技術編號：9377868
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 IC制造中用離子注入進行摻雜是先進工藝技術制備半導體器件的關鍵環節。隨著 半導體技術節點的不斷推進，為了獲得最優化的工藝效果，對硬件（hardware)的要求也越 來越高，對固件安裝的精度要求也更加嚴格。因此，要求我們必須對硬件有更準確更快速的 監測（monitor)方式。 當前業界對離子注入機中晶圓固定器應力的監測方式主要是通過量測工具對晶 圓的固定裝置進行粗放的檢測或者簡單的通過晶圓的傳送過程中有無缺陷產生，來判斷晶 圓固定器的工作是否正常，而對應力...
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