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一種硅基電鍍金屬反射鏡光柵耦合器及其制作方法技術資料下載

技術編號:9488685

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硅基光子芯片是近幾年國際上在光集成領域的研究熱點。基于絕緣體上硅芯片結果的集成光路,具有集成度高、損耗小、與集成電子工藝兼容等優點,非常適合于超大規模、低成本光電集成。由于單模硅波導的尺寸通常在幾百納米左右,因此與普通單模光纖(芯層直徑在10微米左右)的耦合存在比較大的問題。如今,國際上比較通用的兩種方案,第一種方案為反向錐形模式轉換器。該方案中,硅波導的寬度逐漸減少,形成一個反向錐形,從而減少硅材料對光的限制,達到模場直徑變大的效果,可以有效地與光纖進行...
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  • 孫老師:1.機機器人技術 2.機器視覺 3.網絡控制系統
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