一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及磁場領域，尤其涉及一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場。
【背景技術】
[0002]目前市場真空行業中真空陰極磁場控制方式種類繁多，靶材使用率較低，結構復雜，一般方法是用固定式永磁體或電磁線圈控制磁場方式，靶材磁場約束采用電磁線圈方式的磁場約束能力弱，離化率低，所以生產成本高。
【實用新型內容】
[0003]鑒于目前真空陰極磁場存在的上述不足，本實用新型提供一種靶材刻蝕范圍大，生產成本低的真空陰極旋轉永磁體動態磁場。
[0004]為達到上述目的，本實用新型的實施例采用如下技術方案:
[0005]一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，包括驅動系統、旋轉系統、磁場系統和靶系統，所述驅動系統在旋轉系統上，所述磁場系統位于旋轉系統和靶系統之間，所述旋轉系統包括旋轉座板、軸承座和軸承回轉體，所述軸承座固定在旋轉座板上，所述軸承回轉體固定在軸承座上，所述軸承回轉體包括從動齒輪和連接座，所述連接座固定在從動齒輪上，所述磁場系統包括內磁座和內極板，所述內極板分別固定在內磁座和連接座上，所述靶系統包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面。
[0006]依照本實用新型所述另一個方面，所述驅動系統包括電機和主動齒輪，所述電機固定在旋轉座板上，所述主動齒輪固定在電機軸端，并與從動齒輪緊扣吻合。
[0007]依照本實用新型所述另一個方面，所述軸承回轉體還包括軸承壓蓋、第一滾動軸承、軸承定位內環、第二滾動軸承和軸承定位外環，所述第一滾動軸承、軸承定位內環、第二滾動軸承和軸承定位外環都位于軸承壓蓋上，所述軸承壓蓋固定在軸承座上。
[0008]依照本實用新型所述另一個方面，所述磁場系統還包括永磁體、外磁座和外極板，所述外極板固定在外磁座上，所述永磁體在外磁座和外極板中。
[0009]依照本實用新型所述另一個方面，所述旋轉座板上設有第一支撐柱和第二支撐柱，所述第一支撐柱一端固定到外磁座上，所述第一支撐柱的另一端固定到旋轉座板上，所述第二支撐柱一端固定到靶座上，所述第二支撐柱的另一端固定到旋轉座板上。
[0010]依照本實用新型所述另一個方面，所述旋轉座板上還設有把手，所述把手固定在旋轉座板上。
[0011]本實用新型實施的優點:一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，包括驅動系統、旋轉系統、磁場系統和靶系統，驅動系統在旋轉系統上，所述磁場系統位于旋轉系統和靶系統之間，旋轉系統包括旋轉座板、軸承座和軸承回轉體，軸承座固定在旋轉座板上，軸承回轉體固定在軸承座上，軸承回轉體包括從動齒輪和連接座，連接座固定在從動齒輪上，磁場系統包括內磁座和內極板，內極板分別固定在內磁座和連接座上，靶系統包括靶座和靶材，靶材固定在靶座下面，這樣驅動系統可以帶動內磁座和內極板一起不停的旋轉，從而使靶材刻蝕范圍加大，降低了生產成本；旋轉座板上設有第一支撐柱和第二支撐柱，第一支撐柱一端固定到外磁座上，第一支撐柱的另一端固定到旋轉座板上，第二支撐柱一端固定到靶座上，第二支撐柱的另一端固定到旋轉座板上，旋轉座板上還設有把手，把手固定在旋轉座板上，因此本實用新型真空陰極旋轉永磁體動態磁場結構也簡單，維修也方便。
【附圖說明】
[0012]為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0013]圖1為本實用新型真空陰極旋轉永磁體動態磁場的立體示意圖；
[0014]圖2為本實用新型真空陰極旋轉永磁體動態磁場的爆炸式結構示意圖；
[0015]圖3為本實用新型真空陰極旋轉永磁體動態磁場的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0016]下面將結合附圖對本實用新型作進一步說明。
[0017]如圖1、圖2、圖3所示，一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，包括驅動系統101、旋轉系統102、磁場系統103和靶系統104，驅動系統101位于旋轉系統102上，磁場系統103位于旋轉系統102和靶系統104之間，旋轉系統102包括旋轉座板201、軸承座202和軸承回轉體203，軸承座202固定在旋轉座板201上，軸承回轉體203固定在軸承座202上，軸承回轉體203包括從動齒輪204和連接座205，連接座205固定在從動齒輪204上，磁場系統103包括內磁座206和內極板207，內極板207分別固定在內磁座206和連接座205上，靶系統104包括靶座208和靶材209，靶材209固定在靶座208下面，這樣驅動系統101可以帶動內磁座206和內極板207 —起不停的旋轉，從而使靶材刻蝕范圍加大，降低生產成本。
[0018]在實際應用中，驅動系統101可包括電機210和主動齒輪211，電機210固定在旋轉座板201上，主動齒輪211固定在電機210軸端，并與從動齒輪204緊扣吻合，軸承回轉體203還包括軸承壓蓋212、第一滾動軸承213、第二滾動軸承222、軸承定位內環214和軸承定位外環215，第一滾動軸承213、第二滾動軸承222、軸承定位內環214和軸承定位外環215都位于軸承壓蓋212上，軸承壓蓋212固定在軸承座202上，磁場系統103還可包括永磁體216、外磁座217和外極板218，永磁體216分別在外磁座217和外極板218中，旋轉座板201上設有第一支撐柱220和第二支撐柱221，第一支撐柱220 —端固定到外磁座217上，第一支撐柱220的另一端固定到旋轉座板201上，第二支撐柱221 —端固定到靶座208上，第二支撐柱221的另一端固定到旋轉座板201上，旋轉座板201上還設有把手219，把手219固定在旋轉座板201上，安裝時首先把從動齒輪204套入軸承座202中，把第一滾動軸承213裝入軸承座202中，再依次裝入軸承定位內環214、軸承定位外環215和第二滾動軸承222，裝配到位后，用螺釘把軸承壓蓋212固定到軸承座202上壓緊軸承內圈，由于內極板207分別用螺釘固定在內磁座206和連接座205上，連接座205用螺釘固定到從動齒輪204上壓緊軸承外圈，所以裝配成為一整體件再后用螺釘固定到旋轉座板102上面，外極板218用螺釘固定在外磁座217上，將第一支撐柱220 —端擰緊固定到外磁座217上，安裝后保證高度一致，第一支撐柱220另一端用螺釘固定到旋轉座板201上面；將第二支撐柱221一端擰緊固定到靶座208上，安裝后保證高度一致，第二支撐柱221另一端用螺釘固定到旋轉座板201上面，最后將把手219用螺釘固定在旋轉座板201上面。由此可見，本實用新型真空陰極旋轉永磁體動態磁場結構十分簡單，維修方便，提高了生產效率。
[0019]需要測試時，啟動電機210，主動齒輪211帶動從動齒輪204旋轉，使軸承回轉體203、永磁體216、外磁座217、內磁座206、外極板218和內極板207也一起旋轉，在真空狀態下，引弧電極與陰極表面在通斷瞬間引燃電弧放電，靶材209離化率高，磁場約束力強，膜層致密性好，靶材209刻蝕面積大，利用固體靶材209，沒有熔池，靶材209可以任意位置安裝以保證鍍膜均勻。
[0020]以上所述，僅為本實用新型的【具體實施方式】，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本領域技術的技術人員在本實用新型公開的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。因此，本實用新型的保護范圍應以所述權利要求的保護范圍為準。
【主權項】
1.一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，包括驅動系統、旋轉系統、磁場系統和靶系統，其特征在于:所述驅動系統位于旋轉系統上，所述磁場系統位于旋轉系統和靶系統之間，所述旋轉系統包括旋轉座板、軸承座和軸承回轉體，所述軸承座固定在旋轉座板上，所述軸承回轉體固定在軸承座上，所述軸承回轉體包括從動齒輪和連接座，所述連接座固定在從動齒輪上，所述磁場系統包括內磁座和內極板，所述內極板分別固定在內磁座和連接座上，所述靶系統包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面。
2.按照權利要求1所述的一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，其特征在于:所述驅動系統包括電機和主動齒輪，所述電機固定在旋轉座板上，所述主動齒輪固定在電機軸端，并與從動齒輪緊扣吻合。
3.按照權利要求1所述的一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，其特征在于:所述軸承回轉體還包括軸承壓蓋、第一滾動軸承、軸承定位內環、第二滾動軸承和軸承定位外環，所述第一滾動軸承、軸承定位內環、第二滾動軸承和軸承定位外環都位于軸承壓蓋上，所述軸承壓蓋固定在軸承座上。
4.按照權利要求1所述的一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，其特征在于:所述磁場系統還包括永磁體、外磁座和外極板，所述外極板固定在外磁座上，所述永磁體在外磁座和外極板中。
5.按照權利要求1至4之一所述的一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，其特征在于:所述旋轉座板上設有第一支撐柱和第二支撐柱，所述第一支撐柱一端固定到外磁座上，所述第一支撐柱的另一端固定到旋轉座板上，所述第二支撐柱一端固定到靶座上，所述第二支撐柱的另一端固定到旋轉座板上。
6.按照權利要求5所述的一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，其特征在于:所述旋轉座板上還設有把手，所述把手固定在旋轉座板上。
【專利摘要】本實用新型公開了一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，包括驅動系統、旋轉系統、磁場系統和靶系統，所述驅動系統位于旋轉系統上，所述磁場系統位于旋轉系統和靶系統之間，所述旋轉系統包括旋轉座板、軸承座和軸承回轉體，所述軸承座固定在旋轉座板上，所述軸承回轉體固定在軸承座上，所述軸承回轉體包括從動齒輪和連接座，所述連接座固定在從動齒輪上，所述磁場系統包括內磁座和內極板，所述內極板分別固定在內磁座和連接座上，所述靶系統包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面。本實用新型提供的真空陰極旋轉永磁體動態磁場不僅結構簡單，而且能使靶材刻蝕范圍加大，降低生產成本。
【IPC分類】C23C14-35
【公開號】CN204490984
【申請號】CN201520071359
【發明人】王叔暉, 孟慶學
【申請人】上海法德機械設備有限公司
【公開日】2015年7月22日
【申請日】2015年2月2日