一種磁控濺射裝置的制造方法
【技術領域】
[0001 ]本發明涉及真空鍍膜技術領域，尤其是涉及一種磁控濺射裝置。
【背景技術】
[0002]目前，在鍍膜領域，真空磁控濺射技術應用非常廣泛。現有的一種磁控濺射裝置，其中設有用于使載板懸浮運動的磁懸浮軌道，載板為承載待加工物體的金屬板，一般為鋁板，載板的邊緣位置設有用于與上述磁懸浮軌道之間產生懸浮磁力的磁軌，該磁軌與腔體相連，且該磁軌通過絕緣墊塊安裝于載板上。
[0003]圖1為現有技術中的一種用于將磁軌安裝于載板上的絕緣墊塊的結構示意圖；如圖1所示，絕緣墊塊30先通過內部螺絲40實現與載板10相連，然后再通過螺絲50實現與磁軌20相連，進而實現磁軌20與載板10之間的安裝；如圖1所示，螺絲50的安裝操作可以在載板上的開口 60處完成。
[0004]磁控濺射裝置在對載板上的物體進行鍍膜的過程中，位于載板邊緣的絕緣墊塊表面一般也會附著上金屬膜;如圖1所示，上述絕緣墊塊30中，當絕緣墊塊30表面處于載板10的開口 60內的區域上形成一定厚度的金屬膜時，螺絲50與載板10之間就可能通過上述金屬膜所導通，進而導致磁軌和腔體與載板之間導通，從而導致產生異常放電，異常放電的產生將大大影響鍍膜的品質。

【發明內容】

[0005]本發明提供了一種磁控濺射裝置，用以解決現有技術中的磁控濺射裝置在工作過程中易產生異常放電的問題。
[0006]為達到上述目的，本發明提供以下技術方案:
[0007]—種磁控濺射裝置，包括磁懸浮軌道和可沿所述磁懸浮軌道的延伸方向懸浮移動地安裝于所述磁懸浮軌道的載板，所述載板設有用于與所述磁懸浮軌道之間產生懸浮磁力的磁軌，所述磁軌通過多個墊塊安裝于所述載板上;其中，
[0008]每一個所述墊塊包括位于所述磁軌與所述載板之間的第一絕緣板塊和第二絕緣板塊，所述第二絕緣板塊位于所述第一絕緣板塊與所述載板之間；且，所述第一絕緣板塊與所述磁軌之間通過第一固定件固定連接，所述第二絕緣板塊與所述載板之間通過第二固定件固定連接，所述第二固定件與所述第一固定件不接觸;所述第一絕緣板塊與所述第二絕緣板塊之間通過第三固定件固定連接，所述第三固定件與所述磁軌和載板都不接觸、且所述第三固定件與所述第一固定件和/或所述第二固定件不接觸。
[0009]上述磁控濺射裝置中，每一個墊塊包括固定連接的第一絕緣板塊和第二絕緣板塊兩部分，且每一個墊塊的第一絕緣板塊與磁軌相連、第二絕緣板塊與載板相連，進而實現了磁軌與載板之間的連接安裝;并且，該磁控濺射裝置中，連接磁軌和第一絕緣板塊的第一固定件與載板之間隔著第二絕緣板塊，連接載板和第二絕緣板塊的第二固定件與磁軌之間隔著第一絕緣板塊，因此，即使在墊塊表面形成了金屬膜，該金屬膜也無法通過第一固定件或者通過第二固定件使磁軌與載板之間電導通;且由于第一固定件和第二固定件之間不接觸，因此，墊塊表面的金屬膜也無法通過第一固定件和第二固定件共同實現將磁軌與載板電導通;另外，由于連接第一絕緣板塊和第二絕緣板塊的第三固定件與磁軌和載板都不接觸、且也不與第一固定件和/或第二固定件接觸，因此，形成于墊塊表面的金屬膜也很難通過第三固定件或者同時通過三個固定件使磁軌與載板之間電導通。綜上所述，上述磁控濺射裝置，其墊塊中的固定件(第一固定件、第二固定件和第三固定件)不容易導致磁軌與載板之間電導通，因此，上述磁控濺射裝置在工作過程中不易產生異常放電的現象。
[0010]優選地，所述第一絕緣板塊設有至少一個第一通孔;所述磁軌設有與所述第一通孔一一對應的至少一個第一螺紋孔;所述第一固定件包括至少一個穿過所述第一通孔且與所述第一通孔對應的第一螺紋孔螺紋配合的第一螺釘。
[0011 ]優選地，所述第二絕緣板塊設有至少一個第二通孔;所述載板設有與所述第二通孔一一對應的至少一個第二螺紋孔;所述第二固定件包括至少一個穿過所述第二通孔且與所述第二通孔對應的第二螺紋孔螺紋配合的第二螺釘。
[0012]優選地，所述第一絕緣板塊的第一通孔和所述第二絕緣板塊的第二通孔之間不連通。
[0013]優選地，所述第二絕緣板塊設有至少一個第三通孔;所述第一絕緣板塊設有與所述第三通孔一一對應的至少一個第三螺紋孔，每一個所述第三螺紋孔為非通孔;所述第三固定件包括至少一個穿過所述第三通孔且與所述第三螺紋孔螺紋配合的第三螺釘。
[0014]優選地，所述第二絕緣板塊的第三通孔和所述第一絕緣板塊的第一通孔之間不連通。
[0015]優選地，所述第三固定件包括兩個所述第三螺釘。
[0016]優選地，所述載板上設有用于操作安裝所述第三固定件的安裝操作開口，所述第二絕緣板塊上的每一個所述第三通孔位于所述安裝操作開口的范圍內。
[0017]優選地，所述第二絕緣板塊與所述載板相對的一側表面設有絕緣槽，所述絕緣槽位于所述安裝操作開口的范圍內。
[0018]優選地，所述絕緣槽為包圍每一個所述第三通孔的環形槽。
[0019]優選地，所述第一絕緣板塊與所述第二絕緣板塊的材料為樹脂。
【附圖說明】
[0020]圖1為現有技術中一種磁控濺射裝置中的墊塊的結構示意圖；
[0021]圖2為本發明實施例提供的一種磁控濺射裝置中的墊塊的結構示意圖；
[0022]圖3為本發明另一實施例提供的一種磁控濺射裝置中的墊塊的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0023]下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。
[0024]請參考圖2和圖3。
[0025]如圖2和圖3所示，本發明實施例提供的一種磁控濺射裝置，包括磁懸浮軌道和可沿磁懸浮軌道的延伸方向懸浮移動地安裝于磁懸浮軌道的載板1，載板1設有用于與磁懸浮軌道之間產生懸浮磁力的磁軌2，該磁軌2通過多個墊塊3安裝于載板1上;其中，
[0026]每一個墊塊3包括位于磁軌2與載板1之間的第一絕緣板塊31和第二絕緣板塊32，第二絕緣板塊32位于第一絕緣板塊31與載板1之間；且，第一絕緣板塊31與磁軌2之間通過第一固定件41固定連接，第二絕緣板塊32與載板1之間通過第二固定件42固定連接，第二固定件42與第一固定件41不接觸;第一絕緣板塊31與第二絕緣板塊32之間通過第三固定件43固定連接;第三固定件43與磁軌2和載板1都不接觸、且第三固定件43與第一固定件41和/或第二固定件42也不接觸。
[0027]上述磁控濺射裝置中，每一個墊塊3包括固定連接的第一絕緣板塊31和第二絕緣板塊32兩部分，且每一個墊塊3的第一絕緣板塊31與磁軌2相連、第二絕緣板塊32與載板1相連，進而實現了磁軌2與載板1之間的連接安裝;并且，該磁控濺射裝置中，連接磁軌2和第一絕緣板塊31的第一固定件41與載板1之間隔著第二絕緣板塊32，連接載板1和第二絕緣板塊32的第二固定件42與磁軌2之間隔著第一絕緣板塊31，因此，即使在墊塊3表面形成了金屬膜，該金屬膜也無法通過第一固定件41或者通過第二固定件42使磁軌2與載板1之間電導通;且由于第一固定件41和第二固定件42之間不接觸，因此，墊塊3表面的金屬膜也無法通過第一固定件41和第二固定件42共同實現將磁軌2與載板1電導通；另外，由于連接第一絕緣板塊31和第二絕緣板塊32的第三固定件43與磁軌2和載板1都不接觸、且也不與第一固定件41和/或第二固定件42接觸，因此，形成于墊塊3表面的金屬膜也很難通過第三固定件43或者同時通過上述三個固定件使磁軌43與載板之間電導通。綜上所述，上述磁控濺射裝置，其墊塊3中的固定件(第一固定件41、第二固定件42和第三固定件43)不容易導致磁軌2與載板1之間電導通，因此，上述磁控濺射裝置在工作過程中不易產生異常放電的現象。
[0028]如圖2和圖3所不，一種具體的實施例中，第一絕緣板塊31與磁軌2之間通過第一固定件41固定連接，可以包括下述實施方式:第一絕緣板塊31設有至少一個第一通孔;磁軌2設有與第一通孔一一對應的至少一個第一螺紋孔;第一固定件41包括至少一個穿過第一通孔且與該第一通孔對應的第一螺紋孔螺紋配合的第一螺釘410。優選地，第一螺釘410包括螺帽411和螺桿412兩部分;第一通孔可以包括用于容置第一螺釘410的螺帽411的第一部分和用于第一螺釘410的螺桿412穿過的第二部分;具體地，第一部分的深度可以大于第一螺釘410的螺帽411的厚度，這樣，當第一螺釘410擰緊時，螺帽411將深置于第一通孔的內部，從而可以使第一螺釘410與第二絕緣板塊32之間不產生接觸，這樣，可以避免第一螺釘410與第二螺釘420之間產生接觸，進而，可以避免第一螺釘410和第二螺釘420導致磁軌2與載板1之間導通。
[0029]如圖2和圖3所示，在上述實施例的基礎上，一種具體的實施例中，第二絕緣板塊32與載板1之間通過第二固定件42固定連接，可以包括下述實施方式:第二絕緣板塊32設有至少一個第二通孔;載板1設有與第二通孔一一對應的至少一個第二螺紋孔;第二固定件42包括至少一個穿過第二通孔且與該第二通孔對應的第二螺紋孔螺紋配合的第二螺釘420。優選地，第二螺釘420包括螺帽421和螺桿422兩部分；第二通孔可以包括用于容置第二螺釘420的螺帽421的第一部分和用于第二螺釘420的螺桿422穿過的第二部分;具體地，第一部分的深度可以大于第二螺釘420的螺帽421的厚度，這樣，當第二螺釘420擰