本發明涉及(ji)(ji)超精密(mi)拋光(guang)，特別是涉及(ji)(ji)一種激(ji)光(guang)系統、激(ji)光(guang)-cmp復合加(jia)工裝置及(ji)(ji)其加(jia)工方法。

背景技術：

1、sic作(zuo)為(wei)第三代理想半(ban)導體(ti)材(cai)料(liao)之一(yi)，因其良(liang)好(hao)的導熱性(xing)、大禁帶寬(kuan)度、高臨界(jie)擊穿電(dian)(dian)場和高熱穩定性(xing)而應用于汽(qi)車(che)工業(ye)、電(dian)(dian)子復合管(guan)及航(hang)空航(hang)天等行業(ye)中。但(dan)是sic作(zuo)為(wei)一(yi)種典(dian)型的硬脆材(cai)料(liao)，相對于其他半(ban)導體(ti)材(cai)料(liao)有更高的抗壓(ya)強度，從而導致sic在加工過程很難獲得良(liang)好(hao)的加工效率及無(wu)損表面。

2、超精(jing)密拋(pao)光(guang)技術(shu)是目前能(neng)夠(gou)在對能(neng)在高材(cai)(cai)料(liao)(liao)(liao)(liao)拋(pao)光(guang)過(guo)程中(zhong)，還(huan)能(neng)兼顧表(biao)(biao)(biao)面質(zhi)量的(de)(de)技術(shu)。目前的(de)(de)超精(jing)密拋(pao)光(guang)技術(shu)主要(yao)包括化(hua)(hua)(hua)(hua)學(xue)(xue)(xue)機(ji)械拋(pao)光(guang)(cmp)、電化(hua)(hua)(hua)(hua)學(xue)(xue)(xue)拋(pao)光(guang)(ecmp)、等離子體輔助拋(pao)光(guang)(pap)、光(guang)催化(hua)(hua)(hua)(hua)輔助化(hua)(hua)(hua)(hua)學(xue)(xue)(xue)機(ji)械拋(pao)光(guang)(pcmp)和(he)磁(ci)流變拋(pao)光(guang)(mrf)。但從適(shi)用性來說，目前最適(shi)合sic材(cai)(cai)料(liao)(liao)(liao)(liao)拋(pao)光(guang)的(de)(de)仍(reng)是化(hua)(hua)(hua)(hua)學(xue)(xue)(xue)機(ji)械拋(pao)光(guang)(cmp)，但單一的(de)(de)化(hua)(hua)(hua)(hua)學(xue)(xue)(xue)機(ji)械拋(pao)光(guang)(cmp)的(de)(de)無法達到更(geng)(geng)高的(de)(de)材(cai)(cai)料(liao)(liao)(liao)(liao)去除率和(he)更(geng)(geng)好的(de)(de)表(biao)(biao)(biao)面質(zhi)量。為此，市場(chang)上又出(chu)現了激(ji)(ji)光(guang)-cmp復合加工過(guo)程，能(neng)夠(gou)對待拋(pao)光(guang)工件進(jin)行(xing)(xing)激(ji)(ji)光(guang)預處(chu)理，然后同時進(jin)行(xing)(xing)化(hua)(hua)(hua)(hua)學(xue)(xue)(xue)機(ji)械拋(pao)光(guang)(cmp)處(chu)理，利用激(ji)(ji)光(guang)預處(chu)理的(de)(de)氧化(hua)(hua)(hua)(hua)，兩者結合后能(neng)夠(gou)獲得更(geng)(geng)好的(de)(de)的(de)(de)材(cai)(cai)料(liao)(liao)(liao)(liao)去除率相(xiang)和(he)更(geng)(geng)好的(de)(de)表(biao)(biao)(biao)面質(zhi)量。但是現有(you)的(de)(de)激(ji)(ji)光(guang)預處(chu)理和(he)cmp技術(shu)中(zhong)所(suo)采用的(de)(de)激(ji)(ji)光(guang)發射器只(zhi)能(neng)產生(sheng)一束激(ji)(ji)光(guang)束，只(zhi)能(neng)對材(cai)(cai)料(liao)(liao)(liao)(liao)進(jin)行(xing)(xing)單激(ji)(ji)光(guang)束預處(chu)理，效(xiao)率有(you)一定的(de)(de)限制。

技術實現思路

1、本發明的(de)目的(de)是(shi)解決上(shang)述技術問題，提供(gong)一種激(ji)(ji)光(guang)系統(tong)、激(ji)(ji)光(guang)-cmp復合加(jia)工裝置及(ji)(ji)其加(jia)工方法，可將(jiang)單束激(ji)(ji)光(guang)，分束成多個區域高密(mi)度的(de)多束激(ji)(ji)光(guang)，提高激(ji)(ji)光(guang)照射面積，繼而激(ji)(ji)光(guang)利用率(lv)、加(jia)工效率(lv)，實現(xian)待加(jia)工件表層的(de)改(gai)性，降低待加(jia)工件表面的(de)硬度，改(gai)變表層材(cai)料的(de)結(jie)構及(ji)(ji)化學成分，為cmp的(de)去(qu)除提供(gong)基礎(chu)，使cmp處理階(jie)段出(chu)現(xian)的(de)表面損(sun)傷、磨粒鑲嵌等(deng)缺陷可得到氧化、氣(qi)化處理，提高cmp去(qu)除效率(lv)，減小表面損(sun)傷。

2、為實現上(shang)述(shu)(shu)(shu)目的，本發(fa)明提供(gong)了(le)如(ru)下方案：本發(fa)明公開(kai)了(le)一(yi)種激(ji)(ji)光(guang)系統，包括沿同一(yi)預(yu)設軸(zhou)線依(yi)次排(pai)布的激(ji)(ji)光(guang)發(fa)射(she)器(qi)(qi)、第(di)一(yi)分束(shu)器(qi)(qi)、聚焦(jiao)鏡、反(fan)射(she)鏡組(zu)以及第(di)二(er)分束(shu)器(qi)(qi)組(zu)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)激(ji)(ji)光(guang)發(fa)射(she)器(qi)(qi)用于沿所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)預(yu)設軸(zhou)線發(fa)射(she)單(dan)束(shu)激(ji)(ji)光(guang)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)一(yi)分束(shu)器(qi)(qi)用于將所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)激(ji)(ji)光(guang)發(fa)射(she)器(qi)(qi)的單(dan)束(shu)激(ji)(ji)光(guang)分束(shu)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)聚焦(jiao)鏡用于將所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)一(yi)分束(shu)器(qi)(qi)分束(shu)的激(ji)(ji)光(guang)聚焦(jiao)成多道與所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)預(yu)設軸(zhou)線平(ping)行(xing)的激(ji)(ji)光(guang)束(shu)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)反(fan)射(she)鏡組(zu)用于改變所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)聚焦(jiao)鏡導(dao)成的激(ji)(ji)光(guang)束(shu)與所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)預(yu)設軸(zhou)線的夾角，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)二(er)分束(shu)器(qi)(qi)組(zu)在接收到所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)反(fan)射(she)鏡組(zu)反(fan)射(she)的激(ji)(ji)光(guang)束(shu)后將其分束(shu)至霧(wu)化程度。

3、優選地，所(suo)述第一分束器(qi)、所(suo)述聚(ju)焦鏡(jing)、所(suo)述反射鏡(jing)組均能夠沿所(suo)述預設軸線移(yi)動。

4、優選地，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)分(fen)束器通過第(di)(di)一(yi)驅動機構移(yi)動，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)驅動機構包括第(di)(di)一(yi)驅動電機、第(di)(di)一(yi)滾(gun)珠(zhu)絲杠以(yi)及(ji)第(di)(di)一(yi)連(lian)桿(gan)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)驅動電機的輸出(chu)軸(zhou)與(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)滾(gun)珠(zhu)絲杠的螺(luo)桿(gan)同軸(zhou)固(gu)定連(lian)接(jie)(jie)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)滾(gun)珠(zhu)絲杠的螺(luo)桿(gan)的軸(zhou)線平行于所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)預設軸(zhou)線，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)滾(gun)珠(zhu)絲杠的螺(luo)母通過所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)連(lian)桿(gan)與(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)分(fen)束器固(gu)定連(lian)接(jie)(jie)。

5、優選地，所(suo)述聚(ju)焦鏡通過第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)驅動(dong)機(ji)構移動(dong)，所(suo)述第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)驅動(dong)機(ji)構包括第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)驅動(dong)電(dian)機(ji)、第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)滾珠(zhu)(zhu)絲杠以及第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)連(lian)桿(gan)，所(suo)述第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)驅動(dong)電(dian)機(ji)的(de)(de)(de)輸出軸與(yu)所(suo)述第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)滾珠(zhu)(zhu)絲杠的(de)(de)(de)螺(luo)桿(gan)同軸固定連(lian)接(jie)，所(suo)述第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)滾珠(zhu)(zhu)絲杠的(de)(de)(de)螺(luo)桿(gan)的(de)(de)(de)軸線(xian)平行(xing)于所(suo)述預設軸線(xian)，所(suo)述第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)滾珠(zhu)(zhu)絲杠的(de)(de)(de)螺(luo)母(mu)通過所(suo)述第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)連(lian)桿(gan)與(yu)所(suo)述聚(ju)焦鏡固定連(lian)接(jie)。

6、優(you)選地，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)反(fan)射(she)鏡組包(bao)括反(fan)射(she)鏡保(bao)(bao)(bao)持架和反(fan)射(she)鏡，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)反(fan)射(she)鏡繞所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)預設軸線(xian)周向安裝在所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)反(fan)射(she)鏡保(bao)(bao)(bao)持架上，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)反(fan)射(she)鏡組通過第(di)三(san)(san)(san)驅(qu)動(dong)(dong)機(ji)(ji)構移動(dong)(dong)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)三(san)(san)(san)驅(qu)動(dong)(dong)機(ji)(ji)構包(bao)括第(di)三(san)(san)(san)驅(qu)動(dong)(dong)電機(ji)(ji)、第(di)三(san)(san)(san)滾(gun)(gun)珠絲(si)杠(gang)以及第(di)三(san)(san)(san)連(lian)(lian)桿，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)三(san)(san)(san)驅(qu)動(dong)(dong)電機(ji)(ji)的(de)(de)輸出(chu)軸與所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)三(san)(san)(san)滾(gun)(gun)珠絲(si)杠(gang)的(de)(de)螺(luo)桿同(tong)軸固(gu)(gu)定連(lian)(lian)接，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)三(san)(san)(san)滾(gun)(gun)珠絲(si)杠(gang)的(de)(de)螺(luo)桿的(de)(de)軸線(xian)平行(xing)于(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)預設軸線(xian)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)三(san)(san)(san)滾(gun)(gun)珠絲(si)杠(gang)的(de)(de)螺(luo)母通過所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)三(san)(san)(san)連(lian)(lian)桿與所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)反(fan)射(she)鏡保(bao)(bao)(bao)持架固(gu)(gu)定連(lian)(lian)接。

7、還公開了一種激(ji)光(guang)(guang)(guang)-cmp復合加(jia)(jia)工裝(zhuang)置(zhi)，包括內設(she)有(you)安(an)裝(zhuang)腔(qiang)(qiang)的(de)加(jia)(jia)工平(ping)臺(tai)和上(shang)述(shu)(shu)(shu)的(de)激(ji)光(guang)(guang)(guang)系(xi)(xi)統，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)預設(she)軸線豎向設(she)置(zhi)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)激(ji)光(guang)(guang)(guang)系(xi)(xi)統中的(de)激(ji)光(guang)(guang)(guang)發射(she)器(qi)、第一分(fen)(fen)束(shu)器(qi)、聚焦鏡、反(fan)射(she)鏡組由下到上(shang)安(an)裝(zhuang)在(zai)(zai)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)安(an)裝(zhuang)腔(qiang)(qiang)內，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)加(jia)(jia)工平(ping)臺(tai)的(de)臺(tai)面(mian)上(shang)轉動連接有(you)拋(pao)光(guang)(guang)(guang)盤(pan)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)拋(pao)光(guang)(guang)(guang)盤(pan)的(de)拋(pao)光(guang)(guang)(guang)面(mian)水(shui)平(ping)設(she)置(zhi)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)拋(pao)光(guang)(guang)(guang)盤(pan)的(de)拋(pao)光(guang)(guang)(guang)面(mian)上(shang)周向布設(she)有(you)供所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第二(er)分(fen)(fen)束(shu)器(qi)組的(de)各第二(er)分(fen)(fen)束(shu)器(qi)分(fen)(fen)別嵌(qian)裝(zhuang)的(de)安(an)裝(zhuang)孔，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)安(an)裝(zhuang)孔與所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)安(an)裝(zhuang)腔(qiang)(qiang)連通(tong)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)安(an)裝(zhuang)孔在(zai)(zai)其旋轉路徑(jing)上(shang)能夠(gou)(gou)經過所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)反(fan)射(she)鏡組的(de)反(fan)射(she)激(ji)光(guang)(guang)(guang)束(shu)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)加(jia)(jia)工平(ping)臺(tai)安(an)裝(zhuang)有(you)能夠(gou)(gou)升(sheng)降的(de)支(zhi)架，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)支(zhi)架上(shang)安(an)裝(zhuang)有(you)能夠(gou)(gou)旋轉的(de)載物(wu)盤(pan)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)載物(wu)盤(pan)的(de)載物(wu)面(mian)正對所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)拋(pao)光(guang)(guang)(guang)盤(pan)的(de)拋(pao)光(guang)(guang)(guang)面(mian)。

8、優選地，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)支架上(shang)設有保持環，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)保持環上(shang)安裝有第(di)四驅動電機，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)四驅動電機的(de)輸出軸與所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)載物盤同軸固定連接。

9、優(you)選地，所述第四驅(qu)動電(dian)機的(de)輸出軸與(yu)所述載物盤之間設有壓力傳感器(qi)。

10、優選地(di)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)安(an)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)腔內安(an)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)有用于驅(qu)(qu)(qu)動所(suo)(suo)(suo)述(shu)拋(pao)光盤旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)的(de)旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)驅(qu)(qu)(qu)動機(ji)構，所(suo)(suo)(suo)述(shu)旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)驅(qu)(qu)(qu)動機(ji)構包括第(di)(di)(di)一錐(zhui)(zhui)齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)、第(di)(di)(di)二錐(zhui)(zhui)齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)以及第(di)(di)(di)五驅(qu)(qu)(qu)動電(dian)機(ji)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)(di)一錐(zhui)(zhui)齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)與(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)拋(pao)光盤同軸固定連(lian)接，所(suo)(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)(di)一錐(zhui)(zhui)齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)和所(suo)(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)(di)二錐(zhui)(zhui)齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)相互嚙合，所(suo)(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)(di)五驅(qu)(qu)(qu)動電(dian)機(ji)的(de)輸出軸通過減(jian)速(su)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置與(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)(di)二錐(zhui)(zhui)齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)同軸固定連(lian)接。

11、還(huan)公(gong)開(kai)了一種(zhong)激光-cmp復(fu)合加工方(fang)法，采用了上述的激光-cmp復(fu)合加工裝置，包括(kuo)以下步驟：

12、s1、在載(zai)物盤的(de)載(zai)物面上安(an)裝待加(jia)(jia)工件，調節支架(jia)高度，使待加(jia)(jia)工件與拋光盤的(de)拋光面安(an)預設壓力接觸；

13、s2、啟動激(ji)(ji)光(guang)發(fa)(fa)射(she)(she)器(qi)(qi)，激(ji)(ji)光(guang)發(fa)(fa)射(she)(she)器(qi)(qi)豎直向上(shang)發(fa)(fa)射(she)(she)單束(shu)激(ji)(ji)光(guang)，第一分(fen)束(shu)器(qi)(qi)將所述激(ji)(ji)光(guang)發(fa)(fa)射(she)(she)器(qi)(qi)發(fa)(fa)射(she)(she)的(de)單束(shu)激(ji)(ji)光(guang)進行(xing)分(fen)束(shu)，聚(ju)焦(jiao)(jiao)(jiao)鏡將分(fen)束(shu)后的(de)激(ji)(ji)光(guang)聚(ju)焦(jiao)(jiao)(jiao)至(zhi)豎直向上(shang)，反(fan)射(she)(she)鏡組反(fan)射(she)(she)所述聚(ju)焦(jiao)(jiao)(jiao)鏡的(de)激(ji)(ji)光(guang)束(shu)，使激(ji)(ji)光(guang)束(shu)與預設軸線(xian)具有預設夾角(jiao)的(de)豎直向上(shang)；

14、s3、同向但不同速的(de)轉(zhuan)動所述拋(pao)(pao)(pao)光盤(pan)和所述載物(wu)盤(pan)，對待加(jia)工件(jian)進行磨削(xue)拋(pao)(pao)(pao)光，所述拋(pao)(pao)(pao)光盤(pan)轉(zhuan)動過(guo)程中，所述拋(pao)(pao)(pao)光盤(pan)的(de)安裝孔內(nei)的(de)第(di)二分束(shu)器會將經(jing)過(guo)的(de)反射后(hou)的(de)激光束(shu)分束(shu)至霧(wu)化程度，對待加(jia)工件(jian)進行輻照，直至拋(pao)(pao)(pao)光完(wan)成(cheng)。

15、本發明相對(dui)于現有(you)技術取得了以下技術效果：

16、本發(fa)(fa)明中，利用(yong)激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)系統可將激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)發(fa)(fa)射(she)器發(fa)(fa)射(she)出的(de)(de)(de)(de)單束激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)，分(fen)束成(cheng)多(duo)個區(qu)域高密度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)多(duo)束激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)，當(dang)應(ying)用(yong)于cmp(化(hua)學機械拋光(guang)(guang)(guang)(guang))中時，多(duo)區(qu)域高密度(du)(du)激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)束，相較單束激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)，可顯(xian)著提(ti)高激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)照(zhao)射(she)面(mian)積，繼而(er)(er)提(ti)高激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)利用(yong)率(lv)，提(ti)高加工(gong)效率(lv)，而(er)(er)高密度(du)(du)激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)束可對(dui)待加工(gong)件(jian)進(jin)行均勻的(de)(de)(de)(de)微區(qu)輻照(zhao)，實現待加工(gong)件(jian)表層(ceng)的(de)(de)(de)(de)改(gai)性，降(jiang)低(di)待加工(gong)件(jian)表面(mian)的(de)(de)(de)(de)硬度(du)(du)，改(gai)變(bian)表層(ceng)材料的(de)(de)(de)(de)結構(gou)及化(hua)學成(cheng)分(fen)，為cmp的(de)(de)(de)(de)高效去除(chu)提(ti)供基礎，并(bing)在(zai)cmp處(chu)理(li)階段(duan)所出現的(de)(de)(de)(de)表面(mian)損(sun)傷、磨粒(li)鑲(xiang)嵌等缺陷，可在(zai)激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)輻照(zhao)過程中的(de)(de)(de)(de)氧化(hua)、氣化(hua)處(chu)理(li)，提(ti)高再次進(jin)入cmp處(chu)理(li)階段(duan)的(de)(de)(de)(de)去除(chu)效率(lv)，減小表面(mian)損(sun)傷。

1.一(yi)種激(ji)光(guang)(guang)(guang)系統，其特征在于(yu)(yu)，包括沿同一(yi)預(yu)設軸(zhou)線(xian)依次(ci)排布的(de)(de)激(ji)光(guang)(guang)(guang)發(fa)射(she)器(qi)(qi)(qi)(qi)、第一(yi)分(fen)(fen)束(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)器(qi)(qi)(qi)(qi)、聚(ju)焦鏡(jing)、反射(she)鏡(jing)組以及第二分(fen)(fen)束(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)器(qi)(qi)(qi)(qi)組，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)激(ji)光(guang)(guang)(guang)發(fa)射(she)器(qi)(qi)(qi)(qi)用于(yu)(yu)沿所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)預(yu)設軸(zhou)線(xian)發(fa)射(she)單(dan)束(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)激(ji)光(guang)(guang)(guang)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第一(yi)分(fen)(fen)束(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)器(qi)(qi)(qi)(qi)用于(yu)(yu)將(jiang)(jiang)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)激(ji)光(guang)(guang)(guang)發(fa)射(she)器(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)單(dan)束(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)激(ji)光(guang)(guang)(guang)分(fen)(fen)束(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)聚(ju)焦鏡(jing)用于(yu)(yu)將(jiang)(jiang)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第一(yi)分(fen)(fen)束(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)器(qi)(qi)(qi)(qi)分(fen)(fen)束(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)的(de)(de)激(ji)光(guang)(guang)(guang)聚(ju)焦成多道與(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)預(yu)設軸(zhou)線(xian)平(ping)行的(de)(de)激(ji)光(guang)(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)反射(she)鏡(jing)組用于(yu)(yu)改變所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)聚(ju)焦鏡(jing)導成的(de)(de)激(ji)光(guang)(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)與(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)預(yu)設軸(zhou)線(xian)的(de)(de)夾角，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第二分(fen)(fen)束(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)器(qi)(qi)(qi)(qi)組在接收到所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)反射(she)鏡(jing)組反射(she)的(de)(de)激(ji)光(guang)(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)后將(jiang)(jiang)其分(fen)(fen)束(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)至霧化程度。

2.根據權(quan)利要求1所(suo)(suo)述(shu)(shu)的一(yi)種激光系(xi)統，其特征在于，所(suo)(suo)述(shu)(shu)第一(yi)分束器、所(suo)(suo)述(shu)(shu)聚焦鏡、所(suo)(suo)述(shu)(shu)反射鏡組均能夠(gou)沿所(suo)(suo)述(shu)(shu)預設軸(zhou)線移動。

3.根據權利要求2所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)的一(yi)(yi)種激光系統(tong)，其特(te)征在于，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)分束(shu)(shu)器(qi)通過第(di)(di)(di)一(yi)(yi)驅(qu)動機(ji)(ji)構移(yi)動，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)驅(qu)動機(ji)(ji)構包括第(di)(di)(di)一(yi)(yi)驅(qu)動電(dian)機(ji)(ji)、第(di)(di)(di)一(yi)(yi)滾(gun)珠絲杠(gang)以及(ji)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)連桿，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)驅(qu)動電(dian)機(ji)(ji)的輸(shu)出軸(zhou)(zhou)(zhou)(zhou)與所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)滾(gun)珠絲杠(gang)的螺桿同(tong)軸(zhou)(zhou)(zhou)(zhou)固定(ding)連接(jie)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)滾(gun)珠絲杠(gang)的螺桿的軸(zhou)(zhou)(zhou)(zhou)線(xian)平行于所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)預設軸(zhou)(zhou)(zhou)(zhou)線(xian)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)滾(gun)珠絲杠(gang)的螺母通過所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)連桿與所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)分束(shu)(shu)器(qi)固定(ding)連接(jie)。

4.根據權利(li)要求(qiu)2所(suo)(suo)述(shu)的(de)一(yi)種激光系統(tong)，其特征在于，所(suo)(suo)述(shu)聚焦鏡通過第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)驅動機構移動，所(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)驅動機構包括第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)驅動電機、第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)滾(gun)珠絲(si)杠(gang)以及第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)連(lian)(lian)桿(gan)(gan)，所(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)驅動電機的(de)輸出(chu)軸(zhou)(zhou)與所(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)滾(gun)珠絲(si)杠(gang)的(de)螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)同軸(zhou)(zhou)固定連(lian)(lian)接，所(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)滾(gun)珠絲(si)杠(gang)的(de)螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)的(de)軸(zhou)(zhou)線(xian)平行于所(suo)(suo)述(shu)預設軸(zhou)(zhou)線(xian)，所(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)滾(gun)珠絲(si)杠(gang)的(de)螺(luo)(luo)母通過所(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)二(er)(er)(er)(er)連(lian)(lian)桿(gan)(gan)與所(suo)(suo)述(shu)聚焦鏡固定連(lian)(lian)接。

5.根據權(quan)利要(yao)求2所(suo)述(shu)(shu)的(de)(de)一種(zhong)激光系統，其特征(zheng)在于，所(suo)述(shu)(shu)反(fan)(fan)射(she)(she)(she)(she)鏡(jing)(jing)組包(bao)(bao)括(kuo)反(fan)(fan)射(she)(she)(she)(she)鏡(jing)(jing)保(bao)持架和反(fan)(fan)射(she)(she)(she)(she)鏡(jing)(jing)，所(suo)述(shu)(shu)反(fan)(fan)射(she)(she)(she)(she)鏡(jing)(jing)繞所(suo)述(shu)(shu)預(yu)(yu)設軸(zhou)線周向安裝在所(suo)述(shu)(shu)反(fan)(fan)射(she)(she)(she)(she)鏡(jing)(jing)保(bao)持架上，所(suo)述(shu)(shu)反(fan)(fan)射(she)(she)(she)(she)鏡(jing)(jing)組通過第(di)(di)三(san)驅(qu)(qu)動(dong)機(ji)構移動(dong)，所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)三(san)驅(qu)(qu)動(dong)機(ji)構包(bao)(bao)括(kuo)第(di)(di)三(san)驅(qu)(qu)動(dong)電機(ji)、第(di)(di)三(san)滾(gun)珠絲杠以(yi)及第(di)(di)三(san)連桿(gan)(gan)，所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)三(san)驅(qu)(qu)動(dong)電機(ji)的(de)(de)輸出軸(zhou)與所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)三(san)滾(gun)珠絲杠的(de)(de)螺桿(gan)(gan)同(tong)軸(zhou)固定連接，所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)三(san)滾(gun)珠絲杠的(de)(de)螺桿(gan)(gan)的(de)(de)軸(zhou)線平行于所(suo)述(shu)(shu)預(yu)(yu)設軸(zhou)線，所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)三(san)滾(gun)珠絲杠的(de)(de)螺母通過所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)三(san)連桿(gan)(gan)與所(suo)述(shu)(shu)反(fan)(fan)射(she)(she)(she)(she)鏡(jing)(jing)保(bao)持架固定連接。

6.一(yi)種激光(guang)(guang)(guang)-cmp復(fu)合加工(gong)裝(zhuang)置，其(qi)特征在(zai)于，包(bao)括內(nei)設有安(an)(an)(an)裝(zhuang)腔(qiang)的(de)(de)加工(gong)平(ping)(ping)臺(tai)和如權利要求(qiu)1至5任意一(yi)項所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)的(de)(de)激光(guang)(guang)(guang)系統，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)預設軸(zhou)線豎向(xiang)設置，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)激光(guang)(guang)(guang)系統中的(de)(de)激光(guang)(guang)(guang)發(fa)射(she)(she)器(qi)(qi)、第一(yi)分(fen)(fen)束(shu)器(qi)(qi)、聚焦鏡(jing)、反射(she)(she)鏡(jing)組(zu)由下到(dao)上安(an)(an)(an)裝(zhuang)在(zai)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)安(an)(an)(an)裝(zhuang)腔(qiang)內(nei)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)加工(gong)平(ping)(ping)臺(tai)的(de)(de)臺(tai)面(mian)(mian)上轉動連接有拋光(guang)(guang)(guang)盤(pan)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)拋光(guang)(guang)(guang)盤(pan)的(de)(de)拋光(guang)(guang)(guang)面(mian)(mian)水(shui)平(ping)(ping)設置，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)拋光(guang)(guang)(guang)盤(pan)的(de)(de)拋光(guang)(guang)(guang)面(mian)(mian)上周向(xiang)布(bu)設有供所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第二分(fen)(fen)束(shu)器(qi)(qi)組(zu)的(de)(de)各第二分(fen)(fen)束(shu)器(qi)(qi)分(fen)(fen)別嵌裝(zhuang)的(de)(de)安(an)(an)(an)裝(zhuang)孔(kong)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)安(an)(an)(an)裝(zhuang)孔(kong)與所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)安(an)(an)(an)裝(zhuang)腔(qiang)連通，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)安(an)(an)(an)裝(zhuang)孔(kong)在(zai)其(qi)旋轉路徑上能夠經過(guo)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)反射(she)(she)鏡(jing)組(zu)的(de)(de)反射(she)(she)激光(guang)(guang)(guang)束(shu)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)加工(gong)平(ping)(ping)臺(tai)安(an)(an)(an)裝(zhuang)有能夠升降的(de)(de)支架，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)支架上安(an)(an)(an)裝(zhuang)有能夠旋轉的(de)(de)載(zai)物盤(pan)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)載(zai)物盤(pan)的(de)(de)載(zai)物面(mian)(mian)正對所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)拋光(guang)(guang)(guang)盤(pan)的(de)(de)拋光(guang)(guang)(guang)面(mian)(mian)。

7.根據權利要求6所述的(de)一種激光(guang)-cmp復合加工(gong)裝置，其特征(zheng)在于，所述支架上設有保(bao)持環，所述保(bao)持環上安裝有第四(si)(si)驅動(dong)電(dian)(dian)機(ji)，所述第四(si)(si)驅動(dong)電(dian)(dian)機(ji)的(de)輸出軸與(yu)所述載(zai)物盤同軸固定(ding)連接(jie)。

8.根據權利要求(qiu)7所(suo)述(shu)(shu)的一種激(ji)光-cmp復合加工裝置(zhi)，其(qi)特征(zheng)在于(yu)，所(suo)述(shu)(shu)第四驅動(dong)電機(ji)的輸(shu)出(chu)軸與所(suo)述(shu)(shu)載物盤之間設(she)有壓力傳感器。

9.根據權利(li)要求8所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)的(de)一(yi)種激光(guang)-cmp復(fu)合(he)加工裝(zhuang)置(zhi)，其特征在于，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)安裝(zhuang)腔(qiang)內安裝(zhuang)有用于驅(qu)(qu)動(dong)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)拋(pao)光(guang)盤旋轉(zhuan)的(de)旋轉(zhuan)驅(qu)(qu)動(dong)機(ji)構，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)旋轉(zhuan)驅(qu)(qu)動(dong)機(ji)構包括第一(yi)錐(zhui)齒(chi)(chi)輪(lun)、第二(er)錐(zhui)齒(chi)(chi)輪(lun)以及(ji)第五(wu)驅(qu)(qu)動(dong)電機(ji)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第一(yi)錐(zhui)齒(chi)(chi)輪(lun)與(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)拋(pao)光(guang)盤同軸(zhou)固定(ding)(ding)連接(jie)(jie)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第一(yi)錐(zhui)齒(chi)(chi)輪(lun)和所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第二(er)錐(zhui)齒(chi)(chi)輪(lun)相互嚙合(he)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第五(wu)驅(qu)(qu)動(dong)電機(ji)的(de)輸出(chu)軸(zhou)通(tong)過減速(su)裝(zhuang)置(zhi)與(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第二(er)錐(zhui)齒(chi)(chi)輪(lun)同軸(zhou)固定(ding)(ding)連接(jie)(jie)。

10.一(yi)種(zhong)激光(guang)-cmp復合加(jia)工方(fang)法，其特征在于，采(cai)用了(le)如權利要求6-9任意一(yi)項所述的一(yi)種(zhong)激光(guang)-cmp復合加(jia)工裝置(zhi)，包括以下步驟：