本發明屬于(yu)半導(dao)體技術領域，具體的(de)說是一(yi)種(zhong)涂膠顯影工藝(yi)模塊(kuai)及該模塊(kuai)內環境參數的(de)控(kong)制方法。

背景技術：

目前，大規模(mo)集成電路生產線上，涂膠顯影(ying)機的(de)(de)(de)工藝性(xing)能指標(biao)較(jiao)高(gao)，要實現高(gao)工藝性(xing)能的(de)(de)(de)技(ji)術指標(biao)，需要多方面控(kong)(kong)制各種(zhong)技(ji)術參(can)數，其中工藝模(mo)塊內環境參(can)數的(de)(de)(de)控(kong)(kong)制是一(yi)個(ge)重要的(de)(de)(de)方法。

涂膠顯影工藝模塊(kuai)內(nei)環(huan)(huan)境參數主要包括內(nei)環(huan)(huan)境的(de)氣流(liu)溫(wen)度、濕度，內(nei)環(huan)(huan)境的(de)氣流(liu)結構、速(su)度，內(nei)環(huan)(huan)境的(de)氣流(liu)中顆粒(li)度指標(biao)及氨(an)含量指標(biao)等(deng)。

大(da)規模(mo)集成(cheng)電路生(sheng)產線上的涂膠(jiao)顯影機是針對KrF及(ji)ArF光(guang)刻(ke)膠(jiao)進行(xing)離心涂覆(fu)及(ji)顯影工藝的實施，KrF及(ji)ArF光(guang)刻(ke)膠(jiao)對于周圍環(huan)境的溫(wen)度(du)、濕(shi)度(du)極為(wei)敏感，風(feng)流會對光(guang)刻(ke)膠(jiao)離心成(cheng)型(xing)產生(sheng)影響，顆粒度(du)影響膠(jiao)膜電路的合(he)格(ge)率，氨含量影響膠(jiao)膜電路的成(cheng)型(xing)質量。

技術實現要素：

針對上述問題，本發明的(de)目的(de)在(zai)于提供一種涂(tu)膠顯(xian)影(ying)工(gong)藝(yi)模塊(kuai)及該模塊(kuai)內環境參數的(de)控制方法(fa)。該控制方法(fa)保障大規模集成電路生(sheng)產(chan)線上涂(tu)膠顯(xian)影(ying)機的(de)高工(gong)藝(yi)性能指標的(de)實現。

為了實現(xian)上述目(mu)的，本發明采(cai)用以下技術方案：

一種涂(tu)膠(jiao)(jiao)顯(xian)影(ying)(ying)(ying)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝模塊，包括涂(tu)膠(jiao)(jiao)顯(xian)影(ying)(ying)(ying)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝模塊箱(xiang)體、離(li)心涂(tu)膠(jiao)(jiao)顯(xian)影(ying)(ying)(ying)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝腔體、供風系統(tong)(tong)及排風系統(tong)(tong)，其中(zhong)涂(tu)膠(jiao)(jiao)顯(xian)影(ying)(ying)(ying)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝模塊箱(xiang)體為封閉式結構，其內部(bu)(bu)設有所(suo)(suo)述離(li)心涂(tu)膠(jiao)(jiao)顯(xian)影(ying)(ying)(ying)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝腔體，所(suo)(suo)述涂(tu)膠(jiao)(jiao)顯(xian)影(ying)(ying)(ying)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝模塊箱(xiang)體的(de)頂部(bu)(bu)設有大截(jie)(jie)面(mian)氣流導入口(kou)(kou)，底(di)部(bu)(bu)設有多個(ge)離(li)心腔體周邊(bian)小(xiao)(xiao)截(jie)(jie)面(mian)氣流導出(chu)口(kou)(kou)，所(suo)(suo)述離(li)心涂(tu)膠(jiao)(jiao)顯(xian)影(ying)(ying)(ying)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝腔體的(de)底(di)部(bu)(bu)設有多個(ge)離(li)心腔體小(xiao)(xiao)截(jie)(jie)面(mian)氣流導出(chu)口(kou)(kou)，所(suo)(suo)述大截(jie)(jie)面(mian)氣流 導入口(kou)(kou)與(yu)供風系統(tong)(tong)連接，所(suo)(suo)述離(li)心腔體周邊(bian)小(xiao)(xiao)截(jie)(jie)面(mian)氣流導出(chu)口(kou)(kou)和離(li)心腔體小(xiao)(xiao)截(jie)(jie)面(mian)氣流導出(chu)口(kou)(kou)均與(yu)排風系統(tong)(tong)連接，所(suo)(suo)述涂(tu)膠(jiao)(jiao)顯(xian)影(ying)(ying)(ying)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝模塊箱(xiang)體內的(de)氣流呈現由(you)上向(xiang)下的(de)流動狀(zhuang)態(tai)。

所述大截面氣(qi)流(liu)導入口處設有(you)(you)顆粒(li)過濾(lv)網，所述顆粒(li)過濾(lv)網的下方設有(you)(you)位于所述涂(tu)膠顯(xian)影工藝(yi)模(mo)塊箱體內(nei)的溫濕度(du)檢測(ce)元件，所述溫濕度(du)檢測(ce)元件與所述供風系統電連(lian)接。

所述供風(feng)系統包括溫濕(shi)度風(feng)供應裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)、氣流導入(ru)管道及化學品過(guo)濾網，其中溫濕(shi)度風(feng)供應裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)通過(guo)氣流導入(ru)管道與(yu)所述大截面氣流導入(ru)口(kou)連接，所述所述溫濕(shi)度風(feng)供應裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)與(yu)所述溫濕(shi)度檢測(ce)元(yuan)件(jian)電連接，所述溫濕(shi)度風(feng)供應裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)的供風(feng)口(kou)處(chu)設有化學品過(guo)濾網。

所(suo)述(shu)排風系統(tong)包括(kuo)吸(xi)抽風裝置、吸(xi)抽風管(guan)道(dao)開(kai)關閥門、離(li)(li)心(xin)(xin)(xin)腔(qiang)(qiang)體(ti)內氣(qi)(qi)(qi)流(liu)導出(chu)管(guan)道(dao)及(ji)離(li)(li)心(xin)(xin)(xin)腔(qiang)(qiang)體(ti)周(zhou)(zhou)邊(bian)氣(qi)(qi)(qi)流(liu)導出(chu)管(guan)道(dao)，其中吸(xi)抽風裝置通過離(li)(li)心(xin)(xin)(xin)腔(qiang)(qiang)體(ti)內氣(qi)(qi)(qi)流(liu)導出(chu)管(guan)道(dao)和(he)離(li)(li)心(xin)(xin)(xin)腔(qiang)(qiang)體(ti)周(zhou)(zhou)邊(bian)氣(qi)(qi)(qi)流(liu)導出(chu)管(guan)道(dao)分別(bie)與所(suo)述(shu)離(li)(li)心(xin)(xin)(xin)腔(qiang)(qiang)體(ti)小(xiao)(xiao)截面氣(qi)(qi)(qi)流(liu)導出(chu)口和(he)所(suo)述(shu)離(li)(li)心(xin)(xin)(xin)腔(qiang)(qiang)體(ti)周(zhou)(zhou)邊(bian)小(xiao)(xiao)截面氣(qi)(qi)(qi)流(liu)導出(chu)口連接，所(suo)述(shu)離(li)(li)心(xin)(xin)(xin)腔(qiang)(qiang)體(ti)內氣(qi)(qi)(qi)流(liu)導出(chu)管(guan)道(dao)和(he)離(li)(li)心(xin)(xin)(xin)腔(qiang)(qiang)體(ti)周(zhou)(zhou)邊(bian)氣(qi)(qi)(qi)流(liu)導出(chu)管(guan)道(dao)上(shang)均設有吸(xi)抽風管(guan)道(dao)開(kai)關閥門。

所述離(li)心腔(qiang)體內氣流導出(chu)管(guan)道(dao)和離(li)心腔(qiang)體周邊氣流導出(chu)管(guan)道(dao)上均設有氣流節流調整(zheng)裝置。

一種(zhong)涂膠(jiao)顯(xian)影工(gong)藝模塊(kuai)(kuai)內(nei)(nei)環境參(can)數(shu)的(de)(de)控制(zhi)方法(fa)，封閉的(de)(de)涂膠(jiao)顯(xian)影工(gong)藝模塊(kuai)(kuai)箱體(ti)(ti)(ti)的(de)(de)頂部(bu)設有(you)大(da)截面(mian)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)導入口，底部(bu)設有(you)多個離心腔(qiang)體(ti)(ti)(ti)周邊小(xiao)截面(mian)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)導出口和多個離心腔(qiang)體(ti)(ti)(ti)小(xiao)截面(mian)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)導出口，流(liu)(liu)進(jin)涂膠(jiao)顯(xian)影工(gong)藝模塊(kuai)(kuai)箱體(ti)(ti)(ti)內(nei)(nei)的(de)(de)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)流(liu)(liu)量大(da)于(yu)流(liu)(liu)出涂膠(jiao)顯(xian)影工(gong)藝模塊(kuai)(kuai)箱體(ti)(ti)(ti)的(de)(de)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)流(liu)(liu)量，氣(qi)(qi)流(liu)(liu)呈現(xian)由上向下的(de)(de)流(liu)(liu)動狀態，通過控制(zhi)導入氣(qi)(qi)流(liu)(liu)的(de)(de)流(liu)(liu)速、顆粒(li)度(du)(du)、氨含量及溫度(du)(du)和濕度(du)(du)參(can)數(shu)，實(shi)現(xian)涂膠(jiao)顯(xian)影工(gong)藝的(de)(de)性能(neng)指(zhi)標。

所(suo)述(shu)涂(tu)膠顯影工藝模塊(kuai)箱(xiang)體上部(bu)的(de)大(da)截面(mian)氣流導入(ru)口下方設(she)有溫(wen)濕(shi)度(du)檢測元(yuan)件，所(suo)述(shu)溫(wen)濕(shi)度(du)檢測元(yuan)件與供風系統的(de)控制(zhi)模塊(kuai)形(xing)成(cheng)閉環(huan)控制(zhi)，實現氣流的(de)溫(wen)度(du)和濕(shi)度(du)參數的(de)閉環(huan)控制(zhi)。

所述涂膠顯影工藝模塊箱體內導入(ru)氣(qi)(qi)流的(de)(de)(de)(de)流速控制通(tong)過(guo)(guo)調(diao)整(zheng)供風系統的(de)(de)(de)(de)供風流量來實(shi)現(xian)(xian)，導入(ru)氣(qi)(qi)流的(de)(de)(de)(de)顆粒度控制通(tong)過(guo)(guo)調(diao)整(zheng)大截(jie)面氣(qi)(qi)流導入(ru)口處的(de)(de)(de)(de)顆粒過(guo)(guo)濾(lv)網的(de)(de)(de)(de)網孔尺(chi)寸規格來實(shi)現(xian)(xian)，導入(ru)氣(qi)(qi)流的(de)(de)(de)(de)氨含量控制通(tong)過(guo)(guo)調(diao)整(zheng)溫(wen)濕度風供應裝置內化(hua)學品過(guo)(guo)濾(lv)網的(de)(de)(de)(de)吸(xi)收(shou)氨材料成分(fen)來實(shi)現(xian)(xian)。

所述(shu)離(li)心(xin)腔體(ti)內氣(qi)流(liu)(liu)(liu)導(dao)出(chu)(chu)(chu)管(guan)道和離(li)心(xin)腔體(ti)周邊氣(qi)流(liu)(liu)(liu)導(dao)出(chu)(chu)(chu)管(guan)道上均設(she)有吸(xi)抽風管(guan)道開關閥(fa)門和氣(qi)流(liu)(liu)(liu)節流(liu)(liu)(liu)調(diao)整裝置，所述(shu)吸(xi)抽風管(guan)道開關閥(fa)門用(yong)于(yu)導(dao)出(chu)(chu)(chu)氣(qi)流(liu)(liu)(liu)的(de)時序控制，所述(shu)氣(qi)流(liu)(liu)(liu)節流(liu)(liu)(liu)調(diao)整裝置用(yong)于(yu)導(dao)出(chu)(chu)(chu)氣(qi)流(liu)(liu)(liu)的(de)流(liu)(liu)(liu)量控制。

所述涂膠顯(xian)影工藝(yi)模(mo)塊(kuai)箱(xiang)體內的氣流壓(ya)力(li)大于外(wai)界氣流壓(ya)力(li)，使(shi)得外(wai)界環境氣流不能侵入(ru)涂膠顯(xian)影工藝(yi)模(mo)塊(kuai)箱(xiang)體內。

本發明具有(you)以下優點及(ji)有(you)益效果：

1.本發明在進行KrF及(ji)ArF光刻膠(jiao)的(de)離心涂覆及(ji)顯影工藝(yi)的(de)實施時(shi)，對于影響工藝(yi)性能(neng)指標的(de)工藝(yi)模塊內環(huan)境參數進行有(you)效控制，就(jiu)可以大大提高產品的(de)良率(lv)。

2.本發(fa)明(ming)的工藝模塊(kuai)(kuai)(kuai)內(nei)環境(jing)參(can)數的控(kong)制方法，可以(yi)同時施用于(yu)多(duo)個(ge)工藝模塊(kuai)(kuai)(kuai)，對于(yu)一(yi)個(ge)機臺多(duo)個(ge)工藝模塊(kuai)(kuai)(kuai)來講，可以(yi)提高各個(ge)模塊(kuai)(kuai)(kuai)受內(nei)環境(jing)參(can)數影響的工藝性能(neng)一(yi)致性，從而提高機臺的性能(neng)技術指標。

附圖說明

圖1是本發明涂膠顯影工(gong)藝模塊的結構示(shi)意圖；

圖(tu)2是(shi)本發明涂膠顯影工藝模塊內環境參(can)數的控(kong)制示意(yi)圖(tu)。

其中，1為(wei)(wei)涂(tu)膠(jiao)顯(xian)影(ying)工(gong)藝模塊箱體(ti)，2為(wei)(wei)離(li)心涂(tu)膠(jiao)顯(xian)影(ying)工(gong)藝腔體(ti)，3為(wei)(wei)待涂(tu)膠(jiao)顯(xian)影(ying)的晶圓，4為(wei)(wei)溫濕(shi)(shi)度檢測元件，5為(wei)(wei)顆粒過濾(lv)網，6為(wei)(wei)大截面氣(qi)流導(dao)入口(kou)，7為(wei)(wei)氣(qi)流導(dao)入管道，8為(wei)(wei)化(hua)學(xue)品(pin)過濾(lv)網，9為(wei)(wei)溫濕(shi)(shi)度風供應裝(zhuang)置(zhi)，10為(wei)(wei)吸抽風裝(zhuang)置(zhi)，11為(wei)(wei)吸抽風管道開關(guan)閥門(men)，12為(wei)(wei)離(li)心腔體(ti)周邊小截面氣(qi)流導(dao)出(chu)(chu)口(kou)，13為(wei)(wei)離(li)心腔體(ti)小截面氣(qi)流導(dao)出(chu)(chu)口(kou)，14為(wei)(wei)離(li)心腔體(ti)內氣(qi)流導(dao)出(chu)(chu)管道，15為(wei)(wei)離(li)心腔體(ti)周邊氣(qi)流導(dao)出(chu)(chu)管道。

具體實施方式

下面結(jie)合附圖對本(ben)發明(ming)(ming)作進(jin)一步的詳細(xi)說明(ming)(ming)。

如圖1所(suo)(suo)(suo)示，本發明提(ti)供(gong)的(de)(de)一(yi)種涂(tu)膠(jiao)(jiao)顯(xian)(xian)(xian)(xian)影(ying)(ying)工藝(yi)模塊(kuai)，包括涂(tu)膠(jiao)(jiao)顯(xian)(xian)(xian)(xian)影(ying)(ying)工藝(yi)模塊(kuai)箱(xiang)(xiang)體(ti)(ti)(ti)(ti)1、離(li)心(xin)(xin)涂(tu)膠(jiao)(jiao)顯(xian)(xian)(xian)(xian)影(ying)(ying)工藝(yi)腔(qiang)(qiang)體(ti)(ti)(ti)(ti)2、供(gong)風(feng)系統(tong)及排風(feng)系統(tong)，其中涂(tu)膠(jiao)(jiao)顯(xian)(xian)(xian)(xian)影(ying)(ying)工藝(yi)模塊(kuai)箱(xiang)(xiang)體(ti)(ti)(ti)(ti)1為(wei)封閉(bi)式結構(gou)，保證該封閉(bi)結構(gou)箱(xiang)(xiang)體(ti)(ti)(ti)(ti)內流(liu)(liu)動(dong)的(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)壓(ya)力(li)略大(da)于(yu)外界氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)壓(ya)力(li)，這(zhe)樣就使得外界環(huan)境氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)不能(neng)侵入箱(xiang)(xiang)體(ti)(ti)(ti)(ti)內，允(yun)許有較小部(bu)分氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)從箱(xiang)(xiang)體(ti)(ti)(ti)(ti)的(de)(de)縫隙中泄漏(lou)。所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)涂(tu)膠(jiao)(jiao)顯(xian)(xian)(xian)(xian)影(ying)(ying)工藝(yi)模塊(kuai)箱(xiang)(xiang)體(ti)(ti)(ti)(ti)1的(de)(de)內部(bu)設有所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)離(li)心(xin)(xin)涂(tu)膠(jiao)(jiao)顯(xian)(xian)(xian)(xian)影(ying)(ying)工藝(yi)腔(qiang)(qiang)體(ti)(ti)(ti)(ti)2，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)涂(tu)膠(jiao)(jiao)顯(xian)(xian)(xian)(xian)影(ying)(ying)工藝(yi)模塊(kuai)箱(xiang)(xiang)體(ti)(ti)(ti)(ti)1的(de)(de)頂部(bu)設有大(da)截(jie)(jie)面(mian)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)導入口(kou)(kou)6，底部(bu)設有多(duo)個(ge)離(li)心(xin)(xin)腔(qiang)(qiang)體(ti)(ti)(ti)(ti)周邊小截(jie)(jie)面(mian)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)導出口(kou)(kou)12，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)離(li)心(xin)(xin)涂(tu)膠(jiao)(jiao)顯(xian)(xian)(xian)(xian)影(ying)(ying)工藝(yi)腔(qiang)(qiang)體(ti)(ti)(ti)(ti)2的(de)(de)底部(bu)設有多(duo)個(ge)離(li)心(xin)(xin)腔(qiang)(qiang)體(ti)(ti)(ti)(ti)小截(jie)(jie)面(mian)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)導出口(kou)(kou)13，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)大(da)截(jie)(jie)面(mian)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)導入口(kou)(kou)6與(yu)供(gong)風(feng)系統(tong)連(lian)接(jie)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)離(li)心(xin)(xin)腔(qiang)(qiang)體(ti)(ti)(ti)(ti)周邊小截(jie)(jie)面(mian)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)導出口(kou)(kou)12和離(li)心(xin)(xin)腔(qiang)(qiang)體(ti)(ti)(ti)(ti)小截(jie)(jie)面(mian)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)導出口(kou)(kou)13均與(yu)排風(feng)系統(tong)連(lian)接(jie)。封閉(bi)的(de)(de)涂(tu)膠(jiao)(jiao)顯(xian)(xian)(xian)(xian)影(ying)(ying)工藝(yi)模塊(kuai)箱(xiang)(xiang)體(ti)(ti)(ti)(ti)1內環(huan)境氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)結構(gou)是(shi)下壓(ya)式分布，導入氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)的(de)(de)溫度、濕度、流(liu)(liu)速(su)、顆粒度及氨含量是(shi)可控的(de)(de)，導出氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)的(de)(de)流(liu)(liu)量和開關時序(xu)參數是(shi)可程控的(de)(de)。

所述大(da)截面氣流導入口6處設(she)(she)有(you)顆(ke)(ke)粒(li)過濾(lv)網5，所述顆(ke)(ke)粒(li)過濾(lv)網5的下方設(she)(she)有(you)位于所述涂膠顯影工藝(yi)模塊箱體1內的溫濕度檢測元(yuan)件(jian)(jian)4，所述溫濕度檢測元(yuan)件(jian)(jian)4與(yu)所述供風系統電連接。

所(suo)述(shu)(shu)供(gong)風(feng)(feng)系(xi)統包括溫(wen)濕(shi)度(du)風(feng)(feng)供(gong)應(ying)(ying)裝(zhuang)置9、氣流導入(ru)管道(dao)7及化學(xue)品過濾網(wang)(wang)8，其中溫(wen)濕(shi)度(du)風(feng)(feng)供(gong)應(ying)(ying)裝(zhuang)置9通過氣流導入(ru)管道(dao)7與所(suo)述(shu)(shu)大截面(mian)氣流導入(ru)口6連(lian)接，所(suo)述(shu)(shu)所(suo)述(shu)(shu)溫(wen)濕(shi)度(du)風(feng)(feng)供(gong)應(ying)(ying)裝(zhuang)置9與所(suo)述(shu)(shu)溫(wen)濕(shi)度(du)檢測元件4電連(lian)接。所(suo)述(shu)(shu)溫(wen)濕(shi)度(du)風(feng)(feng)供(gong)應(ying)(ying)裝(zhuang)置9的供(gong)風(feng)(feng)口處設有化學(xue)品過濾網(wang)(wang)8。

所述排風系統包(bao)括(kuo)吸抽風裝(zhuang)置10、吸抽風管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)(dao)(dao)開關(guan)閥(fa)門(men)11、離(li)(li)心腔(qiang)體(ti)(ti)內氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)導(dao)出(chu)(chu)管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)(dao)(dao)14及(ji)(ji)離(li)(li)心腔(qiang)體(ti)(ti)周(zhou)邊(bian)(bian)(bian)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)導(dao)出(chu)(chu)管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)(dao)(dao)15，其中吸抽風裝(zhuang)置10通過離(li)(li)心腔(qiang)體(ti)(ti)內氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)導(dao)出(chu)(chu)管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)(dao)(dao)14和(he)(he)離(li)(li)心腔(qiang)體(ti)(ti)周(zhou)邊(bian)(bian)(bian)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)導(dao)出(chu)(chu)管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)(dao)(dao)15分別與所述離(li)(li)心腔(qiang)體(ti)(ti)小截面氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)導(dao)出(chu)(chu)口13和(he)(he)所述離(li)(li)心腔(qiang)體(ti)(ti)周(zhou)邊(bian)(bian)(bian)小截面氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)導(dao)出(chu)(chu)口12連接，所述離(li)(li)心腔(qiang)體(ti)(ti)內氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)導(dao)出(chu)(chu)管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)(dao)(dao)14和(he)(he)離(li)(li)心腔(qiang)體(ti)(ti)周(zhou)邊(bian)(bian)(bian)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)導(dao)出(chu)(chu)管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)(dao)(dao)15上均(jun)設(she)有吸抽風管(guan)(guan)(guan)道(dao)(dao)(dao)(dao)開關(guan)閥(fa)門(men)11及(ji)(ji)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)節流(liu)(liu)(liu)調整裝(zhuang)置。

所述供風系統(tong)和排風系統(tong)共同作用形(xing)成(cheng)(cheng)封(feng)閉箱(xiang)(xiang)體(ti)內(nei)環境(jing)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)結(jie)構：所述溫濕度風供應裝置(zhi)9將預制(zhi)的風流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)經過氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)導(dao)入管道(dao)7在涂膠(jiao)顯影(ying)工藝(yi)模(mo)塊箱(xiang)(xiang)體(ti)1上(shang)部(bu)的大(da)(da)截(jie)面(mian)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)導(dao)入口6以一個大(da)(da)截(jie)面(mian)形(xing)式下壓流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)進(jin)箱(xiang)(xiang)體(ti)內(nei)；所述吸抽(chou)風裝置(zhi)10通(tong)過離(li)心腔體(ti)內(nei)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)導(dao)出管道(dao)14、離(li)心腔體(ti)周(zhou)邊(bian)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)導(dao)出管道(dao)15及吸抽(chou)風管道(dao)開(kai)關閥門11將工藝(yi)腔體(ti)及其周(zhou)邊(bian)的氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)從模(mo)塊箱(xiang)(xiang)體(ti)的下部(bu)以多個小截(jie)面(mian)形(xing)式吸抽(chou)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)出箱(xiang)(xiang)體(ti)。流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)進(jin)箱(xiang)(xiang)體(ti)的氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)大(da)(da)于流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)出箱(xiang)(xiang)體(ti)的氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)，這樣就(jiu)形(xing)成(cheng)(cheng)了箱(xiang)(xiang)體(ti)內(nei)正壓狀態(tai)，氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)呈現由上(shang)向下的流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)動(dong)狀態(tai)。

本發明(ming)提供的涂膠顯影工(gong)藝(yi)模塊，其工(gong)作原理是：

如(ru)圖2所(suo)示，所(suo)述涂膠顯影工(gong)(gong)藝模(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)箱(xiang)體(ti)(ti)1內(nei)環境氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)結構下壓式分布的(de)，氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)在模(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)箱(xiang)體(ti)(ti)的(de)上部以一個大截(jie)面(mian)形(xing)式下壓流(liu)(liu)(liu)進(jin)箱(xiang)體(ti)(ti)，氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)從(cong)模(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)箱(xiang)體(ti)(ti)的(de)下部以多個小截(jie)面(mian)形(xing)式吸抽流(liu)(liu)(liu)出箱(xiang)體(ti)(ti)。導(dao)(dao)入涂膠顯影工(gong)(gong)藝模(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)箱(xiang)體(ti)(ti)1內(nei)氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)的(de)溫(wen)度和濕(shi)度參數(shu)按照(zhao)閉環控(kong)制(zhi)邏輯實(shi)(shi)施精確調整(zheng)，導(dao)(dao)入氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)的(de)流(liu)(liu)(liu)速(su)、顆粒度及(ji)(ji)氨(an)含量(liang)是(shi)(shi)通過調整(zheng)功(gong)能性(xing)硬件實(shi)(shi)現(xian)(xian)的(de)；導(dao)(dao)出氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)的(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)和開(kai)關時序參數(shu)是(shi)(shi)通過可編程序控(kong)制(zhi)相關硬件裝置(zhi)(zhi)實(shi)(shi)現(xian)(xian)的(de)，即模(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)箱(xiang)體(ti)(ti)下部的(de)吸抽氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)出口處有氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)開(kai)關和氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)節流(liu)(liu)(liu)裝置(zhi)(zhi)，該裝置(zhi)(zhi)是(shi)(shi)在可編程序控(kong)制(zhi)下進(jin)行動作，實(shi)(shi)現(xian)(xian)流(liu)(liu)(liu)出氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)的(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)控(kong)制(zhi)以及(ji)(ji)何時流(liu)(liu)(liu)出氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)的(de)時序控(kong)制(zhi)。

一種(zhong)涂(tu)(tu)膠(jiao)顯影(ying)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)(yi)模塊內環(huan)境參數的(de)控(kong)制(zhi)方法，封閉的(de)涂(tu)(tu)膠(jiao)顯影(ying)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)(yi)模塊箱(xiang)體1的(de)頂部設有大(da)截(jie)(jie)面氣流(liu)(liu)(liu)導(dao)入口(kou)6，底部設有多個離心腔(qiang)體周邊小(xiao)截(jie)(jie)面氣流(liu)(liu)(liu)導(dao)出(chu)口(kou)12和(he)多個離心腔(qiang)體小(xiao)截(jie)(jie)面氣流(liu)(liu)(liu)導(dao)出(chu)口(kou)13，由所(suo)述大(da)截(jie)(jie)面氣流(liu)(liu)(liu)導(dao)入口(kou)6流(liu)(liu)(liu)進(jin)涂(tu)(tu)膠(jiao)顯影(ying)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)(yi)模塊箱(xiang)體1內的(de)氣流(liu)(liu)(liu)流(liu)(liu)(liu)量大(da)于流(liu)(liu)(liu)出(chu)涂(tu)(tu)膠(jiao)顯影(ying)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)(yi)模塊箱(xiang)體1的(de)氣流(liu)(liu)(liu)流(liu)(liu)(liu)量，氣流(liu)(liu)(liu)呈現由上向下(xia)的(de)流(liu)(liu)(liu)動狀態。導(dao)入氣流(liu)(liu)(liu)的(de)相關參數包括溫度、濕(shi)度、流(liu)(liu)(liu)速(su)、顆粒(li)度及氨含量等技術指(zhi)標(biao)(biao)。通過控(kong)制(zhi)導(dao)入氣流(liu)(liu)(liu)的(de)流(liu)(liu)(liu)速(su)、顆粒(li)度、氨含量及溫度和(he)濕(shi)度參數，實(shi)現涂(tu)(tu)膠(jiao)顯影(ying)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)(yi)的(de)性能指(zhi)標(biao)(biao)。

所述涂膠顯影工(gong)藝(yi)模(mo)塊箱體1上(shang)部的大(da)截面氣流(liu)導入(ru)口6處有溫濕(shi)度(du)檢(jian)測(ce)元件4，所述溫濕(shi)度(du)檢(jian)測(ce)元件4與供風系統的控制模(mo)塊形成閉環(huan)(huan)控制，實現氣流(liu)的溫度(du)和濕(shi)度(du)參數的閉環(huan)(huan)控制。

所述涂(tu)膠顯影工藝模塊(kuai)(kuai)箱體(ti)1內導(dao)入(ru)氣(qi)流的(de)(de)流速控制通(tong)(tong)過供(gong)風(feng)系統的(de)(de)控制模塊(kuai)(kuai)調(diao)整(zheng)供(gong)風(feng)流量來(lai)實現(xian)，導(dao)入(ru)氣(qi)流的(de)(de)顆粒(li)度(du)控制通(tong)(tong)過調(diao)整(zheng)大截(jie)面(mian)氣(qi)流導(dao)入(ru)口6處的(de)(de)顆粒(li)過濾(lv)網5的(de)(de)網孔尺寸(cun)規格(ge)來(lai)實現(xian)，導(dao)入(ru)氣(qi)流的(de)(de)氨(an)含量控制通(tong)(tong)過調(diao)整(zheng)溫濕度(du)風(feng)供(gong)應裝置9內化學(xue)品過濾(lv)網8的(de)(de)吸收氨(an)材(cai)料成分來(lai)實現(xian)，例如化學(xue)品過濾(lv)網8采用硼酸類材(cai)料。

導出氣流的(de)相關參數是可控的(de)：

所(suo)述(shu)涂膠顯影工藝模塊箱(xiang)體1內導出(chu)氣流(liu)(liu)的(de)流(liu)(liu)量(liang)大小參數需要控(kong)(kong)制(zhi)，何時開(kai)關(guan)(guan)吸抽風(feng)管道開(kai)關(guan)(guan)閥門(men)11需要控(kong)(kong)制(zhi)。所(suo)述(shu)離(li)心(xin)腔(qiang)體內氣流(liu)(liu)導出(chu)管道14和(he)離(li)心(xin)腔(qiang)體周(zhou)邊氣流(liu)(liu)導出(chu)管道15上均設(she)有吸抽風(feng)管道開(kai)關(guan)(guan)閥門(men)11和(he)氣流(liu)(liu)節(jie)流(liu)(liu)調(diao)整裝置，所(suo)述(shu)吸抽風(feng)管道開(kai)關(guan)(guan)閥門(men)11用于(yu)導出(chu)氣流(liu)(liu)的(de)時序控(kong)(kong)制(zhi)，所(suo)述(shu)氣流(liu)(liu)節(jie)流(liu)(liu)調(diao)整裝置用于(yu)導出(chu)氣流(liu)(liu)的(de)流(liu)(liu)量(liang)控(kong)(kong)制(zhi)，在(zai)可編程序控(kong)(kong)制(zhi)下進行相關(guan)(guan)動作(zuo)完(wan)成作(zuo)業。

本發明的工(gong)藝模塊(kuai)(kuai)內環(huan)境參數的控制方法(fa)，可以(yi)同時施用于多個工(gong)藝模塊(kuai)(kuai)，對于一個機(ji)臺多個工(gong)藝模塊(kuai)(kuai)來講，可以(yi)提高各個模塊(kuai)(kuai)受內環(huan)境參數影響(xiang)的工(gong)藝性(xing)能(neng)一致(zhi)性(xing)，從而提高機(ji)臺的性(xing)能(neng)技術指標。

本(ben)發明(ming)的方(fang)法可以有效提高大型(xing)機(ji)臺內各個(ge)工藝模塊受內環境參數影響的工藝性能一(yi)致性，提高機(ji)臺的技術性能，提高產品的良(liang)率。