技術編號:8545852
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。具有納米級運動分辨率,又具有毫米級運動行程的跨尺度精密運動技術是目前微驅動領域中的關鍵技術,已經運用到許多重要的科學工程領域中。由于粘滑驅動相對于其他類跨尺度運動驅動方式的驅動原理簡單、方便、控制簡單,且具有分辨率高、運動范圍大、結構簡單、精確定位和易微小化等優點,因此基于粘滑驅動原理的裝備是目前跨尺度驅動設備中應用較多的一種。粘滑驅動的工作原理主要是以摩擦力作為驅動源,利用鋸齒形電壓激勵壓電振子的不對稱振動所形成的動靜摩擦力之間的差異來實現被驅動體的微小...
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