水冷式磁流體裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種水冷式磁流體裝置，尤其是一種用于泡生法藍寶石單晶爐晶體生長用的水冷磁流體裝置。
【背景技術】
[0002]藍寶石單晶爐是LED產業鏈中重要的晶體生長設備。目前，世界上用于藍寶石單晶體生長的主流方法有以下幾種:導模法、提拉法、熱交換法和泡生法。泡生法在引晶、擴肩生長后的晶錠直徑較大，有利于生長出大尺寸、低缺陷密度、高品質的藍寶石單晶體，因此具有更大的優勢。
[0003]泡生法是將一根受冷的籽晶與三氧化二鋁熔液接觸后熔化。當界面的溫度低于凝固點，則籽晶開始生長，為了使籽晶晶體不斷長大，需逐漸降低熔體的溫度，同時旋轉籽晶裝置，以改善熔體的溫度分布。當晶體生長到一定階段時，須緩慢上提籽晶裝置，以擴大散熱面積。晶體生長過程中，爐體最高溫度超過2000°C。為保證內部零部件不在高溫下氧化及晶體的純度，爐內需要為高真空環境。以保持在爐內無氧化性氣體。當引晶和晶體生長初期，為了觀察晶體生長情況，需要從觀察窗處觀察三氧化二鋁液面附近情況，此時需要打開觀察窗，當晶體生長到一定重量后，則無需觀察，此時需要關閉觀察窗，防止熱量從觀察窗逸出，晶體可以進行按照程序的自動生長。
[0004]由于設備在運行過程中，處于極高溫度的高真空的環境內，當觀察窗關閉時，觀察窗遮擋片會直接受到高溫輻射，溫度升高，溫度會接近2000°C，此時熱量會傳導到與其相連的轉軸上，其轉軸溫度也會升高，當轉軸的溫度到達一定的程度后，有可能破壞密封，水冷式磁流體采用了水冷磁流體的轉軸方式進行冷卻，使磁流體的主要部位溫度控制100°C以內完成了帶動觀察窗遮擋片的作用同時使磁流體的溫度在一個合理的范圍內。類似裝置未見報道。

【發明內容】

[0005]發明目的:本實用新型的目的在于針對現有泡生法藍寶石長晶爐的觀察窗遮擋片旋轉問題和運行時溫度較高的問題，提供一種新型安全可靠的裝置，解決了此問題。
[0006]技術方案:本實用新型所述的水冷式磁流體裝置，包括殼體、磁流體轉軸，所述磁流體轉軸穿過所述殼體，所述磁流體轉軸內設置有水冷通道，所述磁流體轉軸的一端設置有旋轉接頭，所述旋轉接頭連通至所述水冷通道。
[0007]進一步地，所述磁流體轉軸的另一端設置有單晶爐觀察窗遮擋片。
[0008]進一步地，所述殼體將所述磁流體轉軸分隔成常壓側和真空側，旋轉接頭設置于所述磁流體轉軸的常壓端。
[0009]進一步地，所述的旋轉接頭為雙通道旋轉接頭，所述磁流體轉軸內設置的水冷通道設置有水冷通道入口與水冷通道出口，水冷通道入口與雙通道旋轉接頭的雙通道之一連通，水冷通道出口與雙通道旋轉接頭的雙通道的另一通道連通。
[0010]進一步地，所述磁流體轉軸的水冷通道內還設置有套管，所述套管的一端為所述水冷通道入口。
[0011 ]進一步地，所述殼體內還設置有磁流體氣密結構，所述磁流體氣密結構環繞穿過所述殼體的磁流體轉軸。
[0012]—種用于藍寶石單晶爐的水冷式磁流體裝置，包括水冷式磁流體、旋轉接頭、套管、視窗遮擋片。特征在于:
[0013]a)水冷式磁流體一一磁流體的轉軸為水冷式；
[0014]b)旋轉接頭--------為高壓雙通道旋轉接頭；
[0015]c)套管---------為不銹鋼材質的鋼管；
[0016]d)觀察窗遮擋片鉬材質的裝配件
[0017]在本實用新型方案中:通過磁流體將真空外部運動傳遞到真空內部的運動即帶動觀察窗遮擋片運動，來遮擋觀察窗。水冷式磁流體為轉軸為水冷，通過水冷卻將磁流體的溫度保持在合理的范圍內。
[0018]本實用新型與現有技術相比，其有益效果是:水冷式磁流體為轉軸為水冷，通過磁流體將真空外部運動傳遞到真空內部的運動即帶動觀察窗遮擋片運動，來遮擋觀察窗。一般的水冷式磁流體為冷卻外殼，不是直接冷卻熱源，本實用新型采用的磁流體水冷卻轉軸，直接冷卻熱源，效果好。而磁流體本身是真空環境動密封的非常優良的密封部件，故而整個裝置效果良好。
【附圖說明】
[0019]圖1為本實用新型所述的水冷式磁流體裝置示意圖。
【具體實施方式】
[0020]下面對本實用新型技術方案進行詳細說明，但是本實用新型的保護范圍不局限于所述實施例。
[0021]實施例1:
[0022]如圖一所示，整個裝置分為磁流體轉軸5、旋轉接頭1、殼體2、套管3、觀察窗遮擋片4和磁流體氣密結構6。
[0023]其中，磁流體轉軸5穿過殼體2內的磁流體氣密結構6，磁流體氣密結構6將磁流體轉軸5兩側分隔成常壓側和真空側，雙通道旋轉接頭I固定在殼體2的磁流體轉軸5上的常壓側，套管3固定在雙通道旋轉接頭I上，觀察窗遮擋片4與水冷式磁流體裝置的轉軸真空側固定，當設備運行時，可以通過控制磁流體轉軸5的運動而控制觀察窗遮擋片4的運動，而冷卻水可以通過套管3，進入磁流體轉軸5，再從雙通道旋轉接頭I返回。
[0024]如上所述，盡管參照特定的優選實施例已經表示和表述了本實用新型，但其不得解釋為對本實用新型自身的限制。在不脫離所附權利要求定義的本實用新型的精神和范圍前提下，可對其在形式上和細節上作出各種變化。
【主權項】
1.一種水冷式磁流體裝置，其特征在于，包括殼體(2)、磁流體轉軸(5)，所述磁流體轉軸(5)穿過所述殼體(2)，所述磁流體轉軸(5)內設置有水冷通道，所述磁流體轉軸(5)的一端設置有旋轉接頭(I)，所述旋轉接頭(I)連通至所述水冷通道。2.根據權利要求1所述的水冷式磁流體裝置，其特征在于，所述磁流體轉軸(5)的另一端設置有單晶爐觀察窗遮擋片(4)。3.根據權利要求1所述的水冷式磁流體裝置，其特征在于，所述殼體(2)將所述磁流體轉軸(5)分隔成常壓側和真空側，所述旋轉接頭(I)設置于所述磁流體轉軸(5)的常壓側。4.根據權利要求1所述的水冷式磁流體裝置，其特征在于，所述的旋轉接頭(I)為雙通道旋轉接頭，所述磁流體轉軸(5)內設置的水冷通道設置有水冷通道入口與水冷通道出口，水冷通道入口與雙通道旋轉接頭的雙通道之一連通，水冷通道出口與雙通道旋轉接頭的雙通道的另一通道連通。5.根據權利要求4所述的水冷式磁流體裝置，其特征在于，所述磁流體轉軸(5)的水冷通道內還設置有套管(3)，所述套管(3)的一端為所述水冷通道入口。6.根據權利要求1所述的水冷式磁流體裝置，其特征在于，所述殼體(2)內還設置有磁流體氣密結構(6 )，所述磁流體氣密結構(6)環繞穿過所述殼體(2)的磁流體轉軸(5)。
【專利摘要】本實用新型公開一種水冷式磁流體裝置，包括殼體、磁流體轉軸，所述磁流體轉軸穿過所述殼體，所述磁流體轉軸內設置有水冷通道，所述磁流體轉軸的一端設置有旋轉接頭，所述旋轉接頭連通至所述水冷通道。本實用新型水冷式磁流體為轉軸為水冷，通過磁流體將真空外部運動傳遞到真空內部的運動即帶動觀察窗遮擋片運動，來遮擋觀察窗。一般的水冷式磁流體為冷卻外殼，不是直接冷卻熱源，本實用新型采用的磁流體水冷卻轉軸，直接冷卻熱源，效果好。而磁流體本身是真空環境動密封的非常優良的密封部件，故而整個裝置效果良好。
【IPC分類】C30B29/20, C30B17/00
【公開號】CN205258657
【申請號】CN201521055208
【發明人】張洪濤, 寧斯琴, 毛瑞川, 李洪風
【申請人】南京晶升能源設備有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2015年12月17日