一種生產線用門體結構的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種生產線用門體結構，該門體機構用于鍍膜生產線的各腔室的門，各門體機構尺寸一致，門體左右兩側均能自由開合；室門與門框間通過多組密封組件可拆卸連接,密封組件包括鉸鏈裝置和緊鎖件。與現有技術相比，本實用新型中真空鍍膜生產線的各腔室門體均采用尺寸一致的門體機構，使得各腔室門體依據鍍膜區域工藝可進行隨時調整，隨時根據兩面膜層的結構設計來更換靶門布局適應鍍膜要求，使生產線能隨時進行升級改進，順應膜層的發展更新換代，節約生產線成本；門體機構均為活動可拆卸，室門與門框間通過可拆卸的采用雙軸結構的密封組件固定，提高鍍膜腔室的密封效果，滿足鍍膜工藝的真空度要求，因此本實用新型具有廣闊的應用前景。
【專利說明】一種生產線用門體結構
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及密合門的領域，特別涉及一種生產線用門體結構。
【背景技術】
[0002]在真空鍍膜領域，一般的真空鍍膜生產線至少包括七個腔室，每個腔室根據不同的需要，一般匹配不同規格以及不同開合方向的腔室密封門。由于真空鍍膜領域技術發展更新快，半導體行業，電子行業的更新換代非常頻繁，而生產線不能順應技術的發展改變就會面臨快速淘汰的命運，匹配不同生產工藝而制造的真空鍍膜腔室密封門隨之也將淘汰，這必將造成資源的浪費，使得真空鍍膜工藝的成本居高不下。現有技術中在真空鍍膜生產線中并沒有一種可以在不同腔室之間具有普適性的互換門。如何使真空鍍膜生產線中各腔室密封門體結構之間具有普適性，滿足鍍膜工藝的需求，降低真空鍍膜工藝的器械成本，仍是一個亟待解決的問題。

【發明內容】

[0003]針對現有技術存在的上述問題，本實用新型的目的是提供一種普適性強，可以在不同腔室之間互相更換，且密封效果更好的真空鍍膜腔室用互換門。
[0004]為實現上述發明目的，本實用新型采用的技術方案如下:
[0005]一種生產線用門體結構，該門體結構配置于真空鍍膜生產線中的各功能腔室，包括室門和門框，室門的兩側均與門框活動連接，各功能腔室配置的門體機構尺寸及配置各功能腔室的方式均一致；生產線用門體結構進一步包括多組密封組件，室門的兩側與門框通過多組密封組件與門框可拆卸活動連接，優選為螺接；室門兩側的密封組件位置對應；密封組件包括鉸鏈件和緊鎖件，鉸鏈件連接室門與門框，室門經鉸鏈件開合，緊鎖件安裝在門框上；鉸鏈件包括第一鉸鏈件、第二鉸鏈件和輔助鉸鏈件，其中第一鉸鏈件與室門連接，第二鉸鏈件與門框連接，輔助鉸鏈件分別連接第一鉸鏈件和第二鉸鏈件；第一鉸鏈件包括第一鉸鏈座和第一鉸鏈軸，第二鉸鏈件包括第二鉸鏈座和第二鉸鏈軸，第一鉸鏈座和輔助鉸鏈件同第一鉸鏈軸轉動，第二鉸鏈座和輔助鉸鏈件同第二鉸鏈軸轉動，且第二鉸鏈座與輔助鉸鏈座間設有軸承。
[0006]優選的，所述軸承為平面軸承。
[0007]更優選地，為了使得鉸鏈件結構更為緊湊合理，第一鉸鏈座依輔助鉸鏈件形狀去除材料成第一凹槽，輔助鉸鏈件嵌入第一凹槽內與第一鉸鏈座同軸轉動；相應地，第二鉸鏈座依輔助鉸鏈件形狀去除材料成第二凹槽，輔助鉸鏈件嵌入第二凹槽內與第二鉸鏈座同軸轉動；第一凹槽與第二凹槽開口方向相反。
[0008]更優選地，第一鉸鏈座與第二鉸鏈座等高等長，第二鉸鏈座與第一鉸鏈座不等寬，換言之，第二鉸鏈座厚于第一鉸鏈座；此厚度差可實現在真空鍍膜生產線腔室內成真空狀態時，避免外界大氣壓將室門設有鉸鏈件的一側無法密閉均勻，使得整個室門的關合過程受力更為平均，室門密封性能好。[0009]更優選地，第一凹槽設置在第一鉸鏈座的中段，同樣地，第二凹槽設置在第二鉸鏈座的中段。
[0010]更優選地，為了，使得整個室門的關合過程受力更為平均，第一鉸鏈座與輔助鉸鏈件間通過一螺栓固定，且該螺栓與室門連接，通過該螺栓調整輔助鉸鏈件，使輔助鉸鏈件在轉動過程中不左右擺動，且在轉動過程中，限制室門隨著輔助鉸鏈件與第一鉸鏈座的間隙擺動，而是使室門隨著輔助鉸鏈件轉動，該螺栓優選為沉頭螺栓。
[0011]優選地，緊鎖件包括固定座、固定元件和壓緊螺釘，固定座通過螺栓固定在鍍膜生產線各功能腔室的門框上，固定元件通過壓緊螺釘活動安裝在固定座上。
[0012]更優選地，壓緊螺釘與固定元件之間活動連接，固定元件經壓緊螺釘安裝在門框上時可旋轉。
[0013]與現有技術相比，本實用新型中真空鍍膜生產線的各腔室門體均采用尺寸一致的門體機構，使得各腔室門體依據鍍膜區域工藝可進行隨時調整，隨時根據兩面膜層的結構設計來更換靶門布局適應鍍膜要求，使生產線能隨時進行升級改進，順應膜層的發展更新換代，節約生產線成本；鍍膜生產線的標準化門體機構也使得生產線更為簡潔、美觀；并且，門體機構均為活動可拆卸，室門與門框間通過可拆卸的密封組件固定，密封組件采用雙軸結構，提高鍍膜腔室的密封效果，滿足鍍膜工藝的真空度要求。因此本實用新型具有廣闊的應用前景。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型提供的一種生產線用門體結構的互換門裝配示意圖；
[0015]圖2為本實用新型提供的一種生產線用門體結構的單個門體示意圖；
[0016]圖3為本實用新型提供的一種生產線用門體結構中鉸鏈件的一種優選實施方式立體圖；
[0017]圖4為本實用新型提供的一種生產線用門體結構中鉸鏈件的一種優選實施方式透視圖；
[0018]圖5為本實用新型提供的一種生產線用門體結構中緊鎖件的一種優選實施方式結構圖。
【具體實施方式】
[0019]下面結合實施例及附圖對本實用新型作進一步詳細、完整地說明。
[0020]圖1至圖5，為本實用新型提供的一種生產線用門體結構的示意圖。真空鍍膜生產線包括基片傳送流水線和鍍膜流水線，鍍膜流水線進一步包括至少7個腔室，7個腔室分別為進口腔室、進口過渡腔室、進口緩沖腔室、鍍膜腔室、出口緩沖腔室、出口過渡腔室和出口腔室，該門體結構配置于真空鍍膜生產線中的各功能腔室。如圖1至圖5所示，該生產線用門體結構包括室門100和門框200，室門100的兩側均與門框200活動連接，各功能腔室配置的門體機構尺寸及配置各功能腔室的方式均一致。
[0021]圖2為本實用新型提供的一種生產線用門體結構的單個門體示意圖。如圖2所示，生產線用門體結構進一步包括多組密封組件300，室門100的兩側與門框200通過多組密封組件300與門框200可拆卸活動連接，優選為螺接。室門100兩側的密封組件200位置對應。
[0022]密封組件300包括鉸鏈件310和緊鎖件320，鉸鏈件310連接真空鍍膜生產線中各功能腔室的室門100與門框200，室門經鉸鏈件310開合，緊鎖件320安裝在門框200上。
[0023]圖3為本實用新型提供的一種生產線用門體結構中鉸鏈件的一種優選實施方式立體圖；圖4為本實用新型提供的一種生產線用門體結構中鉸鏈件的一種優選實施方式透視圖。如圖2和圖3所示，鉸鏈件310包括第一鉸鏈件311、第二鉸鏈件312和輔助鉸鏈件313，其中第一鉸鏈件311與室門連接，第二鉸鏈件312與門框連接，輔助鉸鏈件313分別連接第一鉸鏈件311和第二鉸鏈件312 ;第一鉸鏈件311進一步包括第一鉸鏈座3111和第一鉸鏈軸3112，第二鉸鏈件312包括第二鉸鏈座3121和第二鉸鏈軸3122，第一鉸鏈座3111和輔助鉸鏈件313同第一鉸鏈軸3112轉動，第二鉸鏈座3121和輔助鉸鏈件313同第二鉸鏈軸3122轉動，且第二鉸鏈座3122與輔助鉸鏈件313間設有軸承314，優選為平面軸承。
[0024]為了使得鉸鏈件310結構更為緊湊合理，第一鉸鏈座3111依輔助鉸鏈件313形狀去除材料成第一凹槽31111，輔助鉸鏈件313嵌入第一凹槽31111內與第一鉸鏈座3111同第一鉸鏈軸3112轉動；相應地，第二鉸鏈座3121依輔助鉸鏈件313形狀去除材料成第二凹槽31211，輔助鉸鏈件313嵌入第二凹槽31211內與第二鉸鏈座3121同第二鉸鏈軸3122轉動；值得注意的是，第一凹槽31111與第二凹槽31211開口方向相反，二者的寬度與輔助鉸鏈件313的寬度一致。
[0025]更優選地，第一鉸鏈座3111與第二鉸鏈座3121等高等長，第一鉸鏈座3111與第二鉸鏈座3121不等寬，換言之，第二鉸鏈座3121厚于第一鉸鏈座3111 ;此寬度差可實現在真空鍍膜生產線腔室內成真空狀態時，避免外界大氣壓將室門100設有鉸鏈件310的一側無法密閉均勻，使得整個室門100的關合過程受力更為平均，室門100密封性能好。
[0026]第一凹槽31111設置在第一鉸鏈座3111的中段，同樣地，第二凹槽31211設置在第二鉸鏈座3121的中段。
[0027]為了使得整個室門100的關合過程受力更為平均，第一鉸鏈座3111與輔助鉸鏈件313間通過一螺栓固定，且該螺栓與室門100連接，通過該螺栓調整輔助鉸鏈件313，使輔助鉸鏈件313在轉動過程中不左右擺動，且在轉動過程中，限制室門100隨著輔助鉸鏈件313與第一鉸鏈座3111的間隙擺動，而是使室門100隨著輔助鉸鏈件313轉動，該螺栓優選為沉頭螺栓。
[0028]圖5為本實用新型提供的一種生產線用門體結構中緊鎖件的一種優選實施方式結構圖。如圖5所示，緊鎖件320包括固定座321、固定元件322和一壓緊螺釘323，固定座321通過螺栓固定在鍍膜生產線各功能腔室的門框上，固定元件322通過壓緊螺釘323活動安裝在固定座321上。壓緊螺釘323與固定元件322之間活動連接，固定元件322經壓緊螺釘323安裝在門框上時可旋轉。當室門100閉合時，旋轉固定元件322，使固定元件322壓于室門100上，再經壓緊螺釘23進一步壓緊固定元件22，實現室門100更加緊貼門框200。
[0029]固定元件322可采用現有技術中的各種鎖片或鎖鏈結構，作為一種優選方案，固定元件322為一去除材料的凸輪狀，固定元件322通過一螺釘旋轉，當固定元件322去除材料側與門框200重合時，室門100可打開；當固定元件322未去除材料側緊貼室門100時，室門100鎖緊。
[0030]鍍膜生產線各功能腔室需要密封時，將室門100關閉，第一鉸鏈件311與室門100連接，第二鉸鏈件312與門框200連接，輔助鉸鏈件313分別連接第一鉸鏈件311和第二鉸鏈件312，這樣第一鉸鏈件311隨著室門100運動，輔助鉸鏈件313與第二鉸鏈件312的第二鉸鏈軸3122連接，這樣室門100連同輔助鉸鏈件313以第二鉸鏈軸3122為中心旋轉，直至室門100關合；當室門100關合后，室門100遠離密封組件300的一側緊貼門框200，而緊貼密封組件300的一側還留有間隙，推動室門100向靠近門框200的一側運動，由于輔助鉸鏈件313與第一鉸鏈件311的第一鉸鏈軸3112連接，在推動室門100向靠近門框200的一側運動過程中，室門100以第一鉸鏈件311的第一鉸鏈軸3112為中心旋轉，直至室門100貼合門框200。當室門100貼合門框200后，旋轉緊鎖件320中的固定元件322，使固定元件322未去除材料側緊貼室門100，使室門100鎖緊。
[0031]最后有必要在此說明的是:以上實施例只用于對本實用新型的技術方案作進一步詳細地說明，不能理解為對本實用新型保護范圍的限制，本領域的技術人員根據本實用新型的上述內容作出的一些非本質的改進和調整均屬于本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種生產線用門體結構，其特征在于:所述門體結構配置于真空鍍膜生產線中的各功能腔室，所述門體結構包括室門和門框，所述室門的兩側均與門框活動連接，各功能腔室配置的所述門體機構尺寸及配置各功能腔室的方式均一致； 所述室門的兩側與門框通過多組密封組件與門框可拆卸活動連接；室門兩側的密封組件位置對應；所述密封組件包括鉸鏈件和緊鎖件，所述鉸鏈件連接室門與門框，所述室門經鉸鏈件開合，所述緊鎖件安裝在門框上；所述鉸鏈件包括第一鉸鏈件、第二鉸鏈件和輔助鉸鏈件，其中所述第一鉸鏈件與室門連接，所述第二鉸鏈件與門框連接，所述輔助鉸鏈件分別連接第一鉸鏈件和第二鉸鏈件；所述第一鉸鏈件包括第一鉸鏈座和第一鉸鏈軸，所述第二鉸鏈件包括第二鉸鏈座和第二鉸鏈軸，所述第一鉸鏈座和輔助鉸鏈件同第一鉸鏈軸轉動，所述第二鉸鏈座和輔助鉸鏈件同第二鉸鏈軸轉動，且第二鉸鏈座與輔助鉸鏈座間設有軸承。
2.根據權利要求1所述的生產線用門體結構，其特征在于:所述室門的兩側與門框通過多組密封組件與門框可拆卸螺接。
3.根據權利要求1所述的生產線用門體結構，其特征在于:所述軸承為平面軸承。
4.根據權利要求1所述的生產線用門體結構，其特征在于:所述第一鉸鏈座依輔助鉸鏈件形狀去除材料成第一凹槽，所述輔助鉸鏈件嵌入第一凹槽內與第一鉸鏈座同軸轉動；相應地，所述第二鉸鏈座依輔助鉸鏈件形狀去除材料成第二凹槽，所述輔助鉸鏈件嵌入第二凹槽內與第二鉸鏈座同軸轉動；所述第一凹槽與第二凹槽開口方向相反。
5.根據權利要求1所述的生產線用門體結構，其特征在于:第一鉸鏈座與第二鉸鏈座等高等長，第二鉸鏈座與第一鉸鏈座不等寬。
6.根據權利要求1所述的生產線用門體結構，其特征在于:第二鉸鏈座厚于第一鉸鏈座。
7.根據權利要求4所述的生產線用門體結構，其特征在于:所述第一凹槽設置在第一鉸鏈座的中段。
8.根據權利要求4所述的生產線用門體結構，其特征在于:所述第二凹槽設置在第二鉸鏈座的中段。
9.根據權利要求1所述的生產線用門體結構，其特征在于:所述第一鉸鏈座與輔助鉸鏈件間通過一螺栓固定，且該螺栓與室門連接。
10.根據權利要求9所述的生產線用門體結構，其特征在于:所述螺栓優選為沉頭螺栓。
11.根據權利要求1所述的生產線用門體結構，其特征在于:所述緊鎖件包括固定座、固定元件和壓緊螺釘，所述固定座通過螺栓固定在鍍膜生產線各功能腔室的門框上，所述固定元件通過壓緊螺釘活動安裝在固定座上。
12.根據權利要求11所述的生產線用門體結構，其特征在于:所述壓緊螺釘與所述固定元件之間活動連接。
13.根據權利要求11所述的生產線用門體結構，其特征在于:所述固定元件為一去除材料的凸輪狀，所述固定元件通過所述壓緊螺釘旋轉。
【文檔編號】C23C14/56GK203807552SQ201320829033
【公開日】2014年9月3日 申請日期:2013年12月16日 優先權日:2013年12月16日
【發明者】黃國興, 孫桂紅, 祝海生, 黃樂, 梁紅, 吳永光 申請人:湘潭宏大真空技術股份有限公司