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基于厚度基準傳遞的光學透鏡中心厚測量方法技術資料下載

技術編號:9706173

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高精度光學成像鏡頭通常由多個光學透鏡組成,為了達到理想的成像質量,要求光學鏡頭的透射波前達到衍射極限,而透鏡中心厚度誤差是光學鏡頭透射波前誤差的主要來源之一。現有技術中,通常利用基于寬帶短相干激光干涉術的鏡面定位儀高精度測量光學透鏡中心厚度,鏡面定位儀直接測量的參量是透鏡中心的光程,然而利用鏡面定位儀的測量結果獲得光學透鏡中心厚度的前提是光學材料的折射率精確已知。由于鏡面定位儀的激光源屬于寬帶短相干光源,因此這里的光學材料折射率指的是該激光波長下的群折射率...
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