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共燒結構的氣體傳感器及獲得該傳感器的方法技術資料下載

技術編號:9863622

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在本領域中氣體傳感器(包括催化燃燒氣體傳感器和半導體氣體傳感器)以及共燒結工藝技術是公知的,催化燃燒氣體傳感器和半導體氣體傳感器用于可燃氣體、有毒有害氣體的檢測,例如家用燃氣泄漏報警、煤礦安全報警、大氣環境氣體監測等,是應用最為廣泛的兩類氣體傳感器。共燒結技術由于具有易于實現大規模生產及實現產品微型化被廣泛應用在半導體領域,該技術包括了流延、沖孔、絲網印刷、疊片、等靜壓、切割、燒結等工藝步驟。半導體氣體傳感器利用敏感材料吸附氣體后電導率值發生變化實現對氣體...
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