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一種新型結構的濾光片的制作方法

文檔序號:10877400閱讀(du):481來源:國知(zhi)局
一種新型結構的濾光片的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種新型結構的濾光片,包括由熔融石英玻璃制成的透光基片,在所述透光基片的上表面的一側設有第一鍍膜區,另一側設有第二鍍膜區,在所述第一鍍膜區上鍍制有紅外截止光膜,在所述第二鍍膜區上鍍制有全透光譜濾光膜,所述紅外截止光膜的厚度為3500nm,所述全透光譜濾光膜由依次鍍制的三層薄膜層疊組成,第一層薄膜厚度為1200nm,第二層薄膜厚度為1300nm,第三層薄膜的厚度為1000nm,所述第一、二、三層薄膜均為由五氧化二鉭和二氧化硅兩種不同折射率材料交替鍍膜組成的全介質薄膜層。本實用新型能同時實現在三峰值工作,同時能夠測量三組特征光譜信號,具有更加廣泛的工作范圍和更高的集成度、耐沖擊和抗震效果好。
【專利說明】
一種新型結構的濾光片
技術領域
[0001]本實用新型涉及濾光片技術領域,特別涉及到一種新型結構的濾光片。
【背景技術】
[0002]目前很多光電儀器設備采用光學濾光片作為采集信號的單色器,每次能夠檢測一個樣品特性項目,如果檢測其他項目則需要更換相應的濾光片。往往需要備置多組附件或者需要時間來更換新項目需要的濾光片組。不利于設備向便攜式,小型化發展。多峰值濾光片能夠同時檢測多組特定光譜信號,與單一的帶通或者窄帶光學濾光片比較,具有更多檢測通道,同時能夠測量多組特征光譜信號。
[0003]然而針對現有技術的不足,研發者有必要研制一種能同時實現在四峰值工作,同時能夠測量四組特征光譜信號,具有更加廣泛的工作范圍和更高的集成度、耐沖擊和抗震效果好的新型結構的濾光片。
【實用新型內容】
[0004]為解決現有技術存在的問題,本實用新型提供了一種能同時實現在三峰值工作,同時能夠測量三組特征光譜信號,具有更加廣泛的工作范圍和更高的集成度、耐沖擊和抗震效果好的新型結構的濾光片。
[0005]為解決以上技術問題,本實用新型采用以下技術方案來實現:
[0006]—種新型結構的濾光片,其特征在于,包括由熔融石英玻璃制成的透光基片,在所述透光基片的上表面的一側設有第一鍍膜區,另一側設有第二鍍膜區,在所述第一鍍膜區上鍍制有紅外截止光膜,在所述第二鍍膜區上鍍制有全透光譜濾光膜,所述紅外截止光膜的厚度為3500nm,所述全透光譜濾光膜由依次鍍制的三層薄膜層疊組成,第一層薄膜厚度為1200nm,第二層薄膜厚度為1300nm,第三層薄膜的厚度為lOOOnm,所述第一、二、三層薄膜均為由五氧化二鉭和二氧化硅兩種不同折射率材料交替鍍膜組成的全介質薄膜層。
[0007]與現有技術相比,本實用新型在透光基片的上表面的一側設有第一鍍膜區,另一側設有第二鍍膜區,并且在第一鍍膜區上設有紅外截止光膜,在第二鍍膜區上鍍制有全透光譜濾光膜,解決了雙濾光片中雙片厚度控制的問題,耐沖擊和抗震效果好,全透光譜濾光膜由依次鍍制的三層薄膜層疊組成,能同時實現在三峰值工作,同時能夠測量三組特征光譜信號,具有更加廣泛的工作范圍和更高的集成度的新型結構的濾光片。
【附圖說明】
[0008]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動的前提下,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0009]圖1為本實用新型的結構示意圖。
[0010]圖2為本實用新型的截面示意圖。
【具體實施方式】
[0011]為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解,下面結合具體圖示,進一步闡述本實用新型。
[0012]參照圖1和圖2所示,圖中給出的一種新型結構的濾光片,包括由熔融石英玻璃制成的透光基片100,
[0013]在透光基片100的一側表面的一側設有第一鍍膜區110,另一側設有第二鍍膜區120,在第一鍍膜區110上鍍制有紅外截止光膜210,在第二鍍膜區120上鍍制有全透光譜濾光膜220,紅外截止光膜220的厚度為3500nm,解決了雙濾光片中雙片厚度控制的問題,耐沖擊和抗震效果好。
[0014]全透光譜濾光膜220由依次鍍制的三層薄膜層疊組成,第一層薄膜223厚度為1200nm,第二層薄膜222厚度為1300nm,第三層薄膜223的厚度為lOOOnm,第一、二、三層薄膜均為由五氧化二鉭和二氧化硅兩種不同折射率材料交替鍍膜組成的全介質薄膜層,能同時實現在三峰值工作,同時能夠測量三組特征光譜信號,具有更加廣泛的工作范圍和更高的集成度的新型結構的濾光片。
[0015]綜上所述本實用新型在透光基片的上表面的一側設有第一鍍膜區,另一側設有第二鍍膜區,并且在第一鍍膜區上設有紅外截止光膜,在第二鍍膜區上鍍制有全透光譜濾光膜,解決了雙濾光片中雙片厚度控制的問題,耐沖擊和抗震效果好,全透光譜濾光膜由依次鍍制的三層薄膜層疊組成,能同時實現在三峰值工作,同時能夠測量三組特征光譜信號,具有更加廣泛的工作范圍和更高的集成度的新型結構的濾光片。
[0016]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解,本實用新型不受上述實施例的限制,上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理,在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下本實用新型還會有各種變化和改進,這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等同物界定。
【主權項】
1.一種新型結構的濾光片,其特征在于,包括由熔融石英玻璃制成的透光基片,在所述透光基片的上表面的一側設有第一鍍膜區,另一側設有第二鍍膜區,在所述第一鍍膜區上鍍制有紅外截止光膜,在所述第二鍍膜區上鍍制有全透光譜濾光膜,所述紅外截止光膜的厚度為3500nm,所述全透光譜濾光膜由依次鍍制的三層薄膜層疊組成,第一層薄膜厚度為1200nm,第二層薄膜厚度為1300nm,第三層薄膜的厚度為I OOOnm,所述第一、二、三層薄膜均為由五氧化二鉭和二氧化硅兩種不同折射率材料交替鍍膜組成的全介質薄膜層。
【文檔編號】G02B5/20GK205562858SQ201521140332
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2015年12月31日
【發明人】沈新良, 陳旭華, 陳曉團
【申請人】美德瑞光電科技(上海)有限公司
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