一種用于單晶爐的端蓋的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種用于單晶爐的端蓋，包括端蓋主體和觀察窗，所述的端蓋主體內設置有密封腔體，所述的觀察窗安裝在端蓋主體的中心處，所述觀察窗兩側的端蓋主體的底部分別設置有一個探照燈，所述端蓋主體的底部設置有過流通道，所述的過流通道與密封腔體相連通，所述的過流通道內設置有過流閥，所述端蓋主體的頂部設置有出氣通道，所述的出氣通道與密封腔體相連通，所述出氣通道的出口處連接有氣體過濾裝置。本設計通過過流閥來對單晶爐起到自我保護的功能，防止單晶爐內氣體壓強過大而造成自身結構的損壞。
【專利說明】
一種用于單晶爐的端蓋
技術領域
[0001]本實用新型涉及單晶爐裝置技術領域，特別是一種用于單晶爐的端蓋。
【背景技術】
[0002]目前使用的單晶爐的爐蓋基本都設有觀察窗，但觀察窗都是與爐蓋固定在一起的，無法全方位地觀察單晶爐內的單晶的生長情況，若無法及時調整相應的參數，將會影響晶體的生產質量。因此，如何能夠全面的觀察單晶爐內的單晶完整的生成情況是一個值得關注的問題。

【發明內容】

[0003]本實用新型需要解決的技術問題是通過過流閥來對單晶爐起到自我保護的功能，防止單晶爐內氣體壓強過大而造成自身結構的損壞;提供一種用于單晶爐的端蓋。
[0004]為解決上述的技術問題，本實用新型的結構包括端蓋主體和觀察窗，所述的端蓋主體內設置有密封腔體，所述的觀察窗安裝在端蓋主體的中心處，所述觀察窗兩側的端蓋主體的底部分別設置有一個探照燈，所述端蓋主體的底部設置有過流通道，所述的過流通道與密封腔體相連通，所述的過流通道內設置有過流閥，所述端蓋主體的頂部設置有出氣通道，所述的出氣通道與密封腔體相連通，所述出氣通道的出口處連接有氣體過濾裝置。
[0005]進一步:所述的過流閥包括閥筒、閥蓋、彈簧和閥芯，所述的閥筒位于過流通道內，所述的閥蓋連接在閥筒的一側，所述的閥芯活動連接在閥筒內的另一側，所述的閥芯通過彈簧與閥蓋相連，所述的閥筒的側壁上開設有溢流通道，所述的閥蓋上相對于溢流通道的位置設置有溢流孔。
[0006]又進一步:所述的氣體過濾裝置包括活性炭過濾器和氣體采集袋，所述的出氣通道通過活性炭過濾器與氣體采集袋相連。
[0007]采用上述結構后，本實用新型通過過流閥來對單晶爐起到自我保護的功能，防止單晶爐內氣體壓強過大而造成自身結構的損壞;而且本設計還能把排放出去的氣體除雜后收集起來進行重復使用，從而減少了不必要的損失;并且本設計還具有結構簡單、易于制造和實用高效的優點。
【附圖說明】
[0008]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細的說明。
[0009]圖1為本實用新型的結構示意圖。
[00?0]圖2為過流閥的結構不意圖。
【具體實施方式】
[0011]如圖1所示的一種用于單晶爐的端蓋，包括端蓋主體I和觀察窗2，所述的端蓋主體I內設置有密封腔體5，所述的觀察窗2安裝在端蓋主體I的中心處，所述觀察窗2兩側的端蓋主體I的底部分別設置有一個探照燈4，所述端蓋主體I的底部設置有過流通道3，所述的過流通道3與密封腔體5相連通，所述的過流通道內設置有過流閥8，所述端蓋主體I的頂部設置有出氣通道6，所述的出氣通道6與密封腔體5相連通，所述出氣通道6的出口處連接有氣體過濾裝置7。工作時，當單晶爐內的氣壓過高時，過流閥8則會自行啟動，把單晶爐內的高壓氣體通過過流通道輸送進密封腔體5內，然后這部分氣體在通過出氣通道6流入氣體過濾裝置7內。本設計通過過流閥來對單晶爐起到自我保護的功能，防止單晶爐內氣體壓強過大而造成自身結構的損壞;并且本設計在端蓋主體I的中心處設置設置有觀察窗2，而且在觀察窗2兩側的端蓋主體I的底部還分別設置有一個探照燈4，工作人員可以打開探照燈4，然后通過觀察窗2觀察單晶爐內的內部情況，此設計能夠起到便于工作人員發現故障的作用；并且本設計還具有結構簡單、易于制造和實用高效的優點。
[0012]如圖2所示的過流閥8包括閥筒9、閥蓋10、彈簧12和閥芯11，所述的閥筒9位于過流通道3內，所述的閥蓋10連接在閥筒9的一側，所述的閥芯11活動連接在閥筒9內的另一側，所述的閥芯11通過彈簧12與閥蓋10相連，所述的閥筒9的側壁上開設有溢流通道13，所述的閥蓋10上相對于溢流通道13的位置設置有溢流孔14。當單晶爐內的壓強過大時，單晶爐內的氣體會自動擠壓閥芯11，使閥芯11擠壓彈簧12沿著閥筒9向上運動，隨著閥芯11不斷向上運動，當溢流通道13與單晶爐的內部空間相連通后，單晶爐內的高壓氣體會依次通過溢流通道13和溢流孔14流入密封腔體5內，然后再通過出氣通道6流入氣體過濾裝置7內，從而起到降低單晶爐內壓強的作用。當單晶爐內的壓強降低后，此時彈簧12提高的彈力大于氣體提高的壓力時，彈簧12會推著閥芯11向反方向運動，重新堵塞溢流通道13，此時單晶爐內的氣體就不會在自動流出。本設計通過過流閥來對單晶爐起到自我保護的功能，防止單晶爐內氣體壓強過大而造成自身結構的損壞。
[0013]如圖1所示的氣體過濾裝置7包括活性炭過濾器和氣體采集袋，所述的出氣通道6通過活性炭過濾器與氣體采集袋相連。本設計先通過活性炭過濾器對溢流出的氣體進行除雜，然后由氣體采集袋把排放出的氣體進行收集做重復使用，起到了減少不必要損失的作用。
【主權項】
1.一種用于單晶爐的端蓋，其特征在于:包括端蓋主體(I)和觀察窗(2)，所述的端蓋主體(I)內設置有密封腔體(5)，所述的觀察窗(2)安裝在端蓋主體(I)的中心處，所述觀察窗(2)兩側的端蓋主體(I)的底部分別設置有一個探照燈(4)，所述端蓋主體(I)的底部設置有過流通道(3)，所述的過流通道(3)與密封腔體(5)相連通，所述的過流通道內設置有過流閥(8)，所述端蓋主體(I)的頂部設置有出氣通道(6)，所述的出氣通道(6)與密封腔體(5)相連通，所述出氣通道(6)的出口處連接有氣體過濾裝置(7)。2.根據權利要求1所述的一種用于單晶爐的端蓋，其特征在于:所述的過流閥(8)包括閥筒(9)、閥蓋(10)、彈簧(12)和閥芯(11)，所述的閥筒(9)位于過流通道(3)內，所述的閥蓋(10)連接在閥筒(9)的一側，所述的閥芯(11)活動連接在閥筒(9)內的另一側，所述的閥芯(11)通過彈簧(12)與閥蓋(10)相連，所述的閥筒(9)的側壁上開設有溢流通道(13)，所述的閥蓋(10)上相對于溢流通道(13)的位置設置有溢流孔(14)。3.根據權利要求1所述的一種用于單晶爐的端蓋，其特征在于:所述的氣體過濾裝置(7)包括活性炭過濾器和氣體采集袋，所述的出氣通道(6)通過活性炭過濾器與氣體采集袋相連。
【文檔編號】C30B15/00GK205556845SQ201520789627
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2015年10月13日
【發明人】潘清躍, 王平
【申請人】江蘇華盛天龍光電設備股份有限公司