專利名稱：用于微滴沉積裝置的噴嘴板的制作方法
技術領域：
本發明涉及用于微滴沉積裝置的噴嘴板。
噴嘴板通常安裝在具有多個噴墨腔的微滴沉積裝置的主體上，以便為各腔提供相應的微滴噴嘴。由于必須以高精度在噴嘴板中形成噴嘴以例如保證從噴射腔中噴出的微滴的尺寸和速度的一致性，因此通常采用激光燒蝕來在噴嘴板中形成噴嘴。通常采用塑料如聚酰亞胺、聚砜或其它這類可激光燒蝕的塑料來形成噴嘴板，在將墨水排斥層涂覆到噴嘴板的一個表面上之后，通過將噴嘴板暴露于適當直徑的激光束如準分子激光束下來形成各個噴嘴。接著將帶有所完成的噴嘴的噴嘴板粘結到裝置的主體上，并使各噴嘴與形成于主體中的相應腔對準。
使用塑料制造噴嘴板會使噴嘴板的強度較弱而易受到機械損傷。雖然可采用較硬的材料如金屬或陶瓷材料來制造噴嘴板，但是在這種噴嘴板中不太容易形成精確的噴嘴。
本發明力圖在其優選實施例中解決上述和其它的問題。
在本發明的第一方面中，提供了一種用于微滴沉積裝置的噴嘴板，該噴嘴板包括主體和多個噴嘴，各噴嘴具有入口、出口，以及在入口和出口之間延伸并形成為穿過形成于主體的開口內的聚合物材料的內孔。
這使得噴嘴板主體能夠用相對較硬的材料如塑料、金屬或陶瓷材料制成，同時還能在聚合物材料中容易且精確地形成噴嘴。
聚合物材料最好包括環氧樹脂、聚對亞苯基二甲基材料、聚酰亞胺或熱塑性塑料中的一種。主體可由金屬材料如含有鎳和鐵的合金如Nilo或陶瓷材料如PZT、氧化鋁或氧化鋯制成。
內孔最好朝向出口收縮。在一個實施例中，一層聚合物材料在主體的粘結表面上延伸。當用粘結或其它方法將這一表面安裝在微滴沉積裝置上時，聚合物材料層可用于使主體與裝置的其余部分電絕緣。
出口可相對于主體的表面下凹。這可保護出口免受機械損傷。
本發明的這一方面可推廣到包括多個通道和上述噴嘴板的微滴沉積裝置中，其中安裝在該裝置上的噴嘴板為每個通道提供了一個相應的噴嘴以從中噴出微滴。
該裝置可包括基底和從基底中延伸出來以形成所述通道的通道分隔側壁，噴嘴板安裝在側壁上的與基底相反的表面上。因此，噴嘴板可用作這種微滴沉積裝置的蓋板；迄今為止，對于微滴從墨水通道的頂部處噴出的這種“邊緣發射”型裝置來說，必須同時使用相對較硬的蓋板和安裝在蓋板上的塑料噴嘴板，因此，本發明使得能夠減少形成這種裝置所需的部件的數量。噴嘴板的主體最好由熱膨脹系數基本上與側壁相同的材料制成。
在本發明的第二方面中，提供了一種制造用于微滴沉積裝置的噴嘴板的方法，所述方法包括步驟在主體中形成開口；將聚合物材料引入到開口中；以及在聚合物材料中形成噴嘴，所述噴嘴具有入口、出口，以及在所述入口和出口之間延伸穿過聚合物材料的內孔。
開口最好通過蝕刻或其它任何適當的工藝如激光切割、機械鉆孔、沖孔和電成形而形成于主體中。最好采用模制技術將聚合物材料引入到開口中，并最好基本上填滿開口。
該方法最好包括在聚合物材料中形成下凹部分的步驟。使聚合物材料相對于主體的一個表面下凹可在使用時保護噴嘴出口免受機械損傷。
在一個實施例中，該方法包括步驟將柔性表面施加到主體的一個表面上；將主體與柔性表面壓緊以使柔性表面發生變形而進入到開口中，從而使聚合物材料下凹。這樣就提供了一種相對簡單和可控制的方式來形成下凹部分。
噴嘴的至少一部分通過激光燒蝕法形成。在形成噴嘴之前，最好將保護層涂覆到待形成出口的聚合物材料的表面上。這樣就可有效地保護該表面、尤其是將去除材料的區域周圍不受高能自由基燒蝕產物的影響。保護層最好通過粘合劑層而可釋放地粘結到所述表面上。保護層本身最好是可燒蝕的。保護層的更詳細的情況在本發明人的國際專利申請WO 96/08375中有介紹，該申請的內容通過引用結合于本文中。
或者，噴嘴的至少一部分可通過熱壓或鍛造來形成，例如可通過將形狀與噴嘴一致的模具壓入到聚合物材料中來形成。在一個優選實施例中，使用具有多個成形部分的模具來同時形成多個噴嘴，其中各成形部分被壓入到形成于主體內的相應插塞中，從而在所述插塞中形成噴嘴。這樣就能夠更快速地制造噴嘴板。
雖然成形部分可將聚合物材料從開口中沖出以形成具有大致圓柱形內孔的噴嘴，然而最好對成形部分在聚合物材料中的封閉程度進行限制，以控制形成于聚合物材料中的噴嘴的形狀。這使得能夠形成朝噴嘴出口收縮的內孔。
模具最好具有在所述成形部分周圍延伸的基本上平面的部分，因此在所述加壓過程中從開口中擠出的聚合物材料在所述平面部分和所述主體的表面之間形成了聚合物材料層。當用粘結或其它方法將這一表面固定在微滴沉積裝置上時，聚合物材料層可用于使主體與裝置的其余部分電絕緣。
在另一實施例中，聚合物材料包括在暴露于電磁幅射下時可固化的材料，而噴嘴通過將材料選擇性地暴露于電磁幅射下并除去未暴露的材料來形成。
在另外一個實施例中，噴嘴的至少一部分在于開口中模制聚合物材料時形成。該方法可包括步驟將形狀與噴嘴相符的模子插入到主體的開口中；在模子和主體開口的周邊之間注入聚合物材料；然后取出模子。最好在主體中同時形成多個噴嘴。在一個優選實施例中，采用具有多個成形部分的模子來形成各噴嘴，其中各成形部分被插入到形成于主體內的相應開口中，然后將聚合物材料注入各成形部分和相應開口的周邊之間以形成所述噴嘴。模子可包括在所述成形部分周圍延伸的基本上平面的部分，在該平面部分和主體表面之間設有一個或多個間隔物，這樣，聚合物材料還注入到形成于所述表面和所述平面部分之間的空間中，從而在所述表面上形成了聚合物材料層。
可利用上述技術的任意組合來形成噴嘴，例如通過將聚合物材料模制或熱壓到開口中來形成噴嘴的一部分，然后通過激光燒蝕來形成整個噴嘴。
該方法最好包括形成在所述出口周圍延伸的液體排斥層的步驟。該液體排斥層可以在噴嘴成形之前或之后形成，然而最好在噴嘴成形之前形成，以便避免因在噴嘴成形之后形成該層而堵塞噴嘴出口。
在另一個實施例中，例如可采用涂布技術在開口中形成一層聚合物材料如聚對亞苯基二甲基材料，以形成所述噴嘴的第一部分。在形成所述聚合物材料層之前，將蓋板安裝到形成于所述主體中的開口上。在形成所述層之后，最好利用激光燒蝕技術在所述蓋板中形成與噴嘴內孔基本上同軸的開口，以便形成噴嘴的第二部分。可在蓋板上的與所述主體相反的表面上形成聚合物材料的附加層。蓋板可由塑料形成。在形成所述同軸開口之后，最好選擇性地除去在所述同軸開口周圍延伸的聚合物材料的一部分附加層。用于選擇性地除去材料的掩模可以固定在蓋板上以保護該附加層中的開口免受機械損傷。掩模可由金屬材料如鎳和鐵的合金制成。
噴嘴可在將噴嘴板連接到微滴沉積裝置上之后才在噴嘴板中形成，因此能夠以不帶噴嘴的噴嘴板坯件的形式來提供噴嘴板。因此，本發明可以推廣到用于微滴沉積裝置的噴嘴板坯件中，這種坯件包括具有多個形成于其中的開口的主體，各開口中放入了聚合物材料。坯件可包括形成為部分地穿過聚合物材料以在所述噴嘴板的各開口內構成一部分噴嘴的內孔。內孔可以是錐形的。通過提供具有部分形成的噴嘴的坯件，就能夠采用例如激光燒蝕來快速地完成噴嘴成形，這樣就可以提高噴嘴出口的質量。
現在將參考附圖來介紹本發明的優選特征，在圖中

圖1是形成于噴嘴板中的噴嘴的剖視圖；圖2(a)至2(e)是顯示了制造噴嘴板的方法的第一實施例中的步驟的剖視圖；圖3(a)至3(d)是顯示了制造噴嘴板的方法的第二實施例中的步驟的剖視圖；圖4(a)至4(d)是顯示了制造用于第二實施例的模具的方法中的步驟的剖視圖；圖5(a)和5(b)是顯示了制造噴嘴板的方法的第三實施例中的步驟的剖視圖；圖6(a)至6(e)是顯示了制造噴嘴板的方法的第四實施例中的步驟的剖視圖；圖7(a)至7(d)是顯示了制造噴嘴板的方法的第五實施例中的步驟的剖視圖；和圖8是形成于噴嘴板中的部分地形成的噴嘴的剖視圖。
參見圖1，噴嘴板10包括最好為板狀的主體12，其具有基本上平行的上、下平表面14和16。下表面16用于安裝在微滴沉積裝置如噴墨打印頭上。主體12最好由金屬材料如Nilo 42制成。
在主體12內形成有一系列開口，在圖1中示出了其中的一個。在該實施例中，開口的間距約為130到150微米(對應于將安裝噴嘴板的微滴沉積裝置的通道寬度)，上表面14處的開口口部的寬度約為100微米，開口的深度約為100微米。
在各開口中設有一個噴嘴18，噴嘴具有出口20、入口22和朝出口22收縮的內孔24。噴嘴18的內孔24延伸穿過位于主體12開口內的由聚合物材料如環氧樹脂制成的插入件或插塞26。與上表面14處約為100微米的開口寬度相比，噴嘴出口的直徑通常為50微米或更小。如果開口內的噴嘴的公差增大，那么可以增大開口的寬度。
現在將參考附圖來介紹制造噴嘴板的方法的各個實施例，各實施例說明了只在噴嘴板10中形成一個噴嘴的步驟。應當清楚，各實施例均可用于在噴嘴板中形成多個噴嘴。
圖2(a)至2(e)是顯示了制造噴嘴板的方法的第一實施例中的步驟的剖視圖。首先參見圖2(a)，在主體12中形成開口28。由于開口28的壁30無須高精度地形成，因此能夠利用相對快速且簡單的技術如化學侵蝕來在主體12中同時形成多個這樣的開口28。接著如圖2(b)所示，在開口28中放置環氧樹脂插塞26。插塞26可由任何適當的方法形成，例如注射模制法。此時，作為選擇，可將由低表面能材料如氟化乙丙烯共聚物(FEP)制成的液體排斥層涂覆到主體12的上表面和插塞的上表面上。參見圖2(c)和2(d)，接著可以施加保護層32如聚對亞苯基二甲基材料的燒蝕防護帶，并通過激光燒蝕在插塞26中精確地形成錐形噴嘴18。燒蝕工藝和保護層的詳細情況在本申請人的國際專利申請WO 96/08375中有介紹，該申請的內容通過引用結合于本文中。在燒蝕之后將保護層32除去，如圖2(e)所示。保護層32的使用是可選的，這是因為例如FEP液體排斥層本身就可用作激光燒蝕的保護層。
由于噴嘴板10的主體12由比環氧樹脂更硬的材料如Nilo 42制成，因此與僅由可激光燒蝕的塑料制成的現有噴嘴板相比，噴嘴板10更加堅固。因此，噴嘴板10適于用作微滴從墨水通道的頂端處噴出的“邊緣發射”型微滴沉積裝置的蓋板，還可用作微滴從墨水通道的末端處噴出的“末端發射”型裝置的噴嘴板。通過用金屬材料制成噴嘴板主體所提供的這種機械性能上的優點使得能夠比較容易和精確地在位于噴嘴板主體內的環氧樹脂插塞中形成噴嘴。
在上述實施例中，可在噴嘴板的主體12中同時形成一系列開口，而且在這些開口中同時形成環氧樹脂的插塞，并利用激光燒蝕來在各環氧樹脂插塞中順序地形成噴嘴。在下面的其它實施例中，為了減少形成噴嘴所需的時間，還可以在多個環氧樹脂插塞中同時形成噴嘴。
圖3(a)至3(d)是顯示了制造噴嘴板的方法的第二實施例中的步驟的剖視圖。與第一實施例類似，在主體12中形成開口28并在開口28中形成環氧樹脂的插塞26，如圖3(a)和3(b)所示。此時，作為選擇，可將液體排斥層涂覆到主體12的上表面和插塞26的上表面上。如圖3(c)所示，在此實施例中將支承面34施加到主體12的上表面和插塞26的上表面上。接著將模具36壓入或用其它方法推入到插塞中。模具36包括成形部分38和圍繞著成形部分38的基本上為平面狀的部分40，成形部分38的形狀與將在插塞中形成的噴嘴形狀相符。在將模具壓入到插塞中時，環氧樹脂從插塞中擠出，從而在主體12的下表面16上形成了一層環氧樹脂42。將模具壓入插塞中直至成形部分與支承面34接觸為止，如圖3(c)所示，從而可控制通過模具在插塞中形成的噴嘴的形狀。然后抽出模具并除去支承面34，從而完成了噴嘴18在噴嘴板中的成形，如圖3(d)所示。
在該實施例中，可采用具有多個成形部分38的一個模具來同時形成多個噴嘴，這是通過將各成形部分壓入到噴嘴板主體內的相應插塞中來實現的。此外，在噴嘴板主體12的下表面上形成了一層環氧樹脂42。在將噴嘴板連接到微滴沉積裝置上時，該環氧樹脂層可用來使噴嘴板主體與微滴沉積裝置電絕緣。
圖4(a)至4(d)是顯示了制造用于第二實施例的模具的方法中的步驟的剖視圖。雖然這些附圖顯示了制造具有一個成形部分的模具的方法，然而該方法可擴展到制造具有多個類似成形部分的模具，其中這些成形部分通過一個大致平面的部分連接起來。
首先，利用激光燒蝕技術在由相對較軟的材料如塑料制成的板52中精確地形成開口50。如圖4(a)所示，開口50的形狀與將在噴嘴板10中形成的噴嘴18的形狀相符。接著采用該板52作為形成第一模具54的模子，如圖4(b)所示，模具54例如通過注射模制技術用類似的塑料制成。模具54的形狀對應于最終將形成的模具36的形狀。接著例如利用電鍍技術將金屬材料沉積在模具54上，以形成帶有開口58的金屬板56，其中開口58的形狀對應于將通過激光燒蝕在板52中形成的開口形狀。然后將模具54取出而只留下金屬板56，如圖4(c)所示。接著例如利用電成形技術在金屬板56上形成金屬模具36，并取出金屬板56而留下模具36。通過采用這種方法來形成模具，就可以精確地控制模具36的成形部分38的形狀，使得采用這種模具在環氧樹脂插塞中形成的噴嘴具有與通過激光燒蝕所形成的噴嘴相對應的精確形狀。
如圖5(a)和5(b)所示，在制造噴嘴板的方法的第三實施例中采用了一種類似的模具。在該實施例中，如圖5(a)所示，將帶有開口的主體12插入到模具60中，使得模具60的成形部分62延伸到形成于主體中的開口內。將間隔物64如陶瓷顆粒放置在模具60的平面部分66和主體的下表面16之間，以便抬高主體12的下表面16相對于平面部分66的上表面68的高度。接著將環氧樹脂注入到形成于模具60和主體12之間的空間70中，以形成處于主體12的開口中的環氧樹脂插塞26和在主體12的下表面上延伸的環氧樹脂層72，其中插塞26帶有從中穿過的噴嘴。主體12的下表面16中的通道74可在模制期間促進樹脂的流動。
圖6(a)至6(e)是顯示了制造噴嘴板的方法的第四實施例中的步驟的剖視圖。在該實施例中，主體12具有一個或多個例如通過光刻蝕刻而形成于其中的開口，通過可釋放的粘結膜82將主體12連接在柔性層80如橡膠墊或柔性塑料墊上，如圖6(a)所示。柔性層80具有厚度局部地增大的區域81。然后將形式為可用紫外線(UV)固化的陽離子粘合劑84的聚合物材料涂覆到主體12的上表面上，以填滿開口28并在主體12的上表面上鋪開，如圖6(b)所示。使在下表面88的適當位置處設有適當大小的防膠器(未示出)的玻璃掩模86與粘合劑84接觸，并沿圖6(c)中箭頭所示方向對玻璃掩模86施加壓力，以便使粘合劑84流動，從而將形成于主體12上表面上的粘合劑層84的厚度減小到預定的厚度，例如5微米。施加到玻璃掩模上的壓力還使柔性墊80在硬表面98上產生變形，并使區域81移動到形成于主體12中的開口28內，如圖6(c)所示，這樣就使開口28中的粘合劑84形成下凹。在圖6(c)中還顯示出，在玻璃掩模的上表面92上形成有掩模圖案90。在將壓力保持在基本恒定的水平以使掩模86固定在圖6(c)所示的位置上時，將來自玻璃掩模86上方的紫外線光源的紫外光引向掩模86的上表面，從而選擇性地使粘合劑84曝光，如圖6(d)所示。直接位于掩模圖案90之下的粘合劑部分96不受紫外光的照射，而粘合劑的其余部分94暴露于紫外光下。照射的持續時間應足以使暴露于紫外光下的粘合劑的其余部分94完全固化。在曝光結束后除去柔性墊80、可釋放的薄膜82和玻璃掩模86，并用適當的流體將未受照射因而未固化的粘合劑部分96沖洗掉以形成噴嘴18，噴嘴18具有在入口22和下凹的出口20之間延伸的大致圓柱形的內孔24。
通過光刻工藝來形成噴嘴18，就能夠在噴嘴板中精確地形成噴嘴18。容易理解，這種方法可以用來在噴嘴板中同時形成多個噴嘴。使出口20下凹可以減小噴嘴在使用時受到機械損傷的可能性。該實施例的下凹形成技術也可以用于上述第一和第三個實施例的任一個中。
圖7(a)至7(d)是顯示了制造噴嘴板的方法的第五實施例中的步驟的剖視圖。在該實施例中，如圖7(a)所示，主體12具有一個或多個例如通過光刻蝕刻所形成的開口28，將主體12連接到微滴沉積裝置上，具體地說是連接到通道104的側壁102的上表面100上，其中通道104由側壁102和側壁102從中延伸出來的基底(未示出)形成。可以在將主體安裝到側壁上之前或之后在噴嘴板中形成開口28。在該實施例中，將蓋板106連接到主體12的上表面108上，蓋板106由塑料如UpilexTM制成。參見圖7(b)，接著利用任一傳統涂布技術將聚合物材料如聚對亞苯基二甲基材料的層26涂覆到開口28的壁30、側壁102的相對側面以及暴露于開口28中的蓋板106的下表面110上，以便形成噴嘴18的一部分，噴嘴18具有在聚對亞苯基二甲基材料26中延伸的大致圓柱形的內孔。此時可在蓋板106的上表面112上涂覆聚對亞苯基二甲基材料層114。參見圖7(c)，接著例如利用激光燒蝕技術在蓋板106中形成開口116，以完成噴嘴的成形。之后，例如利用等離子蝕刻技術選擇性地除去出口20周圍的一部分層114，以便露出蓋板106的一部分120。在蝕刻中用來使蓋板的所述部分120暴露出的掩模(未示出)可保留在層114上，以便機械式地保護出口20。這一掩模可用與主體12相同的材料制成，例如鎳和鐵的合金如Nilo。
圖8是形成于噴嘴板12中的部分地形成的噴嘴18的剖視圖。可以用參考圖3和5所介紹的任何一種技術、即通過模制或熱壓來部分地形成噴嘴。用激光燒蝕來完成整個噴嘴18的成形。已經發現，這樣可以提高噴嘴出口的表面質量。圖8所示的噴嘴板坯件在暴露于準分子激光束下以完成噴嘴成形之前可以方便地粘結到噴墨打印頭上，從而使激光束能夠與打印頭中通向噴嘴的墨水通道104精確地對準。
在說明書和/或權利要求以及附圖中公開的每一特征都可以獨立提供或以任何適當的組合形式提供。特別是，從屬權利要求的特征可以結合到獨立權利要求中。
權利要求
1.一種用于微滴沉積裝置的噴嘴板，所述噴嘴板包括主體和多個噴嘴，各所述噴嘴具有入口、出口，以及在所述入口和出口之間延伸并形成為穿過形成于所述主體的開口內的聚合物材料的內孔。
2.根據權利要求1所述的噴嘴板，其特征在于，所述聚合物材料包括環氧樹脂、聚對亞苯基二甲基材料、聚酰亞胺或熱塑性塑料中的一種
3.根據上述權利要求中任一項所述的噴嘴板，其特征在于，所述主體由金屬和陶瓷材料中的一種制成。
4.根據權利要求3所述的噴嘴板，其特征在于，所述主體由含有鎳和鐵的合金制成。
5.根據上述權利要求中任一項所述的噴嘴板，其特征在于，所述內孔朝向所述出口收縮。
6.根據上述權利要求中任一項所述的噴嘴板，其特征在于，所述聚合物材料的層在所述主體的粘結表面上延伸。
7.根據上述權利要求中任一項所述的噴嘴板，其特征在于，所述出口相對于所述主體的表面是下凹的。
8.根據上述權利要求中任一項所述的噴嘴板，其特征在于，所述噴嘴板還包括在所述出口周圍延伸的液體排斥層。
9.根據上述權利要求中任一項所述的噴嘴板，其特征在于，所述噴嘴板還包括安裝在所述主體上的蓋板，所述噴嘴的內孔延伸穿過所述蓋板。
10.一種微滴沉積裝置，其包括多個通道和安裝在所述裝置上的根據上述權利要求中任一項所述的噴嘴板，所述噴嘴板為各所述通道提供了相應的噴嘴以從中噴出微滴。
11.根據權利要求10所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括基底和從所述基底中延伸出來以限定所述通道的通道分隔側壁，所述噴嘴板安裝在所述側壁上的與所述基底相反的表面上。
12.根據權利要求11所述的裝置，其特征在于，所述噴嘴板的主體由熱膨脹系數基本上與所述側壁相同的材料制成。
13.一種制造用于微滴沉積裝置的噴嘴板的方法，所述方法包括步驟在主體中形成開口；將聚合物材料引入到所述開口中；以及在所述聚合物材料中形成噴嘴，所述噴嘴具有入口、出口以及在所述入口和出口之間延伸并穿過所述聚合物材料的內孔。
14.根據權利要求13所述的方法，其特征在于，所述開口通過蝕刻、激光切割、鉆孔、沖孔和電成形中的一種而形成于所述主體中。
15.根據權利要求13或14所述的方法，其特征在于，利用模制技術將所述聚合物材料引入到所述開口中。
16.根據權利要求13至15中任一項所述的方法，其特征在于，將所述聚合物材料引入到所述開口中以基本上填滿所述開口。
17.根據權利要求13至16中任一項所述的方法，其特征在于，所述方法還包括在所述聚合物材料中形成下凹部分的步驟。
18.根據權利要求17所述的方法，其特征在于，所述方法還包括步驟將柔性表面施加到所述主體的表面上；將所述主體與所述柔性表面壓緊以使所述柔性表面發生變形而進入到所述開口中，從而使所述聚合物材料下凹。
19.根據權利要求13至18中任一項所述的方法，其特征在于，通過熱壓來至少部分地形成所述噴嘴。
20.根據權利要求13至19中任一項所述的方法，其特征在于，通過將具有與所述噴嘴的形狀相符的成形部分的模具壓入到所述聚合物材料中來形成所述噴嘴。
21.根據權利要求20所述的方法，其特征在于，對所述成形部分在所述聚合物材料中的封閉程度進行限制，以控制形成于所述聚合物材料中的所述噴嘴的形狀。
22.根據權利要求20或21所述的方法，其特征在于，所述模具具有多個成形部分，將各所述成形部分壓入到形成于所述主體內的相應的聚合物材料插塞中，以便在所述插塞中形成一個噴嘴，這樣就可同時形成多個噴嘴。
23.根據權利要求20至22中任一項所述的方法，其特征在于，所述模具具有在所述成形部分周圍延伸的基本上平面的部分，使得在所述加壓過程中從所述開口中擠出的聚合物材料在所述平面部分和所述主體的表面之間形成了聚合物材料層。
24.根據權利要求13至23中任一項所述的方法，其特征在于，通過激光燒蝕來至少部分地形成所述噴嘴。
25.根據權利要求24所述的方法，其特征在于，在進行所述激光燒蝕之前將保護層涂覆到待形成所述出口的所述聚合物材料的表面上。
26.根據權利要求13至18中任一項所述的方法，其特征在于，所述聚合物材料包括在暴露于電磁幅射下時可固化的材料，所述噴嘴通過將所述聚合物材料選擇性地暴露于電磁幅射下并除去未暴露的材料來形成。
27.根據權利要求15所述的方法，其特征在于，所述噴嘴的至少一部分在于所述開口中模制所述聚合物材料的期間形成。
28.根據權利要求27所述的方法，其特征在于，所述方法還包括步驟將形狀與所述噴嘴的至少一部分相符的模子插入到所述主體的開口中，在所述模子和所述主體開口的周邊之間注入聚合物材料，然后取出所述模子。
29.根據權利要求28所述的方法，其特征在于，在所述主體中同時形成多個噴嘴。
30.根據權利要求29所述的方法，其特征在于，采用一個模子來形成各所述噴嘴，所述模子具有多個成形部分，將各所述成形部分插入到形成于所述主體中的相應開口內，然后將聚合物材料注入到各成形部分和所述相應開口的周邊之間。
31.根據權利要求29至30中任一項所述的方法，其特征在于，所述模子包括在所述成形部分周圍延伸的基本上平面的部分，在所述平面部分和所述主體的表面之間設有一個或多個間隔物，這樣，聚合物材料還注入到形成于所述表面和所述平面部分之間的空間中，從而在所述表面上形成了聚合物材料層。
32.根據權利要求13至31中任一項所述的方法，其特征在于，所述方法還包括形成在所述出口周圍延伸的液體排斥層的步驟。
33.根據權利要求13或14所述的方法，其特征在于，將蓋板安裝到形成于所述主體中的開口上，之后在所述開口內形成聚合物材料層以形成所述噴嘴的第一部分，并且在所述蓋板中形成與所述噴嘴內孔基本上同軸的開口，以便形成所述噴嘴的第二部分。
34.根據權利要求33所述的方法，其特征在于，利用涂布技術來形成所述聚合物材料層。
35.根據權利要求34所述的方法，其特征在于，在所述蓋板上的與所述主體相反的表面上形成聚合物材料的附加層。
36.根據權利要求35所述的方法，其特征在于，在形成所述同軸開口之后，選擇性地將在所述同軸開口周圍延伸的所述聚合物材料的一部分附加層除去。
37.一種用于微滴沉積裝置的噴嘴板坯件，所述坯件包括具有多個形成于其中的開口的主體，在各所述開口中放入了聚合物材料。
38.根據權利要求37所述的噴嘴板坯件，其特征在于，所述坯件還包括形成為部分地穿過所述聚合物材料以在所述噴嘴板的各開口內構成一部分噴嘴的內孔。
39.根據權利要求38所述的噴嘴板坯件，其特征在于，所述內孔是錐形的。
40.根據權利要求37至39中任一項所述的噴嘴板坯件，其特征在于，所述聚合物材料包括環氧樹脂、聚對亞苯基二甲基材料、聚酰亞胺或熱塑性塑料中的一種。
41.根據權利要求37至40中任一項所述的噴嘴板坯件，其特征在于，所述主體由金屬和陶瓷材料中的一種制成。
42.根據權利要求41所述的噴嘴板坯件，其特征在于，所述主體由含有鎳和鐵的合金制成。
43.根據權利要求37至42中任一項所述的噴嘴板坯件，其特征在于，所述聚合物材料的層在所述主體的粘結表面上延伸。
44.一種基本上如這里所述的噴嘴板、噴嘴板坯件或微滴沉積裝置。
45.一種基本上如這里所述的制造用于微滴沉積裝置的噴嘴板的方法。
全文摘要
一種噴嘴板，其包括主體(12)和插入件(26)。各噴嘴均具有入口(22)、出口(20)以及在入口和出口之間延伸并在位于開口(28)中的插入件聚合物材料中形成的內孔(24)，該開口(28)形成于噴嘴板的主體中。
文檔編號B41J2/135GK1512936SQ02811229
公開日2004年7月14日 申請日期2002年6月5日 優先權日2001年6月5日
發明者W·扎普卡, R·哈維, S·特姆普爾, S·奧默, P·R·德魯里, W 扎普卡, 德魯里, 菲斬 申請人:薩爾技術有限公司