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小尺寸基片真空鍍膜載具的制作方法

文檔序號:3265956閱讀:247來源:國知局
專利名稱:小尺寸基片真空鍍膜載具的制作方法
技術領域
本實用新型涉及導真空鍍膜產品載具技術領域,特別涉及ー種小尺寸基片真空鍍膜載具。
背景技術
真空鍍膜機在真空鍍膜吋,需要將基片載入到載具上進入真空腔室中鍍膜。由于產品更新換代,基片尺寸改變,固定尺寸的載具無法應用于其他尺寸的基片鍍膜,所以需要根據新尺寸重新設計載具,這樣成本高,重復設計步驟繁瑣,著實不適用于現有不同尺寸基 片鍍膜エ藝中。因此開發可調性的基片裝載夾具成為技術革新焦點。在中國專利ZL200920037426. 9中公開了ー種可調式玻璃基片架,在該專利中通過橫桿在長槽孔中上下移動調節固定高度,而上下夾具在橫桿滑槽中移動實現固定寬度調節,由此來適用于不同尺寸基片的裝載。但是由于該專利技術方案中,上下夾具采用多個獨立的彈簧片,固定基片時穩定性不高,影響鍍膜過程中形成的產品質量。又,在中國專利ZL201120040051. 9中掲示的ー種玻璃濺鍍用取放胎具,在該專利技術方案中,橫向布設的夾持桿通過長型孔中上移動來實現玻璃基片固定高度調節,相鄰的夾持桿設置ー對V型槽(朝下V型槽和朝上V型槽)來夾住玻璃基片,V型槽是與夾持桿長度一直的通槽,所以可以夾持任意寬度的玻璃基片。由于本專利技術中,夾持玻璃基片固定主要是通過玻璃基片邊緣嵌入V型槽內實現,沒有其他輔助力量夾持,所以穩定性仍然不夠可靠。為了解決上述問題,本發明人設計出小尺寸基片真空鍍膜載具,本案由此產生。
實用新型內容針對現有技術中存在的諸多問題,本實用新型提供ー種小尺寸基片真空鍍膜載具,適用于多種尺寸的基片鍍膜,而且夾持穩定可靠,確保鍍膜エ藝的順利進行。本實用新型通過以下技術方案來實現小尺寸基片真空鍍膜載具,包括外框架、可調整橫檔部;外框架包括上、下橫架桿和左、右側架桿,可調整橫擋與上、下橫架桿平行,兩端固定于左、右側架桿的長條孔中;可調整橫檔包括中橫架桿、彈簧片、簧片壓條,彈簧片位于橫架桿的前后兩側面,由簧片壓條分別貼于彈簧片之外,通過固定件穿過簧片壓條和彈簧片,與橫架桿連接。所述的彈簧片包括橫向基片和若干個從橫向基片上向外延伸彎折形成彈簧壓齒。所述的橫架桿的前后兩側面具有中間突起的橫向筋條,橫向筋條上布設有多個固定孔,橫向筋條的兩邊具有用于限制彈簧壓齒的齒端限位槽。所述的彈簧壓齒為等間距分布。所述的簧片壓條上設置有與固定孔對應的穿孔一。所述的橫向基片上設置有與固定孔對應的穿孔ニ。[0015]所述的外框架上配有與臺車固定的夾具。采用上述方案后,本實用新型具有諸多有益效果本實用新型中可調整橫檔通過固定在長條孔中不同位置實現基片固定高度調節。可調整橫檔中的彈簧片為均勻齒狀連續分布,可適用于任何尺寸小于外框架大小的基片,不論是基片是規則還是非規則形狀均可良好固定,不會產生移片、傾斜、掉片、破片等問題。可調整橫檔為前后兩側彈簧片雙側設置,實現雙側同時上載基片進行鍍膜。齒端限位槽不但可對彈簧片起到限制變形和限位作用,還可有效防止彈簧壓齒端部變形突出造成對基片的刮傷。

圖I為本實用新型較佳實施例的平面結構圖;圖2為本實用新型較佳實施例的立體結構圖;圖3為本實用新型較佳實施例中上橫架桿的立體結構圖一;圖4為本實用新型較佳實施例中上橫架桿的立體結構圖ニ ;圖5為本實用新型較佳實施例中左側架桿的立體結構圖;圖7為本實用新型較佳實施例中橫架桿的立體結構圖;圖8為本實用新型較佳實施例彈簧片的立體結構圖;圖9為本實用新型較佳實施例簧片壓條立體結構圖;圖10為本實用新型較佳實施例可調整橫檔部的立體結構圖一;圖11為本實用新型較佳實施例可調整橫檔部的立體結構圖ニ ;圖12為本實用新型較佳實施例中上夾具的剖面圖;圖13為本實用新型較佳實施例中上夾具的立體圖;圖14為本實用新型較佳實施例中下夾具的剖面圖;圖15為本實用新型較佳實施例中下夾具的立體圖;圖16為本實用新型較佳實施例中安裝于臺車上結構示意圖。 具體實施方式
結合附圖,對本實用新型較佳實施例做進ー步詳細說明。小尺寸基片真空鍍膜載具,主要涉及到的部件包括外框架、可調整橫檔部。外框架,如圖I、圖2所示,其尺寸適合臺車單個固定空間而定,包括上橫架桿11、下橫架桿12、左側架桿13、右側架桿14拼裝而成。如圖3、圖4所示,上橫架桿11外表面上頂端開設若干個用于夾具固定的夾具槽111。上橫架桿11的兩個端部開設有用于拼接的上固定螺孔112。下橫架桿12如圖6所示,兩端同樣設置有用于拼接的下固定螺孔121。左側架桿13、右側架桿14結構相同,如圖6所示,兩端設置有側固定螺孔131,且在桿件上具有一道長條形的長條孔132。四者通過螺釘進行兩兩端部固定,組成ー個矩形框架,作為本實用新型外框架。在外框架中間的部位設置有可調整橫檔部2,如圖10所示,安裝時其兩端通過固定件固定于左側架桿13、右側架桿14中的長形孔132中,與上橫架桿11和下橫架桿12保持平行。[0038]可調整橫檔部2主要包括的部件中橫架桿21、彈簧片22、簧片壓條23,如圖7 圖9所示。中橫架桿21也屬于金屬桿件,在其前后兩側面上形成突起的橫向筋條211,橫向筋條211中布設若干等間距排列的固定孔212。在橫向筋條21的兩邊各形成一個齒端限位槽213。彈簧片22包括橫向基片221和彈簧壓齒222,橫向基片221是ー個與橫向筋條211長度一致的基礎片材,在橫向基片221同樣開設有與固定孔212對應的穿孔ニ 223。彈簧壓齒222從橫向基片221的上下兩側邊向外延伸而成,井中間處彎折,形成齒端。彈簧壓齒222也具有多個,且等間距分布。在安裝吋,上下兩側的彈簧壓齒222包住橫向筋條21放置,彈簧壓齒222伸入齒端限位槽213進行限制。簧片壓條23是ー個金屬片材,其上開設與固定孔212和穿孔ニ 223均對應的穿孔一 231。安裝時簧片壓條23緊貼于彈簧片22外端面,然后采用固定件,如螺釘24 —一穿過穿孔一 231、穿孔ニ 223、固定孔212進行固定連接。外框架安裝到臺車時,配有夾具與臺車固定。夾具包括上夾具3如圖12、圖13所 示,下夾具4如圖14、圖15所示。上夾具3包括上外框架夾31和上臺車托槽32。上外框架夾31是與上橫架桿11的夾具槽111夾體,上臺車托槽32是ー個與臺車桿件形狀相配的槽體,兩者背板連結成一體。下夾具4包括下外框架夾41和下臺車托槽42,下外框架夾41是與下橫架桿12相配的槽體,下臺車托槽42是ー個與臺車桿件形狀相配的槽體,兩槽體背部連結成一體。在上載至臺車時如圖16所示,上夾具3、下夾具4分別與上橫架桿11下橫架桿12連接定位。上述實施例僅用于解釋說明本實用新型的發明構思,而非對本實用新型權利保護的限定,凡利用此構思對本實用新型進行非實質性的改動,均應落入本實用新型的保護范圍。
權利要求1.小尺寸基片真空鍍膜載具,其特征在于包括外框架、可調整橫檔部;外框架包括上、下橫架桿和左、右側架桿,可調整橫擋與上、下橫架桿平行,兩端固定于左、右側架桿的長條孔中; 可調整橫檔包括中橫架桿、彈簧片、簧片壓條,彈簧片位于橫架桿的前后兩側面,由簧片壓條分別貼于彈簧片之外,通過固定件穿過簧片壓條和彈簧片,與橫架桿連接。
2.如權利要求I所述的小尺寸基片真空鍍膜載具,其特征在于所述的彈簧片包括橫向基片和若干個從橫向基片上向外延伸彎折形成彈簧壓齒。
3.如權利要求I所述的小尺寸基片真空鍍膜載具,其特征在于所述的中橫架桿的前后兩側面具有中間突起的橫向筋條,橫向筋條上布設有多個固定孔,橫向筋條的兩邊具有用于限制彈簧壓齒的齒端限位槽。
4.如權利要求3所述的小尺寸基片真空鍍膜載具,其特征在于所述的彈簧壓齒為等間距分布。
5.如權利要求I所述的小尺寸基片真空鍍膜載具,其特征在于所述的簧片壓條上設置有與固定孔對應的穿孔一。
6.如權利要求2所述的小尺寸基片真空鍍膜載具,其特征在于所述的橫向基片上設置有與固定孔對應的穿孔二。
7.如權利要求I所述的小尺寸基片真空鍍膜載具,其特征在于所述的外框架上配有與臺車固定的夾具。
專利摘要本實用新型主要公開了小尺寸基片真空鍍膜載具,包括外框架、可調整橫檔部;外框架包括上、下橫架桿和左、右側架桿,可調整橫擋與上、下橫架桿平行,兩端固定于左、右側架桿的長條孔中。可調整橫檔包括中橫架桿、彈簧片、簧片壓條,彈簧片位于橫架桿的前后兩側面,由簧片壓條分別貼于彈簧片之外,通過固定件穿過簧片壓條和彈簧片,與橫架桿連接。本實用新型適用于多種尺寸的基片鍍膜,而且夾持穩定可靠,確保鍍膜工藝的順利進行。
文檔編號C23C14/50GK202401127SQ201220075639
公開日2012年8月29日 申請日期2012年3月1日 優先權日2012年3月1日
發明者尤建發, 程攀高, 路增雲 申請人:宸陽光電科技(廈門)有限公司
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