一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，該行走機構位于真空靶材噴涂罐體內并固定于罐體內壁上；該行走機構包括固定架及移動車，所述固定架包括固定板及滑軌，所述滑軌固定于固定板上，而固定板固定于罐體內壁上；所述移動車上設置有固定靶材卷筒的靶材支架，該移動車下方設置有與滑軌配合實現移動車滑動的滾輪。本實用新型增加行走機構的平穩性、降低連接噴槍電路和冷卻水路的異常發生率，從而提高旋轉靶材的噴涂效率，降低靶材噴涂成本。
【專利說明】一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構

【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，按國際專利分類表（IPC)劃 分屬于靶材噴涂中移動機構【技術領域】。

【背景技術】
[0002] 在真空噴涂旋轉靶材過程中，靶材和噴槍都位于真空罐體內，噴槍和旋轉靶材自 己必須產生水平相對移動來完成噴涂工藝，而這種水平相對移動就要通過行走機構來實 現。現有的行走機構是通過伺服電機帶動鏈條后，鏈條帶動槍架，從而使得噴槍隨著進行水 平移動。由于在真空噴涂靶材的真空罐體中有大量的粉塵，粉塵會導致鏈條與齒輪錯位，最 終導致行走機構運行不穩定甚至停止行走。大大提高了真空噴涂靶材作業的異常率；而且 噴槍上有許多連接電路和冷卻水路，在噴槍行走過程中，電路和冷卻水路也會跟著移動，這 樣導致了電路和回路異常率大大提高，從而影響旋轉靶材的噴涂效率。
[0003] 由此，本發明人考慮對現有的靶材噴涂中水平移動的機構進行改進，本案由此產 生。 實用新型內容
[0004] 針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，其 增加行走機構的平穩性、降低連接噴槍電路和冷卻水路的異常發生率，從而提高旋轉靶材 的噴涂效率，降低靶材噴涂成本。
[0005] 為達到上述目的，本實用新型是通過以下技術方案實現的：
[0006] -種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，該行走機構位于真空靶材噴涂罐體內并固定 于罐體內壁上；該行走機構包括固定架及移動車，所述固定架包括固定板及滑軌，所述滑軌 固定于固定板上，而固定板固定于罐體內壁上；所述移動車上設置有固定靶材卷筒的靶材 支架，該移動車下方設置有與滑軌配合實現移動車滑動的滾輪。
[0007] 進一步，所述滑軌為兩個平行設置的圓柱滑軌，每根滑軌下方均設置有滑軌支柱， 形成滑軌支撐結構。
[0008] 進一步，所述移動車包括車架、靶材支架及滾輪，所述滾輪設置于車架下方并分別 與兩圓柱滑軌配合形成滑動機構，而靶材支架上端呈弧形并固定于車架中央。
[0009] 進一步,所述滾輪為表面凹陷滾輪。
[0010] 進一步，所述車架一側設置有定位板，該定位板下方設置有齒排。
[0011] 進一步，所述行走機構還包括伺服電機，該伺服電機穿過罐體側壁伸入至罐體的 噴涂腔內，該伺服電機的輸出桿的輸出端固定有齒輪，該齒輪與齒排相互哨合，形成對移動 車移動的動力結構。
[0012] 與現有技術相比較，本實用新型的優點：
[0013] 1、本實用新型是通過齒輪、齒排的傳動，不易受真空腔體內大量粉塵的影響而較 目iu的行走機構穩定性大大提1? ;
[0014] 2、本實用新型是針對靶材水平移動，而噴槍相對靜止，這樣可以噴槍上的電路和 冷卻水路在真空等離子噴涂過程中不需要移動，大大降低了電路和冷卻水路的異常發生 率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015] 圖1是本實用新型結構示意圖。

【具體實施方式】
[0016] 下面結合附圖對本實用新型作進一步說明：
[0017] 實施例：請參閱圖1所示，種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，該行走機構位于真空 靶材噴涂罐體1內并固定于罐體1內壁上；該行走機構包括固定架2、移動車3及伺服電機 4。
[0018] 請參閱圖1所示，前述所述固定架2包括固定板21及滑軌22,所述滑軌22固定于 固定板21上，而固定板21固定于罐體1內壁上，其中滑軌22為兩個平行設置的圓柱滑軌， 每根滑軌下方均設置有滑軌支柱221。
[0019] 請參閱圖1所示，前述移動車3包括車架31、靶材支架32及滾輪33,所述滾輪33 設置于車架31下方并分別與兩圓柱滑軌22配合形成滑動機構，而靶材支架32上端呈弧形 并固定于車架31中央并與罐體頂端的噴槍A相對應；車架31 -側設置有定位板5,該定位 板5下方設置有齒排51，該齒排51與齒輪6相互哨合，形成對移動車移動方向的定位結構， 其中所述滾輪33為表面凹陷滾輪。
[0020] 請參閱圖1所示，前述伺服電機4穿過罐體1側壁伸入至罐體的噴涂腔內，前述齒 輪固6定于伺服電機4的輸出桿的輸出端上，該齒輪6并與齒排51相互哨合。
[0021] 請參閱圖1所示，本實用新型伺在服電機啟動時，通過伺服電機自帶齒輪旋轉，齒 輪6與移動車3上的齒排51相互作用，移動車3由于相互作用力的影響會向前或向后移 動，從而帶動靶材在真空腔體內水平運動，與噴槍形成水平相對移動，即可滿足真空等離子 噴涂作業要求。
[0022] 以上所記載，僅為利用本創作技術內容的實施例，任何熟悉本項技藝者運用本創 作所做的修飾、變化，皆屬本創作主張的專利范圍，而不限于實施例所揭示者。
【權利要求】
1. 一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，其特征在于：該行走機構位于真空靶材噴涂罐 體內并固定于罐體內壁上；該行走機構包括固定架及移動車，所述固定架包括固定板及滑 軌，所述滑軌固定于固定板上，而固定板固定于罐體內壁上；所述移動車上設置有固定靶材 卷筒的靶材支架，該移動車下方設置有與滑軌配合實現移動車滑動的滾輪。
2. 根據權利要求1所述的一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，其特征在于：所述滑軌 為兩個平行設置的圓柱滑軌，每根滑軌下方均設置有滑軌支柱，形成滑軌支撐結構。
3. 根據權利要求1所述的一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，其特征在于：所述移動 車包括車架、靶材支架及滾輪，所述滾輪設置于車架下方并分別與兩圓柱滑軌配合形成滑 動機構，而靶材支架上端呈弧形并固定于車架中央。
4. 根據權利要求3所述的一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，其特征在于：所述滾輪 為表面凹陷滾輪。
5. 根據權利要求3所述的一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，其特征在于：所述車架 一側設置有定位板，該定位板下方設置有齒排。
6. 根據權利要求1所述的一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，其特征在于：所述行走 機構還包括伺服電機，該伺服電機穿過罐體側壁伸入至罐體的噴涂腔內，該伺服電機的輸 出桿的輸出端固定有齒輪，該齒輪與齒排相互嚙合，形成對移動車移動的動力結構。
【文檔編號】B05B13/02GK203862461SQ201420243649
【公開日】2014年10月8日 申請日期:2014年5月14日 優先權日:2014年5月14日
【發明者】羅建冬 申請人:廈門映日新材料科技有限公司