一種用于硅片的噴砂裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種用于硅片的噴砂裝置。
【背景技術】
[0002]硅片在生產過程中，將硅錠切割成硅片后部分硅片可能需要進行噴砂處理，以利于硅片的后續處理。
[0003]現有技術中沒有專門針對硅片進行噴砂處理的裝置，由于硅片生產過程中可能并不需要對所有硅片進行噴砂，因此，現有技術中對硅片進行噴砂時均在生產現場直接進行，硅片噴砂處理過程中砂料回收率低，并且，由于噴砂時沒有防護措施，硅片的噴砂過程對環境影響大。為了減小噴砂過程對環境的影響，現有技術中也有使用應用于其它領域的噴砂設備對硅片進行噴砂處理，但現有技術中的噴砂設備結構不合，造成噴砂設備檢修困難。

【發明內容】

[0004]本實用新型提供的一種用于硅片的噴砂裝置，旨在克服現有技術中噴砂設備結構不合理、設備檢修困難的不足。
[0005]為了解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術方案:一種用于硅片的噴砂裝置，包括箱體，所述箱體內設有將箱體分為上腔和下腔的隔板，所述隔板上開設有排砂口，所述箱體上開設有取放窗口，所述箱體上還開設有觀察窗口，所述取放窗口和觀察窗口均與上腔相通，所述箱體上還固定有封閉觀察窗口的亞克力板，所述亞克力板通過粘接方式固定在箱體上，所述箱體上設有封閉取放窗口的密封板，所述密封板的上端通過合頁轉動連接在箱體上，所述密封板上粘接有提高密封板與箱體之間密封性能的密封墊片，該用于硅片的噴砂裝置還包括噴槍，所述噴槍位于上腔內，所述下腔內固定有噴砂器，所述下腔內設有固定噴砂器的固定板，所述固定板滑動連接在箱體上，所述箱體上固定有滑軌，所述滑軌上開設有與固定板配合的滑槽，所述滑槽內涂設有潤滑脂，所述滑軌上固定有將固定板鎖緊在滑槽內的鎖緊螺釘，所述箱體上還開設有檢修口，所述檢修口與下腔相通，所述箱體上固定有封閉檢修口的檢修門，所述排砂口與噴砂器之間通過排砂管連接，所述噴砂器通過噴砂管與噴槍連接，所述隔板上開設有穿設噴砂管的通孔，所述箱體上還開設有兩個便于操作人員手持產品的手持窗口，所述手持窗口上固定有封閉手持窗口的手套，所述手套位于上腔內。
[0006]上述構成中，噴砂器固定在固定板上，固定板滑動連接在箱體內，箱體內固定有滑軌，滑軌上開設有滑槽，固定板可以在滑槽內滑動，對噴砂器進行檢修時，可以方便地打開檢修門，然后將固定板由下腔內抽出，再將連接于固定板上的支撐柱展開，以對固定板進行支撐，避免固定板與滑軌之間產生應力集中，此時，即可方便地對噴砂器進行檢修，檢修操作十分方便。
[0007]—種可選的方案，所述密封板的下端設有容納槽，所述容納槽內粘接有第一磁鐵，所述箱體上在位于取放窗口的下端設有與第一磁鐵吸附的第二磁鐵，所述第二磁鐵粘接在箱體上。在密封板上設置容納槽，第一磁鐵固定于容納槽內，磁鐵與密封板連接可靠；另外，第一磁鐵與第二磁鐵產生吸附力，提高了密封板的密封效果。
[0008]—種可選的方案，所述固定板上通過轉軸轉動連接有至少兩根支撐固定板的支撐柱，所述固定板上開設有容納支撐柱的槽體，所述固定板上還粘接有彈性卡塊。
[0009]—種可選的方案，所述固定板上還固定有便于將固定板抽出的把手。在固定板上固定把手，抽出固定板時操作更加方便。
[0010]一種可選的方案，所述噴砂器通過螺柱固定于固定板上。噴砂器通過螺柱固定在固定板上，裝配方便。
[0011]與現有技術相比，本實用新型提供的一種用于硅片的噴砂裝置，具有如下優點:箱體分為上腔和下腔，在上腔內設置有噴槍、排砂口，下腔內設置噴砂器，排砂口通過排砂管與噴砂器連接，可以方便對砂料進行回收使用，噴砂器通過噴砂管與噴槍連接，以配合噴槍完成噴砂操作，硅片噴砂操作方便而且砂料利用率高；另外，位于下腔的噴砂器固定在固定板上，并且，固定板滑動連接在滑軌上，也就是說需要對噴砂器進行檢修時，可以先將鎖緊螺釘松開，然后將固定板抽出下腔，位于固定板上的噴砂器也會被固定板帶出下腔，此時，即可方便地對噴砂器進行檢修；而為了避免固定板與滑軌之間產生應力集中，固定板上連接有支撐柱，支撐柱可以對固定板起到支撐作用，延長了固定板、滑軌的使用壽命。
【附圖說明】
[0012]附圖1是本實用新型一種用于硅片的噴砂裝置的主視圖；
[0013]附圖2是附圖1中A-A處的剖視圖；
[0014]附圖3是本實用新型一種用于硅片的噴砂裝置中固定板抽出后的示意圖。
【具體實施方式】
[0015]下面結合附圖，對本實用新型的一種用于硅片的噴砂裝置作進一步說明。如圖1、圖2、圖3所示，一種用于硅片的噴砂裝置，包括箱體1，該箱體I由支架和焊接在支架上的鋼板組成，所述箱體I內設有將箱體I分為上腔2和下腔3的隔板4，所述隔板4上開設有排砂口 5，所述箱體I上開設有取放窗口 6，所述箱體I上還開設有觀察窗口 8，所述取放窗口 6和觀察窗口 8均與上腔2相通，所述箱體I上還固定有封閉觀察窗口 8的亞克力板7，所述亞克力板7通過粘接方式固定在箱體I上，所述箱體I上設有封閉取放窗口 6的密封板9，所述密封板9也可以為亞克力板7，以使取放窗口 6也可以作觀察窗口 8使用，所述密封板9的上端通過合頁10轉動連接在箱體I上，所述密封板9上粘接有提高密封板9與箱體I之間密封性能的密封墊片11，在密封板9自重的作用下，位于密封板9上的密封墊片11可以良好地貼合在箱體I上，實現密封作用，當然，為了進一步的提高密封板9的密封效果，所述密封板9的下端設有容納槽，所述容納槽內粘接有第一磁鐵24，所述箱體I上在位于取放窗口 6的下端設有與第一磁鐵24吸附的第二磁鐵25，所述第二磁鐵25粘接在箱體I上；
[0016]參見圖2，該用于硅片的噴砂裝置還包括噴槍12，所述噴槍12位于上腔2內，所述下腔3內固定有噴砂器13，所述排砂口 5與噴砂器13之間通過排砂管20連接，所述噴砂器13通過噴砂管21與噴槍12連接，所述隔板4上開設有穿設噴砂管21的通孔，所述箱體1上還開設有兩個便于操作人員手持產品的手持窗口 22，所述手持窗口 22上固定有封閉手持窗口 22的手套23，所述手套23位于上腔2內；
[0017]實施噴砂作業時，操作人員首先打開密封板9，將產品放置于上腔2內，然后在第一磁鐵24、第二磁鐵25吸附力的作用下，密封板9與箱體1之間產生良好的密封，操作人員將產品放入上腔2以后，通過手套23將手伸入上腔2內，打開