技術編號：8399279
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 從專利WO2009/121438A1中可知一種具有照明系統的投射曝光設備。從 DE10358225B3中可知一種EUV光源。另外，從WO2009/121 438A1中可得到了解EUV光源 的其它參考。另外從US2003/0043359A1與US5, 896, 438中可知EUV照明光學單元。從 US6, 999, 172B2與US2008/0192225A1中可知用于產生偏振EUV光與用于幾何偏振旋轉 的變型例。發明內容 本發明之目的在于發展一種抓V光源...
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