一種控制液體滴液量的裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種控制液體滴液量的裝置，在儲液罐頂部有進液管道和出液管道，出液管道滴液至均勻旋轉的光刻晶片表面，所述進液管道裝有調壓閥，出液管道裝有精密流量調節閥和流體截止閥、回液控制閥，儲液罐頂部還裝有卸壓閥，在儲液罐本體裝有液面顯示管，使出液管道滴出的液體流量達到0.05ml/滴。本實用新型的優點是，可應用于wafer光刻PG制程工藝，可以實現自動控制精確滴液量，減少二甲苯與人接觸的機會，從而減少了對人體的傷害，而且增加了產品的涂布均勻性和穩定性，極大改善了PG外觀缺陷，提升了產品品質及工藝穩定性。
【專利說明】
一種控制液體滴液量的裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及半導體領域wafer光刻制程中二甲苯滴液量控制的裝置。
【背景技術】
[0002]半導體硅片經擴散處理后表面比較干燥，在硅片表面涂覆一層參雜玻璃粉的光刻膠時，由于光刻膠粘度較高，加之參雜玻璃粉后，流動性會相應變差。在噴涂到硅片表面后不容易被均勻涂覆，目前狀態下就需要使用較多量的光刻膠來處理，造成了較多原材料浪費及wafer成本的增加。
[0003]目前采用人工方式使用沾有二甲苯的毛刷筆涂在wafer表面，但這種方式對人員要求較高，對人體傷害比較大，容易造成涂布不均勾，且毛刷筆上的particle極易對wafer產品造成二次污染。

【發明內容】

[0004]為解決前述存在的問題，本實用新型提供一種控制液體滴液量的裝置，在儲液罐頂部有進液管道和出液管道，出液管道滴液至均勻旋轉的光刻晶片表面，所述進液管道裝有調壓閥，出液管道裝有精密流量調節閥和流體截止閥、回液控制閥，儲液罐頂部還裝有卸壓閥，在儲液罐本體裝有液面顯示管，使出液管道滴出的液體流量達到0.05ml/滴。
[0005]所述精密流量調節閥通過管道與流體截止閥連接，流體截止閥通過管道與回收調節控制閥連接，回收調節控制閥安裝有回收速率調節閥。
[0006]本實用新型的優點是，具有相對通用性，可應用于rafer光刻PG制程工藝，可以實現自動控制精確滴液量，減少二甲苯與人接觸的機會，從而減少了對人體的傷害，而且增加了產品的涂布均勻性和穩定性，極大改善了 PG外觀缺陷，提升了產品品質及工藝穩定性。
【附圖說明】
[0007]附圖1是本實用新型的結構圖。
[0008]附圖2是精密流量調節閥和回液控制閥結構圖。
[0009]圖中標號說明:
[0010]1-儲液罐;2-儲液罐內液面顯示玻璃管;3-調壓閥;4-出液管道;5-卸壓閥;6-精密流量調節閥；7-流體截止閥、回液控制閥；8-基片;9-精密流量調節閥調節旋扭；10-帶壓力的進液管道;11-流體截止閥；12-帶鎖定的回液調節閥；13-回收液速率調節閥；14-出液管。
【具體實施方式】
[0011 ]請參閱附圖1、2所示，在儲液罐I頂部有進液管道和出液管道4，出液管道4滴液至均勻旋轉的光刻基片14表面，所述進液管道裝有調壓閥3，出液管道4裝有精密流量調節閥6和流體截止閥、回液控制閥7，流體截止閥11和回液控制閥是裝在一起的，儲液罐I頂部還裝有卸壓閥5，在儲液罐I本體裝有液面顯示管2，使出液管道滴出的液體流量達到0.05ml/滴。
[0012]所述精密流量調節閥6通過管道與流體截止閥11連接，流體截止閥11通過管道與回收調節控制閥12連接，回收調節控制閥12安裝有回收速率調節閥13。
[0013]本裝置可以實現精確控制二甲苯的滴液量的實用新型裝置，控制滴液量精度可達
0.05ml (I滴)，使滴在wafer表面的二甲苯量均勻穩定，極大改善之前手動在wafer表面涂拭二甲苯不均勻的問題，從而增加了產品的穩定性，實現了作業方式由manual到auto方式的轉變，提升了產品品質及降低人工成本。使用本實用新型裝置是可以有效防止PG(ph0t0resist & Glass)涂膠制程中Wafer表面氣泡的產生，增加了PG與wafer的浸潤力和附著力，從而減少PG燒結過程中氣泡爆裂時產生的玻璃孔洞、覆蓋不良、玻璃殘缺等一系列外觀問題的產生，改善了產品的玻璃外觀，穩定了品質。
[0014]通過調節精確流量控制閥達到精確控制二甲苯滴液量的目的；回吸控制閥用來精確及時回吸殘留滴出的二甲苯，防止過量的二甲苯的滴至wafer表面，從而達到穩定制程品質的目的，提尚廣品的可靠性和穩定性。
[0015]本裝置可以在涂覆PG之前預先在勻速旋轉的硅片表面滴定或噴霧2-3滴二甲苯的液量(精確度可以達到0.05ml/滴)，勻速旋轉的硅片會快速將二甲苯涂覆在er表面，這樣就可以使硅片表面達到預濕潤效果，從而可以獲得涂覆PG光刻膠時有較好的涂覆效果，并能夠提尚廣品性能及穩定性。
【主權項】
1.一種控制液體滴液量的裝置，在儲液罐頂部有進液管道和出液管道，出液管道滴液至均勻旋轉的光刻晶片表面，其特征在于，進液管道裝有調壓閥，出液管道裝有精密流量調節閥和流體截止閥、回液控制閥，使出液管道滴出的液體流量達到0.05ml/滴，儲液罐頂部還裝有卸壓閥，在儲液罐本體裝有液面顯示管。2.按權利要求1所述的一種控制液體滴液量的裝置，其特征在于，所述精密流量調節閥通過管道與流體截止閥連接，流體截止閥通過管道與回收調節控制閥連接，回收調節控制閥安裝有回收速率調節閥。
【文檔編號】G03F7/16GK205539920SQ201620116051
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年2月5日
【發明人】馬兆國, 蔡榮華, 黃建勛
【申請人】上海旭福電子有限公司, 敦南微電子（無錫）有限公司