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單片集成在高折射率襯底的亞波長金屬光柵偏振片的制作方法技術資料下載

技術編號:9027224

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光柵作為一種常用的光學元件,其功能主要包括偏振、色散、分束和相位匹配。亞波長金屬光柵結構因其具有結構緊湊、易集成、偏振特性好、光譜較寬、透射率和消光比高等特點,可以減少光路原件,增加光學系統設計的靈活性,具有改進和取代傳統光學元器件的潛力。隨著微電子加工工藝的快速發展和光柵理論的不斷深入,人們漸漸發現當光柵周期小于入射光波長時,表現出強烈的偏振特性。一維亞波長金屬光柵具有顯著的偏振特性即所謂的雙折射效應對于電場矢量方向垂直于柵條的TM波,光柵可近似等效為電...
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