用于優化地激光標記對象的方法和設備的制作方法
【專利摘要】本發明是關于對對象進行激光標記。詳細的說，本發明是關于以激光剝蝕對象的外加被覆層，從而露出該對象在該被覆層下方的表面，如此一來，該對象的外露表面與相鄰剩余被覆層間的對比外觀即形成標記，因而達成對該對象實施激光標記的目的。激光參數是經挑選，以提供均勻且符合市售水平的外觀，并避免下層表面受損，同時維持可接受的單位時間系統產出量。在此需特別一提的是，激光脈沖包絡線是經量身訂做，故一方面可提供理想的外觀，一方面則可維持可接受的單位時間系統產出量。
【專利說明】用于優化地激光標記對象的方法和設備
【技術領域】
[0001]本發明是關于對對象進行激光標記。詳細的說，本發明是關于以激光剝蝕一對象的一被覆層，從而露出該對象在該被覆層下方的表面，如此一來，該對象的外露表面與相鄰剩余被覆層間的對比外觀即形成一標記，因而達成對該對象實施激光標記的目的。形成標記的另一方式是以激光剝蝕一第一或最上層被覆層，進而露出其下方的一第二被覆層，此一外露的第二被覆層與相鄰第一被覆層間的對比同樣可形成一標記。激光參數是經挑選，以提供均勻且符合市售水平的外觀，并避免下層表面受損，同時維持可接受的單位時間系統產出量。在此需特別一提的是，激光脈沖包絡線是經量身訂做，故一方面可提供理想的外觀，一方面則可維持可接受的單位時間系統產出量。
【背景技術】
[0002]市售產品通常均須在產品上設置某種標記以達商業、法規遵循、美觀或功能性的目的。“標記”在此定義為一對象表面上的相連區域，且此相連區域與相鄰表面形成視覺對t匕。此種標記的理想特征包括外觀一致、耐久，以及容易施作。“外觀”是指能以可靠且可重復的方式使標記具有所選形狀及均勻的顏色與光學密度的能力。“耐久”是指盡管標記表面有所磨損但仍可維持不變的性質。“容易施作”是指制造標記所需的材料、時間與資源成本，包括可程序性。“可程序性”是指可借由改變軟件而非改變硬件(例如網版或屏蔽)的方式為一標記裝置設定所欲標記的新圖案的能力。
[0003]業界特別感興趣的，是在具有被覆層或涂料的對象上制造標記。以金屬或各種塑料制成的對象，通常均以各種工業涂料加以涂裝或以其他方式被覆，借以保護并改變對象表面的外觀。在對象上制造標記的一理想方式，是以激光剝蝕法去除被覆層上特定圖案的區域，從而露出下方的對象表面。制造標記的另一理想方式，是以二層以上的被覆層覆蓋一對象，然后以激光剝蝕第一被覆層，從而露出下方的第二被覆層。2008年6月26日公開的第2008/0152859號美國專利申請案(發明人為Masanori Nagai)即說明如何在產品上制造標記，其方法是以激光去除一被覆層以露出其下方的物件。但若想要采用此一方法，被覆層的亮度須大于對象表面的亮度。1992年10月29日公開的第03-150842號日本專利申請案(發明人為Iwasaki Noboru)則說明如何以激光去除一或多層被覆層以露出下方的被覆層。
[0004]上述文獻的一共同點在于，為去除一被覆層而不去除該被覆層下方的材料，待去除材料的激光剝蝕底限須低于下方材料的激光剝蝕底限。“激光剝蝕底限”是指去除材料所需的最少能量。所謂去除可指剝蝕，其是以激光將足夠的能量輸入材料中以使材料解離為電漿；或指透過熱能，其基本上是使材料熔化或氣化；或為兩者之組合。與剝蝕底限相關的另一參數為損害底限。“損害底限”是指使材料外觀產生不良變化所需的最少激光能量。材料的損害底限大多低于且有時遠低于剝蝕底限。“損害”在此定義為:在以激光去除一對象的最上層被覆層后，對材料外觀所造成的任何不良改變，且此一改變對對象本身或下方被覆層有負面影響。
[0005]為能準確且澈底去除材料的頂層而不損及對象表面，激光累積通量須大于上方材料的剝蝕底限且小于下方材料或對象表面的剝蝕或損害底限。在許多情況下，上述差距可能甚小，因此必須精確控制激光累積通量。此外，該等材料的實際剝蝕及損害底限值可能有所差異，須視部位及施作時的些微變化而定。再者，該等材料的實際剝蝕及損害底限值可能為時間的函數；詳細的說，在對象的加工過程中，對象或被覆層可能會保留激光去除過程所產生的熱能，而此熱能則將影響剝蝕或損害底限。因此，雖然選用單一的激光累積通量或可在一特定時間點以特定之激光在一特定對象上制造符合市售水平的標記，但只要對象或被覆層或激光有些許變化，同一制程便可能無法產出所需的結果。“剝蝕目標材料所需之最小累積通量”與“不致傷及下方材料之最小累積通量”的差值稱為制程窗口。就制造而言，最好能將一特定對象及標記的制程窗口擴大至可能的最大限度，如此一來便可因應材料與加工系統的變化而不須進行系統調整。系統調整對系統的單位時間產出量將有負面影響。
[0006]此項技藝需要但尚未揭露一種可靠且可重復的材料去除法，其既不會在對象表面殘留不應有的材料，亦不須頻頻調整設備。因此，我們迫切需要一種方法，其能以可靠且可重復的方式，利用激光去除一被覆層而不在其下方材料上殘留不應有的材料，從而在一具有被覆層的對象上制造出具有所需外觀之標記，同時維持可接受的系統單位時間產出量。

【發明內容】

[0007]本發明的態樣是利用一激光標記系統在一具有被覆層的對象上制造具有所需性質的標記。該激光標記系統設有一可控式光束衰減器，此光束衰減器先以一第一衰減位準發射激光束，經過一預定時距后，再將衰減位準改為一第二衰減位準，借以制造具有所需性質的一標記。增設此一可控式光束衰減器便可控制激光累積通量。“累積通量”是定義為施用于單位面積的累積激光能量，其量測單位為焦耳/平方公分。本發明的態樣提供一第一激光累積通量，是關于制造一標記并使該標記的一第一部分具有所需的性質。本發明的態樣提供一第二激光累積通量，是關于制造一標記并使該標記的一第二部分具有所需的性質。
[0008]若想要以剝蝕方式去除一具有被覆層的對象的頂層被覆層，進而露出一下方層體(可為另一被覆層或該對象的表面)，并借此制造標記，則待剝蝕材料的剝蝕底限須低于下方材料的剝蝕底限。在大多數情況下，選擇適當的材料即可達成此一目的。例如，相對于其下方層體，若最上層被覆層或涂料的顏色較深或反射性較低，則此最上層被覆層或涂料將吸收較多的激光能量，且其剝蝕作業的累積通量底限往往低于下方層體。
[0009]為制造具有理想外觀的標記，本發明的態樣在制造標記時亦將損害底限納入考慮。為提高制造標記的效率，可調整輻照度(irradiance)，借以將材料去除率最大化而不損及下方的材料。輻照度與工具路徑共同決定累積通量，此因輻照度是量測能量施用于對象表面的比率，而工具路徑則指出激光束移至標記上各點所需的時間。激光束的輻照度與工具路徑的計算值應高于待去除材料的剝蝕底限，并且低于下方材料的損害底限，如此一來便可將激光束相對于對象的移動速度最大化，進而提升單位時間的產出量。然而其困難點在于，上述底限可能在標記制造過程中的不同時間點以及在標記的不同區域內有所不同。某些激光參數雖可在標記的某一區域提供符合市售水平的外觀以及可接受的材料去除率與單位時間產出量，但在該標記的另一區域內則有可能損害下方的材料。第2圖顯示以單一輻照度及單一移動速率對一對象進行激光標記的成果，圖中的成果既不均勻亦不符合商業上的要求。創作人雖可選出單一一組可產生符合市售水平的標記的激光參數，但其材料去除率不得超過標記上所有部分的最大可接受去除率，致使單位時間的產出量過低。本發明的態樣于各組激光脈沖的初始階段提供較大的激光累積通量，故可去除使用單一激光累積通量時所可能殘留的材料。
[0010]一材料于一特定部位的損害底限不僅取決于當下照射于該部位的激光輻照度，亦取決于近期內已接受的激光輻射量。因此，僅僅量測激光累積通量并無法正確預估激光加工后的材料外觀。其原因在于，同一部位或鄰近部位先前所接受的照射量往往對材料有加熱效果。本發明的態樣依據殘余加熱效果的計算值改變激光累積通量，其做法是提高一組激光脈沖中初始激光脈沖的累積通量，借此補償因先前激光照射所降低的損害底限。
[0011]本發明的態樣可控制多個激光參數，包括激光脈沖參數(如脈沖延時或脈沖重復率)以及工具路徑參數(如光點大小、激光束位置、激光束速度)，借以提高一激光標記系統的單位時間產出量，同時避免傷及下方的材料。先選擇激光，并選擇可提供所需材料去除率的功率、重復率、脈沖時間波形與脈沖延時。接著計算工具路徑，即為制造標記而以激光照射對象的各個位置及時間點，如此一來便可一方面提供所需的材料去除率，一方面避免傷及下方的材料。工具路徑的一計算項目為后續脈沖在對象上的間距，而控制此間距的方式是改變激光脈沖與對象間的相對運動速度。工具路徑的另一計算項目是光點之大小，光點大小可控制輻照度，其控制方式是沿Z軸移動焦點以便聚焦于對象表面之上或下方。工具路徑之另一計算項目是計算脈沖位置相鄰列的間距。所選用的工具路徑將涵蓋欲以逐行掃瞄方式制造標記的區域。
[0012]本發明的態樣可控制激光裝置的輸出。為便于應用依本發明所選定的工具路徑，激光脈沖累積通量應在激光標記系統的控制下，以極為精密的方式調降。本發明的態樣可精密控制激光輻照度，使得依工具路徑而制造的標記具有符合市售水平的均勻度、顏色、質感與形狀。在此使用一光學開關，以便在不啟、閉激光裝置的情況下快速啟、閉激光束。本發明的態樣利用一聲光調變器(AOM)精密且迅速地調節光束，使光束照射于對象或以不具傷害性的方式移至束集堆。
[0013]在此改裝一現有激光微機械加工系統以實現本發明的態樣，此系統原是ElectroScientific Industries 公司(Portland, 0R97229)所生產之 ESI ML5900 激光微機械加工系統。該系統的詳細說明請參見上述公司于2009年10月出版的“ESI維修服務手冊ML5900”(ESI Service Guide ML5900)，其料號為178472A，該份文件的全文在此以引用的方式并入本文。改裝項目包括增加一電光裝置，其可以更精密的方式實時控制激光累積通量，同時搭配軟件以控制累積通量的變化。
[0014]為實現前述及其他態樣，并達成本發明如本文所具體呈現及概述的目的，在此揭露一種方法，其可在一具有被覆層之對象上制造具有所需商業質量的可見標記，本文一并揭露一種可執行上述方法的裝置。該方法及裝置包括一激光加工系統，該激光加工系統具有一激光裝置、激光光學組件及運動平臺，上列構件均操作性連接至一儲存有預定激光脈沖參數的控制器。所儲存的激光脈沖參數是與所需的累積通量有關，而所需的累積通量則取決于標記的哪一區域正在接受加工，如此一來方能使制成的標記具有符合市售水平的性質。【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1為工具路徑。
[0016]圖2為先前技藝的標記。
[0017]圖3為先前技藝的激光標記的顯微照片。
[0018]圖4a為先前技藝的激光脈沖。
[0019]圖4b為激光脈沖。
[0020]圖4c為激光脈沖。
[0021]圖4d為激光脈沖。
[0022]圖5為激光標記。
[0023]圖6為激光標記之顯微照片。
[0024]圖7為改裝后之激光標記系統。
[0025]圖8為脈沖電路。
[0026]圖9為脈沖電路。
【具體實施方式】
[0027]本發明的一實施例是利用一激光標記系統在具有被覆層的對象上制造具有所需性質的標記。此激光標記系統具有可控制的激光累積通量或劑量。本發明的實施例決定一第一激光累積通量，此累積通量是關于制造一標記并使該標記的一第一部分具有所需的性質。接著，本發明的態樣決定一第二激光累積通量，此累積通量是關于制造一標記并使該標記的一第二部分具有所需的性質。上述累積通量隨即儲存于該激光標記系統的儲存單元中。該激光標記系統將依照指令，在一對象上制造標記，其中該標記的一第一部分是使用已儲存的第一激光累積通量，該標記的一第二部分則使用已儲存的第二激光累積通量，如此一來便可在該對象上制造出具有所需性質的標記。本發明的實施例借由控制多個激光參數而控制激光累積通量，該等激光參數包括諸如脈沖延時或脈沖重復率等激光脈沖參數，以及諸如光點大小、激光束位置或激光束速度等工具路徑參數，期能提高該激光標記系統的單位時間產出量但又不致損及下方的材料。基本上先選擇激光，并選擇可提供所需材料去除率的功率、重復率、脈沖時間波形與脈沖延時。然后再計算一工具路徑，以便一方面達成所需的材料去除率，一方面避免傷及下方的材料。在此需特別一提的是，本發明的特定實施例為一組激光脈沖中的數個初始激光脈沖提供較大的激光脈沖累積通量，借此去除原本可能殘留在對象表面上的材料。
[0028]本發明的實施例可控制激光裝置的輸出。為便于應用依本發明所選定的工具路徑，激光脈沖應在激光標記系統的控制下，以極精密的方式減弱。本發明的態樣可精密控制激光輻照度，使得依工具路徑而制造的標記具有符合市售水平的均勻度、顏色、質感與形狀。本發明的態樣使用一聲光調變器(AOM)，如此一來便可在不須啟、閉激光裝置的情況下，精密且迅速地調節光束。本發明的一實施例利用AOM調節激光束的累積通量，其做法是透過繞射方式，將激光束從其正常路徑導引至一束集堆而非導引至對象表面，激光束的能量可在該束集堆消散而不造成傷害。使用AOM的原因在于其調節激光束的速度極快。而快速調節則對本發明的實施例有利，因為其可使激光標記系統在不干擾激光裝置的情況下，迅速且準確啟、閉激光束。[0029]如圖1所示，一用以去除一對象上的被覆層的工具路徑。一物件30上被覆有一被覆層31，該被覆層待去除之部分是位于一具有特定形狀的區域32內。激光束沿著工具路徑33去除材料的方式如下。激光束自該工具路徑的起點34移動至點36(此路線以實線表示)并去除沿途的材料。激光束到達點36后隨即關閉，并由激光標記系統重新調整激光束相對于對象的位置(此路線以虛線表示)，使激光束重新啟動后可從點38開始去除材料。激光束將持續切割及重新定位，直到抵達終點39為止。如圖2所示，以圖1所示方式去除材料的成果，圖中的對象40具有一被覆層42，且該被覆層在標記44所在區域內的部分已被去除，因而露出下方的材料46。請注意，圖中出現些許殘留的上方被覆層48。之所以如此，是因所用的特定激光輻照度雖適合去除標記絕大部分區域內的大片材料，但無法在此去除過程的初始階段有效去除材料，其中輻照度為激光能量施用于對象表面單位面積的比率，單位為瓦/平方公分。針對此一問題，先前技藝的一解決方案是調整累積通量及激光束相對于對象的速度，但單位時間的產出量將隨之降低，故并不理想，況且，此一調整動作本身也將對系統的單位時間產出量造成負面影響。圖3是一顯示上述效果的顯微照片。在圖3中，對象50具有一銀被覆層，而此銀被覆層上又涂有一層黑色涂料51。圖中的黑色涂層已由激光束去除一區域52內的部分。請注意，在原本應已由激光束去處黑色涂料的區域52內仍有些許殘余的黑色涂料54。
[0030]圖4a是脈沖能量與時間的關系圖，圖中顯示成組的先前技藝激光脈沖。如圖1所示，激光脈沖是于時間點62啟動，此時激光束已定位于起點34，而當激光束于時間點64到達該筆刻劃動作的終點36時，脈沖也隨之結束。待激光束重新定位于點38后，激光脈沖便于時間點66再次啟動。然而,具有此一時間剖面的成組脈沖并無法將材料澈底去除。創作人雖可找出一個能去除材料51而不留殘跡54的脈沖累積通量，但用以制造圖4a標記的激光累積通量已超出該特定對象于該特定時間搭配該特定激光束的制程窗口。為解決上述問題，本發明一實施例的做法是量身訂做成組脈沖的時間剖面，使在一筆刻劃動作的初始階段提供更多能量，至于該筆刻劃動作的剩余階段則維持指定的能量。以此方式量身訂做成組脈沖的包絡線可形成一量身訂做的脈沖時間剖面，也就是，令成組脈沖中的初始脈沖具有較高能量，而后續脈沖則具有較低的預選能量，直到該組脈沖結束為止。如此一來便可制造出符合市售水平的標記，同時維持系統的單位時間產出量。此一量身訂做的脈沖時間剖面可藉由容許較低的激光累積通量而提供較大的制程窗口，但不會留下殘跡。若制程窗口較大，則可降低調整系統的頻率，因而提高系統的單位時間產出量。如圖4b所示，一量身訂做的脈沖時間剖面范例。圖4b共顯示兩組量身訂做的脈沖70。成組的脈沖70自時間點74開始共出現三次功率為P2的脈沖72。而自時間點76開始，功率降至P2，此后共出現五次射向工件的脈沖78，最后一次是出現的時間點80。各組脈沖均依此方式量身訂做，使在激光束每一筆刻劃動作的初始階段射出預定次數具有預定能量的脈沖。
[0031]如圖5所示，一對象100具有一被覆層102，該被覆層已經由激光加工的方式，并利用本發明具體實例中量身訂做的成組脈沖去除一具有特定形狀的邊界104內的部分被覆層106。請注意，圖中的標記未出現明顯殘跡，也無任何一處受損。圖6的顯微照片顯示具有被覆層的一類似對象110，此對象涂有一黑色涂料112，且該黑色涂料已利用本發明的一實施例完成激光加工，將所需區域內的黑色涂料112精確、快速去除，因而露出下方的銀漆114。請注意，圖中的下層表面顯然并無殘跡亦未受損。[0032]如圖7所示，本發明的一實施例，其為一改裝后的ESI ML5900激光微機械加工系統120，此系統經改裝后可在對象上制造標記，而改裝項目則包括一激光裝置122及一 AOM累積通量衰減器124。激光裝置122所發出的激光脈沖由一系列反射鏡及其他光學組件(圖未示)導引至AOM累積通量衰減器124，之后再由另一系列反射鏡及其他光學組件(圖未示)導引至光學頭128。該AOM累積通量衰減器包括控制用電子組件，其可依照控制器140的指令，控制已發出的激光脈沖的累積通量。該光學頭則包括X、Y與Z軸方向的運動控制組件130及電流計模塊132。上述組件可相互合作，將激光束(圖未示)移至一相對于待刻對象138的定位，進而在對象138的表面制造出二維標記。旋轉平臺組件134是用于固定對象138，并將對象138從裝載/卸除位置分度移動至光學頭138下方的位置，以便在對象138上制造標記。之后，旋轉平臺組件134可將對象138移至一非必要的檢查站136。對象138在此檢查站接受檢查后，即被分度移回裝載/卸除平臺以便卸除。以上所有操作步驟均在控制器140的控制下完成，其中控制器140可協調激光裝置122、A0M累積通量衰減器124、運動控制組件130、電流計模塊132及旋轉平臺組件134的動作，借以將適當的激光累積通量導向對象136的適當部位，使制成的標記具有符合市售水平的外觀。
[0033]改裝后的激光裝置122是一二極管激發的摻釹釩酸釔(NchYVO4)固態激光裝置，其操作頻率為 Spectra-Physics 公司(Santa Clara, California95054)所制造、波長為 355奈米的Vanguard激光裝置的三倍。激光裝置122的輸出功率可高達2.5瓦，但通常是以80百萬赫的鎖模脈沖重復率運作，此時輸出功率約為I瓦。本發明的實施例可使用功率為
0.5至100瓦之激光裝置以產生有利的效果，若使用功率為0.5至12瓦的激光裝置則更佳。激光重復率可為10千赫至500百萬赫，較佳者為I百萬赫至100百萬赫。激光裝置122可與控制器100合作產生延時為約I皮秒(picosecond)至1，000奈秒的激光脈沖，若其延時為100皮秒至I奈秒至100奈秒則更佳。脈沖的時間與空間分布基本上均為高斯分布。運動控制組件130與電流計模塊132共同提供光束相對于對象的定位功能。本發明實施例所用的激光光點在對象上的尺寸量測值介于5微米與500微米之間，較佳者則介于10微米與100微米之間。該系統所用的光束速度(亦即激光束與對象間相對移動之速度)是在10公厘/秒至I公尺/秒的范圍內，較佳者則在50公厘/秒至500公厘/秒的范圍內。激光脈沖相鄰列間的距離(或稱間距)可介于I微米與250微米之間，較佳者則介于10微米與50微米之間。
[0034]如圖8所示，一可使一激光加工系統依本發明實施例運作的電子電路。如圖8所不，一來自控制器140的輸入信號150代表一筆激光束刻劃動作于此開始。此信號大多為一可以電壓位準顯示TRUE/FALSE的邏輯信號。若輸入信號150顯示為TRUE (代表一筆刻劃動作之開始)，則此信號將傳送至AOM控制器162的觸發輸入端T。此一動作顯示AOM處于運作狀態，且應對其供電以發射激光脈沖。AOM控制器162另有一模擬電壓輸入端A,其可令AOM控制器162對AOM (圖未不)發出一信號164,借以傳遞與出現于輸入端A的電壓成比例的激光能量。觸發信號150也將傳送至脈沖電路154，使其產生一具有可程序化延時的脈沖。此脈沖經放大器156放大為一可程序化電壓位準后，由信號調節濾波器158加以調節，使去除任何不應出現的成份，之后再由加法電路160將此調節后之脈沖與控制器140所輸出的原始脈沖電壓152結合,并傳送至AOM控制器162的輸入端A,最后形成傳送至AOM(圖未不)的輸出信號164。[0035]如圖4b和4c所示，一激光裝置所輸出的成組量身訂做激光脈沖，其中該激光裝置是受控于如圖8所示的AOM控制電路。在圖4b中，量身訂做的成組脈沖70包括位于初始階段且具有能量Pl的脈沖72，及其余具有能量P2的脈沖78。圖4c中成組量身訂做的激光脈沖則包括具有能量P3的激光脈沖，該等激光脈沖是因進入圖8電路的模擬輸入電壓152被降至某一位準而產生。請注意，在此實施例中，激光脈沖于刻劃動作初始階段的能量位準系固定不變，且是取決于放大器156的程序設定。
[0036]如圖9所示，另一種可使一激光加工系統依本發明實施例運作的電子電路。在此電路中，來自控制器140的觸發輸入信號170是傳送至AOM控制器182的觸發輸入端T，同時也傳送至一脈沖電路172，使該脈沖電路從該觸發信號開始時便產生一可程序化延時脈沖。此脈沖隨后送往一模擬開關174。模擬開關174也可接收來自控制器140、且由放大器176以可程序化增益放大的模擬信號172。模擬開關174收到來自脈沖電路172的脈沖時便輸出該模擬信號。此信號進入信號調節濾波器178以濾除不應出現的成份，然后進入組合器180。該組合器將來自控制器140的原始模擬電壓控制信號172與來自信號調節濾波器178的放大信號結合，以形成一模擬控制信號。此模擬控制信號將送往AOM控制器182，并形成輸出信號184以輸出至AOM (圖未不)。上述電路可產生如圖4d所不的量身訂做脈沖。如圖4d所示成組的量身訂做脈沖90,其中位于各組脈沖90初始階段的高能量脈沖92,其能量P4為預定脈沖94的能量P3的預定倍數。
[0037]具備發明所屬領域一般技藝者當可輕易了解，本發明上述實施例的細節可以多種方式變化而不脫離本發明的基本原理。因此，本發明的范圍應由后附的權利要求書加以界定。
【權利要求】
1.一種利用激光標記系統在樣本上制造具有所需性質的激光標記的方法，所述激光標記系統具有脈沖激光束，所述改良包含: 為所述激光標記系統提供可控式光束衰減器；及 令所述可控式光束衰減器以第一衰減位準發射所述激光束，且在預定時距后，將所述衰減改為第二衰減位準，借以制造具有所需性質的激光標記。
2.如權利要求1所述的方法，其中所述樣本被覆有第一與第二層外加被覆層，且所述標記的所述所需性質包含去除所述第一層而不使所述第二層受損。
3.如權利要求1所述的方法，其中所述激光累積通量是介于1.0X 10_6焦耳/平方公分與1.0焦耳/平方公分之間。
4.如權利要求4所述的方法，其中所述可控式光束衰減器包含聲光調變器。
5.一種用所需性質標記樣本的改良式激光標記裝置，所述裝置具有激光束，且所述改良包含: 所述激光標記系統設有可控式光束衰減器，其操作上用以將所述激光束減弱至第一衰減位準，且在預定時距后，將所述衰減改為第二衰減位準。
6.如權利要求5所述的裝置，其中所述樣本被覆有第一與第二層外加被覆層，且所述標記的所述所需性質包含去除所述第一層而不使所述第二層受損。
7.如權利要求5所述的裝置，其中所述脈沖累積通量是介于1.0X 10_6焦耳/平方公分與1.0焦耳/平方公分之間。
8.如權利要求5所述的裝置，其中所述可控式光束衰減器包含聲光調變器。
9.一種利用具有脈沖激光束及可控式光束衰減器的激光標記系統在樣本上所制成具有所需性質的標記，所述標記包含: 所述標記的第一部分，是由所述激光標記系統以第一衰減位準標記而成；及 所述標記的第二部分，是由所述激光標記系統以第二衰減位準標記而成。
10.如權利要求9所述的標記，其中所述樣本被覆有第一與第二層外加被覆層，且所述標記的所述所需性質包含去除所述第一層而不使所述第二層受損。
11.如權利要求4所述的方法，其中所述可控式光束衰減器包含聲光調變器。
【文檔編號】B41M5/24GK103764337SQ201180072972
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2011年11月17日 優先權日:2011年11月17日
【發明者】詹姆斯·布魯克伊塞, 凱勒·巴爾 申請人:伊雷克托科學工業股份有限公司