本發(fa)明涉及(ji)靜電卡(ka)盤，特別涉及(ji)一種氮化鋁陶瓷靜電卡(ka)盤用鉬漿及(ji)其制備(bei)方(fang)法。

背景技術：

1、絲網(wang)印刷是高(gao)溫共燒(shao)陶瓷制(zhi)作(zuo)中最基(ji)本的(de)(de)環節之一(yi)，漿料的(de)(de)質(zhi)量會對料片(pian)上面印刷效果和燒(shao)結性(xing)能有很大影響，從而(er)影響到產品外觀，性(xing)能，可靠(kao)性(xing)等。其中漿料的(de)(de)分散(san)(san)穩(wen)定性(xing)很關鍵(jian)，若分散(san)(san)不均勻，存(cun)在(zai)團聚的(de)(de)顆粒會在(zai)印刷時堵網(wang)，在(zai)燒(shao)結過程中產生氣孔。

2、在傳統的(de)(de)印刷(shua)漿料(liao)(liao)中，一般由(you)鉬(mu)(mu)粉、陶瓷相和(he)有機載(zai)體經一定配比(bi)(bi)混合而成。申請號(hao)為(wei)cn201911250168.7中國(guo)專利文(wen)件公開了(le)一種(zhong)氧化(hua)鋁陶瓷用的(de)(de)鉬(mu)(mu)漿料(liao)(liao)，鉬(mu)(mu)粉、氧化(hua)鋁和(he)二氧化(hua)硅質量(liang)比(bi)(bi)為(wei)x:y：1-x-y，其中x＝65～80，y＝0～5，z＝0～10；金屬粉末：粘(zhan)結劑＝80：20，粘(zhan)結劑是按照乙二醇(chun)單丁(ding)醚：乙二醇(chun)丁(ding)醚醋(cu)酸(suan)酯＝5:15重量(liang)比(bi)(bi)混合配制而成，絲網印刷(shua)使(shi)用前(qian)將漿料(liao)(liao)以(yi)20rpm的(de)(de)轉速進行充分滾(gun)動處理48～72小時。上述文(wen)件公開的(de)(de)鉬(mu)(mu)漿料(liao)(liao)僅用于氧化(hua)鋁陶瓷件的(de)(de)表面(mian)金屬化(hua)。

3、一方面(mian)，氮化鋁(lv)陶瓷靜電吸(xi)盤的(de)主流尺寸包括(kuo)8英寸、12英寸，相對(dui)常用的(de)高溫共(gong)燒陶瓷基板(ban)尺寸大很多(duo)，從而對(dui)金屬(shu)鉬和陶瓷的(de)匹配(pei)，尤其(qi)是高溫共(gong)燒之后(hou)的(de)結合(he)程(cheng)度(du)、平面(mian)度(du)、翹曲度(du)等(deng)指標提出了(le)更高的(de)要求(qiu)。

4、另一方面，氮化鋁陶(tao)瓷靜電吸盤的鉬電極圖案面積占比(bi)大(da)于(yu)70％，遠大(da)于(yu)一般的高溫(wen)共燒陶(tao)瓷基(ji)板，對陶(tao)瓷和金屬的結合程度提出(chu)更高的要(yao)求。

5、多層氧化(hua)鋁陶瓷電路板高溫共燒(shao)匹配、附著力強(qiang)且有良好的流(liu)動性(xing)、觸(chu)變性(xing)、分辨率(lv)高、方阻(zu)小的金(jin)屬化(hua)鎢漿(jiang)具有重要的意義與(yu)商用價值(zhi)。

技術實現思路

1、本發明(ming)要解決的(de)技(ji)術問(wen)題是(shi)提(ti)供一種氮化鋁陶(tao)瓷(ci)靜電卡盤用鉬漿及其(qi)制備方(fang)法，用于解決上述背景技(ji)術中提(ti)出的(de)技(ji)術問(wen)題。

2、為了解決上(shang)述技(ji)術(shu)(shu)問(wen)題，本發明的技(ji)術(shu)(shu)方案為：

3、一種氮化鋁陶瓷靜電卡(ka)盤用鉬漿，按照質量(liang)百分比，所述鉬漿包括：70％～85％的鉬粉(fen)、5～10％的氮化鋁粉(fen)、10％～20％的有機載(zai)體。

4、優(you)選的(de)，所述鉬粉粒徑(jing)大小(xiao)為0.8um～1.8um，所述氮(dan)化鋁粉粒徑(jing)大小(xiao)為0.5um～2um。

5、優(you)選的，所述有(you)機(ji)載體包括5％～90％的溶(rong)劑(ji)、5％～65％的粘(zhan)結(jie)劑(ji)、5％～30％的增塑劑(ji)。

6、優選的，所述鉬粉為球形鉬粉或片材鉬粉。

7、優(you)選的(de)(de)，所述有機粘結劑為乙基纖維素、聚(ju)乙烯(xi)醇(chun)、聚(ju)甲(jia)基丙烯(xi)酸甲(jia)酯、聚(ju)乙烯(xi)醇(chun)縮丁醛酯、環氧樹脂中的(de)(de)任(ren)意(yi)一個(ge)或者(zhe)任(ren)意(yi)兩者(zhe)的(de)(de)混(hun)合(he)物或者(zhe)任(ren)意(yi)兩者(zhe)以(yi)上的(de)(de)混(hun)合(he)物。

8、優選的，所(suo)述增(zeng)塑劑為鄰(lin)苯二甲(jia)酸(suan)二辛酯、鄰(lin)苯二甲(jia)酸(suan)二丁酯、己二酸(suan)二辛酯中的任意(yi)一個或(huo)任意(yi)兩者的混合物或(huo)者三者的混合物。

9、優選的，所(suo)述溶劑為(wei)無水乙醇(chun)、正丁醇(chun)、松油醇(chun)、乙酸乙酯(zhi)、醋酸正丙酯(zhi)、異丁醇(chun)中(zhong)的任(ren)(ren)意一(yi)個或(huo)者(zhe)任(ren)(ren)意兩(liang)者(zhe)的混合物(wu)或(huo)者(zhe)任(ren)(ren)意兩(liang)者(zhe)以上的混合物(wu)。

10、一種氮化鋁陶瓷靜(jing)電卡盤用鉬漿的制備方(fang)法，其特征在于(yu)，所(suo)述(shu)方(fang)法包(bao)括以下步(bu)驟：

11、步(bu)驟(zou)一：將(jiang)鉬(mu)粉(fen)、氮(dan)化(hua)鋁粉(fen)和松油醇按(an)比例稱量后放(fang)入球磨罐中，加入適量的分(fen)散劑(ji)和松油醇后進行球磨處理，得到鉬(mu)漿分(fen)散液；

12、步驟二(er)：將粘(zhan)結(jie)劑(ji)、增塑劑(ji)和溶(rong)劑(ji)，按(an)照比例(li)稱量后(hou)放(fang)入攪(jiao)拌溶(rong)解(jie)容器(qi)中(zhong)進行攪(jiao)拌，攪(jiao)拌至(zhi)粘(zhan)結(jie)劑(ji)完全溶(rong)解(jie)，均勻分(fen)散降溫后(hou)密(mi)封(feng)保(bao)存；

13、步驟三(san)：將上述步驟二中的密封保存的液體按照比例加入(ru)(ru)步驟一中得到(dao)的鉬(mu)漿分散液中，進(jin)行球磨處理，將球磨混合后的漿料(liao)，倒入(ru)(ru)三(san)輥(gun)軋磨機，進(jin)行6～9次(ci)扎磨，制得鉬(mu)漿。

14、優(you)選(xuan)的，所述步(bu)驟(zou)一(yi)、步(bu)驟(zou)三中的球磨處理的時(shi)間為4h～8h，球磨轉速為70hz～150hz。

15、優選的，所述步驟(zou)二中的攪(jiao)拌加熱溫(wen)度為50℃～120℃，攪(jiao)拌轉(zhuan)速為100r/min～800r/min。

16、本發明(ming)與現有(you)技(ji)術相比，有(you)益效果是：

17、(1)鉬漿(jiang)優(you)良的流動性、觸變性，適應于絲(si)網印刷；

18、(2)鉬漿能與含量95％～99.5％的氮化鋁陶瓷(ci)靜(jing)電(dian)卡(ka)盤高溫(wen)共(gong)燒匹配性(xing)佳，陶瓷(ci)靜(jing)電(dian)卡(ka)盤平整度好、翹曲度小。

19、(3)燒結(jie)后的(de)鉬(mu)導體方阻(zu)小。

20、(4)加(jia)入的氮(dan)化鋁粉末(mo)，在高溫(wen)共燒(shao)過(guo)程(cheng)中(zhong)，一方(fang)面可以潤濕(shi)滲(shen)透(tou)到金(jin)屬(shu)結構中(zhong)去，提高金(jin)屬(shu)化層(ceng)的致密性，另一方(fang)面滲(shen)透(tou)到陶(tao)(tao)瓷基底內部，與陶(tao)(tao)瓷結合，提高金(jin)屬(shu)層(ceng)與陶(tao)(tao)瓷層(ceng)的結合力(li)。

技術特征：

1.一種(zhong)氮化鋁陶瓷靜電卡盤用鉬(mu)(mu)漿，其(qi)特(te)征(zheng)在于(yu)，按照質量百分比，所述鉬(mu)(mu)漿包(bao)括：70％～85％的鉬(mu)(mu)粉(fen)、5～10％的氮化鋁粉(fen)、10％～20％的有機載體。

2.根據權利要求1所(suo)述(shu)的一種氮化鋁陶瓷靜電(dian)卡盤(pan)用的鉬漿，其特征在于(yu)：所(suo)述(shu)鉬粉(fen)粒徑大小為0.8um～1.8um，所(suo)述(shu)氮化鋁粉(fen)粒徑大小為0.5um～2um。

3.根據權(quan)利要求1所述的(de)一種氮化鋁陶(tao)瓷(ci)靜電卡(ka)盤用的(de)鉬漿，其特(te)征在于：所述有機載體包(bao)括5％～90％的(de)溶(rong)劑(ji)、5％～65％的(de)粘結劑(ji)、5％～30％的(de)增(zeng)塑劑(ji)。

4.根據權利(li)要求1所(suo)述(shu)的一種氮(dan)化鋁陶瓷靜電卡盤用的鉬(mu)(mu)漿(jiang)，其特征在于：所(suo)述(shu)鉬(mu)(mu)粉(fen)為球形鉬(mu)(mu)粉(fen)或片材(cai)鉬(mu)(mu)粉(fen)。

5.根據權利要(yao)求1所(suo)述(shu)(shu)的(de)(de)一種氮化鋁陶瓷(ci)靜電卡(ka)盤(pan)用的(de)(de)鉬(mu)漿，其特征在(zai)于(yu)：所(suo)述(shu)(shu)有機粘(zhan)結劑(ji)為乙基纖維素、聚乙烯醇、聚甲(jia)基丙烯酸甲(jia)酯(zhi)、聚乙烯醇縮丁醛酯(zhi)、環(huan)氧樹脂中的(de)(de)任(ren)意一個或者任(ren)意兩(liang)者的(de)(de)混合物(wu)或者任(ren)意兩(liang)者以上的(de)(de)混合物(wu)。

6.根(gen)據權利要求(qiu)1所(suo)述的(de)(de)(de)一種氮化(hua)鋁(lv)陶(tao)瓷靜電卡(ka)盤用(yong)的(de)(de)(de)鉬漿(jiang)，其(qi)特征在于：所(suo)述增塑劑為鄰苯二(er)(er)甲酸二(er)(er)辛酯(zhi)、鄰苯二(er)(er)甲酸二(er)(er)丁(ding)酯(zhi)、己二(er)(er)酸二(er)(er)辛酯(zhi)中的(de)(de)(de)任意一個或(huo)任意兩者(zhe)的(de)(de)(de)混(hun)合(he)(he)物或(huo)者(zhe)三者(zhe)的(de)(de)(de)混(hun)合(he)(he)物。

7.根據權利(li)要求1所(suo)述的(de)一(yi)種氮化鋁陶(tao)瓷靜電卡(ka)盤用的(de)鉬漿，其特征在于：所(suo)述溶劑為無水乙(yi)醇(chun)、正丁醇(chun)、松油醇(chun)、乙(yi)酸乙(yi)酯(zhi)(zhi)、醋酸正丙酯(zhi)(zhi)、異丁醇(chun)中的(de)任(ren)意一(yi)個或(huo)者任(ren)意兩者的(de)混(hun)(hun)合物或(huo)者任(ren)意兩者以上(shang)的(de)混(hun)(hun)合物。

8.一(yi)種如權利要求1中所述的(de)氮化鋁陶瓷靜(jing)電卡盤用鉬漿的(de)制備方(fang)法，其特征(zheng)在于，所述方(fang)法包括(kuo)以下步驟：

9.根據權利要(yao)求8所述的一種氮化鋁陶瓷靜(jing)電(dian)卡盤用(yong)鉬漿(jiang)及其(qi)制備方法，其(qi)特征在于：所述步驟一、步驟三中的球(qiu)磨處理的時(shi)間(jian)為(wei)4h～8h，球(qiu)磨轉速(su)為(wei)70hz～150hz。

10.根據權利要求8所述的(de)一種氮化鋁陶瓷靜(jing)電卡盤用(yong)鉬(mu)漿及其(qi)制備方法(fa)，其(qi)特(te)征在(zai)于：所述步驟二中(zhong)的(de)攪(jiao)拌加(jia)熱(re)溫度為50℃～120℃，攪(jiao)拌轉速為100r/min～800r/min。

技術總結
本發明公開了一種氮化鋁陶瓷靜電卡盤用鉬漿及其制備方法，屬于靜電卡盤技術領域，所述鉬漿按照質量百分比包括：70％～85％的鉬粉、5～10％的氮化鋁粉、10％～20％的有機載體；所述方法包括以下步驟：步驟一：將鉬粉、氮化鋁粉和松油醇按比例稱量后放入球磨罐中，加入適量的分散劑和松油醇后進行球磨處理，得到鉬漿分散液；步驟二：將粘結劑、增塑劑和溶劑，按照比例稱量后放入攪拌溶解容器中進行攪拌，攪拌至粘結劑完全溶解，均勻分散降溫后密封保存；步驟三：將上述步驟二中的密封保存的液體按照比例加入步驟一中得到的鉬漿分散液中，進行球磨處理，將球磨混合后的漿料，倒入三輥軋磨機，進行6～9次扎磨，制得鉬漿。

技術研發人員：洪國志,石鍺元,李君,肖偉
受保護的技術使用者：君原電子科技（海寧）有限公司
技術研發日：
技術公布日：2024/8/1