并聯式平面研磨設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種研磨設備，特別涉及一種多軸研磨單元、多加工臺面的并聯式平面研磨設備。
【背景技術】
[0002]現有的平面研磨設備只有單一個加工臺面，利用磨輪或研磨頭對該加工臺面上的載板或工件進行研磨作業，在完成一個載板的研磨后，才能進行下一個載板的研磨作業，加工效率相當低，而且需要人工手動搬運載板至加工臺面或手動將載板從加工臺面搬離，對人力的依賴度非常高。一般來說，在研磨過程中，磨輪會產生磨粒脫落而逐漸耗損，磨輪也會逐漸鈍化，現有技術中在磨輪作業一段時間后需為其進行修銳，此亦仰賴人力手動進行，不僅如此，人工手動修銳容易影響加工生產線的順暢度，使得整體加工效率無法提升。

【發明內容】

[0003]本實用新型之一目的在于提供一種并聯式平面研磨設備，以增進研磨設備的自動化，減少人工支出，同時提升加工效率。
[0004]為達成上述目的，本實用新型提供一種并聯式平面研磨設備，其包含:一床臺；若干個加工臺面，設置在該床臺上，每個加工臺面對應設置一承載臺，該承載臺用以固定要進行研磨的載板，各個加工臺面對應的承載臺可于研磨時在該床臺上移動，每個承載臺之移動通道相互平行，該載板在該承載臺移動時隨著移動；以及若干個研磨單元，設置于該等加工臺面上側，配置在橫跨該等加工臺面對應之承載臺的移動通道的軌道上，該等研磨單元與該等加工臺面相互對應，每一研磨單元在該軌道上移動，其移動方向垂直于該等承載臺之移動通道的方向，該等研磨單元用以同時對該等加工臺面對應之承載臺上的載板進行研磨。
[0005]本實用新型另一方面提供一種并聯式平面研磨設備，其包含:若干個加工臺面，每個加工臺面對應設置一承載臺，該承載臺用以固定要進行研磨的載板，每個承載臺可在研磨時進行移動，其移動通道相互平行；若干個研磨單元，設置于該等加工臺面上側，配置在橫跨該等加工臺面對應之承載臺的移動通道的軌道上，每一研磨單元在該軌道上移動，其中每一研磨單元包含:一磨輪，用以研磨該加工臺面上之載板，其中該磨輪沿著與該等承載臺之移動通道之平面垂直的方向作升降運動，并沿著橫跨該等承載臺之移動通道之該軌道作水平移動。
[0006]本實用新型之并聯式平面研磨設備具有若干個彼此并排的研磨單元及加工臺面，為多加工臺面、多單元的研磨設備，每個加工臺面上的載板由所對應之研磨單元進行研磨作業，并可自動對載板進行載入與載出，同時進行多載板的研磨加工，提升加工效率。另夕卜，本實用新型之研磨設備整合了載板自動搬運系統，可自動將載板運送到各個加工臺面進行研磨并自動將研磨完成的載板搬離加工臺面，無須以人工上下料(載板)，減少人工支出。而且，本實用新型之研磨設備可自動為磨輪進行修銳，修銳完成后透過感測器感應磨輪位置，系統計算磨輪之耗損磨耗量，從而在下次進行研磨時，調整磨輪之高度位置，自動補償磨輪磨耗量，因而增加生產效率，減少手動進行磨輪校準之人工支出。
【附圖說明】
[0007]圖1顯示本實用新型之并聯式平面研磨設備的立體示意圖。
[0008]圖2顯示本實用新型之并聯式平面研磨設備的上側視圖。
[0009]圖3顯示本實用新型之并聯式平面研磨設備的正面視圖。
[0010]圖4顯示本實用新型之并聯式平面研磨設備的載板自動搬運系統的配置示意圖。
[0011]圖5顯示本實用新型之并聯式平面研磨設備的側面剖視圖。
[0012]圖6顯示本實用新型中修銳工具與位置感測器的配置示意圖。
[0013]圖7顯示本實用新型中修銳工具及位置感測器與磨輪的相對位置圖。
[0014]圖8顯示本實用新型中磨輪的磨耗量的計算示意圖。
【具體實施方式】
[0015]在如下實施方式的詳細描述中，請一并參閱作為其一部分的附圖，其例示說明了本實用新型可用以實現的特定實施例。可以理解的是，亦可采用其他的實施例，在不脫離本實用新型的精神下對其結構進行任何修飾、修改和變化。
[0016]本實用新型提供一種并聯式平面研磨設備，其增進了研磨設備的自動化，大大減少人工支出。本發明之并聯式平面研磨設備為具有多個并排的研磨單元的研磨設備，其并整合了載板自動搬運系統，可自動將載板運送到各個加工臺面進行研磨并自動將研磨完成的載板搬離加工臺面。另一方面，本實用新型之研磨設備可對磨輪自動修銳，并自動補償磨輪之磨耗的耗損量。
[0017]請參閱圖1至圖3，圖1顯示本實用新型之并聯式平面研磨設備的立體示意圖，圖2顯示本實用新型之并聯式平面研磨設備的上側視圖，圖3顯示本實用新型之并聯式平面研磨設備的正面視圖。需注意的是，為清楚簡潔起見，圖1并未顯示出自動搬運載板的結構(容后詳述)。
[0018]本實用新型之研磨設備為多加工臺面、多研磨單元的并聯式平面研磨設備。如圖1至圖3所示，本實用新型之研磨設備包含若干個載板加工臺面12，這些加工臺面12設置在床臺14上，每個加工臺面12對應設置一承載臺122，其具體例如為永電磁盤，載板120搬運到加工臺面12上后，固定在承載臺122上，例如磁吸固定(亦可參附圖圖5)。各個載板加工臺面12可獨立地在床臺14上移動，即沿著Y方向移動，特別是，當對加工臺面12上的載板120進行研磨時，承載臺122可沿著Y方向往復運動。如第I?3圖所示，其包含了五個載板加工臺面12，其對應設置了五個載板120的承載臺122及其相應的移動通道，此僅作為舉例說明，本實用新型不限于此。相應地，本實用新型之研磨設備亦配置了五個研磨單元22，每個研磨單元22對應一個載板加工臺面12進行操作。也就是說，每個加工臺面12上的載板120由所對應之研磨單元22進行研磨作業。
[0019]如前所述，每個加工臺面12對應的承載臺122可沿著Y方向往復運動。如圖中所示，每個承載臺122對應的移動通道相互平行地配置，每條移動通道相互平行沿著Y方向延伸，相鄰的移動通道以適當的預定距離隔開。
[0020]在載板加工臺面12方面，承載臺122用來承載固定一個要被研磨的載板120，載板120固定在承載臺122上，并隨著承載臺122移動而移動，載板120例如為玻璃基板、IC載板等薄型載板。
[0021]該研磨設備具有至少兩個或兩個以上之支撐用的龍門立柱24(龍門立柱24之數目不特別限制，可達穩固支撐之目的即可)，其固定設置在床臺14上。這些龍門立柱24沿著與加工臺面12或承載臺122之移動通道垂直的方向排列，即沿著X方向，在每兩個加工臺面12的移動通道之間設置一個龍門立柱24。這些龍門立柱24之間上下橫跨設置有兩條軌道26(軌道26之數目不特別限制)，軌道26之延伸方向垂直于加工臺面12的移動通道方向，即沿X方向延伸，研磨單元22即在此軌道26上移動。
[0022]于一實施例中，軌道26可為一條跨越所有移動通道的軌道，此條軌道上每個研磨單元22的移動范圍由系統控制，使每個研磨單元22的可移動范圍對應于其所對應的移動通道。于另一實施例中，軌道26被分切為許多段軌道，這些軌道以實體的間隔件隔開，研磨單元22只能在其所在的該段軌道上在對應之移動通道的范圍內移動。在其他具體實施例中，軌道26可為在對應一定數目之移動通道的范圍內為連續軌道，而其他部分為分段軌道。
[0023]每個研磨單元22包含一移動底盤222、一主軸馬達224以及一磨輪226。移動底盤222的一個側面耦合在軌道26上，故移動底盤222可沿著X方向在軌道26上移動。移動底盤222的另一個側面與主軸馬達224之封裝體接合，主軸馬達224可沿著移動底盤222之該另一個側面作上下移動，即沿著圖中Z軸移動。磨輪226與主軸馬達224之主軸228接合，故磨輪226可隨著主軸馬達224作升降移動，磨輪226之中心軸平行于X方向，在透過軌道26而主軸馬達224沿著X方向移動時，磨輪226沿著X方向對載板120進行研磨。
[0024]在研磨過程中，搬運手臂將載板120搬運到加工臺面12而承載臺122將載板120固定后，磨輪226隨著主軸馬達224往下移動(Z方向)，至固定尺寸后載板120表面開始進行研磨，此過程中，承載臺122往復移動(Y方向)，從而進行載板120之縱向方向(Y方向)上的研磨，而后移動底盤222沿軌道26移動，磨輪226隨即沿X方向移動，進行下一個縱向研磨。當此載板120研磨完成后，磨輪226隨主軸馬達224升起，搬運手臂將完成研磨的載板120搬離加工臺面12，待下一個要被研磨的載板120移動至定位后，進行如上動作。
[0025]請參閱圖4和圖5，圖4顯示本實用新型之并聯式平面研磨設備的載板自動搬運系統的配置示意圖，圖5顯示本實用新型之并聯式平面研磨設備的側面剖視圖。
[0026]如圖4所示，本實用新型之研磨設備還包含載板自動搬運系統，其包含一導軌架34、若干個支架32以及兩個載板搬運手臂40。載板自動搬運系統設置在各個研磨單元22后方，跨越所有加工臺面12的移動通道(一并參閱圖1，見圖2和圖3)。
[0027]具體來說，該等支架32較佳為Π字形支架，其設置在兩兩加工臺面12的移動通道之間，由床臺14所支撐，導軌架34安置在π字形支架32的框架內側，與π字形支架32的上側橫梁固定在一起，導軌架34沿著橫跨加工臺面12之移動通道的方向(即X方向)延伸，在導軌架34的至少一側邊設置有導軌36，其即亦沿著X