技術編號：9340962
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。微懸梁臂是MEMS里面一種非常重要的執行器，加上靜電、壓電等驅動單元后被廣泛應用于生物、化學、藥學、健康醫療、汽車等領域，其作為主動光學元器件的調制單元，也具備制備簡單、片上可集成等諸多優點。傳統的微懸梁臂通常用硅(多孔硅、單晶硅等)，陶瓷(二氧化硅、氮化硅等)，金屬，金屬碳化物，聚合物等材料，其中以硅的應用最為廣泛。硅在MEMS很多應用領域具有很好的力學與電學特性，而且硅材料與傳統半導體工藝兼容，在成本控制、工藝成熟度方面具備很大優勢。但是硅材料也具有本...
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