新型線切割機雙排切割晶托裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及多晶硅生產技術領域,進一步是線切割機切割多晶硅塊裝置,尤其是線切割機雙排切割晶托裝置。
【背景技術】
[0002]目前多晶硅線切割所使用的線切割設備,大多是雙排并排設計的。此類機型在增加裝載量的同時,也存在切割過程中并排晶棒相互影響的情況。特別是在入切和收刀階段尤為明顯。經常會出現因并排晶棒不能同時入刀導致的邊緣缺陷,以及收刀時線弓過大導致的膠面邊緣缺陷,最終導致切割良品率較低。
【發明內容】
[0003]本實用新型的目的是提供一種線切割機雙排切割晶托加角度裝置,它可克服現有技術的缺陷,減少入切和收刀階段雙排切割相互影響所產生的不良,降低生產成本,提高切片良品率。
[0004]本實用新型的目的是通過以下方案實現的:
[0005]在原晶托設計的基礎上,在晶托和金屬墊板之間一側增加一個金屬墊條,使晶棒和線網之間不再平行,而是有一個角度,從而使晶棒在入切時一個角先接觸線網,使線網受力逐步增加,減少入切邊緣缺陷的產生,而到了收刀階段因為角度的存在,可將切割線弓的角度抵消,實現粘膠面的平穩出刀,減少粘膠面的邊緣缺陷的產生。從而提升切割良品率。
[0006]具體是:
[0007]新型線切割機雙排切割晶托裝置,包括兩個帶有燕尾槽的固定晶托,兩個用來粘結玻璃的金屬墊板,連結晶托和金屬墊板的固定螺絲;兩塊玻璃板,玻璃板下粘結多晶硅塊;其特征在于:所述晶托下平面與多晶硅塊上平面間呈3 — 6度夾角。
[0008]本實用新型還可通過以下方案進一步實現:
[0009]所述夾角由以下結構實現:晶托和金屬墊板中間添加有楔形金屬墊條,固定螺絲將晶托金屬墊板固緊,同時夾緊楔形金屬墊條。進一步:楔形金屬墊條的厚度為1.5mm-
2.0mm之間。
[0010]所述夾角由以下結構實現:將金屬墊板制成楔形,金屬墊板上平面與下平面呈3-6度夾角。
[0011]所述夾角由以下結構實現:將玻璃板制成楔形,玻璃上平面與下平面呈3— 6度夾角。
[0012]本實用新型的有益效果是:1、在雙排滿載切割時給晶棒加一個角度,可以避免晶棒在入切時產生邊緣線痕。2、雙排滿載切割所加角度在收刀時可以抵消切割過程中產生的線弓,使收刀更加平穩,避免因滿載切割線弓過大產生膠面的亮邊、崩邊和硅落等異常。最終實現提升切割良品率。
[0013]為了使本技術領域的人員更好地理解本實用新型方案,并使本實用新型的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂,下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細的說明。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型結構不意圖;
[0015]圖中:I為晶托,2為金屬墊板,3為固定螺絲,4為楔形金屬墊條,5為玻璃板,6為多晶娃塊。
【具體實施方式】
[0016]實施例:
[0017]如圖1所示,新型線切割機雙排切割晶托裝置,包括兩個晶托1、兩個金屬墊板2,以及兩塊玻璃板5,玻璃板5下置有多晶硅塊6。通過在晶托I和金屬墊板2中間添加兩個相同尺寸的楔形金屬墊條4,固定螺絲3將晶托I金屬墊板2固緊(也可以將所述楔形墊條直接通過固定晶托和金屬墊板的螺絲來固定),給下面粘結的多晶硅塊6—個傾斜角度,實現對入切和收刀不良的改善。
[0018]所述楔形金屬墊條設置于晶托和金屬墊板之間靠近中間砂簾一側,楔形金屬墊條厚度范圍1.5mm-2.0mm。
[0019]以上所述,僅為本實用新型的【具體實施方式】,但本實用新型的保護范圍并不局限于此,任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內,可輕易想到的變化或替換,都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.新型線切割機雙排切割晶托裝置,包括兩個帶有燕尾槽的固定晶托,兩個用來粘結玻璃的金屬墊板,連結晶托和金屬墊板的固定螺絲;兩塊玻璃板,玻璃板下粘結多晶硅塊;其特征在于:所述晶托下平面與多晶硅塊上平面間呈3 — 6度夾角。2.根據權利要求1所述的新型線切割機雙排切割晶托裝置,其特征在于:所述夾角由以下結構實現:晶托和金屬墊板中間添加有楔形金屬墊條,固定螺絲將晶托金屬墊板固緊,同時夾緊楔形金屬墊條。3.根據權利要求1所述的新型線切割機雙排切割晶托裝置,其特征在于:所述夾角由以下結構實現:將金屬墊板制成楔形,金屬墊板上平面與下平面呈3 — 6度夾角。4.根據權利要求1所述的新型線切割機雙排切割晶托裝置,其特征在于:所述夾角由以下結構實現:將玻璃板制成楔形,玻璃上平面與下平面呈3 — 6度夾角。5.根據權利要求2所述的新型線切割機雙排切割晶托裝置,其特征在于:所述楔形金屬墊條的厚度為1.5mm-2.0mm之間。
【專利摘要】本實用新型公開了一種新型線切割機雙排切割晶托裝置,涉及線切割機切割多晶硅塊裝置,包括兩個帶有燕尾槽的固定晶托,兩個用來粘結玻璃的金屬墊板,連結晶托和金屬墊板的固定螺絲;兩塊玻璃板,玻璃板下粘結多晶硅塊;其特征在于:所述晶托下平面與多晶硅塊上平面間呈3-6度夾角。本實用新型的有益效果是:1、在雙排滿載切割時給晶棒加一個角度,可以避免晶棒在入切時產生邊緣線痕。2、雙排滿載切割所加角度在收刀時可以抵消切割過程中產生的線弓,使收刀更加平穩,避免因滿載切割線弓過大產生膠面的亮邊、崩邊和硅落等異常。最終實現提升切割良品率。
【IPC分類】B28D5/04, B28D7/04
【公開號】CN205219475
【申請號】CN201521072322
【發明人】姜環宇, 劉福強, 方圓, 劉奇元, 劉陳陳, 蘇大偉, 王鵬坤, 黃文文, 吳昂, 屈曉春, 鄭春燕
【申請人】河南盛達光伏科技有限公司
【公開日】2016年5月11日
【申請日】2015年12月21日