專利名稱：激光去飛邊機的視覺定位與激光掃描光路同軸裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種激光去飛邊機，尤其是涉及一種超薄型集成電路系列產品激 光去飛邊機的視覺定位與激光掃描光路同軸裝置。適用于較高端的超薄型封裝芯片的去飛 邊工藝。
背景技術：
超薄型集成電路激光去飛邊機主要是由許多的機械零件配合氣動組件、步進馬 達、伺服馬達、光纖傳感器、視覺定位系統、激光掃描系統等組成之機電一體化設備。其設備 流程程式由PLC和工控機編寫而成，而視覺定位系統與激光掃描系統則采用獨立工控機編 程。主要是由供料單元、抓料單元、流道單元、視覺定位與激光掃描單元以及收料單元共五 個局部性單元所組裝而成。傳統的去飛邊工藝是采用人工手刷、噴砂、高壓水射流等工藝， 這些傳統的去飛邊工藝對于目前較高端的超薄型芯片有一定的損害，而激光去飛邊則能克 服這些不足，并且性能更加穩定可靠。以往激光應用類設備定位與激光掃描主要有以下兩種模式1、產品靠機械定位，然后通知激光掃描裝置工作；2、視覺定位與激光掃描分離式，視覺定位系統采用X-Y移動平臺，當產品到位后， 視覺定位系統移動至產品位置進行視覺定位，完成后再次離開產品位置，通知激光掃描裝
置工作。隨著封裝產品的超薄化，機械定位已不能滿足要求，而視覺定位與激光掃描分離 式模式，占用設備空間大，制造成本較高，并且移動部件多、動作繁多，影響整體定位精度和 設備性能。

發明內容本實用新型的目的在于克服上述不足，提供一種占用設備空間小、制造成本較低 的激光去飛邊機的視覺定位與激光掃描光路同軸裝置。本實用新型的目的是這樣實現的一種激光去飛邊機的視覺定位與激光掃描光路 同軸裝置，所述裝置包括光纖激光器、CCD相機組機、全透全反鏡、掃描頭組件、遠心場鏡、工 作平臺和紅外光源，所述掃描頭組件包括X振鏡和Y振鏡，所述光纖激光器、全透全反鏡和 掃描頭組件自左至右處于同一水平軸心線上，所述CCD相機組機置于全透全反鏡上方，與 全透全反鏡處于同一垂直軸心線上，所述遠心場鏡置于掃描頭組件下方，與該掃描頭組件 的中心線處于同一垂直軸心線上，所述工作平臺設置于遠心場鏡下方，紅外光源設置于工 作平臺上方，并置于遠心場鏡下方。本實用新型的有益效果是此方式極大的提高了產品的定位精度及定位速度，移動部件少、動作簡單，節省了 設備空間，降低了設備制造成本，提高了設備的整體性能。
圖1為本實用新型激光去飛邊機的視覺定位與激光掃描光路同軸裝置結構示意 圖。圖中光纖激光器1、(XD相機組機2、全透全反鏡3、掃描頭組件4、X振鏡5、Y振鏡6、遠 心場鏡7、工作平臺8、紅外光源9。
具體實施方式
參見圖1，圖1為本實用新型激光去飛邊機的視覺定位與激光掃描光路同軸裝置 結構示意圖。由圖1可以看出，本實用新型激光去飛邊機的視覺定位與激光掃描光路同軸 裝置，包括光纖激光器1、CXD相機組機2、全透全反鏡3、掃描頭組件4、遠心場鏡7、工作平 臺8和紅外光源9，所述掃描頭組件4包括X振鏡5和Y振鏡6，所述光纖激光器1、全透全 反鏡3和掃描頭組件4自左至右處于同一水平軸心線上，所述CXD相機組機2置于全透全 反鏡3上方，與全透全反鏡3處于同一垂直軸心線上，所述遠心場鏡7置于掃描頭組件4下 方，與該掃描頭組件4的中心線處于同一垂直軸心線上，所述工作平臺8設置于遠心場鏡7 下方，紅外光源9設置于工作平臺8上方，并置于遠心場鏡7下方。所述光纖激光器1波長為1064nm。CXD相機組機2采用320萬像素鏡頭，放大倍率 為70倍。全透全反鏡3對1064nm波長的光全透，而對波長為880nm的紅外光則全反。掃 描頭組件4包含X振鏡5、Y振鏡6及相關驅動電機等，掃描速度為2. 5m/s。遠心場鏡7的 應用主要是能保證激光掃描工作區域內產品時光束均為垂直掃描。工作平臺8在激光去飛 邊機中為流道及壓板裝置。紅外光源9采用波長為880nm的紅外不可見光的LED排燈。動作原理1、根據相機鏡頭的視野范圍以及產品的尺寸大小，人為的將產品分成若個小區 域；2、當產品經過流道到加工區后，流道系統給視覺定位與激光掃描裝置就位準備信 號；3、視覺定位與激光掃描裝置收到信號后，視覺定位系統對這若干個小區域逐個進 行拍照并進行精確定位計算，并將計算出的數據傳送給激光掃描裝置；4、激光掃描裝置根據視覺定位系統傳送過來的數據進行一定規則的掃描，視覺定 位與激光掃描可以并行處理；5、整個產品完成視覺定位和激光掃描之后發送信號給流道系統，流道系統根據接 收到的信號再將產品移出流道。
權利要求一種激光去飛邊機的視覺定位與激光掃描光路同軸裝置，其特征在于所述裝置包括光纖激光器(1)、CCD相機組機(2)、全透全反鏡(3)、掃描頭組件(4)、遠心場鏡(7)、工作平臺(8)和紅外光源(9)，所述掃描頭組件(4)包括X振鏡(5)和Y振鏡(6)，所述光纖激光器(1)、全透全反鏡(3)和掃描頭組件(4)自左至右處于同一水平軸心線上，所述CCD相機組機(2)置于全透全反鏡(3)上方，與全透全反鏡(3)處于同一垂直軸心線上，所述遠心場鏡(7)置于掃描頭組件(4)下方，與該掃描頭組件(4)的中心線處于同一垂直軸心線上，所述工作平臺(8)設置于遠心場鏡(7)下方，紅外光源(9)設置于工作平臺(8)上方，并置于遠心場鏡(7)下方。
專利摘要本實用新型涉及一種激光去飛邊機的視覺定位與激光掃描光路同軸裝置，其特征在于所述裝置包括光纖激光器(1)、CCD相機組機(2)、全透全反鏡(3)、掃描頭組件(4)、遠心場鏡(7)、工作平臺(8)和紅外光源(9)，所述掃描頭組件(4)包括X振鏡(5)和Y振鏡(6)，所述光纖激光器(1)、全透全反鏡(3)和掃描頭組件(4)自左至右處于同一水平軸心線上，所述CCD相機組機(2)置于全透全反鏡(3)上方，與全透全反鏡(3)處于同一垂直軸心線上，所述遠心場鏡(7)置于掃描頭組件(4)下方，與該掃描頭組件(4)的中心線處于同一垂直軸心線上，所述工作平臺(8)設置于遠心場鏡(7)下方，紅外光源(9)設置于工作平臺(8)上方，并置于遠心場鏡(7)下方。本實用新型節省了設備空間，降低了設備制造成本，提高了設備的整體性能。
文檔編號B23K26/42GK201632772SQ20092029966
公開日2010年11月17日 申請日期2009年12月28日 優先權日2009年12月28日
發明者吳忠其, 曾坤燦, 李毛惠, 王曉華, 馬浩峰 申請人:江陰新基電子設備有限公司