曝光裝置的調整裝置及調整方法
【技術領域】
[0001] 本發明涉及一種曝光裝置及曝光方法，尤其是涉及一種曝光裝置的調整裝置及調 整方法。
【背景技術】
[0002] 平板顯示技術發展較快，尺寸越來越大。如果使用較大視場的物鏡進行曝光能夠 有效地提升產率。然而隨著物鏡光學系統視場的增大，設計及加工制造等各方面的難度都 會增加。使用相同的視場且大小適中的物鏡采用一定排列方式將多個視場拼接成所需的大 視場，根據所需視場大小來選擇拼接的個數，這樣既實現了大視場要求又降低了光學加工 制造難度同時具有很高的兼容性和靈活性。
[0003] 由于使用了多個子物鏡進行拼接，每個子物鏡由于自身的性能及裝配公差等成像 位置會與理論位置有偏差。同時由于較大的光罩會因重力產生變形，感光基板表面也會有 面型的誤差。因此為了能夠使每個視場都能夠成像在理想位置，每個物鏡單元都有獨自的 調整裝置來調整成像視場的位置以保證整個拼接視場的性能。
[0004] 掃描型曝光裝置有配置多個投影光學系統以使鄰接投影區域在掃描方向進行所 定量位移且使鄰接投影區域的各個端部在與掃描方向直交的方向重復，即所謂多透鏡方式 的掃描型曝光裝置（多透鏡掃描型曝光裝置）。多透鏡方式的掃描型曝光裝置是由多個狹 縫狀的照明區域來照明光罩、在對該照明區域的排列方向成直交的方向上同步掃描光罩和 感光基板、通過與多個照明區域的各個對應設置的該多個投影光學系統將設于光罩的圖案 曝光于感光基板上的裝置。
[0005] 專利JP2005331694A公開了一種曝光裝置，所述焦面調整功能通過直角反射鏡或 楔形平板組的平移來實現。直角反射鏡平移調整焦面會同時改變最佳物像面的位置，在焦 面調整的同時減小了焦深。楔形平板垂向平移調焦方式改變了兩片楔板間的距離將引起像 面Y方向的平移。此平移需要使用平行平板的旋轉來補償。像水平平移使用兩片平行平板 分別繞X、Y方向旋轉進行調整。三片半透鏡組組成的無焦光學系統任意一片移動調整倍 率，同時引入焦面變化，焦面變化需要調焦系統進行補償。
[0006] 專利US20020005940公開了一種曝光裝置，所述倍率調整功能通過兩片透鏡組成 的無焦光學系統的軸向平移來實現。所述焦面調整功能通過三片透鏡組成的無焦光學系統 平移來實現。兩片鏡片無焦光學系統平移調節倍率時會引起焦面變化，同樣的三片透鏡無 焦光學系統調節焦面時會引起倍率的變化。焦面和倍率調整裝置需要同時使用配合進行焦 面或倍率的調整。
[0007] 現有的焦面和倍率調整機裝置都是分離的，分別對倍率和焦面進行調節，且調整 會引入其他不期望出現的串擾，這些串擾需要使用其他裝置進行補償，因此調整過程較為 繁瑣。

【發明內容】

[0008] 本發明的目的在于提供一種同時或分別實現焦面、倍率和平移調整的調整裝置和 調整方法，且調整焦面、倍率和平移的同時不會引入其他變化。
[0009] 為了達到上述目的，本發明提供了一種調整裝置，為一無焦光學系統，其包括至少 一個楔形透鏡和多個光學透鏡。
[0010] 進一步地，所述調整裝置置于曝光裝置中，所述曝光裝置包括光源、光罩、感光基 板和所述調整裝置，所述光源照射光罩上的圖案成像，并通過所述調整裝置進行光路調整 后，投影曝光于所述感光基板上。
[0011] 進一步地，所述曝光裝置還包括至少一個戴森光學系統，所述光源照射光罩上的 圖案成像，經所述調整裝置和至少一個戴森光學系統曝光于所述感光基板上。
[0012] 進一步地，所述調整裝置置于戴森光學系統與光罩之間、多個戴森光學系統之間 或戴森光學系統與感光基板之間。
[0013] 進一步地，所述戴森光學系統包括直角反射鏡、透鏡和凹面反射鏡，光束經過直角 反射鏡反射，然后經過透鏡和凹面反射鏡進行反射，返回所述直角反射鏡，最后再由所述直 角反射鏡反射至另一戴森光學系統或感光基板上。
[0014] 進一步地，所述調整裝置置于直角反射鏡和透鏡之間。
[0015] 進一步地，所述調整裝置包括：
[0016] 第一楔形透鏡，具有第一斜面，及第一楔角；
[0017] 第一光學透鏡，具有第二斜面及相對的第一彎曲面，所述第二斜面靠近且平行上 述第一斜面，具有第一楔角，所述第一彎曲面具有第一曲率半徑；
[0018] 第二光學透鏡，具有第二彎曲面及相對的第三彎曲面，所述第二彎曲面靠近上述 第一彎曲面，具有與第一曲率半徑相同或者相近的第二曲率半徑，所述第三彎曲面具有第 二曲率半徑；
[0019] 第三光學透鏡，具有靠近所述第三彎曲面的第四彎曲面，具有與第三曲率半徑相 同或者相近的第四曲率半徑。
[0020] 進一步地，所述調整裝置的第一楔角的角度范圍為0.5°~10°。
[0021] 進一步地，所述調整裝置包括：
[0022] 第一楔形透鏡，具有第一斜面，及第一楔角；
[0023] 第一光學透鏡，具有第二斜面及相對的第一彎曲面，所述第二斜面靠近且平行上 述第一斜面，具有第一楔角，所述第一彎曲面具有第一曲率半徑；
[0024] 第二光學透鏡，具有第二彎曲面及相對的第三彎曲面，所述第二彎曲面靠近上述 第一彎曲面，具有與第一曲率半徑相同或者相近的第二曲率半徑，所述第三彎曲面具有第 二曲率半徑；
[0025] 第三光學透鏡，具有第四彎曲面及相對的第三斜面，所述第四彎曲面靠近上述第 三彎曲面，具有與第三曲率半徑相同或者相近的第四曲率半徑，所述第三斜面與第一斜面 平行，具有第二楔角；
[0026] 第二楔形透鏡，具有第四斜面，及第二楔角，所述第四斜面靠近上述第三斜面，且 與第一斜面平行。
[0027] 進一步地，所述調整裝置的第一楔角及第二楔角的角度范圍為0. 5°~10°。
[0028] 進一步地，所述調整裝置的第一曲率半徑、第二曲率半徑、第三曲率半徑和第四曲 率半徑的半徑范圍為200mm~2000mm。
[0029] 進一步地，所述調整裝置的鏡片材料使用紫外高透過率材料。
[0030] 本發明還提供了一種應用于調整裝置的調整方法，包括：
[0031 ] 焦面調整，所述焦面調整通過沿楔形透鏡的斜面方向移動楔形透鏡以實現焦面的 改變；
[0032] 倍率調整，所述倍率調整通過沿光軸方向移動光學透鏡以實現倍率的改變；
[0033] 平移調整，所述平移調整通過沿光路的水平方向或垂直方向旋轉調整裝置的整體 以平移調整像面位置；進一步地，所述調整裝置包括第一楔形透鏡、第一光學透鏡、第二光 學透鏡和第三光學透鏡，所述第一楔形透鏡具有第一斜面及第一楔角。
[0034] 進一步地，所述焦面調整通過沿所述第一斜面方向移動第一楔形透鏡以實現焦面 的改變。
[0035] 進一步地，所述倍率調整通過沿光軸方向移動所述第一光學透鏡、第二光學透鏡， 及第三光學透鏡中的一個或多個以實現倍率的改變。
[0036] 進一步地，所述倍率調整通過沿光軸方向移動所述第一光學透鏡、第二光學透鏡， 及第三光學透鏡中的一個或多個，同時沿第一斜面方向移動第一楔形透鏡，以實現無焦面 變化的倍率調整。
[0037] 進一步地，所述旋轉調整通過沿光軸方向旋轉第一楔形透鏡實現曝光圖案在感光 基板上的圖像位置相對旋轉。
[0038] 進一步地，所述調整裝置還包括第二楔形透鏡，所述第二楔形透鏡具有第四斜面 及第二楔角，且平行于第一斜面。
[0039] 進一步地，所述焦面調整通過沿所述第一斜面方向，相對移動所述第一楔形透鏡 或第二楔形透鏡以實現焦面的改變。
[0040] 進一步地，所述倍率調整通過沿光軸方向移動所述第一光學透鏡