本發明涉(she)及剝離液(ye)組(zu)(zu)合物(wu)，更詳細(xi)地(di)涉(she)及能(neng)夠有效地(di)去除(chu)固化的彩(cai)色光(guang)阻劑(colorresist)或(huo)有機系絕緣膜(mo)的彩(cai)色光(guang)阻劑或(huo)有機系絕緣膜(mo)剝離液(ye)組(zu)(zu)合物(wu)。
背景技術：
濾(lv)(lv)色(se)(se)器(colorfilter)可被(bei)安裝于(yu)互補金屬(shu)氧化物半導(dao)體(ti)(complementarymetaloxidesemiconductor，cmos)或(huo)電荷耦(ou)合器件(chargecoupleddevice，ccd)之(zhi)類的圖(tu)像(xiang)傳(chuan)感(gan)器的彩色(se)(se)攝(she)影(ying)裝置內(nei)而用于(yu)實際上獲得彩色(se)(se)圖(tu)像(xiang)。而且，除此之(zhi)外，還廣泛用于(yu)攝(she)影(ying)元件、等離子體(ti)顯(xian)示器面(mian)板(pdp)、液(ye)晶顯(xian)示裝置(lcd)、場發(fa)射顯(xian)示器(fel)和發(fa)光顯(xian)示器(led)等，其應(ying)用范圍正(zheng)在迅速擴大。尤其是，最(zui)近(jin)液(ye)晶顯(xian)示裝置(lcd)的用途進(jin)一步擴大，由此在再(zai)現液(ye)晶顯(xian)示裝置(lcd)的色(se)(se)調方面(mian)，濾(lv)(lv)色(se)(se)器被(bei)視為最(zui)重要的部件之(zhi)一。
濾(lv)色(se)器基板(ban)由(you)紅色(se)(r)、綠色(se)(g)和藍色(se)(b)圖案，起到阻(zu)擋各像素之間的(de)(de)漏光而(er)(er)提(ti)高對比度的(de)(de)作用的(de)(de)黑色(se)矩陣，以及對液晶單元施(shi)加(jia)電壓的(de)(de)共用電極構(gou)成(cheng)。這種濾(lv)色(se)器制造工序中(zhong)會不(bu)(bu)可避免(mian)地(di)發生彩色(se)光阻(zu)劑圖案的(de)(de)不(bu)(bu)良。但是(shi)構(gou)成(cheng)彩色(se)光阻(zu)劑的(de)(de)樹脂一旦固化則幾乎(hu)不(bu)(bu)可能僅去除并修(xiu)理(li)有(you)缺(que)陷的(de)(de)部分(fen)。特別是(shi)由(you)于沒(mei)有(you)能夠去除彩色(se)光阻(zu)劑的(de)(de)溶劑，因此劣質(zhi)濾(lv)色(se)器不(bu)(bu)會經過修(xiu)理(li)等維修(xiu)而(er)(er)大部分(fen)被廢棄處理(li)，從而(er)(er)存在生產性降低的(de)(de)問(wen)題。
另外，為(wei)了濾(lv)(lv)色器(qi)的(de)涂布(bu)而使(shi)用有機系絕緣(yuan)膜(mo)(mo)(mo)，濾(lv)(lv)色器(qi)的(de)rgb發生涂布(bu)不良(liang)或有機系絕緣(yuan)膜(mo)(mo)(mo)的(de)涂布(bu)不良(liang)時(shi)，如果代替廢(fei)棄濾(lv)(lv)色器(qi)而經過去(qu)除涂布(bu)不良(liang)面的(de)工(gong)序，則具有提高工(gong)序的(de)收率和(he)節約(yue)成本的(de)效果。因(yin)此，為(wei)了濾(lv)(lv)色器(qi)的(de)再(zai)利(li)用，要求(qiu)能夠(gou)去(qu)除rgb彩色光阻劑和(he)有機系絕緣(yuan)膜(mo)(mo)(mo)的(de)剝(bo)離液組合物。
韓國注(zhu)冊專利第10-1043397號公開了包含無機堿氫(qing)氧化物或烷(wan)基銨氫(qing)氧化物、二(er)(er)甲(jia)基亞砜、水溶(rong)性(xing)(xing)胺化合物、n-甲(jia)基吡咯烷(wan)酮(tong)、二(er)(er)亞烷(wan)基二(er)(er)醇醚、無機堿乙酸酯和余量的水的彩(cai)色光阻(zu)劑去除(chu)用(yong)剝離液(ye)組合物，但是不僅存在(zai)高溫工序(xu)時由于(yu)揮發而在(zai)長期使用(yong)時清(qing)除(chu)性(xing)(xing)降低的問題，而且還存在(zai)不能具有(you)(you)快速(su)去除(chu)彩(cai)色光阻(zu)劑和有(you)(you)機系(xi)絕(jue)緣(yuan)膜的效果。
現有技術文獻
專利文獻
專(zhuan)(zhuan)利(li)文(wen)獻(xian)1：韓國注冊專(zhuan)(zhuan)利(li)第10-1043397號
技術實現要素：
要解決的課題
本(ben)發明(ming)是為了(le)解決上述以往的技術(shu)問題而(er)提(ti)(ti)出(chu)的，其目(mu)的在于提(ti)(ti)供在將固化的彩(cai)色(se)(se)(se)光(guang)阻(zu)劑或(huo)有機(ji)系絕緣(yuan)膜(mo)剝(bo)離(li)時不引(yin)起配(pei)線(xian)的腐蝕并具有優(you)(you)異的剝(bo)離(li)清洗性的剝(bo)離(li)液組合(he)物。另外，提(ti)(ti)供隨處理張(zhang)數的光(guang)阻(zu)劑剝(bo)離(li)能力和溶解能力優(you)(you)異的彩(cai)色(se)(se)(se)光(guang)阻(zu)劑或(huo)有機(ji)系絕緣(yuan)膜(mo)剝(bo)離(li)液組合(he)物，從而(er)能夠進行(xing)濾色(se)(se)(se)器(qi)的再利用。
解決課題的方法
為了實現上(shang)述目(mu)的，本發明提供(gong)一種彩色光(guang)阻劑或有機系絕緣(yuan)膜剝離液組(zu)合物，其(qi)中，包(bao)含：
(a)無(wu)機堿或其(qi)鹽化(hua)合物、
(b)有機季銨堿(jian)(organicquaternaryammoniumhydroxide)、
(c)極(ji)性有(you)機(ji)溶劑、
(d)下述化(hua)學式1或化(hua)學式2的化(hua)合物、
(e)被c1～c6的烷氧基(ji)或c2～c6的環狀(zhuang)醚基(ji)取代且包含在主鏈含有或不含氧(-o-)的c1～c6的烷基(ji)的胺化(hua)合物、
(f)亞(ya)烷基二醇烷基醚、
(g)下述化學(xue)式3的肟系(xi)剝離促進劑、
(h)防腐蝕劑、和
(i)水。
<化學式1>
上述化(hua)學式1中，r1為(wei)c1～c6的(de)亞烷(wan)基(ji)(ji)或-r2-o-r3-，上述r2和r3各自獨立地為(wei)c1～c6的(de)亞烷(wan)基(ji)(ji)，n1和n2各自獨立地為(wei)1～6的(de)整數。
<化學(xue)式2>
上述化學式2中，x為
上述(shu)x中，*表示結合位點。
<化學式3>
上述化學式3中，r1和r2各自獨立地為氫、c1～c20的取代或未取代的脂肪族烴、c4～c20的取代或未取代的芳香族烴、或
上述芳香族烴(jing)包含(han)或不包含(han)雜原子，
上述r3為氫、c1～c20的取(qu)代(dai)(dai)或(huo)未(wei)取(qu)代(dai)(dai)的脂肪族(zu)烴、c4～c20的取(qu)代(dai)(dai)或(huo)未(wei)取(qu)代(dai)(dai)的芳香族(zu)烴。
發明效果
本發(fa)明(ming)的剝離液組合物用于去(qu)除(chu)濾色器(qi)的固化的rgb和/或(huo)有(you)機系絕緣膜，不引起下(xia)部(bu)配線的腐蝕并具有(you)優異的光阻(zu)劑剝離能力，從(cong)而在發(fa)生固化的彩色光阻(zu)劑圖案的不良時，能夠有(you)效(xiao)地將其去(qu)除(chu)。
另(ling)外，本發明(ming)的剝離液組合物不(bu)隨處理(li)張數而剝離能(neng)力降低，光阻(zu)劑溶解能(neng)力優異而能(neng)夠良(liang)好地維持性能(neng)，使設備內(nei)過濾(lv)器堵塞最小化(hua)，從而能(neng)夠提供(gong)工序的效率(lv)、經濟性的效果(guo)。
具體實施方式
一(yi)般來說，濾色器是將彩色光阻劑涂布于(yu)透明(ming)(ming)的(de)基材膜而(er)形(xing)成掩模圖(tu)(tu)案后，利用光刻(ke)工(gong)序形(xing)成彩色光阻劑圖(tu)(tu)案而(er)制造，此時(shi)，如(ru)果彩色光阻劑圖(tu)(tu)案發生不(bu)良，則進行將其(qi)去(qu)除而(er)重新(xin)得到透明(ming)(ming)的(de)基材膜的(de)再(zai)利用的(de)返工(gong)(rework)。
用于這種(zhong)返工工序的(de)(de)物質就是光阻劑(ji)(ji)剝(bo)離(li)(li)液(ye)(ye)組合物，以往(wang)的(de)(de)光阻劑(ji)(ji)剝(bo)離(li)(li)液(ye)(ye)組合物不僅難以具有沒有下部(bu)配線的(de)(de)損傷的(de)(de)優異的(de)(de)剝(bo)離(li)(li)能(neng)力(li)，而且存(cun)在經時(shi)的(de)(de)光阻劑(ji)(ji)剝(bo)離(li)(li)能(neng)力(li)、溶解能(neng)力(li)降低的(de)(de)問題。
本(ben)發明的(de)彩色(se)光阻劑(ji)(ji)或有(you)(you)機(ji)系(xi)絕緣膜剝離液組(zu)合物(wu)通過包含無機(ji)堿或其鹽(yan)化(hua)(hua)合物(wu)、有(you)(you)機(ji)季(ji)銨堿、極性有(you)(you)機(ji)溶(rong)劑(ji)(ji)、特定結構的(de)胺化(hua)(hua)合物(wu)和肟(wo)系(xi)化(hua)(hua)合物(wu)以(yi)及防(fang)腐(fu)蝕(shi)劑(ji)(ji)等，從而(er)(er)能(neng)(neng)夠(gou)提供不僅具(ju)有(you)(you)沒有(you)(you)配線的(de)損傷的(de)優(you)異的(de)剝離能(neng)(neng)力(li)，而(er)(er)且(qie)隨(sui)處理張數的(de)光阻劑(ji)(ji)剝離能(neng)(neng)力(li)和溶(rong)解(jie)能(neng)(neng)力(li)優(you)異的(de)效果。
本發明涉(she)及一種彩色光阻劑或(huo)有機系絕緣膜剝離(li)液組合物，其中，包含：
(a)無機堿或其鹽化合(he)物、
(b)有機季銨堿、
(c)極性有機溶劑(ji)、
(d)下述化學式(shi)1或化學式(shi)2的化合物、
(e)被(bei)c1～c6的烷氧(yang)基或c2～c6的環狀醚基取代(dai)且包含在主鏈可含有氧(yang)(-o-)的c1～c6的烷基的胺化合物、
(f)亞烷基(ji)二(er)醇烷基(ji)醚(mi)、
(g)下述化學式3的(de)肟系剝(bo)離促(cu)進劑、
(h)防腐蝕劑、和
(i)水。
<化學式1>
上(shang)述化(hua)學式1中，r1為c1～c6的(de)亞烷(wan)基或-r2-o-r3-，上(shang)述r2和(he)r3各自獨立(li)地為c1～c6的(de)亞烷(wan)基，n1和(he)n2各自獨立(li)地為1～6的(de)整數。
<化學式2>
上述化學式2中，x為
上述x中，*表示結(jie)合位點。
<化學式3>
上述化學式3中，r1和r2各自獨立地為氫、c1～c20的取代或未取代的脂肪族烴、c4～c20的取代或未取代的芳香族烴、或
上述(shu)芳香(xiang)族烴可包含雜原子，
上述(shu)r3為氫、c1～c20的(de)(de)(de)取代(dai)(dai)(dai)或(huo)未取代(dai)(dai)(dai)的(de)(de)(de)脂肪族烴、c4～c20的(de)(de)(de)取代(dai)(dai)(dai)或(huo)未取代(dai)(dai)(dai)的(de)(de)(de)芳香族烴。
下面，對各成分具(ju)體進行說明(ming)。
(a)無機堿或(huo)其鹽化合物
本發(fa)明的(de)(de)剝(bo)(bo)離液組合(he)物中所(suo)包含(han)的(de)(de)無機堿或其鹽(yan)化合(he)物發(fa)揮提(ti)高對光阻劑(ji)的(de)(de)剝(bo)(bo)離能(neng)力而(er)使得(de)(de)從基板的(de)(de)剝(bo)(bo)離變得(de)(de)容易(yi)的(de)(de)作用。
上(shang)述無(wu)機(ji)堿或其鹽化合物可以(yi)(yi)是包含鋰、鈉(na)(na)或鉀(jia)等的(de)化合物，作為更具體的(de)例子，可以(yi)(yi)是選自氫氧化鋰、氫氧化鈉(na)(na)、氫氧化鉀(jia)、碳酸(suan)(suan)(suan)鈉(na)(na)、碳酸(suan)(suan)(suan)鉀(jia)、碳酸(suan)(suan)(suan)氫鈉(na)(na)、碳酸(suan)(suan)(suan)氫鉀(jia)、硝酸(suan)(suan)(suan)鈉(na)(na)、硝酸(suan)(suan)(suan)鉀(jia)、硫(liu)酸(suan)(suan)(suan)鈉(na)(na)、硫(liu)酸(suan)(suan)(suan)鉀(jia)、硅酸(suan)(suan)(suan)鈉(na)(na)、硅酸(suan)(suan)(suan)鉀(jia)、乙(yi)酸(suan)(suan)(suan)鈉(na)(na)和乙(yi)酸(suan)(suan)(suan)鉀(jia)等中(zhong)的(de)一種以(yi)(yi)上(shang)，但不限(xian)于此。
上述無機堿或其鹽(yan)化(hua)(hua)合物(wu)的(de)含(han)量(liang)沒(mei)有特別限定，相對于剝離(li)液組合物(wu)總重(zhong)量(liang)，優選(xuan)包(bao)含(han)0.001～5重(zhong)量(liang)％，更優選(xuan)包(bao)含(han)0.02～2重(zhong)量(liang)％。無機堿或其鹽(yan)化(hua)(hua)合物(wu)的(de)含(han)量(liang)以上述基準(zhun)計小于0.001重(zhong)量(liang)％時，對于有機系絕緣膜的(de)剝離(li)能力提(ti)高效(xiao)果甚微(wei)，超過5重(zhong)量(liang)％時，隨著(zhu)含(han)量(liang)增加的(de)效(xiao)果甚微(wei)而(er)不經濟。
(b)有機季銨堿
本發(fa)(fa)明的(de)剝離液組合物中所包含的(de)有機季銨(an)堿發(fa)(fa)揮釋(shi)放氫氧離子(zi)(zi)(oh-)而(er)向(xiang)彩色高分(fen)子(zi)(zi)光阻劑(ji)內滲透(tou)，從而(er)促(cu)進高分(fen)子(zi)(zi)光阻劑(ji)的(de)溶解的(de)作用。
上(shang)(shang)述有機季銨(an)堿(jian)沒(mei)有特(te)別限定(ding)，作為具體例，可舉出四甲基氫(qing)氧化(hua)銨(an)(tetramethylammoniumhydroxide，tmah)、四乙(yi)基氫(qing)氧化(hua)銨(an)(tetraethylammoniumhydroxide，teah)、四丙基氫(qing)氧化(hua)銨(an)(tetrapropylammoniumhydroxide，tpah)和四丁基氫(qing)氧化(hua)銨(an)(tetrabutylammoniumhydroxide，tbah)等，可以(yi)使用(yong)選自其中的一(yi)種以(yi)上(shang)(shang)。
上(shang)述(shu)有(you)機季(ji)銨堿相對于本(ben)發(fa)明的(de)剝離(li)液組合(he)物(wu)總(zong)重(zhong)量(liang)(liang)優(you)選包含(han)1～20重(zhong)量(liang)(liang)％，更(geng)優(you)選包含(han)3～15重(zhong)量(liang)(liang)％。上(shang)述(shu)有(you)機季(ji)銨堿的(de)含(han)量(liang)(liang)小于1重(zhong)量(liang)(liang)％時，氫氧離(li)子向構(gou)成(cheng)彩色光(guang)阻劑的(de)高分(fen)子成(cheng)分(fen)的(de)滲透能力(li)降(jiang)低而(er)光(guang)阻劑清除(chu)性降(jiang)低，超過(guo)20重(zhong)量(liang)(liang)％時，為了(le)溶解而(er)需要(yao)過(guo)量(liang)(liang)的(de)水(shui)，由此其他成(cheng)分(fen)的(de)含(han)量(liang)(liang)相對減(jian)少(shao)，從而(er)對光(guang)阻劑溶解能力(li)可能減(jian)少(shao)。
(c)極性有機溶劑
本發明(ming)(ming)的(de)(de)剝(bo)離(li)液組(zu)合物中所包含的(de)(de)極(ji)性有機(ji)溶劑滲透(tou)光阻劑而增加溶脹性，從基板表(biao)面(mian)剝(bo)離(li)的(de)(de)能力。另外(wai)，提高本發明(ming)(ming)的(de)(de)剝(bo)離(li)液組(zu)合物對水(shui)(shui)的(de)(de)溶解能力，在(zai)其后的(de)(de)水(shui)(shui)洗工序中容易去(qu)除(chu)殘留物。
上(shang)述極性有機溶劑(ji)更優選為極性非質子(zi)有機溶劑(ji)，但不限于此。
作為上述(shu)極(ji)性有(you)機溶劑的具體例(li)，可以(yi)使(shi)用選自二甲(jia)基(ji)亞砜(feng)(dimethylsulfoxide)、二乙(yi)基(ji)亞砜(feng)(diethylsulfoxide)、二丙基(ji)亞砜(feng)(dipropylsulfoxide)、環丁砜(feng)(sulfolane)、n-甲(jia)基(ji)吡(bi)咯烷(wan)酮(n-methyl-2-pyrrolidone)、吡(bi)咯烷(wan)酮(pyrrolidone)和n-乙(yi)基(ji)吡(bi)咯烷(wan)酮(n-ethylpyrrolidone)等中的一種以(yi)上。
上(shang)(shang)述極性有機溶(rong)(rong)劑(ji)相對(dui)于(yu)本發明的剝離液組合物總(zong)重(zhong)(zhong)量優選包含(han)20～70重(zhong)(zhong)量％，更(geng)優選包含(han)25～65重(zhong)(zhong)量％。上(shang)(shang)述極性有機溶(rong)(rong)劑(ji)的含(han)量小于(yu)20重(zhong)(zhong)量％時，對(dui)光(guang)(guang)阻(zu)(zu)(zu)劑(ji)的溶(rong)(rong)脹(swelling)不足而難以(yi)完全去除光(guang)(guang)阻(zu)(zu)(zu)劑(ji)，對(dui)光(guang)(guang)阻(zu)(zu)(zu)劑(ji)的溶(rong)(rong)解能力(li)可能減少。另一方面(mian)，超過70重(zhong)(zhong)量％時，上(shang)(shang)述的有機季銨(an)堿和其他成分的含(han)量相對(dui)降低(di)，對(dui)光(guang)(guang)阻(zu)(zu)(zu)劑(ji)的滲透能力(li)可能減低(di)。
(d)下(xia)述化(hua)學式1或(huo)化(hua)學式2的化(hua)合物
本發明的剝(bo)離液組(zu)合物包含選自下(xia)述化(hua)(hua)學式(shi)(shi)1和(he)化(hua)(hua)學式(shi)(shi)2的化(hua)(hua)合物中(zhong)的一種以上的化(hua)(hua)合物。
<化(hua)學式1>
上述化學式1中，r1為c1～c6的亞(ya)烷(wan)基或(huo)-r2-o-r3-，上述r2和(he)r3各自(zi)獨立地為c1～c6的亞(ya)烷(wan)基，n1和(he)n2各自(zi)獨立地為1～6的整數。
<化學式2>
上述化學式2中，x為
本發明的(de)(de)(de)組合物中所包含的(de)(de)(de)上述化(hua)學(xue)式1或化(hua)學(xue)式2的(de)(de)(de)化(hua)合物對形成光阻劑(ji)的(de)(de)(de)樹(shu)脂(zhi)、尤其是對環氧(yang)樹(shu)脂(zhi)的(de)(de)(de)溶解(jie)性優異(yi)，因此(ci)能提(ti)高光阻劑(ji)的(de)(de)(de)剝(bo)離(li)能力，還能夠改(gai)善設備(bei)內濾色器的(de)(de)(de)堵塞。另外(wai)，使用(yong)熱和(he)化(hua)學(xue)穩定(ding)性高的(de)(de)(de)樹(shu)脂(zhi)的(de)(de)(de)紅色(r)、綠色(g)、藍(lan)色(b)和(he)白(bai)色(w)的(de)(de)(de)透明光阻劑(ji)的(de)(de)(de)情況(kuang)下(xia)，也能夠顯示(shi)優異(yi)的(de)(de)(de)光阻劑(ji)剝(bo)離(li)能力。
作(zuo)為(wei)上述化學(xue)式1的化合物的具(ju)體(ti)的例子，可(ke)舉出3,6-二(er)氧(yang)雜(za)-1,8-辛烷(wan)二(er)胺(an)、4,7-二(er)氧(yang)雜(za)癸烷(wan)-1,10-二(er)胺(an)、4,9-二(er)氧(yang)雜(za)十二(er)烷(wan)-1,12-二(er)胺(an)和4,7,10-三(san)氧(yang)雜(za)-1,13-十三(san)烷(wan)二(er)胺(an)等，可(ke)以(yi)使(shi)用選(xuan)自其中的一種以(yi)上。
作(zuo)為上(shang)(shang)述化(hua)學式2的(de)(de)化(hua)合(he)(he)物的(de)(de)優選的(de)(de)例子，可(ke)舉出在上(shang)(shang)述化(hua)學式2中m為1，r4為甲基，2個r5各自為氫或氨(an)基，n3為2～3、5～6、33～34或67～68的(de)(de)化(hua)合(he)(he)物。此時上(shang)(shang)述化(hua)合(he)(he)物的(de)(de)重均(jun)分子量可(ke)以(yi)為200～4000。
另外，可舉(ju)出m為(wei)3，r4為(wei)乙基，n3為(wei)1或(huo)2的(de)化合物(wu)，此時(shi)上(shang)述化合物(wu)的(de)重均分子量可以(yi)為(wei)300～500。它們可以(yi)各自單獨使用，或(huo)將兩種以(yi)上(shang)混合使用。
上述化學式(shi)1或化學式(shi)2的(de)化合物(wu)相(xiang)(xiang)對(dui)于本發明的(de)剝離液組合物(wu)總重(zhong)(zhong)(zhong)量(liang)優選(xuan)包含(han)(han)0.5～10重(zhong)(zhong)(zhong)量(liang)％，更優選(xuan)包含(han)(han)1～9重(zhong)(zhong)(zhong)量(liang)％。以(yi)上述基準計，含(han)(han)量(liang)小于0.5重(zhong)(zhong)(zhong)量(liang)％時，滲透(tou)至固化的(de)光阻(zu)劑內而產生的(de)切斷(duan)鍵的(de)力降低。另一方面，超(chao)過10重(zhong)(zhong)(zhong)量(liang)％時，有機(ji)季銨(an)堿和(he)極性有機(ji)溶劑的(de)含(han)(han)量(liang)相(xiang)(xiang)對(dui)地降低，因此光阻(zu)劑的(de)溶解(jie)能力可能減少。
(e)胺化合物
本(ben)發(fa)明(ming)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)阻(zu)劑剝離(li)液(ye)組合物中(zhong)所包(bao)含(han)的(de)(de)(de)胺(an)化(hua)合物是被(bei)c1～c6的(de)(de)(de)烷氧(yang)基(ji)或c2～c6的(de)(de)(de)環狀醚基(ji)取代且包(bao)含(han)在主(zhu)鏈可含(han)有氧(yang)(-o-)的(de)(de)(de)c1～c6的(de)(de)(de)烷基(ji)的(de)(de)(de)胺(an)化(hua)合物。上述胺(an)化(hua)合物包(bao)含(han)在光(guang)(guang)阻(zu)劑剝離(li)液(ye)組合物中(zhong)而發(fa)揮提(ti)高組合物的(de)(de)(de)堿性的(de)(de)(de)作用(yong)。另外，由(you)于與(yu)光(guang)(guang)阻(zu)劑的(de)(de)(de)分子結(jie)構類似而容易向光(guang)(guang)阻(zu)劑內滲(shen)透，因此(ci)能(neng)夠提(ti)高光(guang)(guang)阻(zu)劑的(de)(de)(de)剝離(li)能(neng)力(li)，由(you)此(ci)還能(neng)改善(shan)設備內的(de)(de)(de)堵塞現象(xiang)。
上述(shu)(shu)胺化(hua)合(he)物(wu)只要是(shi)被(bei)c1～c6的(de)(de)烷(wan)氧基(ji)或c2～c6的(de)(de)環狀(zhuang)醚基(ji)取代且(qie)包(bao)含在主鏈可(ke)含有(you)(you)氧(-o-)的(de)(de)c1～c6的(de)(de)烷(wan)基(ji)的(de)(de)胺化(hua)合(he)物(wu)，就沒(mei)有(you)(you)特別(bie)限(xian)定(ding)，作為具體例(li)，可(ke)舉出下述(shu)(shu)化(hua)學式5表示(shi)的(de)(de)化(hua)合(he)物(wu)。
<化學式5>
上述化學式5中，y為
r6、r7和(he)r9各(ge)自(zi)獨立地為氫、c1～c6的烷基(ji)，r8為c1～c6的烷氧基(ji)，上述烷氧基(ji)可以被c2～c6的環狀醚基(ji)或c1～c3的烷氧基(ji)取代，n為1至4的整(zheng)數。
在這里，*表示結(jie)合位點。
作(zuo)為上述(shu)胺(an)(an)化合物(wu)的更具體的例子，可(ke)舉(ju)出甲(jia)氧(yang)(yang)基(ji)(ji)(ji)乙胺(an)(an)、甲(jia)氧(yang)(yang)基(ji)(ji)(ji)丙(bing)(bing)胺(an)(an)、乙氧(yang)(yang)基(ji)(ji)(ji)丙(bing)(bing)胺(an)(an)、丙(bing)(bing)氧(yang)(yang)基(ji)(ji)(ji)乙胺(an)(an)、異丙(bing)(bing)氧(yang)(yang)基(ji)(ji)(ji)丙(bing)(bing)胺(an)(an)、甲(jia)氧(yang)(yang)基(ji)(ji)(ji)乙氧(yang)(yang)基(ji)(ji)(ji)丙(bing)(bing)胺(an)(an)、四(si)氫(qing)呋(fu)喃(nan)(nan)-2-基(ji)(ji)(ji)-甲(jia)烷胺(an)(an)、(四(si)氫(qing)呋(fu)喃(nan)(nan)-2-基(ji)(ji)(ji)-甲(jia)基(ji)(ji)(ji))丁(ding)烷-1-胺(an)(an)和甲(jia)基(ji)(ji)(ji)四(si)氫(qing)呋(fu)喃(nan)(nan)-2-基(ji)(ji)(ji)-甲(jia)烷胺(an)(an)等，可(ke)以(yi)(yi)使用選自其中的一種以(yi)(yi)上。
上(shang)述胺化(hua)(hua)合物(wu)相(xiang)對于本(ben)發明(ming)的(de)剝(bo)離液組合物(wu)總重(zhong)量(liang)(liang)優(you)(you)選包含1～30重(zhong)量(liang)(liang)％，可(ke)以更優(you)(you)選包含5～25重(zhong)量(liang)(liang)％。上(shang)述胺化(hua)(hua)合物(wu)的(de)含量(liang)(liang)小于1重(zhong)量(liang)(liang)％時，滲透(tou)至固化(hua)(hua)的(de)光(guang)阻劑(ji)內(nei)而產生的(de)切(qie)斷鍵的(de)力降(jiang)低，超過(guo)30重(zhong)量(liang)(liang)％時，有機季銨堿和極性有機溶劑(ji)的(de)含量(liang)(liang)相(xiang)對地降(jiang)低，從而光(guang)阻劑(ji)的(de)溶解能力有可(ke)能減少。
上述(shu)胺化(hua)(hua)合(he)(he)物與上述(shu)的(de)化(hua)(hua)學式(shi)1或(huo)化(hua)(hua)學式(shi)2的(de)化(hua)(hua)合(he)(he)物一同被包(bao)含在(zai)本發明的(de)剝離(li)液(ye)組(zu)合(he)(he)物中而提(ti)高(gao)(gao)光(guang)阻劑(ji)的(de)剝離(li)能力，能夠(gou)改(gai)善設備內過濾(lv)器的(de)堵(du)塞。另外，在(zai)使用熱和化(hua)(hua)學穩定性高(gao)(gao)的(de)樹脂的(de)紅(hong)色(r)、綠色(g)、藍色(b)和白色(w)的(de)透明光(guang)阻劑(ji)的(de)情況下，也(ye)發揮使光(guang)阻劑(ji)剝離(li)能力優(you)異的(de)作用。
(f)亞烷基(ji)二醇烷基(ji)醚(mi)
本發明的(de)(de)(de)剝離(li)液組合(he)物中所包含的(de)(de)(de)亞(ya)烷(wan)基二醇(chun)烷(wan)基醚發揮滲(shen)透(tou)到被固化的(de)(de)(de)樹脂的(de)(de)(de)高分子(zi)鏈中而切斷鏈的(de)(de)(de)作用(yong)，能夠提高光(guang)阻劑的(de)(de)(de)剝離(li)能力。
上(shang)述亞烷基(ji)二醇(chun)烷基(ji)醚沒(mei)有特別限(xian)定，可優選舉出(chu)下述化學式(shi)4的化合物(wu)。
<化(hua)學式4>
上述化學(xue)式4中，r1為c1～c5的亞烷(wan)基，r2至r3各自(zi)獨立地為c1～c6的烷(wan)基，n為1～5的整數。
作為(wei)上述(shu)亞烷(wan)基(ji)二(er)(er)醇(chun)烷(wan)基(ji)醚的具體例子，可舉出(chu)乙二(er)(er)醇(chun)二(er)(er)甲(jia)醚、二(er)(er)乙二(er)(er)醇(chun)二(er)(er)甲(jia)醚、二(er)(er)丙二(er)(er)醇(chun)二(er)(er)甲(jia)醚、三乙二(er)(er)醇(chun)二(er)(er)甲(jia)醚、乙二(er)(er)醇(chun)二(er)(er)乙醚、二(er)(er)乙二(er)(er)醇(chun)二(er)(er)乙醚和二(er)(er)乙二(er)(er)醇(chun)甲(jia)乙醚等，但不限于(yu)此，可以使用選(xuan)自其中的一種(zhong)以上。
上(shang)(shang)述亞(ya)烷基(ji)(ji)二(er)醇(chun)烷基(ji)(ji)醚相(xiang)對于本發明(ming)的(de)(de)剝(bo)離(li)液組(zu)合物總重(zhong)量(liang)(liang)優選包(bao)含(han)1～30重(zhong)量(liang)(liang)％，可(ke)(ke)以(yi)更優選包(bao)含(han)5～25重(zhong)量(liang)(liang)％。亞(ya)烷基(ji)(ji)二(er)醇(chun)烷基(ji)(ji)醚的(de)(de)含(han)量(liang)(liang)以(yi)上(shang)(shang)述基(ji)(ji)準(zhun)計小于1重(zhong)量(liang)(liang)％時(shi)，向光阻劑高分子內的(de)(de)滲透能(neng)力可(ke)(ke)能(neng)減小。另一方面(mian)，超過30重(zhong)量(liang)(liang)％時(shi)，沒有增量(liang)(liang)所帶來的(de)(de)效果的(de)(de)增加，因此不(bu)經(jing)濟(ji)，上(shang)(shang)述的(de)(de)有機季銨堿(jian)的(de)(de)溶解度降(jiang)低(di)，有可(ke)(ke)能(neng)使剝(bo)離(li)液組(zu)合物的(de)(de)相(xiang)穩定性(xing)(phasestability)降(jiang)低(di)。
(g)肟系(xi)剝(bo)離促進劑
本(ben)發明的剝離(li)液組合物(wu)包含下述化學式3的肟系剝離(li)促進劑。
<化學式3>
上述化學式3中，r1和r2各自獨立地為氫、c1～c20的取代或未取代的脂肪族烴、c4～c20的取代或未取代的芳香族烴、或
上述(shu)芳(fang)香族(zu)烴可以(yi)包含氮(dan)(n)等雜(za)原子，
上述r3為氫、c1～c20的(de)(de)取代(dai)(dai)或未取代(dai)(dai)的(de)(de)脂肪族(zu)烴、c4～c20的(de)(de)取代(dai)(dai)或未取代(dai)(dai)的(de)(de)芳(fang)香族(zu)烴。
作(zuo)為上述(shu)取代(dai)的取代(dai)基(ji)(ji)(ji)，可舉(ju)出(chu)選自(zi)羥基(ji)(ji)(ji)、芐(xia)基(ji)(ji)(ji)和苯基(ji)(ji)(ji)等中的一(yi)種以上。
上述化(hua)學(xue)式3的(de)肟系剝(bo)(bo)離(li)促進(jin)劑(ji)由于與光(guang)阻劑(ji)的(de)分子結構(gou)類似，容易(yi)向光(guang)阻劑(ji)內滲透，因(yin)此能(neng)夠進(jin)一步改善光(guang)阻劑(ji)的(de)剝(bo)(bo)離(li)能(neng)力，能(neng)夠顯示出優異的(de)剝(bo)(bo)離(li)持(chi)續性。
上述(shu)剝離促進(jin)劑沒有特別限定，例如(ru)可以(yi)使(shi)用(yong)選自α-苯(ben)偶姻(yin)肟(wo)(wo)(wo)、2-丁酮(tong)肟(wo)(wo)(wo)、二(er)甲(jia)基(ji)(ji)乙(yi)二(er)肟(wo)(wo)(wo)、二(er)苯(ben)基(ji)(ji)乙(yi)二(er)肟(wo)(wo)(wo)、苯(ben)乙(yi)酮(tong)肟(wo)(wo)(wo)、3-羥基(ji)(ji)-3-甲(jia)基(ji)(ji)-2-丁酮(tong)肟(wo)(wo)(wo)、吡啶-2-乙(yi)醛(quan)肟(wo)(wo)(wo)、丙酮(tong)肟(wo)(wo)(wo)、甲(jia)醛(quan)肟(wo)(wo)(wo)和環己酮(tong)肟(wo)(wo)(wo)等中的一(yi)種以(yi)上。更(geng)優(you)選地(di)，可以(yi)使(shi)用(yong)甲(jia)醛(quan)肟(wo)(wo)(wo)、二(er)甲(jia)基(ji)(ji)乙(yi)二(er)肟(wo)(wo)(wo)、二(er)苯(ben)基(ji)(ji)乙(yi)二(er)肟(wo)(wo)(wo)、2-丁酮(tong)肟(wo)(wo)(wo)或α-苯(ben)偶姻(yin)肟(wo)(wo)(wo)等。
上(shang)述剝(bo)離促進劑相對于本發明(ming)的剝(bo)離液組合物總重(zhong)(zhong)(zhong)量(liang)可(ke)以包含0.01～10重(zhong)(zhong)(zhong)量(liang)％，可(ke)以更優選(xuan)包含0.1～5重(zhong)(zhong)(zhong)量(liang)％。上(shang)述剝(bo)離促進劑的含量(liang)小于0.01重(zhong)(zhong)(zhong)量(liang)％時(shi)，光阻劑的剝(bo)離能力增進效果甚(shen)微(wei)，超(chao)過10重(zhong)(zhong)(zhong)量(liang)％時(shi)，增量(liang)所帶來的光阻劑剝(bo)離能力提高效果甚(shen)微(wei)而不經濟。
(h)防腐蝕劑
本(ben)發明的(de)(de)剝(bo)離液(ye)組合物包含防(fang)腐蝕(shi)(shi)劑，其(qi)提高防(fang)止金屬配(pei)線的(de)(de)腐蝕(shi)(shi)的(de)(de)能力。另外，在(zai)沖洗工序時，防(fang)止光阻劑殘留(liu)物的(de)(de)再吸(xi)附而提高沖洗能力。
上述防(fang)腐(fu)蝕劑(ji)沒有特別限定，例(li)如可(ke)舉(ju)出苯(ben)并(bing)(bing)(bing)三(san)唑(zuo)、甲(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)苯(ben)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)三(san)唑(zuo)、甲(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)甲(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)苯(ben)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)三(san)唑(zuo)、2,2’-[[[苯(ben)并(bing)(bing)(bing)三(san)唑(zuo)]甲(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]亞(ya)氨(an)(an)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]雙(shuang)(shuang)乙(yi)(yi)(yi)醇(chun)(chun)、2,2’-[[[甲(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)-1氫(qing)(qing)-苯(ben)并(bing)(bing)(bing)三(san)唑(zuo)-1-基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]甲(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]亞(ya)氨(an)(an)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]雙(shuang)(shuang)甲(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)醇(chun)(chun)、2,2’-[[[乙(yi)(yi)(yi)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)-1氫(qing)(qing)-苯(ben)并(bing)(bing)(bing)三(san)唑(zuo)-1-基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]甲(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]亞(ya)氨(an)(an)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]雙(shuang)(shuang)乙(yi)(yi)(yi)醇(chun)(chun)、2,2’-[[[甲(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)-1氫(qing)(qing)-苯(ben)并(bing)(bing)(bing)三(san)唑(zuo)-1-基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]甲(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]亞(ya)氨(an)(an)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]雙(shuang)(shuang)乙(yi)(yi)(yi)醇(chun)(chun)、2,2’-[[[甲(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)-1氫(qing)(qing)-苯(ben)并(bing)(bing)(bing)三(san)唑(zuo)-1-基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]甲(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]亞(ya)氨(an)(an)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]雙(shuang)(shuang)羧(suo)酸(suan)、2,2’-[[[甲(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)-1氫(qing)(qing)-苯(ben)并(bing)(bing)(bing)三(san)唑(zuo)-1-基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]甲(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]亞(ya)氨(an)(an)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]雙(shuang)(shuang)甲(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)胺和(he)2,2’-[[[胺-1氫(qing)(qing)-苯(ben)并(bing)(bing)(bing)三(san)唑(zuo)-1-基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]甲(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]亞(ya)氨(an)(an)基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)]二(er)乙(yi)(yi)(yi)醇(chun)(chun)等(deng)(deng)唑(zuo)系化合(he)物；1,2-苯(ben)醌、1,4-苯(ben)醌、1,4-萘(nai)醌和(he)蒽醌等(deng)(deng)醌系化合(he)物；鄰(lin)苯(ben)二(er)酚(fen)等(deng)(deng)鄰(lin)苯(ben)二(er)酚(fen)系化合(he)物；鄰(lin)苯(ben)三(san)酚(fen)、沒食子酸(suan)甲(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)酯(zhi)、沒食子酸(suan)丙酯(zhi)、沒食子酸(suan)十二(er)烷基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)酯(zhi)、沒食子酸(suan)辛(xin)酯(zhi)和(he)沒食子酸(suan)等(deng)(deng)沒食子酸(suan)烷基(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)酯(zhi)系化合(he)物等(deng)(deng)。它們(men)可(ke)以單獨使用(yong)或將兩種以上混合(he)使用(yong)。
上述防(fang)腐(fu)蝕劑相對于組合物(wu)總(zong)重(zhong)量可以優(you)選包(bao)含0.1～5重(zhong)量％。防(fang)腐(fu)蝕劑的(de)(de)含量小于0.1重(zhong)量％時(shi)，在剝離或(huo)(huo)去離子水(shui)沖洗工(gong)序中(zhong)可能發(fa)生(sheng)鋁或(huo)(huo)鋁合金(jin)(jin)和銅(tong)(tong)或(huo)(huo)銅(tong)(tong)合金(jin)(jin)等金(jin)(jin)屬配線的(de)(de)腐(fu)蝕，超過5重(zhong)量％時(shi)，可能發(fa)生(sheng)表面吸(xi)附(fu)導致的(de)(de)二次污染和剝離能力降低。
(i)水
本發(fa)明的(de)剝離液(ye)組合物(wu)中所(suo)包含的(de)水(shui)發(fa)揮提高(gao)無(wu)機堿(jian)或其鹽化合物(wu)的(de)活化和溶(rong)解度(du)而增加光阻劑的(de)去除速(su)度(du)，防止溶(rong)液(ye)內的(de)析出的(de)作用(yong)。另外，利用(yong)去離子水(shui)的(de)沖洗工序時，能夠使基板上殘留(liu)的(de)有機污(wu)染物(wu)和剝離液(ye)組合物(wu)快速(su)完全地(di)被去除。
上述水(shui)可以以本發(fa)明(ming)的剝離液組(zu)合(he)物(wu)總(zong)重量(liang)達(da)到100重量(liang)％的方式包含(han)余量(liang)。
上述水的(de)種(zhong)類沒有特別限(xian)定，但優選使用(yong)去(qu)離子水，可以更優選使用(yong)作為(wei)半導體工序用(yong)去(qu)離子水的(de)電阻(zu)率為(wei)18mω·cm以上的(de)水。
另(ling)外，本(ben)發明的彩(cai)色光阻(zu)劑或有機系絕緣膜剝(bo)離液組合物除了上述的成(cheng)分(fen)(fen)以外，還可以包含表面活性劑等成(cheng)分(fen)(fen)。
上(shang)述表(biao)面活性劑發揮加快高分(fen)子光阻劑在基板脫離吸(xi)附的速(su)度(du)的作用。
作為上述(shu)表(biao)(biao)面活(huo)性(xing)(xing)劑，可(ke)舉出在本領域通常使(shi)用(yong)的非離子(zi)性(xing)(xing)表(biao)(biao)面活(huo)性(xing)(xing)劑、陽離子(zi)性(xing)(xing)表(biao)(biao)面活(huo)性(xing)(xing)劑和陰離子(zi)性(xing)(xing)表(biao)(biao)面活(huo)性(xing)(xing)劑，它(ta)們可(ke)以各自(zi)單(dan)獨或混合使(shi)用(yong)。
下(xia)面，利用本發明(ming)的實(shi)施(shi)例(li)更(geng)詳細地說(shuo)明(ming)。但下(xia)述(shu)實(shi)施(shi)例(li)是用于例(li)示本發明(ming)，本發明(ming)的范圍并不(bu)限(xian)于下(xia)述(shu)實(shi)施(shi)例(li)。
<實施例和比(bi)較例>
實施例1～12和比較例1～10.彩色光阻劑或有機系絕緣膜剝離液組合物的制造
在下述表1中記(ji)載的成(cheng)分和(he)含量中混合(he)(he)余量的水來制造(zao)剝離液(ye)組合(he)(he)物(wu)。
[表1]
(重量％)
<實驗例(li)>剝離液組合物的(de)性能測定
實驗例1.剝離能力評價
為了(le)評(ping)價(jia)上述實(shi)施例(li)1～12和比較例(li)1～10的(de)剝離(li)液組(zu)合(he)物的(de)剝離(li)能力，進行了(le)如下實(shi)驗(yan)。
剝離能力評價使用涂布有(you)(you)有(you)(you)機(ji)(ji)系絕緣(yuan)膜、白色、紅色、綠(lv)色、藍色的(de)(de)光(guang)阻(zu)劑并固(gu)化的(de)(de)基(ji)板(ban)(ban)。在玻璃基(ji)板(ban)(ban)上以(yi)2μm左右的(de)(de)厚度(du)涂布有(you)(you)機(ji)(ji)系絕緣(yuan)膜和(he)光(guang)阻(zu)劑后，在100℃的(de)(de)烘箱(xiang)中預烘3分鐘后，經過曝光(guang)和(he)顯影(ying)工序形(xing)成(cheng)圖案(an)后，將形(xing)成(cheng)有(you)(you)圖案(an)的(de)(de)基(ji)板(ban)(ban)在220℃烘箱(xiang)中硬烘30分鐘而制造。
將(jiang)剝(bo)離液(ye)組合物的溫度恒定(ding)地維持在75℃，同時將(jiang)上述基板浸漬(zi)10分(fen)鐘，用(yong)去離子水(shui)清(qing)洗30秒后(hou)，用(yong)光(guang)學顯微鏡和(he)肉眼確認(ren)殘膜，并將(jiang)其結果示(shi)于下述表(biao)2。
<評價基準>
◎：100％的光阻劑和(he)有(you)機系絕緣膜被去(qu)除(chu)
○：80％以(yi)上的光阻劑和有(you)機(ji)系(xi)絕(jue)緣膜被去除(chu)
△：小(xiao)于80％的光阻劑(ji)和(he)有機(ji)系絕緣膜被去除
x：光阻劑和(he)有機系絕緣膜幾(ji)乎(hu)未被去除
實驗例2.隨處理張數的剝離能力評價
為了(le)評價上述實(shi)施例1～12和(he)比較例1～10的(de)剝離(li)液組合物的(de)隨處理張數的(de)剝離(li)能力，進行了(le)如下實(shi)驗。
關(guan)于隨處理張數的剝離能力評價，同樣(yang)使用在(zai)上述實驗(yan)例1中使用的有機系絕緣膜、白(bai)色(se)、紅色(se)、綠色(se)、藍色(se)的光阻劑并(bing)固化的基板。
使(shi)用將剝離液(ye)組合物的溫度恒定地維持在(zai)75℃，同(tong)時(shi)將上(shang)述基板一張(zhang)一張(zhang)地浸(jin)漬而剝離后連續浸(jin)漬的方法，在(zai)剝離時(shi)間超過1200秒時(shi)終止。按照下(xia)述評價基準，評價了與未包含剝離促進(jin)劑的制(zhi)品比較時(shi)的張(zhang)數增減(jian)率，并將其結(jie)果示于下(xia)述表2。
<評價(jia)基準(zhun)>
◎：+30％≤相對(dui)于未包含剝離促進劑(ji)的制品的張數增減率
○：+10％≤相對(dui)于未包(bao)含剝(bo)離促進劑的(de)制品的(de)張數增減(jian)率(lv)<+30％
△：-10％≤相對于未(wei)包含剝離促進劑的(de)制品的(de)張數增減率<+10％
x：相對于未包含剝(bo)離促進劑的(de)制品的(de)張數增減率(lv)<-10％
實驗例3.金屬配線損傷評價
為(wei)了評價上述實施(shi)例1～12和比較例1～10的(de)剝離液組合物對(dui)金屬配線的(de)損傷程度，進(jin)行了如下(xia)實驗。
使用(yong)(yong)蒸鍍結(jie)(jie)束(shu)至(zhi)cu/ti配(pei)線和鈍化(passivation)膜的基板，將光阻劑剝離(li)液組合物的溫度恒定地維持在(zai)75℃并浸(jin)漬上(shang)述基板。在(zai)浸(jin)漬后1小(xiao)時(shi)、2小(xiao)時(shi)、3小(xiao)時(shi)的各時(shi)間點取出2張，用(yong)(yong)光學顯微(wei)鏡(jing)確(que)認配(pei)線的損傷程度，將其結(jie)(jie)果示于下述表(biao)2。
<評價基(ji)準>
◎：下部配線(xian)損傷的個數為10個以(yi)下
○：下(xia)部配線損傷的個(ge)數超過10個(ge)且30個(ge)以下(xia)
△：下部(bu)配線損傷的個(ge)(ge)數超過30個(ge)(ge)且(qie)100個(ge)(ge)以下
x：下(xia)部(bu)配線損傷的(de)個數(shu)超過100個
實驗例4.剝離的光阻劑溶解能力評價
為(wei)了(le)評價上(shang)述實(shi)施例(li)(li)1～12和比較例(li)(li)1～10的(de)剝(bo)離液(ye)組合物的(de)溶解能力，進行了(le)如下(xia)實(shi)驗。
關于剝(bo)離的(de)(de)光(guang)(guang)阻劑溶解能(neng)力評價，使用涂布(bu)有有機系絕緣膜(mo)、白色(se)(se)、紅色(se)(se)、綠色(se)(se)、藍(lan)色(se)(se)的(de)(de)光(guang)(guang)阻劑并固化的(de)(de)基板(ban)。將剝(bo)離液組(zu)合物(wu)的(de)(de)溫度(du)恒定(ding)地維持在75℃，同(tong)時浸漬上述(shu)基板(ban)。剝(bo)離3張上述(shu)基板(ban)后開始用肉眼確認溶液中的(de)(de)剝(bo)離的(de)(de)光(guang)(guang)阻劑的(de)(de)溶解程度(du)，最(zui)多觀察至120分鐘。將其結(jie)果示于下述(shu)表2。
<評價基準>
◎：剝(bo)離的光(guang)阻劑(ji)的溶解(jie)時(shi)間為60分鐘(zhong)以內
○：剝離的光阻劑的溶解時間為90分鐘(zhong)以(yi)內
△：剝離(li)的光(guang)阻劑的溶解時(shi)間(jian)為120分鐘以內
x：剝離的(de)光阻劑的(de)溶解時間超過120分鐘
[表2]
如上(shang)述(shu)表2所示，確認了本發明的(de)(de)剝(bo)離(li)液(ye)組合物在固化(hua)的(de)(de)彩(cai)色光阻(zu)劑(ji)或有(you)機系絕緣膜剝(bo)離(li)時不引起配線(xian)的(de)(de)腐蝕，并顯示優異的(de)(de)剝(bo)離(li)能(neng)(neng)力。另外，確認了隨處(chu)理張數的(de)(de)剝(bo)離(li)能(neng)(neng)力和剝(bo)離(li)的(de)(de)光阻(zu)劑(ji)的(de)(de)溶解能(neng)(neng)力優異。
即，如果利(li)用本發明的剝(bo)離液組合物，則能(neng)夠滿(man)足隨處理張數的光阻劑剝(bo)離能(neng)力(li)(li)、溶解(jie)能(neng)力(li)(li)、防止(zhi)配線的腐蝕等所要求的全(quan)部特性(xing)，由此能(neng)夠有效地再利(li)用濾色器。