本(ben)發明涉及抓(zhua)(zhua)(zhua)取(qu)(qu)裝(zhuang)置，具體為(wei)一(yi)種精細金屬掩膜版抓(zhua)(zhua)(zhua)取(qu)(qu)裝(zhuang)置以及抓(zhua)(zhua)(zhua)取(qu)(qu)方法。

背景技術：

1、精細金(jin)(jin)屬(shu)(shu)掩(yan)膜版(ban)(ban)(fmm)是(shi)(shi)用(yong)于(yu)oled生(sheng)產的(de)(de)(de)核心耗(hao)材(cai)，其(qi)厚度僅有20um左右，但長度和(he)寬度分(fen)別可達到1400mm和(he)400mm，因此對精細金(jin)(jin)屬(shu)(shu)掩(yan)膜版(ban)(ban)的(de)(de)(de)轉(zhuan)運是(shi)(shi)目前行業的(de)(de)(de)痛點(dian)。如圖1所示的(de)(de)(de)精細金(jin)(jin)屬(shu)(shu)掩(yan)膜版(ban)(ban)，在(zai)搬運前各精細金(jin)(jin)屬(shu)(shu)掩(yan)膜版(ban)(ban)是(shi)(shi)堆疊(die)在(zai)一(yi)起(qi)的(de)(de)(de)，相鄰精細金(jin)(jin)屬(shu)(shu)掩(yan)膜版(ban)(ban)之間放置有隔膜紙(zhi)(zhi)，精細金(jin)(jin)屬(shu)(shu)掩(yan)膜版(ban)(ban)的(de)(de)(de)兩端由激光加工設備雕(diao)刻形成(cheng)類似u形結構的(de)(de)(de)可去除部分(fen)。在(zai)搬運精細金(jin)(jin)屬(shu)(shu)掩(yan)膜版(ban)(ban)時，需要移除u形結構部分(fen)，再轉(zhuan)移至下一(yi)工位的(de)(de)(de)放置區，轉(zhuan)移隔膜紙(zhi)(zhi)放置到精細金(jin)(jin)屬(shu)(shu)掩(yan)膜版(ban)(ban)上，如此轉(zhuan)移堆疊(die)。

2、現有技(ji)術中(zhong)(zhong)，公開號為(wei)cn117088130b的(de)(de)專利文(wen)件(jian)(jian)公開了(le)(le)精(jing)(jing)細(xi)金(jin)屬(shu)(shu)掩(yan)(yan)膜(mo)(mo)(mo)(mo)版(ban)抓(zhua)取(qu)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)及其抓(zhua)取(qu)方法(fa)，安(an)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)于(yu)抓(zhua)取(qu)機器(qi)(qi)人的(de)(de)末端(duan)處，包括(kuo)與抓(zhua)取(qu)機器(qi)(qi)人末端(duan)連(lian)(lian)接(jie)的(de)(de)連(lian)(lian)接(jie)板，所述(shu)連(lian)(lian)接(jie)板的(de)(de)背(bei)(bei)面關于(yu)其縱向(xiang)中(zhong)(zhong)線(xian)鏡像設置(zhi)有伸縮機構(gou)(gou)(gou)，所述(shu)伸縮機構(gou)(gou)(gou)的(de)(de)輸出(chu)端(duan)連(lian)(lian)接(jie)有對(dui)產品或隔膜(mo)(mo)(mo)(mo)進行(xing)抓(zhua)取(qu)的(de)(de)抓(zhua)取(qu)機構(gou)(gou)(gou)，所述(shu)抓(zhua)取(qu)機構(gou)(gou)(gou)連(lian)(lian)接(jie)有拉掉(diao)產品端(duan)頭(tou)需去(qu)除(chu)部(bu)分或抓(zhua)取(qu)隔膜(mo)(mo)(mo)(mo)紙的(de)(de)廢料(liao)分離機構(gou)(gou)(gou)，上述(shu)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)中(zhong)(zhong)伸縮機構(gou)(gou)(gou)可(ke)(ke)以(yi)根(gen)據(ju)產品的(de)(de)長度(du)進行(xing)自(zi)動調(diao)(diao)節，可(ke)(ke)調(diao)(diao)長度(du)在(zai)500～1400mm之間，抓(zhua)取(qu)機構(gou)(gou)(gou)中(zhong)(zhong)的(de)(de)寬(kuan)(kuan)幅調(diao)(diao)節組件(jian)(jian)可(ke)(ke)以(yi)根(gen)據(ju)產品的(de)(de)寬(kuan)(kuan)度(du)進行(xing)自(zi)動調(diao)(diao)節，可(ke)(ke)調(diao)(diao)寬(kuan)(kuan)度(du)在(zai)50～450mm之間，從而兼容目(mu)前市(shi)面上絕大多數精(jing)(jing)細(xi)金(jin)屬(shu)(shu)掩(yan)(yan)膜(mo)(mo)(mo)(mo)版(ban)產品尺寸，但是上述(shu)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)在(zai)對(dui)精(jing)(jing)細(xi)金(jin)屬(shu)(shu)掩(yan)(yan)膜(mo)(mo)(mo)(mo)版(ban)的(de)(de)去(qu)除(chu)部(bu)分吸(xi)取(qu)后，不便(bian)于(yu)將(jiang)吸(xi)取(qu)的(de)(de)去(qu)除(chu)部(bu)分在(zai)線(xian)去(qu)除(chu)，且(qie)現有吸(xi)取(qu)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)在(zai)對(dui)精(jing)(jing)細(xi)金(jin)屬(shu)(shu)掩(yan)(yan)膜(mo)(mo)(mo)(mo)版(ban)抓(zhua)取(qu)時不便(bian)于(yu)將(jiang)精(jing)(jing)細(xi)金(jin)屬(shu)(shu)掩(yan)(yan)膜(mo)(mo)(mo)(mo)版(ban)和隔膜(mo)(mo)(mo)(mo)紙同(tong)步(bu)抓(zhua)取(qu)并同(tong)步(bu)轉移(yi)，因而造成抓(zhua)取(qu)和轉移(yi)流程(cheng)較為(wei)復雜，且(qie)抓(zhua)取(qu)效(xiao)率較為(wei)局(ju)限，基(ji)于(yu)此，本發(fa)明提(ti)供了(le)(le)一種精(jing)(jing)細(xi)金(jin)屬(shu)(shu)掩(yan)(yan)膜(mo)(mo)(mo)(mo)版(ban)抓(zhua)取(qu)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置(zhi)以(yi)及抓(zhua)取(qu)方法(fa)，以(yi)解決上述(shu)背(bei)(bei)景技(ji)術中(zhong)(zhong)提(ti)出(chu)的(de)(de)技(ji)術問(wen)題。

技術實現思路

1、本發明(ming)的目(mu)的在于提(ti)供一種精(jing)細(xi)金屬(shu)掩(yan)膜版(ban)抓(zhua)(zhua)(zhua)取(qu)裝置以(yi)及抓(zhua)(zhua)(zhua)取(qu)方法，解(jie)決了背景技(ji)術中提(ti)出(chu)的現有裝置在對(dui)精(jing)細(xi)金屬(shu)掩(yan)膜版(ban)的去(qu)除部分吸取(qu)后，不便于將(jiang)吸取(qu)的去(qu)除部分在線(xian)去(qu)除，且現有吸取(qu)裝置在對(dui)精(jing)細(xi)金屬(shu)掩(yan)膜版(ban)抓(zhua)(zhua)(zhua)取(qu)時不便于將(jiang)精(jing)細(xi)金屬(shu)掩(yan)膜版(ban)和(he)隔(ge)膜紙同(tong)步抓(zhua)(zhua)(zhua)取(qu)并同(tong)步轉移，因而造(zao)成抓(zhua)(zhua)(zhua)取(qu)和(he)轉移流程較(jiao)為復雜，且抓(zhua)(zhua)(zhua)取(qu)效率較(jiao)為局(ju)限為了解(jie)決上述技(ji)術問題，本發明(ming)提(ti)供如下技(ji)術方案(an)：

2、一種精細(xi)金屬掩(yan)膜版抓取裝(zhuang)置，包括多軸(zhou)(zhou)機械(xie)臂，還包括抓取架，安裝(zhuang)于多軸(zhou)(zhou)機械(xie)臂的前端并(bing)通過(guo)多軸(zhou)(zhou)機械(xie)臂多軸(zhou)(zhou)驅動；

3、調(diao)距件a、吸料軟管、真空(kong)管和(he)第一視覺采集探頭，均安裝于抓(zhua)取架(jia)上；

4、兩(liang)個對稱設置的升降主架(jia)，兩(liang)個所(suo)述升降主架(jia)與抓取架(jia)之間均安裝有一組(zu)升降推桿；

5、兩個徑向設置的抓取部件；

6、所(suo)述抓取(qu)部(bu)件(jian)(jian)包括兩個(ge)(ge)驅動(dong)塊(kuai)、兩個(ge)(ge)升(sheng)降(jiang)副架(jia)(jia)和夾(jia)框(kuang)，兩個(ge)(ge)所(suo)述驅動(dong)塊(kuai)均與(yu)(yu)調(diao)距(ju)件(jian)(jian)a連(lian)(lian)(lian)接(jie)(jie)，所(suo)述夾(jia)框(kuang)與(yu)(yu)兩個(ge)(ge)驅動(dong)塊(kuai)之(zhi)間(jian)均安裝有(you)一(yi)組壓力傳(chuan)感器，兩個(ge)(ge)所(suo)述升(sheng)降(jiang)副架(jia)(jia)分別與(yu)(yu)兩個(ge)(ge)驅動(dong)塊(kuai)和兩個(ge)(ge)升(sheng)降(jiang)主架(jia)(jia)滑(hua)動(dong)連(lian)(lian)(lian)接(jie)(jie)，兩個(ge)(ge)所(suo)述升(sheng)降(jiang)副架(jia)(jia)之(zhi)間(jian)轉動(dong)連(lian)(lian)(lian)接(jie)(jie)有(you)通過導動(dong)電(dian)機驅動(dong)的導動(dong)軸桿，所(suo)述夾(jia)框(kuang)上安裝有(you)調(diao)距(ju)件(jian)(jian)b和導軌(gui)，所(suo)述調(diao)距(ju)件(jian)(jian)b上傳(chuan)動(dong)連(lian)(lian)(lian)接(jie)(jie)有(you)兩個(ge)(ge)鏡像(xiang)設置且(qie)與(yu)(yu)導軌(gui)滑(hua)動(dong)連(lian)(lian)(lian)接(jie)(jie)的抓鉗，兩個(ge)(ge)抓鉗上均設有(you)與(yu)(yu)導動(dong)軸桿連(lian)(lian)(lian)接(jie)(jie)的轉位吸(xi)料及吸(xi)取(qu)部(bu)件(jian)(jian)；

7、所述(shu)(shu)導(dao)軌(gui)上(shang)且對(dui)應兩(liang)(liang)個抓鉗之(zhi)間的位(wei)置滑動(dong)連(lian)接(jie)有(you)一組定位(wei)吸架，所述(shu)(shu)導(dao)軌(gui)上(shang)且對(dui)應兩(liang)(liang)兩(liang)(liang)定位(wei)吸架之(zhi)間的位(wei)置及兩(liang)(liang)個抓鉗與(yu)(yu)相鄰定位(wei)吸架之(zhi)間的位(wei)置均(jun)套設有(you)從(cong)動(dong)彈(dan)簧，每個所述(shu)(shu)定位(wei)吸架上(shang)均(jun)安裝有(you)與(yu)(yu)真(zhen)空管連(lian)通(tong)的吸腳模塊。

8、優選的(de)，所(suo)(suo)述(shu)多軸(zhou)機(ji)械臂(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)包(bao)括底座(zuo)，所(suo)(suo)述(shu)底座(zuo)上安裝有(you)(you)旋(xuan)轉(zhuan)器，所(suo)(suo)述(shu)旋(xuan)轉(zhuan)器的(de)旋(xuan)轉(zhuan)面(mian)(mian)安裝有(you)(you)轉(zhuan)臺(tai)，所(suo)(suo)述(shu)轉(zhuan)臺(tai)的(de)頂(ding)面(mian)(mian)鉸(jiao)接(jie)有(you)(you)第(di)(di)(di)(di)一抓(zhua)(zhua)臂(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)，所(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)(di)(di)一抓(zhua)(zhua)臂(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)的(de)前端鉸(jiao)接(jie)有(you)(you)第(di)(di)(di)(di)二抓(zhua)(zhua)臂(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)，所(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)(di)(di)二抓(zhua)(zhua)臂(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)的(de)前端鉸(jiao)接(jie)有(you)(you)第(di)(di)(di)(di)三(san)抓(zhua)(zhua)臂(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)，所(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)(di)(di)三(san)抓(zhua)(zhua)臂(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)上轉(zhuan)動(dong)連接(jie)有(you)(you)通(tong)過旋(xuan)轉(zhuan)電機(ji)驅動(dong)的(de)旋(xuan)臂(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)，所(suo)(suo)述(shu)旋(xuan)臂(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)與(yu)抓(zhua)(zhua)取(qu)架(jia)固定連接(jie)，所(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)(di)(di)一抓(zhua)(zhua)臂(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)與(yu)轉(zhuan)臺(tai)的(de)相(xiang)對表面(mian)(mian)之間(jian)、第(di)(di)(di)(di)二抓(zhua)(zhua)臂(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)與(yu)第(di)(di)(di)(di)一抓(zhua)(zhua)臂(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)的(de)相(xiang)對表面(mian)(mian)之間(jian)、第(di)(di)(di)(di)三(san)抓(zhua)(zhua)臂(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)與(yu)第(di)(di)(di)(di)二抓(zhua)(zhua)臂(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)的(de)相(xiang)對表面(mian)(mian)之間(jian)均(jun)鉸(jiao)接(jie)有(you)(you)一組調(diao)臂(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)推桿，所(suo)(suo)述(shu)轉(zhuan)臺(tai)上固定安裝有(you)(you)與(yu)第(di)(di)(di)(di)一視覺采集探頭數據(ju)連接(jie)的(de)中控主機(ji)。

9、優選的，所述抓取架(jia)上分別安裝有負(fu)壓(ya)吸(xi)料(liao)泵和(he)真空泵，所述負(fu)壓(ya)吸(xi)料(liao)泵與吸(xi)料(liao)軟管連(lian)通，所述真空泵的真空發生端(duan)口與真空管連(lian)通。

10、優選的(de)(de)，所(suo)述(shu)調(diao)距(ju)件a包括兩(liang)(liang)個對稱(cheng)設置且轉動連(lian)接(jie)于抓取(qu)(qu)架(jia)上(shang)的(de)(de)夾持絲桿和固定于抓取(qu)(qu)架(jia)上(shang)的(de)(de)夾持電機，兩(liang)(liang)個所(suo)述(shu)夾持絲桿通過(guo)第一鏈帶聯動，所(suo)述(shu)夾持電機的(de)(de)輸出(chu)軸端與(yu)一所(suo)述(shu)夾持絲桿固定連(lian)接(jie)，所(suo)述(shu)夾持絲桿上(shang)對稱(cheng)設置有正(zheng)螺(luo)紋段(duan)(duan)a和反螺(luo)紋段(duan)(duan)a，所(suo)述(shu)正(zheng)螺(luo)紋段(duan)(duan)a和反螺(luo)紋段(duan)(duan)a分別(bie)與(yu)兩(liang)(liang)個抓取(qu)(qu)部(bu)件中的(de)(de)驅動塊傳動連(lian)接(jie)。

11、優選的(de)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)調(diao)(diao)距(ju)件b包(bao)括轉動連(lian)(lian)接于(yu)抓取架上(shang)的(de)調(diao)(diao)節(jie)絲(si)桿(gan)和(he)固(gu)定于(yu)抓取架上(shang)的(de)調(diao)(diao)節(jie)電(dian)(dian)機，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)調(diao)(diao)節(jie)電(dian)(dian)機的(de)輸出軸端與調(diao)(diao)節(jie)絲(si)桿(gan)固(gu)定連(lian)(lian)接，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)調(diao)(diao)節(jie)絲(si)桿(gan)上(shang)對稱(cheng)設(she)置有正螺紋(wen)(wen)段(duan)b和(he)反(fan)螺紋(wen)(wen)段(duan)b，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)正螺紋(wen)(wen)段(duan)a和(he)反(fan)螺紋(wen)(wen)段(duan)a分別與兩個抓鉗傳(chuan)動連(lian)(lian)接，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)調(diao)(diao)節(jie)絲(si)桿(gan)的(de)軸線(xian)與夾持絲(si)桿(gan)的(de)軸線(xian)垂直。

12、優選的(de)(de)，所(suo)(suo)述轉位吸(xi)(xi)料(liao)(liao)(liao)及吸(xi)(xi)取(qu)部件(jian)包括(kuo)與(yu)抓(zhua)鉗滑動連(lian)(lian)接的(de)(de)負(fu)(fu)(fu)壓(ya)(ya)吸(xi)(xi)管(guan)(guan)(guan)，所(suo)(suo)述負(fu)(fu)(fu)壓(ya)(ya)吸(xi)(xi)管(guan)(guan)(guan)與(yu)吸(xi)(xi)料(liao)(liao)(liao)軟(ruan)管(guan)(guan)(guan)連(lian)(lian)通，所(suo)(suo)述負(fu)(fu)(fu)壓(ya)(ya)吸(xi)(xi)管(guan)(guan)(guan)的(de)(de)底端連(lian)(lian)通有(you)(you)吸(xi)(xi)料(liao)(liao)(liao)罩，所(suo)(suo)述吸(xi)(xi)料(liao)(liao)(liao)罩的(de)(de)內壁轉動連(lian)(lian)接有(you)(you)與(yu)吸(xi)(xi)料(liao)(liao)(liao)罩密(mi)(mi)封(feng)(feng)貼合的(de)(de)密(mi)(mi)封(feng)(feng)柱，所(suo)(suo)述密(mi)(mi)封(feng)(feng)柱通過(guo)聯(lian)動組件(jian)與(yu)導(dao)動軸桿傳動連(lian)(lian)接，所(suo)(suo)述密(mi)(mi)封(feng)(feng)柱上(shang)安裝有(you)(you)與(yu)中控主機數據連(lian)(lian)接的(de)(de)第二視(shi)覺采集探頭，所(suo)(suo)述密(mi)(mi)封(feng)(feng)柱上(shang)設置(zhi)有(you)(you)一吸(xi)(xi)料(liao)(liao)(liao)平面(mian)，所(suo)(suo)述吸(xi)(xi)料(liao)(liao)(liao)平面(mian)上(shang)安裝有(you)(you)負(fu)(fu)(fu)壓(ya)(ya)吸(xi)(xi)頭，所(suo)(suo)述密(mi)(mi)封(feng)(feng)柱的(de)(de)內部固(gu)定開設有(you)(you)與(yu)負(fu)(fu)(fu)壓(ya)(ya)吸(xi)(xi)頭連(lian)(lian)通的(de)(de)負(fu)(fu)(fu)壓(ya)(ya)吸(xi)(xi)道，所(suo)(suo)述負(fu)(fu)(fu)壓(ya)(ya)吸(xi)(xi)道通過(guo)軟(ruan)聯(lian)管(guan)(guan)(guan)與(yu)真(zhen)空(kong)管(guan)(guan)(guan)連(lian)(lian)通，所(suo)(suo)述軟(ruan)聯(lian)管(guan)(guan)(guan)與(yu)真(zhen)空(kong)管(guan)(guan)(guan)的(de)(de)連(lian)(lian)通處(chu)固(gu)定設置(zhi)有(you)(you)電磁(ci)閥a。

13、優(you)選的(de)，所(suo)(suo)述吸料罩為弧形(xing)結構，所(suo)(suo)述吸料罩的(de)整弧度為180°，所(suo)(suo)述第二(er)視覺采集(ji)探頭和負壓吸頭的(de)軸(zhou)線均與(yu)密(mi)封柱的(de)旋(xuan)轉軸(zhou)線垂直。

14、優(you)選(xuan)的(de)，所述聯動(dong)(dong)(dong)組件包括轉動(dong)(dong)(dong)連接(jie)于吸料罩上的(de)軸(zhou)(zhou)(zhou)套，所述軸(zhou)(zhou)(zhou)套的(de)內部固定開(kai)設有兩端開(kai)口且(qie)與導動(dong)(dong)(dong)軸(zhou)(zhou)(zhou)桿滑動(dong)(dong)(dong)連接(jie)的(de)傳動(dong)(dong)(dong)軸(zhou)(zhou)(zhou)槽，所述傳動(dong)(dong)(dong)軸(zhou)(zhou)(zhou)槽的(de)內腔形狀及導動(dong)(dong)(dong)軸(zhou)(zhou)(zhou)桿的(de)橫截面(mian)均(jun)為正多邊形，所述軸(zhou)(zhou)(zhou)套通過第二鏈帶與密封柱傳動(dong)(dong)(dong)連接(jie)。

15、優選的，所述(shu)(shu)吸(xi)(xi)腳模塊包括與(yu)定(ding)(ding)(ding)(ding)位吸(xi)(xi)架固定(ding)(ding)(ding)(ding)連接(jie)的定(ding)(ding)(ding)(ding)吸(xi)(xi)管(guan)(guan)，所述(shu)(shu)定(ding)(ding)(ding)(ding)吸(xi)(xi)管(guan)(guan)的內壁滑(hua)動連接(jie)有動吸(xi)(xi)管(guan)(guan)，所述(shu)(shu)定(ding)(ding)(ding)(ding)吸(xi)(xi)管(guan)(guan)通過軟接(jie)管(guan)(guan)與(yu)真空(kong)管(guan)(guan)連通，所述(shu)(shu)軟接(jie)管(guan)(guan)的內部安裝有電磁(ci)閥b，所述(shu)(shu)動吸(xi)(xi)管(guan)(guan)上固定(ding)(ding)(ding)(ding)安裝有與(yu)定(ding)(ding)(ding)(ding)吸(xi)(xi)管(guan)(guan)滑(hua)動連接(jie)的t形導(dao)(dao)桿，所述(shu)(shu)t形導(dao)(dao)桿且對(dui)應動吸(xi)(xi)管(guan)(guan)與(yu)定(ding)(ding)(ding)(ding)吸(xi)(xi)管(guan)(guan)之間(jian)的位置套設有抵緊彈(dan)簧，所述(shu)(shu)動吸(xi)(xi)管(guan)(guan)的底端固定(ding)(ding)(ding)(ding)連通有真空(kong)吸(xi)(xi)腳。

16、本發(fa)明還提出(chu)一種如以上所述的一種精細金屬掩膜版抓(zhua)(zhua)取(qu)裝(zhuang)置的抓(zhua)(zhua)取(qu)方法，包括(kuo)以下步驟：

17、s1，向(xiang)中控(kong)主機中輸入待(dai)抓取(qu)的精細金(jin)屬(shu)掩膜版信息；

18、s2，第(di)一視覺采集(ji)探頭(tou)采集(ji)待抓(zhua)取(qu)精細金屬掩膜版的(de)邊緣特征并定位；

19、s3，中(zhong)(zhong)控主機依據第一視覺(jue)采集探頭的采集信息，調節兩個(ge)抓取(qu)部件之間的間距并使得上(shang)述(shu)間距與待抓取(qu)精細(xi)金(jin)屬掩(yan)膜版的規格適配(pei)，每個(ge)抓取(qu)部件中(zhong)(zhong)的兩個(ge)負壓吸頭的位置分別與待抓取(qu)精細(xi)金(jin)屬掩(yan)膜版上(shang)的待去除(chu)部分位置對應；

20、s4，真空吸(xi)(xi)腳吸(xi)(xi)取(qu)待(dai)(dai)抓取(qu)精細金(jin)屬掩膜(mo)(mo)版，負壓(ya)(ya)(ya)吸(xi)(xi)頭吸(xi)(xi)取(qu)精細金(jin)屬掩膜(mo)(mo)版上的待(dai)(dai)去(qu)除部分，負壓(ya)(ya)(ya)吸(xi)(xi)頭將待(dai)(dai)去(qu)除部分吸(xi)(xi)取(qu)后(hou)(hou)，密(mi)(mi)封柱(zhu)旋(xuan)轉180°，密(mi)(mi)封柱(zhu)旋(xuan)轉后(hou)(hou)，負壓(ya)(ya)(ya)吸(xi)(xi)頭失去(qu)負壓(ya)(ya)(ya)，吸(xi)(xi)料軟管將負壓(ya)(ya)(ya)吸(xi)(xi)頭上吸(xi)(xi)取(qu)的待(dai)(dai)去(qu)除部分吸(xi)(xi)取(qu)，隨后(hou)(hou)，密(mi)(mi)封柱(zhu)和(he)負壓(ya)(ya)(ya)吸(xi)(xi)頭自動復(fu)位(wei)，復(fu)位(wei)完畢后(hou)(hou)，負壓(ya)(ya)(ya)吸(xi)(xi)頭吸(xi)(xi)取(qu)精細金(jin)屬掩膜(mo)(mo)版下方(fang)的隔膜(mo)(mo)紙；

21、s5，多(duo)軸機械臂運動(dong)，并將(jiang)隔(ge)(ge)膜(mo)紙(zhi)和(he)精(jing)細金屬掩膜(mo)版一同(tong)轉(zhuan)移至下(xia)一工(gong)位，轉(zhuan)移至下(xia)一工(gong)位后，負(fu)壓吸(xi)頭(tou)和(he)真空吸(xi)腳失去負(fu)壓，繼而完成(cheng)隔(ge)(ge)膜(mo)紙(zhi)和(he)精(jing)細金屬掩膜(mo)版的同(tong)步轉(zhuan)移抓(zhua)取(qu)。

22、與現有(you)技術相比，本(ben)發明所達到的有(you)益效果(guo)是：

23、1、本裝(zhuang)置在(zai)對精細金屬(shu)掩(yan)膜版(ban)(ban)(ban)的去(qu)除(chu)部分吸取(qu)(qu)后，能(neng)(neng)夠(gou)將吸取(qu)(qu)的去(qu)除(chu)部分在(zai)線去(qu)除(chu)，且本吸取(qu)(qu)裝(zhuang)置在(zai)對精細金屬(shu)掩(yan)膜版(ban)(ban)(ban)抓取(qu)(qu)時(shi)能(neng)(neng)夠(gou)快速將精細金屬(shu)掩(yan)膜版(ban)(ban)(ban)和(he)隔(ge)膜紙同步(bu)抓取(qu)(qu)并同步(bu)轉(zhuan)移(yi)，繼(ji)而(er)有效(xiao)簡化精細金屬(shu)掩(yan)膜版(ban)(ban)(ban)抓取(qu)(qu)和(he)轉(zhuan)移(yi)流程并提高精細金屬(shu)掩(yan)膜版(ban)(ban)(ban)的抓取(qu)(qu)和(he)轉(zhuan)移(yi)效(xiao)率。

24、2、本發(fa)明抓取(qu)時(shi)，第(di)二視覺(jue)采集(ji)探頭(tou)用(yong)于通(tong)過視覺(jue)采集(ji)方(fang)式采集(ji)精(jing)細(xi)(xi)(xi)金(jin)屬(shu)(shu)(shu)掩(yan)(yan)膜(mo)(mo)(mo)版待(dai)(dai)去除(chu)部分的位(wei)置，第(di)二視覺(jue)采集(ji)探頭(tou)數據采集(ji)完畢后，負(fu)(fu)(fu)(fu)壓(ya)(ya)(ya)吸(xi)(xi)(xi)(xi)頭(tou)對(dui)精(jing)細(xi)(xi)(xi)金(jin)屬(shu)(shu)(shu)掩(yan)(yan)膜(mo)(mo)(mo)版待(dai)(dai)去除(chu)部分進行負(fu)(fu)(fu)(fu)壓(ya)(ya)(ya)吸(xi)(xi)(xi)(xi)取(qu)，負(fu)(fu)(fu)(fu)壓(ya)(ya)(ya)吸(xi)(xi)(xi)(xi)頭(tou)對(dui)精(jing)細(xi)(xi)(xi)金(jin)屬(shu)(shu)(shu)掩(yan)(yan)膜(mo)(mo)(mo)版待(dai)(dai)去除(chu)部分吸(xi)(xi)(xi)(xi)取(qu)完畢后，密(mi)封柱旋轉180°，密(mi)封柱旋轉180°后，電(dian)磁閥a關閉，電(dian)磁閥a關閉后，吸(xi)(xi)(xi)(xi)料(liao)(liao)軟管對(dui)負(fu)(fu)(fu)(fu)壓(ya)(ya)(ya)吸(xi)(xi)(xi)(xi)頭(tou)上的精(jing)細(xi)(xi)(xi)金(jin)屬(shu)(shu)(shu)掩(yan)(yan)膜(mo)(mo)(mo)版的待(dai)(dai)去除(chu)部分進行負(fu)(fu)(fu)(fu)壓(ya)(ya)(ya)吸(xi)(xi)(xi)(xi)料(liao)(liao)及負(fu)(fu)(fu)(fu)壓(ya)(ya)(ya)集(ji)料(liao)(liao)，吸(xi)(xi)(xi)(xi)料(liao)(liao)軟管負(fu)(fu)(fu)(fu)壓(ya)(ya)(ya)集(ji)料(liao)(liao)后，負(fu)(fu)(fu)(fu)壓(ya)(ya)(ya)吸(xi)(xi)(xi)(xi)頭(tou)復位(wei)，負(fu)(fu)(fu)(fu)壓(ya)(ya)(ya)吸(xi)(xi)(xi)(xi)頭(tou)復位(wei)后，負(fu)(fu)(fu)(fu)壓(ya)(ya)(ya)吸(xi)(xi)(xi)(xi)頭(tou)在(zai)升(sheng)降副架的作用(yong)下(xia)下(xia)移，負(fu)(fu)(fu)(fu)壓(ya)(ya)(ya)吸(xi)(xi)(xi)(xi)頭(tou)下(xia)移時(shi)，由精(jing)細(xi)(xi)(xi)金(jin)屬(shu)(shu)(shu)掩(yan)(yan)膜(mo)(mo)(mo)版待(dai)(dai)去除(chu)部分的去除(chu)位(wei)置對(dui)精(jing)細(xi)(xi)(xi)金(jin)屬(shu)(shu)(shu)掩(yan)(yan)膜(mo)(mo)(mo)版下(xia)方(fang)的隔膜(mo)(mo)(mo)紙進行負(fu)(fu)(fu)(fu)壓(ya)(ya)(ya)吸(xi)(xi)(xi)(xi)取(qu)，繼而快速完成(cheng)精(jing)細(xi)(xi)(xi)金(jin)屬(shu)(shu)(shu)掩(yan)(yan)膜(mo)(mo)(mo)版和隔膜(mo)(mo)(mo)紙的同步抓取(qu)和同步轉移。

25、3、本(ben)發(fa)明通過(guo)多(duo)個(ge)定位吸架的(de)位置(zhi)可(ke)(ke)從(cong)動改(gai)變(bian)設(she)置(zhi)及從(cong)動彈簧的(de)設(she)置(zhi)，從(cong)而(er)使得(de)多(duo)個(ge)吸腳模(mo)塊在對精(jing)細金(jin)屬掩膜(mo)(mo)(mo)版吸取時能夠(gou)在精(jing)細金(jin)屬掩膜(mo)(mo)(mo)版的(de)表面分布均勻，通過(guo)多(duo)個(ge)吸腳模(mo)塊的(de)均勻分布設(she)置(zhi)及間(jian)距可(ke)(ke)調(diao)設(she)置(zhi)，從(cong)而(er)使得(de)多(duo)個(ge)吸腳模(mo)塊能夠(gou)對精(jing)細金(jin)屬掩膜(mo)(mo)(mo)版進行穩定抓取。