸運單元23相對于帶構件Tp的向前傳輸方向所輸運的帶構件Tp的區域Rg的下游,在擠壓工具22的正下方。因此,防止了與擠壓工具22干擾的發生,否則這可能會在ACF帶4的切片4S被壓向基板2時發生。因此,消除了對允許帶剪切単元24向前和后退的構造的需要。因此,帶粘結設備的機構變得簡單。此外,消除了每次切割ACF帶4時使帶剪切単元24向前和向后所消耗的時間。因此,甚至考慮到該方面,也可縮短粘合ACF帶4的ー個切片4S的操作所消耗的時間。因為通過沒有變化和中斷地執行用于剝離隔離物Sp的帶構件Tp的向前輸運執行了 ACF帶4的切割位置的定位,所以與諸如現有技術中執行的情況相比不增加工作時間,現有技術中帶構件Tp的ACF帶4的切割位置定位在擠壓工具22正下方的切割位置并且使得帶切割裝置行進以切割ACF帶4。盡管至此已經描述本發明的實施例,但是本發明不限于前述的實施例。例如,實施例的帶剪切單元24構造為通過按壓切割機24a而切割ACF帶4,其以相對于ACF帶4成直角的角度行進在水平方向上。相反,帶剪切単元24也可構造為具有旋轉的刀片,其旋轉為圍繞平行于帶構件Tp的延伸方向的軸,并且使在帶構件Tp的寬度方向上旋轉的旋轉刀片運行在ACF帶4上,因此切割ACF帶4。主要要求是帶剪切単元24相對于擠壓工具22正下方的位置設置在擠壓工具22 的正下方的帶構件Tp的區域Rg的下游,帶構件Tp由帶輸運單元23相對于帶構件Tp的向前輸運方向輸運。沒有具體限定影響帶剪切単元24的位置。盡管本發明已經參考具體實施例進行了詳細的描述,但是本領域的技術人員應理解,在不脫離本發明精神和范圍的情況下,可進行各種替換或修改。本發明基于2010年11月15日提交的日本專利申請(JP-),其主題事項通過引用結合于此。<エ業實用性>所提供的帶粘結設備和帶粘結方法能夠縮短執行粘合一個ACF帶切片所消耗的時間。〈參考標記和符號的描述〉I.帶粘結設備2.基板3.電極4. ACF 帶4S.切片10.基座11.基板保持單元傳輸機構lla. X 軸臺Ilb. Y 軸臺lie. Z 軸臺12.基板保持單元13.龍門架13a.橫架14.傳輸基座14a.輥傳輸槽15.支持臺21.工具升起缸(工具升降裝置)
21a.活塞桿22.擠壓工具22a.加熱器23.帶輸運單元(帶輸運裝置)24.帶切割單元(帶切割裝置)24a.切割機24b.切割機驅動缸24c.背板25.剝離輥26.成像照相機31.給料卷軸31a.給料卷軸驅動電動機32.帶回收單元32a.帶回收單元促動機構33a至33d 第一至第四引導輥40.控制器40a.運行性能控制單元40b.圖像數據存儲單元40c.圖像識別單元41.傳輸基座促動機構(傳輸基座促動裝置)42.基板保持單元促動機構43.轉數檢測傳感器44.加熱 器激發機構M.切割位置Sp.隔離物Tp.帶構件Rg.位于擠壓工具正下方的區域Sa.目標粘合區域
權利要求
1.一種帶粘結設備,包括 基板保持単元,其保持基板; 傳輸基座,其在水平方向上能運動; 擠壓工具,其設置為能相對于該傳輸基座上升或下降; 帶輸運裝置,其設置在該傳輸基座上并且在該擠壓工具正下方的區域中沿著平行于該傳輸基座的傳輸方向的方向在向前或向后的方向上傳輸帶構件,該帶構件通過將隔離物設置在包括各向異性導電膜的ACF帶的ー側上而形成; 帶切割裝置,其相對于該帶構件的向前傳輸方向設置在由該帶輸運裝置所輸運的處在該擠壓工具正下方區域中的一部分帶構件的下游,并且從由該帶輸運裝置所輸運的該帶構件切割該ACF帯,因此形成在該隔離物上的ACF帶的切片; 工具升降裝置,作為該帶構件由該帶輸運裝置在相反的方向上輸運的結果,當就位在該基板上的目標粘合區域正上方的位置時降低該擠壓工具,其中該基板保持単元保持該隔離物上形成的該ACF帶的切片,因此將該ACF帶的該切片壓向該基板的該目標粘合區域,并且將該ACF帶的該切片粘合到該基板上的該目標粘合區域;以及 傳輸基座促動裝置,其在該擠壓工具正下方的區域中隨后相對于該基板保持単元在與該帶構件的該向前傳輸方向相反的方向上傳輸該傳輸基座,方式為在該ACF帶的該切片由該擠壓工具被壓向且粘合到該目標粘合區域后,該擠壓工具到達該基板上粘合該ACF帶的該切片的該目標粘合區域之上的升起位置, 其中該帶輸運裝置與該傳輸基座促動裝置所執行的該傳輸基座促動同步向前輸運該帶構件,因此從粘合到該基板上的該目標粘合區域的該ACF帶的該切片剝離該隔離物,并且進一歩保持向前輸運該帶構件,從而因此將接下來要粘合的ACF帶的切割部分設置在該帶切割裝置的切割位置。
2.一種用于帶粘結設備的帶粘結方法,該帶粘結設備包括基板保持単元,其保持基板;傳輸基座,其在水平方向上能運動;擠壓工具,設置為相對于該傳輸基座能上升或下降;帶輸運裝置,其設置在該傳輸基座上,并且在該擠壓工具正下方的區域中沿著平行于該傳輸基座的傳輸方向的方向在向前或向后的方向上傳輸帶構件,該帶構件通過在包括各向異性導電膜的ACF帶的ー側上設置隔離物而形成;以及帶切割裝置,其相對于該帶構件的向前傳輸方向設置在由該帶輸運裝置所輸運的的處在該擠壓工具正下方區域中的一部分帶構件的下游,并且從由該帶輸運裝置所輸運的該帶構件切割該ACF帯,因此形成該隔離物上的該ACF帶的切片,該方法包括 利用該帶切割裝置從由該帶輸運裝置所輸運的該帶構件切割該ACF帶的エ藝,因此形成該隔離物上的ACF帶的切片; 由該帶輸運裝置在相反的方向上輸運該帶構件的エ藝,因此將該隔離物上所形成的該ACF帶的該切片設置在由該基板保持単元所保持的該基板上的目標粘合區域正上方的位置; 當該隔離物上形成的該ACF帶的該切片保持在該基板上的該目標粘合區域正上方位置時降低該擠壓工具的エ藝,因此將該ACF帶的該切片壓向該基板上的該目標粘合區域,并且將該ACF帶的該切片粘合到該基板上的該目標粘合區域; 在該擠壓工具正下方的區域中實現的該帶構件向前傳輸方向的相反方向上且相對于該基板保持單元隨后傳輸該傳輸基座的エ藝,方式為在該ACF帶的該切片由該擠壓工具被壓向且粘合到該基板上的該目標粘合區域后,該擠壓工具到達要粘合該ACF帶的該切片的該基板上的該目標粘合區域之上的位置,并且使該帶輸運裝置與該傳輸基座的傳輸動作同步輸運該帶構件,以因此從粘合到該基板上的該目標粘合區域的該ACF帶的該切片剝離該隔離物;以及 從該ACF帶的該切片剝離該隔離物且使該帶輸運裝置在該向前輸運方向上繼續輸運該帶構件的エ藝,因此將接下來要粘合的ACF帶的切割部分設置在該帶切割裝置的切割位置。
全文摘要
本發明的目標是提供能夠縮短粘合ACF帶的一個切片操作所消耗的時間的帶粘結設備和帶粘結方法。在ACF帶(4)的切片(4S)由擠壓工具(22)壓向且粘合到基板(2)上的目標粘合區域(Sa)后,傳輸傳輸基座(14),然后帶構件(Tp)與傳輸基座(14)的傳輸同步向前輸運,方式為擠壓工具22到達要粘合ACF帶(4)的切片(4S)位置的基板(2)上的目標粘合區域(Sa)之上的升起位置,因此從ACF帶(4)的切片(4S)剝離隔離物(Sp)。帶剪切單元(24)相對于帶構件(Tp)的向前輸運方向設置在由帶輸運單元(23)輸運的帶構件(Tp)的擠壓工具(22)正下方的區域(Rg)的下游。ACF帶(4)的切割位置可通過帶構件(Tp)的連續向前傳輸而定位。
文檔編號B65H37/04GK102666332SQ201180004479
公開日2012年9月12日 申請日期2011年10月13日 優先權日2010年11月15日
發明者小田原廣造, 山田真五 申請人:松下電器產業株式會社
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