專利名稱：：堿性顯影液組成物的制作方法
技術領域：
：本發明有關一種顯影液組成物，尤指一種應用在感旋光性樹脂對紫外(uv)曝光后圖像形成的堿性顯影液組成物。
背景技術：
：為制造半導體集成電路或液晶顯示器(LCD)電路內所用的微小電路圖案，在基板上的一絕緣體層或導電金屬層上均勻覆蓋或涂敷一種包括聚合物樹脂、感光化合物與溶劑的光阻組合物，覆蓋或涂敷的基板經溫焙以蒸發溶劑，溫焙過的基板選擇地曝露于某些型式的輻射如紫外線、電子或X射線，曝露過的基板再經熱烤，隨后熱烤基板經顯影產生所預期圖案，顯影的基板再以蝕刻脫除絕緣體層或導電金屬層，并移去余留的光阻劑層以完成微小圖案移轉于基板表面上。再者，感旋光性樹脂組成物在經過涂膜、預烤、曝光之后，雖然可以使用堿性顯影液來溶解去除未曝光的涂膜部份，但也可能會因為在顯影時容易發生未顯影部位粒子(或未溶解粒子)的殘存現象，導致顯影后較難以形成準確的光阻劑圖像；尤其，在更為先進的液晶顯示器(LCD)電路制程當中，若有發生殘渣或金屬離子殘留的現象，將足以嚴重影響產品的品質。在既有的
技術領域：
當中，日本特開平10-10749號專利文獻，雖然揭露一種包括水、堿性化合物、陰離子界面活性劑所組成的顯影液組成物，以獲致無殘渣、顯像性較佳的功效，然而在實際應用時，該習知顯影液組成物所表現的消泡性、操作溫度，以及彩色光阻分散安定性皆不如預期理想，無法完全因應彩色光阻多樣化的顯影性。
發明內容有鑒于此，本發明的主要目的即在提供一種顯影性佳、消泡性強、容許操作性溫度高，并兼顧彩色光阻的分散安定性及避免殘留物遺留的堿性顯影液組成物，藉以因應彩色光阻多樣化，具有可調整適用性的顯影特性。本發明的》成性顯影液組成物包括有(A)純水、(B)至少一種^5咸性化合物、(C)含量小于500ppm的消泡劑、(D)至少一種總含量0.0510%的非離子界面活性劑；其中，非離子界面活性劑的結構式為其重點在于非離子界面活性劑的結構式當中的R1為氬(-H)或曱烷(-CH3);EO為環氧乙烷(polyoxyethylene);PO為環氧丙烷(polyoxypropylene),m和n不可為同時為零、m+n小于25,R2為疏水基；此疏水基可選自于并苯基、烷基聯苯類、環烷類、并環類、并環烯基，其中任一或任意組合搭配。具體實施例方式為能使責審查員清楚本發明的主要技術內容，以及實施方式，茲配合圖式說明如下本發明堿性顯影液組成物，為一種應用于感旋光性樹脂對紫外(UV)曝光后的圖像形成的堿性顯影液，其其組成物包括有-.(A)純水，主要做為顯影液的分散媒，由于水本身沒有毒性及引火性，因此使用純水做為顯影液的分散媒不但成本低廉，而且原物料本身較容易管理，廢液的處理亦較為簡便。(B)至少一種堿性化合物，主要用于溶解非圖像部份的樹脂，其可以選自(l)堿金屬、堿土金屬氫氧化物；(2)堿金屬、堿土金屬碳酸鹽與碳酸氫鹽；或(3)有機銨類ri-n——r3<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>上述有機銨類的結構式當中，R1R3可為氬(H)、烴基(hydrocarbon)、烴烷基(hydroxyalkyl),其中至少一個為烴烷基。(C)含量、于500ppm的消泡劑，用以文散顯影液的消泡性，其可以為無含硅的非離子型界面活性劑。(D)至少一種總含量0.0510。/o的非離子界面活性劑；其中，非離子界面活性劑的結構式為上述非離子界面活性劑的結構式當中，Rl為氫(-H)或甲烷(-CH3);EO為J不氧乙烷(polyoxyethylene);PO為，不氧丙丈克(polyoxypropylene),m和n不可為同時為零、m+n小于25，R2為疏水基，其中疏水基的HLB值控制在916;(HLB=7+11.71og(Mw/Mo)，最佳值1014，Mo:表示親油基的分子量；Mw:表示親水基的分子量。于實施時，疏水基可選自于(l)結構式(a)的并苯基，可為兩個或兩個以上的并苯基；結構式(a)當中的RlR7可為氫原子(H)、烷基(Alkyl)、芳基(Aryl)、芳烷基(aralkyl)。(2)結構式(b)的烷基聯苯類；<formula>formulaseeoriginaldocumentpage8</formula>結構式(b)當中的Rl可為氫原子(H)或烷基(Alkyl)(3)結構式(c)的環烷類(cyclic-alkane);-c-結構式(c)當中的RlR3可為氫原子(H)、烷基(Alkyl)、芳基(Aryl)，芳烷基(aralkyl)、環烷基(cyclic-alkane);R3可在環的任一位置。(4)結構式(d)的并環類，可為兩個或兩個以上的并環類；結構式(d)當中的RlR6可為氬原子(H)、烷基(Alkyl)、芳基(Aryl)、芳烷基(aralkyl)、環烷基(cyclic-aikane)。(5)結構式(e)的并環烯基，可為兩個或兩個以上的并環烯基；結構式(e)當中的RlR6可為氫原子(H)、烷基(Alkyl)、芳基(Aryl)、芳烷基(aralkyl)、環烷基(cyclic-alkane)。如表1所示，為利用本發明基本組成物依照不同配方比例所調制成的石咸性顯影液沖羊本(D01D09以及K101K105)與既有》威性顯影液樣本(DIO及K106)的特性比較；在表1當中，四甲基氫氧化銨(TetramethylammoniumHydroxide,TMAH)，為一種有機堿；各配方樣本最后再加入消泡劑(非離子型界面活性劑)100100PPM;由表一的結果可知，使用四曱基氫氧化銨的樣本當中，以樣本D03、D04、D05完全具有顯影效果較佳、殘留少、消泡性佳、殘膜少等特性；使用氫氧化鉀的樣本當中，以樣本K103、K104、K105完全具有顯影效果較佳、殘留少、消泡性佳、殘膜少等特性；證實本發明可以提供一種顯影性佳、消泡性強、容許操作性溫度高，并兼顧彩色光阻的分散安定性及避免殘留物遺留的堿性顯影液組成物，藉以因應彩色光阻多樣化，具有可調整適用性的顯影特性。如上所述，本發明提供一種較佳可行的堿性顯影液組成物，爰依法提呈發明專利的申請；然而，以上的實施說明及圖式所示，本發明較佳實施例，并非以此局限本發明，是以，舉凡與本發明的構造、裝置、特征等近似、雷同的，均應屬本發明的創設目的及申請專利范圍之內。<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>權利要求1、一種堿性顯影液組成物，其組成物包括有純水、至少一種堿性化合物、含量小于500ppm的消泡劑、至少一種總含量0.05～10％的非離子界面活性劑；該非離子界面活性劑的結構式為id="icf0001"file="A20062C1.gif"wi="52"he="9"top="53"left="24"img-content="drawing"img-format="tif"orientation="portrait"inline="no"/>其中該非離子界面活性劑的結構式當中的R1為氫或甲烷；EO為環氧乙烷；PO為環氧丙烷，m和n不可為同時為零、m+n小于25，R2為疏水基，該疏水基為兩個或兩個以上的并苯基。2、一種堿性顯影液組成物，其組成物包括有純水、至少一種堿性化合物、含量小于500ppm的消泡劑、至少一種總含量0.0510%的非離子界面活性劑；該非離子界面活性劑的結構式為r2——0十eo髮po卡f^其中該非離子界面活性劑的結構式當中的Rl為氫或甲烷；EO為環氧乙烷；PO為環氧丙烷，m和n不可為同時為零、m+n小于25,R2為疏水基，該疏水基為烷基聯苯類。3、一種堿性顯影液組成物，其組成物包括有純水、至少一種^喊性化合物、含量小于500ppm的消泡劑、至少一種總含量0.05~10%的非離子界面活性劑；該非離子界面活性劑的結構式為r2——o十eo髮po卡f^其中該非離子界面活性劑的結構式當中的Rl為氫或曱烷；EO為環氧乙烷；PO為環氧丙烷，m和n不可為同時為零、m+n小于25，R2為疏水基，該疏水基為環烷類。4、一種堿性顯影液組成物，其組成物包括有純水、至少一種堿性化合物、含量小于500ppm的消泡劑、至少一種總含量0.05~10%的非離于界面活性劑；該非離子界面活性劑的結構式為<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>該非離子界面活性劑的結構式當中的Rl為氬或曱烷；EO為環氧乙烷；PO為環氧丙烷，m和n不可為同時為零、m+n小于25，R2為疏水基，該疏水基為兩個或兩個以上的并環類。5、一種堿性顯影液組成物，其組成物包括有純水、至少一種堿性化合物、含量小于500ppm的消泡劑、至少一種總含量0.05~10°/0的非離子界面活性劑；該非離子界面活性劑的結構式為<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>該非離子界面活性劑的結構式當中的Rl為氫或曱烷；EO為環氧乙烷；PO為環氧丙烷，m和n不可為同時為零、m+n小于25，R2為疏水基，該疏水基為兩個或兩個以上的并環烯基。6、如權利要求1所述的堿性顯影液組成物，其中該并苯基的結構式為<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>其中R1R7可為氫原子、烷基、芳基、芳烷基。7、如權利要求2所述的堿性顯影液組成物，其中該并苯基的結其中..其中:構式為:<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>其中Rl可為氫原子或烷基。8、如權利要求3所述的堿性顯影液組成物，其中該并苯基的結構式為其中R1R3可為氫原子、烷基、芳基、芳烷基、環烷基；R3可在環的任一位置。9、如權利要求4所述的堿性顯影液組成物，其中該并笨基的結構式為其中R1R6可為氬原子、烷基、芳基、芳烷基、環烷基。10、如權利要求5所述的堿性顯影液組成物，其中該并苯基的結構式為<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>其中R1R6可為氬原子、烷基、芳基、芳烷基、環烷基。11、如權利要求1所述的堿性顯影液組成物，其中該堿性化合物可以選自》成金屬或堿土金屬氫氧化物。12、如權利要求1所述的堿性顯影液組成物，其中該堿性化合物可以選自堿金屬、堿土金屬碳酸鹽與碳酸氫鹽。13、如權利要求1所述的堿性顯影液組成物，其中該堿性化合物可以為有機銨類，該有機銨類的結構式為<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>其中R1R3可為氫、烴基、烴烷基，其中至少一個為烴烷基。全文摘要本發明的堿性顯影液是應用在感旋光性樹脂對紫外(UV)曝光后的圖像形成，其組成物包括有(A)純水、(B)至少一種堿性化合物、(C)含量小于500ppm的消泡劑、(D)至少一種總含量0.05～10％的非離子界面活性劑；其中，非離子界面活性劑的結構式為其重點在于非離子界面活性劑的結構式當中的R1為氫(-H)或甲烷(-CH3)；EO為環氧乙烷(polyoxyethylene)；PO為環氧丙烷(polyoxypropylene)，m和n不可為同時為零、m+n小于25，R2為疏水基。文檔編號G03F7/32GK101178548SQ20061013825公開日2008年5月14日申請日期2006年11月8日優先權日2006年11月8日發明者戴偉仁,郭光埌申請人:新應材股份有限公司