玻璃微粒沉積體的制造方法以及玻璃母材的制造方法
【技術領域】
[0001] 本發明涉及通過OVD法（外部沉積法）、VAD法（氣相軸向沉積法）、MMD法（多燃 燒器多層沉積法）等使玻璃微粒沉積在起始棒上來制造玻璃微粒沉積體的玻璃微粒沉積 體制造方法以及對該玻璃微粒沉積體進行加熱從而使其透明化的玻璃母材制造方法。
【背景技術】
[0002] 作為現有的玻璃母材制造方法，已知的是包括以下工序的制造方法：通過OVD法 或VAD法等制作玻璃微粒沉積體的沉積工序，以及對該玻璃微粒沉積體進行加熱從而制作 透明的玻璃母材的透明化工序。
[0003] 例如，專利文獻1公開了可在預制件（玻璃母材）形成時使用的、能使不含鹵化物 的八甲基環四硅氧烷（OMCTS)等含硅化合物氧化的精密燃燒器。
[0004] 專利文獻2公開了能夠使SiCl4&GeCl4或OMCTS等含硅化合物發生水解反應或 氧化反應的線型燃燒器。
[0005] [現有技術文獻]
[0006] [專利文獻]
[0007] 專利文獻1 :日本特表平11-510778號公報
[0008] 專利文獻2 :美國專利6743011號公報

【發明內容】

[0009] 發明要解決的問題
[0010] 然而，在專利文獻1以及專利文獻2中記載的燃燒器中，在燃燒器的火焰內將生成 的玻璃微粒沉積在起始棒上從而制造玻璃微粒沉積體時，在提高玻璃原料收率的方面有改 善的余地。
[0011] 因此，本發明是鑒于以上問題而進行的，且其目的在于提供能夠提高玻璃微粒沉 積體的玻璃原料收率的玻璃微粒沉積體的制造方法以及玻璃母材的制造方法。
[0012] 問題的解決方案
[0013] 作為可以解決上述問題的玻璃微粒沉積體的制造方法，本發明提供這樣的一種玻 璃微粒沉積體的制造方法，其具有如下的沉積工序：在反應容器內設置起始棒和玻璃微粒 生成用燃燒器，向所述燃燒器中導入玻璃原料，在所述燃燒器所形成的火焰內使玻璃原料 發生火焰熱分解反應以生成玻璃微粒，并且使生成的玻璃微粒沉積在所述起始棒上，從而 制作玻璃微粒沉積體；
[0014] 在所述沉積工序中，每一個燃燒器至少設置兩個從所述燃燒器噴出玻璃原料的 出射口，將所述出射口中至少一個出射口的面積設為所述燃燒器的火焰形成部的面積的 2. 25X1(T4以下，將所述玻璃原料以液體狀態供給至各所述出射口，氣體噴出口的內周配置 在自各所述出射口的外周向外側1.0mm以內的位置處，并從所述氣體噴出口噴出氣體。
[0015] 另外，作為可以解決上述課題的玻璃母材的制造方法，本發明提供這樣一種玻璃 母材的制造方法，其具有如下的透明化工序：通過上述玻璃微粒沉積體的制造方法而制造 玻璃微粒沉積體，對該制造的玻璃微粒沉積體進行加熱而制造透明的玻璃母材。
[0016] 發明效果
[0017] 根據本發明的玻璃微粒沉積體的制造方法以及玻璃母材的制造方法，可以提高玻 璃微粒沉積體的玻璃原料收率。
[0018] 附圖簡要說明
[0019] 圖1是示出可以實施本發明的實施方式的一個例子所述的玻璃微粒沉積體的制 造方法的制造裝置的構成圖。
[0020] 圖2(a)是從燃燒器面一側觀察在圖1所示的制造裝置中生成玻璃微粒的燃燒器 的一個例子的平面圖，（b)是（a)的平面圖中的燃燒器面的原料噴口附近的放大圖。
[0021] 圖3是示出向圖2(b)所示的原料噴口供給液體原料，同時從其外側供給氣體的狀 態下的燃燒器的縱斷面的放大圖。
[0022] 圖4是示出本發明的變形例所述的燃燒器的原料噴口的燃燒器面的放大圖。
[0023] 圖5是在圖1所示的制造裝置中生成玻璃微粒的燃燒器的另外一個例子的燃燒器 面的平面圖。
[0024] 符號說明
[0025] 1 :制造裝置
[0026] 2 :反應容器
[0027] 3 :升降旋轉裝置
[0028] 5 :控制部
[0029] 10 :支持棒
[0030] 11 :起始棒
[0031]12 :排氣管
[0032]21 :原料供給裝置
[0033] 22、122:燃燒器
[0034] 23 :液體原料
[0035]24 :原料容器
[0036] 25 :泵
[0037]26 :供給配管
[0038]27 :溫控室
[0039]28 :帶加熱器
[0040] 30 :玻璃微粒
[0041] 31、131:原料噴口
[0042] 31a:液體原料用噴口（玻璃原料的出射口的一個例子）
[0043] 31b:噴氣口（氣體噴出口的一個例子）
[0044] 32、132 :密封氣體噴口
[0045]33、133:燃氣噴口
[0046] 35、135:火焰形成部
[0047]M:玻璃微粒沉積體
【具體實施方式】
[0048](本發明的實施方式的說明）
[0049] 首先，舉例說明本發明的實施方式的內容。
[0050] 本發明的玻璃微粒沉積體的制造方法的實施方式的一個例子具有以下（1)~ (10)中任意一項所述的特征。
[0051] ⑴一種玻璃微粒沉積體的制造方法，具有如下的沉積工序：在反應容器內設置 起始棒和玻璃微粒生成用燃燒器，向所述燃燒器中導入玻璃原料，在所述燃燒器所形成的 火焰內使玻璃原料發生火焰熱分解反應以生成玻璃微粒，并且使生成的玻璃微粒沉積在所 述起始棒上，從而制作玻璃微粒沉積體；
[0052] 在所述沉積工序中，每一個燃燒器至少設置兩個從所述燃燒器噴出玻璃原料的 出射口，將所述出射口中至少一個出射口的面積設為所述燃燒器的火焰形成部的面積的 2. 25X1(T4以下，將所述玻璃原料以液體狀態供給至各所述出射口，氣體噴出口的內周配置 在自各所述出射口的外周向外側1.0mm以內的位置處，并從所述氣體噴出口噴出氣體。
[0053] 根據具有這種特征的玻璃微粒沉積體的制造方法，可以減少從玻璃微粒生成用燃 燒器的各出射口噴出的玻璃原料的投入量，并促進玻璃原料的反應，從而提高玻璃微粒沉 積體的玻璃原料收率。另外，由于以液體狀態供給玻璃原料，因此不需要準備用于使沸點溫 度高的玻璃原料氣化的高價的處理裝置，并可抑制玻璃微粒沉積體的制造成本。另外，由 于是從噴出液體原料的出射口外側的極其附近處噴出氣體，所以可以高效地將玻璃原料霧 化。
[0054] (2)在具有上述（1)的特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積工序中，優 選每一個上述燃燒器設置五個以上的上述出射口。
[0055] 根據具有這種特征的玻璃微粒沉積體的制造方法，可以進一步促進玻璃原料的反 應，進一步提高玻璃原料收率。
[0056] (3)在具有上述⑴或⑵的特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積工序 中，優選將上述一個出射口的面積設為上述火焰形成部的面積的1. 〇〇X1(T4以下。
[0057] 根據具有這種特征的玻璃微粒沉積體的制造方法，可以使玻璃原料在火焰內擴 展，所以可以促進玻璃原料的反應。
[0058] (4)在具有上述⑴或⑵的特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積工序 中，優選將上述一個出射口的面積設為上述火焰形成部的面積的2. 50X1CT5以下。
[0059] (5)在具有上述⑴或⑵的特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積工序 中，優選將上述一個出射口的面積設為上述火焰形成部的面積的4. 00X1(T6以下。
[0060] (6)在具有上述（1)~（5)中任一特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積 工序中，從各上述氣體噴出口噴出包含氧氣的氣體，從而將從各上述出射口噴出的上述玻 璃原料霧化。
[0061 ] 根據具有這種特征的玻璃微粒沉積體的制造方法，通過從液體原料的出射口外側 的極其附近處噴出包含氧氣的氣體，可以促進玻璃原料的氧化反應。
[0062] (7)在具有上述（6)的特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積工序中，優 選從各上述氣體噴出口噴出流速為855m/s以上的氣體，從而將從各上述出射口噴出的上 述玻璃原料霧化。
[0063] 根據具有這種特征的玻璃微粒沉積體的制造方法，可以減小玻璃原料的噴霧液 徑，并且可以提高霧化的玻璃原料的氣化效率。