照射裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及照射裝置，所述照射裝置具備對遮光掩蔽罩進行保持的掩蔽罩保持部件。
【背景技術】
[0002]以往，作為照射裝置，已知一種如下照射裝置，在兩張透光性基板之間設置由紫外線固化性樹脂構成的密封材料，并對在密封材料內密封了液晶的液晶面板照射紫外線，從而使密封材料固化并貼合兩張基板(例如，參照專利文獻I)。在對密封材料照射紫外線時，如果對液晶照射紫外線，則導致液晶的特性產生變化，因此，在該紫外線固化裝置中，在與液晶對應的位置上配置對光源的光進行遮光的遮光掩蔽罩，并將該遮光掩蔽罩保持在保持桿(掩蔽罩保持部件)上。使用透光性材料(石英)來形成保持桿，該保持桿設在整個光射出開口。
[0003]現有技術文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻1:日本特開2004-77583號公報

【發明內容】

[0006]本發明要解決的問題
[0007]關于照射裝置，有時不使用遮光掩蔽罩而進行照射，在該情況下，如果保持桿存在于光射出開口，則受到在保持桿上進行反射或折射的光的影響，導致被照射面的照度分布變差。但是，如果在不使用遮光掩蔽罩時裝卸保持桿，不僅裝卸作業繁雜，而且在裝卸時有可能損壞比較昂貴的保持桿，另外，需要保持桿的安全的保管空間。
[0008]本發明是鑒于上述情況而完成的，其目的是提供在不使用遮光掩蔽罩的情況下能夠抑制掩蔽罩保持部件上的反射或折射的影響的照射裝置。
[0009]用于解決問題的方法
[0010]為了達到上述目的，本發明的照射裝置在射出光源的光的光射出開口內配置掩蔽罩保持部件，在該掩蔽罩保持部件上保持對所述光源的光進行遮光的遮光掩蔽罩，其特征在于，所述照射裝置具備使所述掩蔽罩保持部件進行升降的升降單元。
[0011]在上述的結構中，所述掩蔽罩保持部件也可以具備:由透光性材料構成的保持部；以及支承該保持部的緣部的框體，所述框體被支承為升降自如。
[0012]在上述的結構中，也可以具備使所述掩蔽罩保持部件自動升降的驅動單元。
[0013]在上述的結構中，也可以具有如下結構，將所述光源設為線狀光源，具備使朝向所述線狀光源的周圍的光反射到被照射體上的主反射鏡，并且在所述掩蔽罩保持部件和所述線狀光源之間設有包圍所述被照射體的輔助反射鏡，在所述輔助反射鏡和所述被照射體之間設有供所述掩蔽罩保持部件進行升降的空間。
[0014]在上述的結構中，在不使用所述遮光掩蔽罩而進行照射時，也可以使所述掩蔽罩保持部件從使用所述遮光掩蔽罩進行照射的位置上升20mm以上。
[0015]在上述的結構中，也可以使所述掩蔽罩保持部件相對于被照射面沿著鉛垂方向升降自如。
[0016]在上述的結構中，所述保持部的被照射面側的面也可以形成為平面。
[0017]發明效果
[0018]根據本發明，由于升降自如地支承掩蔽罩保持部件，因此，在不使用遮光掩蔽罩時，通過使掩蔽罩保持部件與被照射面分離，能夠抑制掩蔽罩保持部件上的反射或者折射的影響。
【附圖說明】
[0019]圖1是示意性表示本發明的實施方式的照射裝置的圖。
[0020]圖2是示意性表示僅由紫外線燈及主反射板進行照射的工件的照度分布的圖。
[0021]圖3是表示工件及遮光掩蔽罩的圖，(A)是工件的剖視圖，(B)是表示工件及遮光掩蔽罩的立體圖。
[0022]圖4是表示掩蔽罩保持部件的立體圖。
[0023]圖5是表示保持桿的立體圖。
[0024]圖6是表示保持桿的圖，(A)是俯視圖，(B)是(A)的A-A剖視圖。
[0025]圖7是圖6的B-B剖視圖。
[0026]圖8是示意性表示使掩蔽罩保持部件上升的照射裝置的圖。
[0027]圖9是表示掩蔽罩保持部件的提升位置和照度之間的關系的圖，(A)是表示計測部位的圖，(B)是表示計測部位B上的最大照度Max及最小照度Min的曲線圖，(C)是表示計測部位C上的最大照度Max及最小照度的曲線圖，(D)是表示計測部位D上的最大照度Max及最小照度Min的曲線圖。
[0028]附圖標記說明
[0029]1:照射裝置，3A:光射出開口，10:紫外線燈(光源)，12:主反射鏡，14:輔助反射板(輔助反射鏡)，40:掩蔽罩保持部件，41:掩蔽罩支架(框體)，42:保持桿(保持部)，42A:緣部，44:升降機構(驅動單元)，50:遮光掩蔽罩，60:控制裝置，S2:空間。
【具體實施方式】
[0030]以下參照附圖，對本發明的實施方式進行說明。
[0031]圖1是示意性表示本實施方式的照射裝置的圖。圖2是示意性表示僅由紫外線燈及主反射板進行照射的工件的照度分布的圖。
[0032]如圖1所示，照射裝置I是內置紫外線燈10并且能夠以均等的照度(即良好的均勻度)照射作為照射區域的工件2的整個區域的裝置。另外，照射裝置I也可以作為光固化裝置而使用，所述光固化裝置將液晶面板等基板作為工件2，通過對該工件2照射光來使工件2中使用的光固化性樹脂固化。照射裝置I利用至少一個以上(在本實施方式中是五個)的線狀光源來照射工件2，在該照射裝置I中，作為紫外線光源使用直管型的高輸出的上述紫外線燈10。
[0033]照射裝置I在下表面具有光射出開口 3A的筐體3內，具備至少一個以上(在本實施方式中是五個)的照射器IA?1E。各照射器IA?IE在殼體11內具有一個紫外線燈10和對紫外線燈10的放射光進行控制的主反射板(主反射鏡)12，并沿著與紫外線燈10的軸線方向正交的燈寬度方向(光源并列方向)W并列地排列。另外，照射裝置I在照射器IA?IE的下方具備四角筒狀的輔助反射板(輔助反射鏡)14。這些主反射板12及輔助反射板14構成照射裝置I的反射鏡。并且，照射裝置I在輔助反射板14的下方具備掩蔽罩保持部件40，對紫外線燈10的紫外線進行遮光的遮光掩蔽罩50被保持于該掩蔽罩保持部件40。
[0034]工件2載置于能夠升降地構成的照射臺4，在照射臺4上升到照射位置時，工件2配置在筐體3的光射出開口 3A的正下方的、隔著間隙δ (在本實施方式中是2mm)的位置上，是與光射出開口 3A大致相同大小的區域。在該照射裝置I中，工件2設定在離光射出開口 3A比較接近的位置上。
[0035]紫外線燈10在工件2的正上方并列地延伸，兩端的紫外線燈10配置在工件2的緣部的正上方。此外，工件2的長邊La被設定為與紫外線燈10的管長大致相同的長度或者管長以下的長度，并通過將管長較長的長弧燈用于紫外線燈10，實現了工件2的大面積化。
[0036]如上所述，照射裝置I具備主反射板12和輔助反射板14，并利用紫外線燈10的直射光和主反射板12及輔助反射板14的反射光能夠以均等的照度照射工件2。
[0037]在此，在只利用紫外線燈10的直射光照射工件2的情況下，在包括工件2的長軸K(圖2)的附近的照度分布中，大致直接反映紫外線燈10的燈管軸方向(長度方向)的亮度分布。
[0038]于是，利用主反射板12及輔助反射板14反射從紫外線燈10放射并脫離工件2的光，并以補償工件2中的直射光的照度分布的方式進行照射，從而提高工件2的均勻度。
[0039]主反射板12將向紫外線燈10的周圍(更準確地說是上方及水平方向)放射的光朝向工件2反射，從而提高被照射面2A的照度，并且實現了照度的均等化。主反射板12形成為沿著紫外線燈10的管軸延伸的槽狀，與紫外線燈10對置的面形成為反射面。如圖2所示，通過該主反射板12的反射，對于工件2，在向紫外線燈10的正下方延伸的區域Xa的兩側，出現與該區域Xa—起延伸且具有同等的照度的區域Xb。由此，在工件2的短邊Lb的方向上，以分配紫外線燈10的正下方的照度的方式進行照射。<