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一種在貝殼手表刻度盤上真空鍍膜的方法_2

文檔(dang)序號:8426312閱讀:來源(yuan):國(guo)知局
渡底層。若用陰極電弧來完成這兩個步驟的話,離子轟擊清洗階段必須用較高負偏壓,增加離子能量轟擊(反濺)凈化基體,并非把靶材粒子鍍到基材表面,到打底層階段時再把負偏壓降下來,讓靶材粒子以適量能量飛到基材表面并沉積,與其生成結合力良好的過渡底層。鑒于貝殼片不能用高偏壓作離子清洗的,否則貝殼片會碎裂,本發明直接省去了“離子清洗”的步驟,而直接采用陰極電弧鍍底層,這是因為陰極電弧鍍粒子能量高,沉積速度快,表面較粗糙,鍍層結合力好。
[0025]上述步驟3)中鍍底層和表面層的具體步驟如下:
底層是貝殼基材與表面層之間的過渡層,它應與上下兩者都有互融性,才有良好的結合力。不同顏色的表面層所選用的材料不同,所以其底層材料也應不同,故鍍底層的靶材和工藝各異。底層一般為陰極電弧鍍的Ti或Cr層。
[0026]鍍底層:
向鍍膜室中充入氬氣至8.5110_2~3110_中&,采用低偏壓鍍底層,偏壓在-30V以下,占空比50%,底層膜厚在0.1微米以下,鍍膜溫度80°C以下。采用低溫低偏壓鍍膜工藝,以防止貝殼片碎裂,鍍層控制在0.1微米以下,使鍍層具有半透明效果。
[0027]a)金色和玫瑰金色:輪流開啟多個小圓型Ti陰極電弧鍍底層,弧流70A,共鍍3分鐘;
b)銀白色:開啟多個小圓型Ti陰極電弧鍍底層,弧流70A,鍍2分鐘;
c)槍黑色:開啟多個小圓型Cr陰極電弧鍍底層,弧流65A,鍍2分鐘;
鍍表面層:
向鍍膜室中充入氬氣至1.5~3乂10_中&,采用低偏壓鍍膜,偏壓在-30V以下,占空比50%,表面層膜厚在0.5微米以下,以使其具有半透明效果,鍍膜溫度80°C以下。
[0028]d)金色:采用Au靶直流磁控濺射鍍表面層,靶流為直流2A,配直流偏壓-30V以下,鍍15分鐘;
e)玫瑰金色:采用玫瑰金靶即Au和Cu的合金靶和Cu靶,以直流磁控濺射鍍表面層,玫瑰金靶流為直流2A,Cu靶流為直流0.5A以下,配直流偏壓-30V以下,共鍍15分鐘;
f)銀白色:開啟多個Cr陰極電弧,弧流65A,控制鍍膜溫升不超過80度,鍍20分鐘;
g)槍黑色:為多層復合膜結構,包括中間層和頂層,所述中間層由兩層以上膜層構成,控制鍍膜溫度不超過80°C:
g-1)中間層的第一層:偏壓-30V以下,占空比50%,開啟多個Cr陰極電弧,弧流65A,鍍Cr 3分鐘,關弧,獲得過渡層后,開啟Ti中頻磁控濺射靶,靶流30A,先鍍幾分鐘,隨后開啟石墨中頻磁控濺射靶,即摻入C使其反應合成TiC,石墨靶的靶流從5A梯度遞增至15A,鍍層從Ti到TiC,共鍍8分鐘,獲得由Ti到TiC的梯度層,停鍍冷卻;
g-2)重復步驟g-1)鍍中間層的第二層,重復次數越多,鍍層黑度越深;g-3)鍍中間層的最上層,先重復步驟g-1前半段,即鍍Cr 3分鐘,關弧,獲得過渡層后,再開啟Ti中頻磁控濺射靶,靶流30A,先鍍幾分鐘,隨后開啟石墨中頻磁控濺射靶,即摻入C使其反應合成TiC,石墨靶的靶流從5A梯度遞增至15A,同時Ti靶從30A梯度遞降至5A,維持3分鐘后停Ti靶,獲得碳量梯度漸增而鈦量梯度漸降的TiC梯度層,最后只開石黑靶鍍純非晶碳膜,總共鍍8分鐘,停鍍冷卻;
g_4)頂層:開啟石墨中頻磁控濺射靶,靶流20A,鍍幾分鐘后,充入乙炔氣體,從10SCCM漸增至40SCCM,鍍含H的非晶碳膜,共鍍35分鐘。
[0029]鍍金色、玫瑰金色、銀白色后的貝殼手表刻度盤的結構示意圖如圖1所示,I為貝殼手表刻度盤,2為底層,3為鍍金色或玫瑰金色或銀白色表面層,鍍這些膜層使貝殼手表刻度盤呈現出相應色彩的金屬質感。
[0030]鍍槍黑色后的貝殼手表刻度盤的結構示意圖如圖2所示,I為貝殼手表刻度盤,2為底層,3為中間層的第一層,4為中間層的第二層,結構與第一層相同,5為中間層的第三層,也為中間層的最上層,6為頂層,是含氫非晶碳膜層。按本發明方法鍍本發明鍍槍黑色膜層后,能使貝殼手表刻度盤呈現出黑色的陶瓷質感,且還能透過槍黑色膜層看到貝殼表面特有的光澤和紋理。
【主權項】
1.一種在貝殼手表刻度盤上真空鍍膜的方法,其特征在于,包括在鍍膜前將干凈的貝殼手表刻度盤在80°c以下進行2個小時以上烘烤的步驟。
2.根據權利要求1所述的在貝殼手表刻度盤上真空鍍膜的方法,其特征在于,所述在貝殼手表刻度盤上真空鍍膜的方法具體包括如下步驟: 1)抽真空:將干凈干燥的貝殼手表刻度盤放入真空爐的鍍膜室內,并抽真空; 2)加熱:在真空爐中將貝殼手表刻度盤在80°C以下進行2個小時以上烘烤; 3)采用陰極電弧鍍底層,采用中頻濺射法,或中頻濺射法和/或陰極電弧鍍表面層,所述底層和表面層均采用低偏壓鍍膜; 4)出爐:貝殼手表刻度盤隨爐冷卻后出爐。
3.根據權利要求2所述的在貝殼手表刻度盤上真空鍍膜的方法,其特征在于, 步驟3)的具體過程如下: 向鍍膜室內充入惰性氣體,根據顏色需求,選擇相應顏色對應的方法鍍底層和表面層: 底層,底層膜厚在0.1微米以下,鍍膜溫度在80°C以下: a)金色和玫瑰金色:采用Ti陰極電弧鍍底層; b)銀白色:采用Ti陰極電弧鍍底層; c)槍黑色:采用Cr陰極電弧鍍底層; 表面層,表面層膜厚在0.5微米以下,鍍膜溫度在80°C以下: d)金色:采用Au靶直流磁控濺射鍍表面層; e)玫瑰金色:采用玫瑰金即Au和Cu的合金靶和Cu靶直流磁控濺射鍍表面層; f)銀白色:采用Cr陰極電弧鍍表面層; g)槍黑色:為多層復合膜結構,包括中間層和頂層,所述中間層由兩層以上膜層構成: g-1)中間層的第一層:采用Cr陰極電弧鍍過渡層后,采用Ti靶和石墨靶,用中頻磁控濺射鍍由Ti到TiC、碳量梯度漸增的梯度層; g-2)中間層的最上層:采用Cr陰極電弧鍍過渡層后,采用Ti靶和石墨靶,用中頻磁控濺射鍍由Ti到TiC的梯度層,獲得碳量梯度漸增而鈦量梯度漸降的梯度層,最后再鍍純非晶碳層; g_3)頂層:采用石墨中頻磁控濺射靶,并充入乙炔或甲烷反應氣體,鍍含H的非晶碳膜層O
4.根據權利要求3所述的在貝殼手表刻度盤上真空鍍膜的方法,其特征在于,在步驟g-Ι)與g_2)之間還包括重復步驟g-Ι) —次以上的步驟。
5.根據權利要求4所述的在貝殼手表刻度盤上真空鍍膜的方法,其特征在于,步驟3)中所述的低偏壓是指偏壓在-30V以下。
6.根據權利要求2所述的在貝殼手表刻度盤上真空鍍膜的方法,其特征在于,步驟4)中貝殼手表刻度盤隨爐冷卻到50°C以下后出爐。
【專利摘要】一種在貝殼手表刻度盤上真空鍍膜的方法,包括在鍍膜前將干凈的貝殼手表刻度盤在80℃以下進行2個小時以上烘烤的步驟;具體包括如下步驟:1)抽真空:將干凈干燥的貝殼手表刻度盤放入真空爐的鍍膜室內,并抽真空;2)加熱:在真空爐中將貝殼手表刻度盤在80℃以下進行2個小時以上烘烤;3)采用陰極電弧鍍底層,采用中頻濺射法,或中頻濺射法和/或陰極電弧鍍表面層,所述底層和表面層均采用低偏壓鍍膜;4)出爐:貝殼手表刻度盤隨爐冷卻后出爐。本發明方法能在貝殼手表刻度盤上鍍上金色、玫瑰金色、銀白色和槍黑色膜層等,使貝殼手表刻度盤呈現出金屬或陶瓷質感,且呈半透明狀,使貝殼基材上特有的光澤和紋理得以顯現,使刻度盤更顯高貴藝術美感。
【IPC分類】C23C28-02, C23C14-35, C23C14-32
【公開號】CN104746076
【申請號】CN201510068619
【發明人】張玉婷
【申請人】深圳金曜來科技有限公司
【公開日】2015年7月1日
【申請日】2015年2月10日
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