專利名稱：帶有復合電極結構的平面發光顯示器及其制作工藝的制作方法
技術領域：
本發明屬于微電子科學技術、平板顯示技術、納米科學技術以及真空科學技術的相互交叉領域，涉及到平板場致發射發光顯示器件的制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發射顯示器的器件制作方面的內容，特別涉及到一種帶有復合電極結構的、碳納米管陰極的場致發射平面顯示器件的制作工藝。
背景技術：
碳納米管是一種具有獨特的幾何外形，高的縱橫比率以及極高的機械強度等特性的優良材料，已經引起了眾多研究人員的極大關注。目前，對于利用碳納米管作為陰極發射電子材料的場致發射平板顯示器來說，顯示器的使用壽命一直就是衡量顯示器件質量的關鍵技術指標之一。通常的情況下，在平板顯示器的制作過程中，都是在陽極玻璃面板上制作出錫銦氧化物膜層，利用它作為陽極導電層；然后在其上面制作出熒光粉層；利用從碳納米管陰極發射的電子來直接轟擊熒光粉層而發出可見光的，多余的電子通過位于熒光粉層背部的錫銦氧化物膜層而流到外電路當中。
錫銦氧化物膜層是一層薄膜，既要滿足具有足夠的透光率要求，以便于能夠讓熒光粉層發出的可見光順利地透射到器件外部；還要滿足具有良好的導電性能要求，以便于能夠讓外界電壓順利地施加到器件當中。隨著顯示器件面積的不斷增大，經過光刻工藝以后的陽極錫銦氧化物膜層的長度也就越來越長；而隨著顯示器件分辨率的不斷提高，經過光刻工藝以后的陽極錫銦氧化物膜層的寬度也就越來越窄，這樣就要求該錫銦氧化物膜層還需要具有良好的強度和硬度。但是在實際中，隨著錫銦氧化物膜層的長度越來越長、寬度越來越窄，其良好的導電性能必然要受到一定的影響，甚至在某些情況下還容易出現膜層斷條(即完全失去導電性)的現象，那么就需要采取一定的措施來進行彌補。這是研究制作人員需要認真思考的一個現實問題。
為了進一步提高顯示圖像的質量，增加顯示圖像的對比度和亮度，還需要對顯示器件的陽極結構作出一定的改進，即在相鄰錫銦氧化物膜層條之間增加一定的隔離物質。一方面要求該隔離物質能夠具有良好的絕緣性能，能夠抵抗住陽極的高工作電壓，防止相鄰熒光粉層的可見光相互影響；另一方面，由于隔離物質的頂面方向就是面向高能量的電子束，因此還需要該隔離物質能夠抵抗得住高能量電子的轟擊。那么該如何改進陽極電極結構，如何能夠更好的顯示圖像，提高圖像的顯示質量，這也是研究人員值得關注的一個現實問題。
此外，在盡可能不影響碳納米管陰極的場致電子發射能力的前提下，在引入良好的陽極結構的同時，還需要進一步降低器件的制作成本，能夠進行大面積的器件制作，器件制作過程免于復雜化，有利于進行商業化的大規模生產。
發明內容
本發明的目的在于克服現有技術中存在的不足而提供一種結構簡單、制作成品率高、穩定可靠、制作過程成本低廉的帶有復合電極結構的平面發光顯示器及其制作工藝。
本發明的目的是這樣實現的包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板以及四周玻璃圍框所構成的密封真空腔，設置在陰極玻璃面板上的陰極電極層以及印刷在陰極電極層上面的碳納米管陰極；用于控制電子發射的控制柵極；支撐墻結構以及附屬消氣劑元件，在陽極玻璃面板上制作有提高陽極導電性能，確保外界電壓施加到器件中的復合電極結構。
所述的復合電極結構包括設置在陽極玻璃面板上的一層錫銦氧化物膜層，在錫銦氧化物膜層的上面存在著一個金屬電極層，金屬電極層包括兩部分，即第一部分為金屬鉻層，第二部分為金屬銀層，其中金屬鉻層的下面為錫銦氧化物膜層，而金屬鉻層的上面為金屬銀層，在錫銦氧化物膜層上印刷有熒光粉層，相鄰錫銦氧化物膜層之間以及同一錫銦氧化物膜層上的相鄰像素點之間設置有絕緣層來進行相互隔離，在熒光粉層的上面存在著一個鋁膜層。
絕緣層為絕緣漿料層、二氧化硅層、聚酰亞胺層之一，絕緣層的上面在不影響顯示分辨率的前提下安裝支撐墻器件元件。在錫銦氧化物膜層上的兩側同時制作金屬電極層。所述的復合電極結構的熒光粉層的上面存在著一個鋁膜層；鋁膜層僅僅位于該像素點的最上部分，即熒光粉的上面，而相鄰像素點之間不存在鋁膜層；鋁膜層和金屬電極層相互連接。
本發明中的復合電極結構包括基底材料玻璃、錫銦氧化物膜層、金屬電極層、絕緣層、熒光粉層、鋁膜層，并采用如下的工藝進行制作1、基底材料玻璃的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行裁剪，制作出基底材料玻璃，也就是陽極玻璃面板；2、錫銦氧化物膜層的制作在基底材料玻璃的上面制備出錫銦氧化物膜層；結合常規的光刻工藝，對錫銦氧化物膜層進行刻蝕，去掉多余的部分；3、金屬電極層的制作在錫銦氧化物膜層的上面蒸鍍已經鉻金屬；結合常規的光刻工藝，對鉻金屬進行刻蝕，形成金屬電極層的第一部分；結合絲網印刷工藝，在鉻金屬層的上面印刷一層銀漿，形成金屬電極層的第二部分；經過烘烤(烘烤溫度180℃，保持時間10分鐘)之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結(燒結溫度580℃，保持時間1O分鐘)；金屬電極層位于錫銦氧化物膜層的兩側；4、絕緣層4的制作結合絲網印刷工藝，在相鄰錫銦氧化物膜層之間以及位于同一錫銦氧化物膜層上的相鄰像素點之間印刷絕緣漿料，形成絕緣層；經過烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結(燒結溫度590℃，保持時間10分鐘)；5、熒光粉層的制作結合絲網印刷工藝，在錫銦氧化物膜層的上面印刷熒光粉層；在烘箱當中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)；6、鋁膜層的制作利用鍍膜機，在熒光粉層的表面蒸鍍一層鋁膜；要求鋁膜層僅僅位于該像素點(即熒光粉點)的最上部分，而相鄰像素點之間不存在鋁膜層；要求每個像素點的上面的鋁膜層都和兩側的金屬電極層相互連接；7、復合電極結構表面的清潔處理需要對復合電極結構表面進行清潔處理，除掉灰塵和雜質。
本發明中的帶有復合電極結構的碳納米管陰極場致發射平板顯示器的制作工藝如下1、陰極玻璃面板結構的制作1)陰極玻璃面板的制作對整體鈉鈣平板玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)陰極電極層的制作在整體平板鈉鈣平板玻璃上蒸鍍上一層錫銦氧化物膜層；結合常規的光刻工藝，對蒸鍍的錫銦氧化物膜層進行光刻，形成陰極導電，也就是陰極電極層。
3)絕緣層的制作結合絲網印刷工藝，在平板鈉鈣玻璃上印刷絕緣漿料，形成絕緣層；經過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結(燒結溫度580℃，保持時間10分鐘)；在絕緣層上預留有陰極孔；4)控制柵極電極層的制作結合絲網印刷工藝，在絕緣層上印刷銀漿，形成控制柵極電極層；經過烘烤(烘烤溫度180℃，保持時間10分鐘)之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結(燒結溫度580℃，保持時間10分鐘)；5)碳納米管陰極的印刷結合絲網印刷工藝，將碳納米管印刷在陰極導電條的上面。
6)碳納米管陰極的后處理對印刷后的碳納米管陰極進行后處理，以改善碳納米管的場發射特性。
2、器件裝配將陽極玻璃面板、陰極玻璃面板、支撐墻結構以及玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定。
4、成品制作對已經裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結爐當中進行高溫燒結；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發明具有如下積極效果本發明的最主要特點就是制作了帶有復合電極結構的碳納米管陰極場致發射顯示器。在陽極面板上制作了復合電極結構，一方面可以進一步提高陽極良好的導電性能，確保外界電壓能夠順利地施加到器件當中，另一方面可以進一步提高顯示器件的使用壽命，改善整體顯示器件的圖像顯示質量。
其一，在本發明中的復合電極結構中，在錫銦氧化物膜層上的兩側均制作了金屬電極層，這是為了彌補錫銦氧化物膜層導電性能下降的不利之處而制作的。隨著顯示器件的面積越來越大，顯示器件的分辨率越來越高，錫銦氧化物膜層的長度會增加，而寬度則越來越窄，勢必會引起錫銦氧化物膜層導電性能的下降。在本發明中的復合電極結構中，在錫銦氧化物膜層的兩側都制作了金屬電極層，這樣當錫銦氧化物膜層的導電性能有所下降的時候，也會由于金屬電極層的作用，而保證整體電極的通暢，提高了器件制作的成功率；其二，在本發明中的復合電極結構中，金屬電極層是由兩部分組成的，一部分是和錫銦氧化物膜層相互接觸的金屬鉻層，這是為了解決其它金屬和錫銦氧化物膜層之間接觸不良的問題。目前，鉻金屬和錫銦氧化物的接觸歐姆電阻比較小，是比較理想的一種金屬，那么就利用這一特性，將鉻金屬制作成了過渡層；另一部分就是金屬電極層中的銀層，這是為了解決蒸鍍的鉻金屬層比較薄的問題，所以銀層也就是金屬電極層中的增高層，確保電極層具有良好的導電性能；其三，在本發明中的復合電極結構中，在錫銦氧化物膜層之間以及在相鄰像素點之間均制作了絕緣層結構。那么由于絕緣層的黑色圖案襯底，極大地增加了顯示圖像的對比度；另外，由于絕緣層的良好絕緣性能和阻隔作用，也避免了像素點之間的顏色交叉失真現象的出現；其四，在本發明中的復合電極結構中，在熒光粉層的上面制作了金屬鋁膜層，這顯著增加了顯示器件的使用壽命。由于高能量的電子束要先經過鋁膜層，然后再次轟擊熒光粉層，這顯然要比常規的直接轟擊熒光粉層的制作方法要優越的多。另外，在鋁膜的制作過程中，沒有將整體器件的顯示區域全部都制作成一個鋁膜層，那樣也就失去了陽極參與進行尋址的意義。在本發明中的復合電極結構中，制作了鋁膜層結構，但是僅僅是在單獨每個像素點的熒光粉層的背側制作了鋁膜層，該鋁膜層和金屬電極層相連，確保了鋁膜層上良好的導電性能；同時相鄰像素點的鋁膜層是不相連的，便于陽極進行尋址。
此外，在復合電極結構的制作過程中，并沒有采用特殊的結構制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，有利于進行商業化的大規模生產。
圖1給出了復合電極結構的縱向結構示意圖。
圖2給出了復合電極結構的橫向結構示意圖。
圖3中給出了一個帶有復合電極結構的的碳納米管陰極場致發射平面顯示器的實施例的結構示意圖。
具體實施例方式
下面結合附圖和實施例對本發明進行進一步說明，但本發明并不局限于這些實施例。
本發明包括由陽極玻璃面板1、陰極玻璃面板7以及四周玻璃圍框13所構成的密封真空腔，設置在陰極玻璃面板7上的陰極電極層8以及印刷在陰極電極層8上面的碳納米管陰極11；用于控制電子發射的控制柵極10；支撐墻結構12以及附屬消氣劑14元件，在陽極玻璃面板1上制作有提高陽極導電性能，確保外界電壓施加到器件中的復合電極結構。
所述的復合電極結構包括設置在陽極玻璃面板1上的一層錫銦氧化物膜層2，在錫銦氧化物膜層2的上面存在著一個金屬電極層3，金屬電極層3包括兩部分，即第一部分為金屬鉻層，第二部分為金屬銀層，其中金屬鉻層的下面為錫銦氧化物膜層2，而金屬鉻層的上面為金屬銀層，在錫銦氧化物膜層2上印刷有熒光粉層5，相鄰錫銦氧化物膜層2之間以及同一錫銦氧化物膜層上的相鄰像素點之間設置有絕緣層4來進行相互隔離，在熒光粉層5的上面存在著一個鋁膜層6。
絕緣層4為絕緣漿料層、二氧化硅層、聚酰亞胺層之一，絕緣層的上面在不影響顯示分辨率的前提下安裝支撐墻器件元件。在錫銦氧化物膜層上的兩側同時制作金屬電極層3。所述的復合電極結構的熒光粉層的上面存在著一個鋁膜層6；鋁膜層僅僅位于該像素點的最上部分，即熒光粉的上面，而相鄰像素點之間不存在鋁膜層；鋁膜層和金屬電極層相互連接。
本發明中的復合電極結構包括基底材料玻璃1、錫銦氧化物膜層2、金屬電極層3、絕緣層4、熒光粉層5、鋁膜層6部分，并采用如下的工藝進行制作1、基底材料玻璃1的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行裁剪，制作出基底材料玻璃1，也就是陽極玻璃面板；2、錫銦氧化物膜層2的制作在基底材料玻璃1的上面制備出錫銦氧化物膜層2；結合常規的光刻工藝，對錫銦氧化物膜層進行刻蝕，去掉多余的部分；3、金屬電極層3的制作在錫銦氧化物膜層2的上面蒸鍍已經鉻金屬；結合常規的光刻工藝，對鉻金屬進行刻蝕，形成金屬電極層3的第一部分；結合絲網印刷工藝，在鉻金屬層的上面印刷一層銀漿，形成金屬電極層3的第二部分；經過烘烤(烘烤溫度180℃，保持時間10分鐘)之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結(燒結溫度580℃，保持時間10分鐘)；金屬電極層3位于錫銦氧化物膜層2的兩側；4、絕緣層4的制作結合絲網印刷工藝，在相鄰錫銦氧化物膜層2之間以及位于同一錫銦氧化物膜層上的相鄰像素點之間印刷絕緣漿料，形成絕緣層4；經過烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結(燒結溫度590℃，保持時間10分鐘)；5、熒光粉5層的制作結合絲網印刷工藝，在錫銦氧化物膜層2的上面印刷熒光粉層5；在烘箱當中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)；6、鋁膜6層的制作利用鍍膜機，在熒光粉層5的表面蒸鍍一層鋁膜6；要求鋁膜層僅僅位于該像素點(即熒光粉點)的最上部分，而相鄰像素點之間不存在鋁膜層；要求每個像素點的上面的鋁膜層都和兩側的金屬電極層相互連接；7、復合電極結構表面的清潔處理需要對復合電極結構表面進行清潔處理，除掉灰塵和雜質。
本發明中的帶有復合電極結構的碳納米管陰極場致發射平板顯示器的制作工藝如下1、陰極玻璃面板結構的制作1)陰極玻璃面板7的制作對整體鈉鈣平板玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板7；2)陰極電極層8的制作在整體平板鈉鈣平板玻璃上蒸鍍上一層錫銦氧化物膜層；結合常規的光刻工藝，對蒸鍍的錫銦氧化物膜層進行光刻，形成陰極導電條8，也就是陰極電極層8。
3)絕緣層9的制作結合絲網印刷工藝，在平板鈉鈣玻璃上印刷絕緣漿料，形成絕緣層9；經過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結(燒結溫度580℃，保持時間10分鐘)；在絕緣層9上預留有陰極孔；4)控制柵極電極層10的制作結合絲網印刷工藝，在絕緣層9上印刷銀漿，形成控制柵極電極層10；經過烘烤(烘烤溫度180℃，保持時間10分鐘)之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結(燒結溫度580℃，保持時間10分鐘)；5)碳納米管陰極11的印刷結合絲網印刷工藝，將碳納米管11印刷在陰極導電條8的上面。
6)碳納米管11陰極的后處理對印刷后的碳納米管11陰極進行后處理，以改善碳納米管的場發射特性。
2、器件裝配將陽極玻璃面板1、陰極玻璃面板7、支撐墻結構12以及玻璃圍框13裝配到一起，并將消氣劑14放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定。
4、成品制作對已經裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結爐當中進行高溫燒結；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發明中的復合電極結構的基底材料為大型、具有相當良好的耐熱性和可操作性、成本低廉的高性能絕緣材料；本發明中的復合電極結構的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃，硼硅玻璃；本發明中的復合電極結構的基底材料玻璃同時可以作為整體顯示器真空腔的外殼封裝玻璃；本發明中的復合電極結構的基底材料玻璃內部存在著一層錫銦氧化物膜層；本發明中的復合電極結構中的錫銦氧化物膜層的上面存在著一個金屬電極層；本發明中的復合電極結構中的金屬電極層包括兩部分，即第一部分為金屬鉻層，第二部分為金屬銀層，其中金屬鉻層的下面為錫銦氧化物膜層，而金屬鉻層的上面為金屬銀層；本發明中的復合電極結構中的相鄰錫銦氧化物膜層之間以及同一錫銦氧化物膜層上的相鄰像素點之間利用絕緣層來進行相互隔離；本發明中的復合電極結構中的絕緣層可以為絕緣漿料層，也可以為二氧化硅層，或者聚酰亞胺層；本發明中的復合電極結構中可以在錫銦氧化物膜層上的一側制作金屬電極層，也可以在錫銦氧化物膜層上的兩側同時制作金屬電極層；本發明中的復合電極結構中的錫銦氧化物膜層上印刷有熒光粉層；本發明中的復合電極結構中的熒光粉層的上面存在著一個鋁膜層；本發明中的復合電極結構中的鋁膜層可以結合常規的蒸鍍工藝和光刻工藝來完成；本發明中的復合電極結構中的鋁膜層僅僅位于該像素點的最上部分，即熒光粉的上面，而相鄰像素點之間不存在鋁膜層；本發明中的復合電極結構中的鋁膜層和金屬電極層相互連接；本發明中的復合電極結構中絕緣層的上面在不影響顯示分辨率的前提下可以安裝支撐墻器件元件。
權利要求
1.一種帶有復合電極結構的平面發光顯示器，包括由陽極玻璃面板[1]、陰極玻璃面板[7]以及四周玻璃圍框[13]所構成的密封真空腔，設置在陰極玻璃面板[7]上的陰極電極層[8]以及印刷在陰極電極層[8]上面的碳納米管陰極[11]；用于控制電子發射的控制柵極[10]；支撐墻結構[12]以及附屬消氣劑[14]元件，其特征在于在陽極玻璃面板[1]上制作有提高陽極導電性能，確保外界電壓施加到器件中的復合電極結構。
2.如權利要求1所述的一種帶有復合電極結構的平面發光顯示器，其特征在于所述的復合電極結構包括設置在陽極玻璃面板[1]上的一層錫銦氧化物膜層[2]，在錫銦氧化物膜層[2]的上面存在著一個金屬電極層[3]，金屬電極層[3]包括兩部分，即第一部分為金屬鉻層，第二部分為金屬銀層，其中金屬鉻層的下面為錫銦氧化物膜層[2]，而金屬鉻層的上面為金屬銀層，在錫銦氧化物膜層[2]上印刷有熒光粉層[5]，相鄰錫銦氧化物膜層[2]之間以及同一錫銦氧化物膜層上的相鄰像素點之間設置有絕緣層[4]來進行相互隔離，在熒光粉層[5]的上面存在著一個鋁膜層[6]。
3.如權利要求2所述的一種帶有復合電極結構的平面發光顯示器，其特征在于絕緣層[4]為絕緣漿料層、二氧化硅層、聚酰亞胺層之一，絕緣層的上面在不影響顯示分辨率的前提下安裝支撐墻器件元件。
4.如權利要求2所述的一種帶有復合電極結構的平面發光顯示器，其特征在于在錫銦氧化物膜層上的兩側同時制作金屬電極層[3]。
5.如權利要求2所述的一種帶有復合電極結構的平面發光顯示器，其特征在于所述的復合電極結構的熒光粉層的上面存在著一個鋁膜層[6]；鋁膜層僅僅位于該像素點的最上部分，即熒光粉的上面，而相鄰像素點之間不存在鋁膜層；鋁膜層和金屬電極層相互連接。
6.一種帶有復合電極結構的平面發光顯示器的制作工藝，其特征在于A、復合電極結構包括基底材料玻璃[1]、錫銦氧化物膜層[2]、金屬電極層[3]、絕緣層[4]、熒光粉層[5]、鋁膜層[6]部分，并采用如下的工藝進行制作1)、基底材料玻璃[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行裁剪，制作出基底材料玻璃[1]，也就是陽極玻璃面板；2)、錫銦氧化物膜層[2]的制作在基底材料玻璃[1]的上面制備出錫銦氧化物膜層[2]；結合常規的光刻工藝，對錫銦氧化物膜層進行刻蝕，去掉多余的部分；3)、金屬電極層[3]的制作在錫銦氧化物膜層[2]的上面蒸鍍已經鉻金屬；結合常規的光刻工藝，對鉻金屬進行刻蝕，形成金屬電極層[3]的第一部分；結合絲網印刷工藝，在鉻金屬層的上面印刷一層銀漿，形成金屬電極層[3]的第二部分；經過烘烤，烘烤溫度180℃，保持時間10分鐘，之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結，燒結溫度580℃，保持時間10分鐘；金屬電極層[3]位于錫銦氧化物膜層[2]的兩側；4)、絕緣層[4]的制作結合絲網印刷工藝，在相鄰錫銦氧化物膜層[2]之間以及位于同一錫銦氧化物膜層上的相鄰像素點之間印刷絕緣漿料，形成絕緣層[4]；經過烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間5分鐘，之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結，燒結溫度590℃，保持時間10分鐘；5)、熒光粉[5]層的制作結合絲網印刷工藝，在錫銦氧化物膜層[2]的上面印刷熒光粉層[5]；在烘箱當中進行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘；6)、鋁膜[6]層的制作利用鍍膜機，在熒光粉層[5]的表面蒸鍍一層鋁膜[6]；要求鋁膜層僅僅位于該像素點的最上部分，而相鄰像素點之間不存在鋁膜層；要求每個像素點的上面的鋁膜層都和兩側的金屬電極層相互連接；7)、復合電極結構表面的清潔處理需要對復合電極結構表面進行清潔處理，除掉灰塵和雜質。B、陰極玻璃面板結構的制作1)陰極玻璃面板[7]的制作對整體鈉鈣平板玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板[7]；2)陰極電極層[8]的制作在整體平板鈉鈣平板玻璃上蒸鍍上一層錫銦氧化物膜層；結合常規的光刻工藝，對蒸鍍的錫銦氧化物膜層進行光刻，形成陰極導電條[8]，也就是陰極電極層[8]，3)絕緣層[9]的制作結合絲網印刷工藝，在平板鈉鈣玻璃上印刷絕緣漿料，形成絕緣層[9]；經過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘，之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結，燒結溫度580℃，保持時間10分鐘；在絕緣層[9]上預留有陰極孔；4)控制柵極電極層[10]的制作結合絲網印刷工藝，在絕緣層[9]上印刷銀漿，形成控制柵極電極層[10]；經過烘烤，烘烤溫度180℃，保持時間10分鐘，之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結，燒結溫度580℃，保持時間10分鐘；5)碳納米管陰極[11]的印刷結合絲網印刷工藝，將碳納米管[11]印刷在陰極導電條[8]的上面。6)碳納米管[11]陰極的后處理對印刷后的碳納米管[11]陰極進行后處理，以改善碳納米管的場發射特性，C、器件裝配將陽極玻璃面板[1]、陰極玻璃面板[7]、支撐墻結構[12]以及玻璃圍框[13]裝配到一起，并將消氣劑[14]放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定，D、成品制作對已經裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結爐當中進行高溫燒結；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發明涉及一種帶有復合電極結構的平面發光顯示器及其制作工藝，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板以及四周玻璃圍框所構成的密封真空腔，設置在陰極玻璃面板上的陰極電極層以及印刷在陰極電極層上面的碳納米管陰極，用于控制電子發射的控制柵極，支撐墻結構以及附屬消氣劑元件，在陽極玻璃面板上制作有提高陽極導電性能，確保外界電壓施加到器件中的復合電極結構，結構簡單、制作成品率高、穩定可靠、制作過程成本低廉的優點。
文檔編號H01J29/08GK1779891SQ20051004840
公開日2006年5月31日 申請日期2005年10月18日 優先權日2005年10月18日
發明者李玉魁 申請人:中原工學院