裝置可包括絲線管理系統300及/或絲網隔室110，其中所述絲線管理系統及/或所述絲網隔室中的至少一個包含嚙合元件，所述嚙合元件配置用于與滑輪的接收部414互補地卡鎖嚙合。
[0068]因此，在各實施方式(其可與本文描述的其他實施方式結合)中，本文描述的絲線管理系統和線鋸裝置適配用于具有低于約150 μπι的直徑的細絲線，諸如在約100 μπι和約150 μ m之間的直徑，特別地在約50 μ m和約150 μ m之間，更特別地在50 μ m和100 μ m之間。在其它情況下，實施方式還可具有低到例如100 μ m、80 μ m、70 μ m或60 μ m的絲線直徑。
[0069]此外，本文描述的絲線管理系統和線鋸裝置適配用于經涂敷的絲線，例如用于具有鎳涂層的絲線，所述鎳涂層中包埋有金剛石粒子。這種絲線可以具有低于約150μπι的直徑，諸如在約100 μ m和約150 μ m之間的直徑，特別地在約50 μ m和約150 μ m之間，更特別地在50μπι和100 μπι之間，例如120 μπι。在其它情況下，實施方式還可以具有低到例如100μπι、80μπι、70μπι或60μπι的絲線直徑。對于那些絲線,絲線的纏繞可能會增加絲線損壞的風險或損傷所述涂層的風險，因此無纏繞的操作是有利的。藉由使用金剛線，所述產量可以增加到原來的2倍或更多。當使用金剛線時，所述線鋸的其他部分可與所述金剛線適配。例如，機械部分、電氣部分及/或軟件可與金剛線的使用適配。當使用金剛線時，所述線鋸的其他部分可與所述金剛線適配。例如，機械部分、電氣部分及/或軟件可與金剛線的使用適配。
[0070]如上所述，在本文描述的線鋸裝置中使用復數個滑輪。在這方面，必須考慮存在對更高切割速率和更高絲線速率、更細的絲線或不同類型的絲線(諸如，金剛線)、以及為使客戶更便利而改良的裝置控制的需求。在鋸切操作期間，所述滑輪可以大于1500rpm的轉速圍繞所述滑輪相應的軸線旋轉。根據一些實施方式，所述滑輪藉由能夠以2000rpm和更大的轉速，或者甚至3000rpm或更大的轉速(例如,2000rpm到4000rpm)旋轉而適配用于線鋸裝置。例如，在緊急停止期間，所述線鋸裝置必須盡快地停止。相應地，所述滑輪的慣性，即所述滑輪的慣性矩，會導致所述滑輪旋轉不會立即停止。這個進一步的滑輪旋轉可能會導致絲線的不利張緊，從而使絲線損壞可能發生。
[0071]此外，根據一些實施方式(其可與本文描述的其他實施方式結合)，這種絲線損壞可以如下檢測。所述絲線偏置到具有約20V到120V的絕對值的電位，諸如30V到60V。因此，會在所述絲線和其余的線鋸裝置元件(諸如，外殼、主框架、監視裝置(police)、外殼部分，或機柜的艙門等等)之間產生電壓。例如，這些其他元件可以處于接地電位。如果所述絲線損壞，那么所述絲線的松散端會接觸所述線鋸裝置的一個元件，例如如本文所述的包含導電塑膠材料的滑輪。在所述絲線和所述線鋸裝置之間的電壓會引發電流。因此，絲線損壞檢測系統可以監控這種電流的存在，并且如果檢測到這種電流，那么就檢測絲線的損壞。
[0072]根據本文描述的實施方式，提供根據如上所述的任何實施方式的具有至少一個滑輪的線鋸裝置。根據一個可選的方面，在所述線鋸中使用的復數個滑輪具有實質上相同的慣性矩。例如，所述滑輪的慣性矩彼此偏差不大于10%或5%。通常，根據不同的實施，所述線鋸裝置可以是選自由以下元件組成的群組的一元件:線鋸、多線鋸、切方機和截斷器。根據進一步實施方式(其可與本文描述的其他實施方式結合)，所述線鋸裝置可進一步包含線鋸裝置的主體、適配用于使所述絲線偏置至一電位的電壓源，以及從滑輪的轉輪部分到主體的導電通路。因此，如本文所描述的線鋸裝置的一些實施方式配置用于絲線損壞檢測，如上所述。
[0073]盡管上述內容是針對本公開案的實施方式，但可在不脫離本公開案的基本范圍的情況下設計本公開案的其他及進一步的實施方式，且本公開案的范圍是由權利要求書來確定的。
【主權項】
1.一種配置用于線鋸裝置的滑輪(400)，所述線鋸裝置具有形成絲網的絲線，所述滑輪包括: 接收部(414)，配置用于與互補的嚙合元件卡鎖嚙合，以及 牽引元件(430)，所述牽引元件連接到所述滑輪以藉由牽引解除所述卡鎖嚙合。2.如權利要求1所述的滑輪(400)，其特征在于，所述牽引元件(430)包括指狀柄部分(431)，所述指狀柄部分用于藉由牽引手動地解除所述卡鎖嚙合。3.如權利要求2所述的滑輪(400)，其特征在于，所述指狀柄部分(431)是環形或條狀的形式。4.如前述權利要求中任一項所述的滑輪(400)，其特征在于，所述接收部(414)配置用于從心軸到所述滑輪的扭矩傳輸。5.如前述權利要求中任一項所述的滑輪(400)，其特征在于，所述牽引元件(430)包括連接到所述滑輪的柔性連接部分(432)。6.如權利要求5所述的滑輪(400)，其特征在于，所述柔性連接部分可以整體地連接到所述滑輪。7.如權利要求1到6中任一項所述的滑輪(400)，其特征在于，所述牽引元件(430)連接到所述滑輪一側的徑向向外部分處。8.如權利要求1到6中任一項所述的滑輪(400)，其特征在于，所述牽引元件(430)連接到所述滑輪一側的中心側部分處。9.如權利要求1到8中任一項所述的滑輪(400)，其特征在于，所述滑輪包括復數個應變消除元件(470)，以用于在牽引所述牽引元件之后減輕所述滑輪中的應力，從而解除所述卡鎖嚙合。10.如權利要求9所述的滑輪(400)，其特征在于，所述復數個應變消除元件包括圍繞所述滑輪軸線徑向地設置的空腔。11.如權利要求1到10中任一項所述的滑輪(400)，其特征在于，所述滑輪是由塑膠材料、熱塑性材料和熱塑性合成橡膠材料中的一個構成的。12.如權利要求1到10中任一項所述的滑輪(400)，其特征在于，所述滑輪是由熱塑性材料構成的，以及其中所述熱塑性材料是選自由以下材料組成的群組的至少一個:丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)、聚酰胺(PA)、聚乳酸(PLA)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚碳酸酯(PC)、聚對苯二甲酸乙二酯(PET)、聚乙烯(PE)聚丙烯(PP)、聚苯乙烯(PS)、聚醚醚酮(PEEK)，以及聚氯乙烯(PVC)。13.如權利要求1到10中任一項所述的滑輪(400)，其特征在于，所述滑輪是由熱塑性合成橡膠材料構成的，以及其中所述熱塑性合成橡膠材料是選自由以下材料組成的群組的至少一個:聚酰胺、熱塑性聚氨基甲酸酯(THJ)、熱塑性共聚多酯、熱塑性聚酰胺、合成橡膠合金(ΤΡΕ-ν或TPV)、聚烯烴混合物(ΤΡΕ-ο)和苯乙烯類嵌段共聚物(TPE-s)。14.如權利要求1到13中任一項所述的滑輪(400)，其特征在于，所述滑輪的慣性矩是5.0*10 4kg*m2 或更小。15.如權利要求1到14中任一項所述的滑輪(400)，其特征在于，所述滑輪包括徑向向外指向的絲線引導部分，所述絲線引導部分具有界定絲線引導平面的溝槽結構，其中所述滑輪的質量中心位于所述絲線引導平面中。16.如權利要求1到15中任一項所述的滑輪(400)，其特征在于，所述滑輪是注射模塑的滑輪。17.如權利要求1所述的滑輪(400)，其特征在于，所述牽引元件(430)包括指狀柄部分(431)和連接到所述滑輪的柔性連接部分(432)，其中所述柔性連接部分整體地連接到所述滑輪，其中所述滑輪是由熱塑性材料或者熱塑性合成橡膠材料構成的，以及其中所述滑輪包括徑向向外指向的絲線引導部分(455)，所述絲線引導部分具有界定絲線引導平面(462)的溝槽結構。18.一種用于切割半導體材料的線鋸裝置(100)，所述線鋸裝置具有形成絲網的絲線，其中所述線鋸裝置包括如權利要求1到17中任一項所述的至少一個滑輪。19.如權利要求18所述的線鋸裝置(100)，其特征在于，所述線鋸裝置包括絲線管理系統(300)和/或絲網隔室(110)，其中所述絲線管理系統和/或所述絲網隔室中的至少一個包括嚙合元件，所述嚙合元件配置用于與所述滑輪的接收部(414)互補地卡鎖嚙合。20.一種如權利要求1到17中任一項所述的滑輪(400)在線鋸裝置中的使用。
【專利摘要】本發明描述一種配置用于線鋸裝置的滑輪，所述線鋸裝置具有形成絲網的絲線。所述滑輪(400)包含接收部(414)和牽引元件(430)，所述接收部配置用于與互補的嚙合元件卡鎖嚙合，而所述牽引元件連接到所述滑輪以用于藉由牽引解除所述卡鎖嚙合。
【IPC分類】B28D7/00, B28D5/04
【公開號】CN105014803
【申請號】CN201410312847
【發明人】S·蘇比耶勒
【申請人】應用材料瑞士有限責任公司
【公開日】2015年11月4日
【申請日】2014年7月2日
【公告號】CN204036678U, EP2939778A1