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一種研磨液等均布輸送的研磨機的制作方法

文(wen)檔序(xu)號:9064914閱讀:374來源:國知局
一種研磨液等均布輸送的研磨機的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種研磨機,特別是一種研磨液等均布輸送的研磨機。
【背景技術】
[0002]現有的晶體片在研磨的過程中需要注入研磨液,研磨液對晶體片平面度和粗糙度都有很大的影響,轉動研磨塊在旋轉過程中由于是一根輸液管輸入,導致研磨分散不均勾,不能夠使研磨塊之間得到充分降溫,降低了成品率。

【發明內容】

[0003]本實用新型的目的是為了解決上述技術的不足而設計的一種研磨液等均布輸送的研磨機。
[0004]本實用新型所設計的一種研磨液等均布輸送的研磨機,包括動力機頭,傳動軸,支架,研磨液輸送支管,研磨液輸送總管,轉動研磨塊,固定研磨塊,液槽,控制柜,研磨液收集管,離心過濾器,過濾吸附機構,散熱器,研磨液收集箱,電磁閥,研磨液增壓栗和傳感器,所述的動力機頭與傳動軸連接,所述的傳動軸與轉動研磨塊連接,所述的固定研磨塊固定在液槽內,所述的轉動研磨塊上設有多個均布的研磨液輸送通道,所述的液槽下方設有研磨液收集管,所述的研磨液收集管與離心過濾器連接。
[0005]作為一種優先,所述的離心過濾器后設有過濾吸附機構。
[0006]作為一種優先,所述的過濾吸附機構為無紡布過濾機構。
[0007]作為一種優先,所述的研磨液輸送總管與研磨液收集箱的下方連接。
[0008]作為一種優先,所述的研磨液輸送總管上設有電磁閥。
[0009]作為一種優先,所述的研磨液輸送總管上設有研磨液增壓栗。
[0010]作為一種優先,所述的研磨液輸送支管上設有傳感器。
[0011]作為一種優先,所述的液槽固定安裝在控制柜上。
[0012]作為一種優先,所述的散熱器為管式散熱器。
[0013]作為一種優先,所述的管式散熱器的上方設有進液口,所述的管式散熱器的下方設有出液口。
[0014]本實用新型中,通過研磨液等均布輸送的研磨機的設置,研磨液輸送管進行改裝,將研磨液輸送總管為分流成多個研磨液輸送支管,將研磨液輸送支管分別置于轉動研磨塊的多個方向,使研磨液就均布地流落到晶體上,從而使晶體片研磨效果更加好。
【附圖說明】
[0015]圖1是本實用新型的研磨液等均布輸送的研磨機結構視圖;
[0016]圖2是本實用新型的研磨液等均布輸送的研磨機散熱器正視圖;
[0017]圖中:1、動力機頭,2、傳動軸,3、支架,4、研磨液輸送支管,5、研磨液輸送總管,6、轉動研磨塊,7、固定研磨塊,8、液槽,9、控制柜,10、研磨液收集管,11、離心過濾器,12、過濾吸附機構,13、散熱器,131、進液口,132、出液口,14、研磨液收集箱,15、電磁閥,16、研磨液增壓栗,17、傳感器。
【具體實施方式】
[0018]下面通過實施例結合附圖對本實用新型作進一步的描述。
[0019]實施例:
[0020]如圖1,2所示,本實施例所描述的一種研磨液等均布輸送的研磨機,包括動力機頭1,傳動軸2,支架3,研磨液輸送支管4,研磨液輸送總管5,轉動研磨塊6,固定研磨塊7,液槽8,控制柜9,研磨液收集管10,離心過濾器11,過濾吸附機構12,散熱器13,研磨液收集箱14,電磁閥15,研磨液增壓栗16和傳感器17,所述的動力機頭I與傳動軸2連接,所述的傳動軸2與轉動研磨塊6連接,所述的固定研磨塊7固定在液槽8內,所述的轉動研磨塊6上設有多個均布的研磨液輸送通道,所述的液槽8下方設有研磨液收集管10,所述的研磨液收集管10與離心過濾器11連接。
[0021]進一步的,所述的離心過濾器11后設有過濾吸附機構12,所述的過濾吸附機構12為無紡布過濾機構。通過過濾吸附機構12的設置,使研磨液達到了二次過濾進一步減少了研磨液中的雜質。
[0022]進一步的,所述的研磨液輸送總管5與研磨液收集箱14的下方連接。
[0023]進一步的,所述的研磨液輸送總管5上設有電磁閥15,通過電子閥15的設置,保證了研磨液輸送總管5對研磨液的輸送。
[0024]進一步的,所述的研磨液輸送總管5上設有研磨液增壓栗16,通過研磨液增壓栗16的設置,保證了研磨液輸送總管5的壓力,保證了研磨液輸送總管5的正常輸送研磨液。
[0025]進一步的,所述的研磨液輸送支管4上設有傳感器,通過傳感器17的設置,防止了研磨機在無研磨液輸送的情況下對晶體片進行研磨,造成晶體片的損壞。
[0026]進一步的,所述的液槽8固定安裝在控制柜9上。
[0027]進一步的,所述的散熱器13為管式散熱器,通過管式散熱器的設置,能夠將研磨液收集管10內研磨液的溫度降低,防止了研磨液溫度過高導致晶體片損壞的現象。
[0028]進一步的,所述的管式散熱器的上方設有進液口 131,所述的管式散熱器的下方設有出液口 132。
[0029]本實用新型中,當研磨液通過研磨液增壓栗16,栗入研磨液輸送總管5后,通過研磨液輸送支管4將研磨液輸送至轉動研磨塊6與固定研磨塊7之間,隨后液槽8內的研磨液通過研磨液收集管10后進入離心過濾器11,隨后過濾后的研磨液經過無紡布過濾機構進行二次過濾后,研磨液進入散熱器進13行散熱,隨后研磨液進入研磨液收集箱14。
[0030]當研磨液輸送支管4上傳感器17的感應到研磨液輸送支管4內無研磨液后,將信號發送至控制機構,使研磨機停止工作,防止了晶體片的損壞。
[0031]本實用新型中,通過研磨液等均布輸送的研磨機的設置,研磨液輸送管進行改裝,將研磨液輸送總管分流成多個研磨液輸送支管,將研磨液輸送支管分別置于轉動研磨塊的多個方向,使研磨液就均布地流落到晶體上,從而使晶體片研磨效果更加好。
[0032]本文中所描述的具體實施例僅僅是對本實用新型的構思作舉例說明。本實用新型所屬技術領域的技術人員可以對所描述的具體實施例做各種各樣的修改或補充或采用類似的方式替代,但并不會偏離本實用新型的精神或者超越所附權利要求書所定義的范圍。
【主權項】
1.一種研磨液等均布輸送的研磨機,包括動力機頭,傳動軸,支架,研磨液輸送支管,研磨液輸送總管,轉動研磨塊,固定研磨塊,液槽,控制柜,研磨液收集管,離心過濾器,過濾吸附機構,散熱器,研磨液收集箱,電磁閥,研磨液增壓栗和傳感器,所述的動力機頭與傳動軸連接,所述的傳動軸與轉動研磨塊連接,所述的固定研磨塊固定在液槽內,所述的轉動研磨塊上設有多個均布的研磨液輸送通道,所述的液槽下方設有研磨液收集管,所述的研磨液收集管與離心過濾器連接。2.如權利要求1所述的研磨液等均布輸送的研磨機,其特征在于:所述的離心過濾器后設有過濾吸附機構。3.如權利要求1所述的研磨液等均布輸送的研磨機,其特征在于:所述的過濾吸附機構為無紡布過濾機構。4.如權利要求1所述的研磨液等均布輸送的研磨機,其特征在于:所述的研磨液輸送總管與研磨液收集箱的下方連接。5.如權利要求1所述的研磨液等均布輸送的研磨機,其特征在于:所述的研磨液輸送總管上設有電磁閥。6.如權利要求1所述的研磨液等均布輸送的研磨機,其特征在于:所述的研磨液輸送總管上設有研磨液增壓栗。7.如權利要求1所述的研磨液等均布輸送的研磨機,其特征在于:所述的研磨液輸送支管上設有傳感器。8.如權利要求1所述的研磨液等均布輸送的研磨機,其特征在于:所述的液槽固定安裝在控制柜上。9.如權利要求1所述的研磨液等均布輸送的研磨機,其特征在于:所述的散熱器為管式散熱器。10.如權利要求9所述的研磨液等均布輸送的研磨機,其特征在于:所述的管式散熱器的上方設有進液口,所述的管式散熱器的下方設有出液口。
【專利摘要】本實用新型涉及的一種研磨液等均布輸送的研磨機,包括離心過濾器,過濾吸附機構,散熱器,研磨液收集箱,電磁閥,研磨液增壓泵和傳感器,所述的動力機頭與傳動軸連接,所述的傳動軸與轉動研磨塊連接,所述的固定研磨塊固定在液槽內,所述的轉動研磨塊上設有多個均布的研磨液輸送通道,所述的液槽下方設有研磨液收集管,所述的研磨液收集管與離心過濾器連接。本實用新型中,通過研磨液等均布輸送的研磨機的設置,研磨液輸送管進行改裝,將研磨液輸送總管分流成多個研磨液輸送支管,將研磨液輸送支管分別置于轉動研磨塊的多個方向,使研磨液就均布地流落到晶體上,從而使晶體片研磨效果更加好。
【IPC分類】B24B57/02
【公開號】CN204725333
【申請號】CN201520095166
【發明人】章仁上
【申請人】德清晶生光電科技有限公司
【公開日】2015年10月28日
【申請日】2015年2月11日
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