能實現爐體副室和隔離方箱同步旋轉的鎖緊裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及到一種能實現能實現爐體副室和隔離方箱同步旋轉的鎖緊裝置。
【背景技術】
[0002]單晶爐是用于直拉法拉制單晶的設備,現有的單晶爐是由副室、隔離方箱及爐蓋、主爐體三部分構成,其中單晶爐的副室和隔離方箱為分開旋轉結構。單晶生產廠家為了提高單晶爐的產能,降低成本,每一爐都盡可能地多加料,使拉制單晶棒的長度過長,達到了爐體設計的上限位置,使單晶棒的下部位于隔離方箱內,難以將單晶棒取出。
【發明內容】
[0003]本實用新型是要解決現有技術存在的上述問題,提供一種爐體副室和隔離方箱同步旋轉的鎖緊裝置,在單晶棒達到爐體設計的上限位置時也可將其取出,并且結構簡單,操作簡單、使用安全。
[0004]本實用新型采用以下技術方案:能實現爐體副室和隔離方箱同步旋轉的鎖緊裝置,包括隔離方箱,在所述隔離方箱的外周面上對稱固設有二個卡塊,所述卡塊上設有倒錘狀卡槽,在每個卡塊的卡槽內卡裝有卡帶,所述卡帶的下部為倒錘狀,所述卡帶的上部由卡槽引出,在所述卡帶的頂部內側固設有抱箍,二個抱箍之間通過螺栓連接且合攏在爐體副室外周面。
[0005]所述卡塊上設有通孔,在通孔內采用螺絲將卡塊固定在隔離方箱上。
[0006]本實用新型的有益效果是:整體為可拆卸結構,結構簡單。操作方便、安全,使用時安裝卡緊,可使爐體副室和隔離方箱同步旋轉,將單晶棒取出,取出過程中不會造成單晶棒碰到隔離方箱而出現生產事故;不使用時可以松開抱箍,并拆除,將抱箍和卡帶放置在指定地點,不影響單晶爐的其他使用。
【附圖說明】
[0007]圖1是本實用新型的結構示意圖。
[0008]圖2是圖1的卡塊結構示意圖;
[0009]圖3是圖2的俯視圖;
[0010]圖4是圖1的卡帶結構示意圖;
[0011]圖5是圖4的俯視圖。
[0012]圖中:1 一隔尚方箱,2 —爐體副室,3 —卡塊,301 —倒錘狀卡槽,4 一卡帶,5 —抱箍,6 —螺檢,7 —螺絲。
【具體實施方式】
[0013]本實用新型包括隔離方箱I和爐體副室2,在所述隔離方箱I的外周面上對稱固設有二個卡塊3,所述卡塊3上設有倒錘狀卡槽301,在每個卡塊3的卡槽301內卡裝有卡帶4,所述卡帶4的下部為倒錘狀,所述卡帶4的上部由卡槽301引出,在所述卡帶4的頂部內側固設有抱箍5,二個抱箍5之間通過螺栓6連接且合攏在爐體副室2外周面。所述卡塊3上設有通孔,在通孔內采用螺絲7將卡塊3固定在隔離方箱I上。
[0014]操作時,單晶棒拉制完成后,將兩個抱箍上的卡帶由下至上插入卡塊的卡槽內并使卡帶與卡槽之間預留一定間隙,使用螺栓將兩個抱箍對接并固定。當副室升起時,卡帶隨副室上移將其卡緊在卡槽內,使爐體副室和隔離方箱緊固在一起。使用旋轉電機就可以帶動爐體副室、隔離方箱及將隔離方箱連接在一起的爐蓋同時運動。
【主權項】
1.能實現爐體副室和隔離方箱同步旋轉的鎖緊裝置,包括隔離方箱,其特征是:在所述隔離方箱的外周面上對稱固設有二個卡塊,所述卡塊上設有倒錘狀卡槽,在每個卡塊的卡槽內卡裝有卡帶,所述卡帶的下部為倒錘狀,所述卡帶的上部由卡槽引出,在所述卡帶的頂部內側固設有抱箍,二個抱箍之間通過螺栓連接且合攏在爐體副室外周面。
2.根據權利要求1所述的能實現爐體副室和隔離方箱同步旋轉的鎖緊裝置,其特征是:所述卡塊上設有通孔,在通孔內采用螺絲將卡塊固定在隔離方箱上。
【專利摘要】能實現爐體副室和隔離方箱同步旋轉的鎖緊裝置,包括隔離方箱,在所述隔離方箱的外周面上對稱固設有二個卡塊,所述卡塊上設有倒錘狀卡槽,在每個卡塊的卡槽內卡裝有卡帶,所述卡帶的下部為倒錘狀,所述卡帶的上部由卡槽引出,在所述卡帶的頂部內側固設有抱箍,二個抱箍之間通過螺栓連接且合攏在爐體副室外周面。有益效果是:整體為可拆卸結構,結構簡單。操作方便、安全,使用時安裝卡緊,可使爐體副室和隔離方箱同步旋轉,將單晶棒取出,取出過程中不會造成單晶棒碰到隔離方箱而出現生產事故;不使用時可以松開抱箍,并拆除,將抱箍和卡帶放置在指定地點,不影響單晶爐的其他使用。
【IPC分類】C30B15-00
【公開號】CN204491026
【申請號】CN201520114660
【發明人】秦朗, 王愛迪
【申請人】錦州神工半導體有限公司
【公開日】2015年7月22日
【申請日】2015年2月17日